JPS63252349A - チヤンネル型電子増倍管の製造方法 - Google Patents
チヤンネル型電子増倍管の製造方法Info
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- JPS63252349A JPS63252349A JP8634187A JP8634187A JPS63252349A JP S63252349 A JPS63252349 A JP S63252349A JP 8634187 A JP8634187 A JP 8634187A JP 8634187 A JP8634187 A JP 8634187A JP S63252349 A JPS63252349 A JP S63252349A
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Landscapes
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は荷電粒子の検出や増倍に使用するチャンネル型
電子増倍管の製造方法に関するものである。
電子増倍管の製造方法に関するものである。
本発明はチャンネルプレートのパイプ内面に金属アルコ
キシドを主成分とする溶液を塗布し、ゲル化焼結し、二
次電子増倍性のすぐれた導電性酸化物を形成することに
より、すぐれた特性のチャンネル型電子増倍管を簡易に
＠造することを可能とするものである。
キシドを主成分とする溶液を塗布し、ゲル化焼結し、二
次電子増倍性のすぐれた導電性酸化物を形成することに
より、すぐれた特性のチャンネル型電子増倍管を簡易に
＠造することを可能とするものである。
（従来の技術）
チャンネル型電子増倍管は、通常は細いガラスパイプを
多数束ねて構成されており、パイプの内部は二次電子放
射比が大きく、適度のｌ？！ｆ性をもち、安定な皮膜層
が形成されている。
多数束ねて構成されており、パイプの内部は二次電子放
射比が大きく、適度のｌ？！ｆ性をもち、安定な皮膜層
が形成されている。
このようなチャンネル型電子増倍管を製造するには成形
性に富み容易に細いパイプが形成できることよりガラス
が利用されており、導電性を与えるためには、 （１）ＰｂＯの含有」の＾いけいＩｌｌ！！ガラスを水
素雰囲気中で還元し、導電性を与える。
性に富み容易に細いパイプが形成できることよりガラス
が利用されており、導電性を与えるためには、 （１）ＰｂＯの含有」の＾いけいＩｌｌ！！ガラスを水
素雰囲気中で還元し、導電性を与える。
（２） Ｆｅａｒ３． Ｖ２Ｏ５、ｌ１１０３なトノ
遷移金ａｍ化物を通常のガラスに添加し、導電性を与え
る。
遷移金ａｍ化物を通常のガラスに添加し、導電性を与え
る。
などが行なわれている。
しかし、従来の製造方法では成形性などのために使用で
きる材料が限られており、すぐれた二次電子放射比をも
つ数多くの金属酸化物が利用できず、上記のように実用
可能なものでも、（１） ＰｂＯの還元処理が難かしく
、安定した皮膜が形成できない。
きる材料が限られており、すぐれた二次電子放射比をも
つ数多くの金属酸化物が利用できず、上記のように実用
可能なものでも、（１） ＰｂＯの還元処理が難かしく
、安定した皮膜が形成できない。
（２） Ｆｅ２０ｓなどを添加したガラスは粘性が低く
、従来法では加工が難しい。
、従来法では加工が難しい。
というような欠点があった。
そこで本発明は、従来のこのような欠点を解決し、特性
のすぐれたチャンネル型電子増倍管を簡易に製造するこ
とを可能とするものである。
のすぐれたチャンネル型電子増倍管を簡易に製造するこ
とを可能とするものである。
上記問題点を解決するために、本発明では、ガラスパイ
プの内面に金属アルコキシドを主成分とする溶液を塗布
し、ゲル化させた後、焼結することにより、二次電子増
倍性のすぐれた導電性酸化物を形成する。
プの内面に金属アルコキシドを主成分とする溶液を塗布
し、ゲル化させた後、焼結することにより、二次電子増
倍性のすぐれた導電性酸化物を形成する。
細いバイブの内面への皮膜形成が、金属アルコキシドの
溶液あるいはゾル状態を利用することにより容易に行え
る。
溶液あるいはゾル状態を利用することにより容易に行え
る。
また金属アルコキシドを利用することにより、ペロプス
カイト酸化物や遷移金ＩＩＳ酸化物などの二次電子ｉｔ
！１４８性のすぐれた導電性酸化物を形成できる。
カイト酸化物や遷移金ＩＩＳ酸化物などの二次電子ｉｔ
！１４８性のすぐれた導電性酸化物を形成できる。
以下詳細に説明する。
まず直径１ａ１１程度のガラスパイプを束ね、更にこれ
を延伸するなどの方法により、直径１００ＩＪａ以下の
