JPS63241739A - 光磁気デイスク - Google Patents

光磁気デイスク

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JPS63241739A
JPS63241739A JP7503687A JP7503687A JPS63241739A JP S63241739 A JPS63241739 A JP S63241739A JP 7503687 A JP7503687 A JP 7503687A JP 7503687 A JP7503687 A JP 7503687A JP S63241739 A JPS63241739 A JP S63241739A
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JP
Japan
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layer
magneto
optical disk
recording
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JP7503687A
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Masahiro Miyazaki
宮崎 正裕
Seiya Ogawa
小川 清也
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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    • G11B11/105Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
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    • G11B11/10586Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
    • G11B11/10589Details

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 め 補償温度が室温以上に布り、オーバーライド・可能な光
磁気媒体の表面層に面内磁化層を設ける。
面内磁化層がプロッホラインの発生を抑制して記録ビッ
トの完全な消去を可能にする。
〔産業上の利用分野〕
本発明は光記録担体およびその製造方法に係り、より詳
しく述べると、外部磁場を用いることなく直接オーバー
ライドを可能にする光磁気記録担体の消去特性を改良し
た光磁気記録担体に関する。
〔従来の技術〕
光磁気ディスクは書換え可能な光ディスクとして期待さ
れているが、磁気ディスクのように直接オーバーライド
ができないとされていた。
現状は、記録すべきセクターやトラックをあらかじめ消
去し、次に外部磁場を反転して、書込みを行なっている
。このため−同書込むのに磁場反転に要する時間を含め
ると3周待ちが必要である。
一方直接オーバーライトを可能にするアイデアも提案さ
れている。その一つはApplied Physics
 Let−ters、  49巻1986年P473の
論文である。その概要を以下に説明する。記録膜は補償
温度が室温より数10度高い組成をもつGdTbCo、
 ’ TbFeCoなどの希土類一遷移金属合金を用い
る。書込み・消去はレーンク異なるパルス時間幅照射す
ることにより外部磁場なしで行う。記録膜に7mWのレ
ーへ300 ns外部磁場なしで照射して書込みを行な
い、消去には100−200 nsの同じパワーを照射
することで行なっている。この記録、消去の原理を第4
図を用いて説明する。第4図(al、 (b)において
室温で上向きの磁化はレーザービームを照射して加熱す
ると加熱された領域(B)の(1)は補償温度をこえる
ので磁化が下にむ<(B)。この時中心部は最も温度が
高いので保磁力は最も小さい。そこでまわりの磁化から
の反磁場により中心部の磁化は反転して上向になる(B
)。この時反転したビットと、もとの磁化領域との間に
磁壁2が生じる(C)。レーザーの照射が停止して温度
が下がると磁壁2が移動して適当な大きさの記録ビット
3が形成されるCD)。
消去は、室温で下向きの中心部の磁化はレーザービーム
照射による加熱で加熱された領域(E)の4は補償温度
をこえるので磁化が上に向<(E)この時中心部は最も
温度が高いので保磁力は最も小さい。そこでまわりの磁
化からの反磁場により中心部の磁化が、記録時と同じよ
うに反転し下向きになる(E)。その時磁壁5が生じる
。この状態では上からみるとビット形状はリング状に2
つの磁壁2,5が存在することになる(P)。温度が下
がるにしたがって、新たに生じた磁壁5は外側に移動し
て、外側の磁壁2に合体消滅する(G)。そしてさらに
温度が下がって補償温度をこえると元の記録ビットは上
向きの消去状態になる(H)。以上が上述論文による記
録8消去の原理である。この方法は磁壁2.5の移動を
伴なう。
なお磁壁とは垂直磁化膜を考えると、磁化が上を向いて
いる磁区と磁化が下を向いている磁区との境界であり、
そこでは磁化は上向きから下向きへ磁気異方性エネルギ
と交換相互作用エネルギとを等しく保ちながら徐々に回
転している。(第6図(bl参照)磁化は磁壁法線を軸
に磁壁面に平行な面内で回転している。
生じやすい。これは第6図(alに示すように磁壁2の
中央部の磁化は本来一方向に揃っているべきであるが、
場所によって磁化のねじれが生じる第6図C0多数のプ
ロッホラインBLがあると磁壁移動がスムーズにいかな
いことが知られている。そのため消去時の磁壁5と、記
録時の磁壁2がうまく合体しない第5図bHということ
がおこる。また合体してもプロッホラインのところで磁
化がねオーバーライドする方法は解決すべき問題点を有
している。
なお第5図(a)は磁壁2,5に各々2本のプロッホラ
インが生じた場合、第5図(b)は磁壁2,5に多数の
プロッホラインが生じた場合、第5図(C)はプロッホ
ラインが生じなかった場合の第4図に対応する図を示す
。なおプロッホラインについては日経エレクトロニクス
1983.4.25.第82〜88頁、日経エレクトロ
ニクス19B3.8.15第141〜167頁を参照さ
れたい。
一方B、 S、 T、J vol 51.Na6. P
P1427〜1444゜1972にはガーネット磁性膜
を用いる磁気バルブメモリ素子の動作障害となるハード
バブル抑制法が記載される。
磁気バブルメモリはガーネッ)[性膜にバブル磁区を生
じさせ、バブル磁区のを無を情報(1゜0)に対応させ
る。かかる磁気バブルメモリ素子には 磁壁に、2n=0.2n=2.2n=4以上の偶数、等
の異なる数のプロッホライン(もしくはNeel Se
gment第7図(A))を持つバブルが生ずる。即ち
、2n=0のノーマル・バブル、2n=2のノーマル・
バブルに静的・動的特性が類似するバブル、2n=4以
上のノーマル・バブルに比較し、低いモビリティ、かつ
、駆動磁場勾配の方向に平行でなく角度を有して動く傾
向を有するハード・バブルが生ずる。
ハード・バブルは、バイアス磁界勾配に対し、角度をな
して移動する、その速度が正常のバブルに比較し遅い、
バブルをコラプス(つぶす)のにノーマル・バブルに比
較し高いバイアス磁界を必要とする等、磁気バブルメモ
リ素子の動作障害になる為ハードバブルを抑制する方法
として上記文献は +11  多層エピタキシャルガーネット膜を用いる。
(2)磁性ガーネット膜にイオン注入する。
(3)第2の磁性層を設ける。
方法を記載する。
しかし、上記文献は(イ>m気バブルメモリ素子を対象
とする。(ロ)磁性膜が、 (III) GdzGasOrz基板上のYGdTmG
ao、sF ea、t OIzエピタキシ中ルガルガー
ネット磁性層 (IIり右dzGasOI!基板上のGdt、 za 
Tbo、 661”e5c)Bエピタキシャルガーネッ
ト磁性層、(III) Gd5GasOrz基板上の6
μmのEr、、1t4 =8.、、Fe、、、、 Ga、、、、 O,!エピタ
キシャルガーネット上N磁性層、8μmのEr1,1E
u1.zFeg、+nGao、*60+tエピタキシャ
ルガーネット上層磁性層の多層エピタキシャルガーネッ
トを設けたもの、基板上5μmのTmo、za Yt、
5oGd1.zi Gaa、tiAIo、36 Fez
、ss O+xエピタキシャルガーネット下層磁性層、
Ta1o、is Yt、5vGdt、oi Gao、h
tAlll、43 Fex、qs O。エピタキシャル
ガーネット上N磁性層、 (III) (YGd Tm ):I (Fe Ga)
s O+zバプルガーネント液相エピタキシャル磁性層
、(III) (YC;d Yb )3 (Fe Ga
)s O+z−(III) (G d E r)z (
Fe Ga)s O+z、(III) (YEu Yb
)+  (Fe Ga)s O+zガーネット磁性層等
基板上にエピタキシャル成長・形成されたガーネット磁
性層である。
ハ は廿) G d 3 G a s O+□基板上液相エ
ピ形成されたEr+、8Eu1.zFex、、q Ga
1.z+ OIt下層下層−モーメントガーネット磁性
層+IJm)Er、、s Eu+、tFea、34Ga
o、bbo+を上層高モーメントガーネット磁性層(8
μm)の多層エピタキシャルガーネット膜では20−4
μmの表面バブル(バイアス磁界38〜630e)と、
20−10μmの複合バブル(バイアス磁界48〜63
0e)が共存することが記載されるも、バブル径が大で
ある。
又、基板上液相エピ形成されたTmo、 24 Y 1
. s。