多数のガラスパイプよりなるチャンネルプレートを製造
する。
を延伸するなどの方法により、直径１００ＩＪａ以下の
多数のガラスパイプよりなるチャンネルプレートを製造
する。
次にこのチャンネルプレートのバイブに金属アルコキシ
ドを主成分とする溶液を加圧などしながら注入し、パイ
プ内面に塗布する。
ドを主成分とする溶液を加圧などしながら注入し、パイ
プ内面に塗布する。
この溶液は、所定の金属アルコキシドと必要に応じて不
純物として添加する金属元素の硝酸塩などの金属塩、加
水分解のための水分、及びアルコールやベンゼンなどの
溶媒、［ｉやアンモニアなどのような触媒としての酸、
アルカリ、及び必要に応じて、粘度調整のためのポリビ
ニルアルコールや、ポリビニルブチラール等のバインダ
ー類からなる。
純物として添加する金属元素の硝酸塩などの金属塩、加
水分解のための水分、及びアルコールやベンゼンなどの
溶媒、［ｉやアンモニアなどのような触媒としての酸、
アルカリ、及び必要に応じて、粘度調整のためのポリビ
ニルアルコールや、ポリビニルブチラール等のバインダ
ー類からなる。
この金属アルコキシド及び金属塩を利用するガラス、セ
ラミック薄膜の形成方法は数多くの金属酸化物の形成に
利用できるという大きな特徴がある。
ラミック薄膜の形成方法は数多くの金属酸化物の形成に
利用できるという大きな特徴がある。
この金属アルコキシドを生成とする溶液は加水分解の制
御あるいはバインダー類の添加により適度な粘匪に調整
でき、皮膜の厚みと組織のｖ制御が行なえる。
御あるいはバインダー類の添加により適度な粘匪に調整
でき、皮膜の厚みと組織のｖ制御が行なえる。
金属アルコキシドとしては焼結後に二次電子増倍特性の
ずぐれた導電性酸化物を形成するものが利用できる。
ずぐれた導電性酸化物を形成するものが利用できる。
金属酸化物は一般に二次電子放射比が大きいので、導電
性の付与が重要となる。
性の付与が重要となる。
導電性酸化物としてはＢａＴ１０ｓを代表とするベロア
スカイト酸化物あるいは類似の酸化物を原子価ＩＩ ｉ
ｌｌあるいは強制還元することにより得られる。
スカイト酸化物あるいは類似の酸化物を原子価ＩＩ ｉ
ｌｌあるいは強制還元することにより得られる。
′ペロブスカイト酸化物はＢａＴＩＱＳの他に５ｒＴｉ
Ｏｓ。
Ｏｓ。
Ｐｂ″ｒｉｌその他数多くの複雑な置換化合物が得られ
ることは従来、圧電セラミックの研究で周知である。
ることは従来、圧電セラミックの研究で周知である。
金属アルコキシドは上記数多くのペロプスカイト酸化物
の大部分が合成でき、組成の制御により、特性の制御が
行えることが本特許の大きな長所である。
の大部分が合成でき、組成の制御により、特性の制御が
行えることが本特許の大きな長所である。
１ｓ性酸化物としてはその他にＶ２Ｏ５、５ｎｏ２゜ｌ
ｎｏなどや１４ｎ、 Ｎｌ、 Ｃｏ、 Ｆｅなどやその
他の遷移金属酸化物に格子欠陥の形成や不純物添加など
によって導電性を付与したものが知られているが、これ
らの金属酸化物もほとんど金属アルコキシドから合成す
ることが可能である。
ｎｏなどや１４ｎ、 Ｎｌ、 Ｃｏ、 Ｆｅなどやその
他の遷移金属酸化物に格子欠陥の形成や不純物添加など
によって導電性を付与したものが知られているが、これ
らの金属酸化物もほとんど金属アルコキシドから合成す
ることが可能である。
従って本特許により従来使用できなかった数多くの酸化
物がチャンネル型電子増倍管に利用できるようになる。
物がチャンネル型電子増倍管に利用できるようになる。
上記のような導電性酸化物を形成する金属アルコキシド
を主成分とする、溶液、あるいは加水分解したゾルをパ
イプ内面に塗布したチャンネルプレートは乾燥によりゲ
ル化した後焼結を行ない、多結晶性あるいはガラス性の
皮膜とする。
を主成分とする、溶液、あるいは加水分解したゾルをパ
イプ内面に塗布したチャンネルプレートは乾燥によりゲ
ル化した後焼結を行ない、多結晶性あるいはガラス性の
皮膜とする。
形成する導電性皮膜の厚みは溶液の粘度調整の他、ゲル
化後、または焼結後再度溶液を塗布する工程を繰返すこ
とによっても調整できる。
化後、または焼結後再度溶液を塗布する工程を繰返すこ
とによっても調整できる。
なお本発明の金属アルコキシドを利用する方法は＆０２
を主成分とする従来のガラスの薄膜にも適用でき、従っ
て導電性成分を添加するガラス皮膜の形成にも適用でき
るのはもちろんのことである。
を主成分とする従来のガラスの薄膜にも適用でき、従っ
て導電性成分を添加するガラス皮膜の形成にも適用でき
るのはもちろんのことである。
更に本発明によれば異なった酸化物の積ｇ ｂ容易に行
なえ、よりすぐれた特性の電子増倍管の設計が可能とな
る。
なえ、よりすぐれた特性の電子増倍管の設計が可能とな
る。
（発明の効果）
以上述べたように本発明では、金属アルコキシドを利用
することにより、チャンネルプレートの内面に、数多く
の種類の二次電子増倍特性のすぐれた導電性酸化物を容
易に形成でき、従って特性のすぐれたチャンネル型電子
増倍管を簡易に製造することが可能となる。
することにより、チャンネルプレートの内面に、数多く
の種類の二次電子増倍特性のすぐれた導電性酸化物を容
易に形成でき、従って特性のすぐれたチャンネル型電子
増倍管を簡易に製造することが可能となる。
（ｆ１ｇ１名）
Claims (1)
- ガラスパイプを束ねたチャンネルプレートのパイプ内面
に金属アルコキシドを主成分とする溶液を塗布し、ゲル
化させた後、焼結することにより導電性金属酸化物を形
成することを特徴とするチャンネル型電子増倍管の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8634187A JPS63252349A (ja) | 1987-04-08 | 1987-04-08 | チヤンネル型電子増倍管の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8634187A JPS63252349A (ja) | 1987-04-08 | 1987-04-08 | チヤンネル型電子増倍管の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63252349A true JPS63252349A (ja) | 1988-10-19 |
Family
ID=13884151
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8634187A Pending JPS63252349A (ja) | 1987-04-08 | 1987-04-08 | チヤンネル型電子増倍管の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63252349A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0399515A2 (en) * | 1989-05-24 | 1990-11-28 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Flat tube display apparatus |
| WO2001035434A1 (fr) * | 1999-11-12 | 2001-05-17 | Universite Claude Bernard Lyon I | Procede de realisation d'une cathode d'emission a l'aide de la technique sol-gel et cathode obtenue par un tel procede |
-
1987
- 1987-04-08 JP JP8634187A patent/JPS63252349A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0399515A2 (en) * | 1989-05-24 | 1990-11-28 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Flat tube display apparatus |
| WO2001035434A1 (fr) * | 1999-11-12 | 2001-05-17 | Universite Claude Bernard Lyon I | Procede de realisation d'une cathode d'emission a l'aide de la technique sol-gel et cathode obtenue par un tel procede |
| FR2801135A1 (fr) * | 1999-11-12 | 2001-05-18 | Univ Claude Bernard Lyon | Procede de realisation d'une cathode d'emission a l'aide de la technique sol-gel et cathode obtenue par un tel procede |
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