Gd1.zh Gao、76Alo、:u+ Fez、
ai O+z下層下層−モーメントガーネット磁性層μ
m) 、  Tmo、:+sYr、5qGdr、ob 
Gao、hz A16.43 Fes、ws O+z上
層上層−モーメントガーネット磁性層μm)では下層磁
性層は補償温度+27℃を有し、上層磁性層は補償温度
−18℃であり、室温近傍に補償温度を有する。
第7図は上記B、 S、T、 Jに記載された説明図で
あり、 (A)はバードバブルの説明図(Neel segme
ntにBlocF 1ineが生じている) (B)は2層磁性層構造における周辺磁壁と平面磁壁を
示す図、 (C)は第2の磁性層を設けることにより生ずる平面磁
壁との相互作用により(Perimeter wall
)周辺磁壁のスピンが影響され、2n=2のバブルが生
ずることを説明する図、 (D) 、 (E)は2層エピタキシャルガーネット膜
構造での異なるタイプのバブルを説明する図である。
又、液相エビ成長した(YGd Tm)*  (Fe 
Ga)sO32にガーネット層上に50Å以上のパーマ
ロイ磁性層を形成したハード・バブル・フリーの、ガ−
ネット・パーマロイ複合構造がJ、 Phys、 So
c。
Japan 34(1973H416に記載される。
上記2つの文献はいずれも、ガーネット膜を用いた磁気
バブルメモリを対象とし、磁気バブル素子の動作障害に
なるハードバブルの抑制の為に(1)イオン注入法(2
)多層ガーネット膜エピタキシャル法(3)パーマロイ
膜被着法を提案するものであるが、本発明のレーザー光
照射により、記録・消去をな表面層に面内磁化層14を
設ける事によりプロッホラインB、L、の発生を抑えよ
うとするものである。
即ち、光磁気垂直磁化記録膜における記録・消去の際問
題となることが予想される磁壁番こおける多数のプロッ
ホライン発生を抑制するものである。
本発明は補償温度が室温以上にあるフェリ磁性体薄膜か
らなる光磁気ディスクにおいて、記録膜の表面に面内磁
化層を設けた事を特徴とする光磁気ディスク媒体により
達成される。
〔作用〕
第2図(b)の本発明原理図に示すように、面内磁化層
重4と垂直磁化膜13の間に磁壁16が生じこの磁壁1
6がビットの磁壁2と交換相互作用で結合し、磁壁2内
の磁化のむきを強制的にそろえ、磁壁に多数のプロッホ
ラインが生ずるのを抑制し、記録ビットの完全な消去を
可能にする。
本発明による希土類(Dy 、 Tb 、 Gd )遷
移金属(Fe 、  Co 、 Ni )の組み合せか
らなるTb Fe Co 、Gd Tb Fe Co、
Tb Co等のフェリ磁性体薄膜からなる記録膜表面に
設ける面内磁化層としては (1)パーマロイ (Ni −Fe)合金Fe、Fe 
Co、Ni 、Co Ni 、等の材料の強磁性薄膜、 (2)上記フェリ磁性体薄膜にHイオン、 Ne 、 
 He等をイオン注入し形成したイオン注入層、(3)
上記フェリ磁性体薄膜の表面を部分的に酸化させた表面
酸化層、 (4)上記フェリ磁性体薄膜の表面を結晶させた表面結
晶化層等を適宜用いることが出来る。
面内磁化層としては20人〜300人程度好ましくは5
0人〜200人程度の厚さに設ける。
以下本発明につき実施例を参照して詳細に説明する。
〔実施例〕
実施例1.) 第1図は本発明の光磁気記録担体の断面図である。
光ディスクに用いられる透明基板は光案内溝を有するア
クリル樹脂(PMMA) 、エポキシ樹脂、ポリカーボ
ネート樹脂、およびガラスなどである。
基板表面にエツチングして直接トラッキング用案内溝を
形成してもよいが、紫外線硬化樹脂を用いてトラッキン
グ用案内溝を形成されることが多い。
トラッキング用案内溝を形成した基板を真空蒸着装置内
にセットし、蒸着室内を5X10−’Pa以下に排気後
、基板を回転しながら保護膜を形成した。この例では、
2つのハースにそれぞれ金属としてTb、金属酸化物と
してSi O□を用意し、電子ビームにより加熱し同時
蒸着した。蒸着速度は(11Tb2人/ s +  S
 iOz 5 人/Sと、(2)Tb1人/s、S i
OX 5 人/Sとし、膜厚は1000人になるまで蒸
着した。蒸着中の真空度は、7〜8XIO−’Paであ
った。
第1図(a)を参照すると、基板11上に下地保護膜1
2を成膜した後に、記録膜として光磁気記録媒体である
TbFeCo膜13の成膜を行った。
成膜の方法はTbとFeCoの同時蒸着により行い、所
定の膜組成となるように各々の蒸着速度を制御した。膜
厚は1000人とした。基板は特に加熱していない。T
bFeC0膜13を成膜した後に。
の蒸着により行った。
膜厚は50〜100人とした。
本実施例では光磁気ディスクの記録膜の上にパーマロイ
 (NiFe)膜を100人設けた。プロッホラインを
抑制するには100人で十分であり厚すぎると記録感度
が低下する。
次に上地保護膜15の成膜を行った。上地保護膜15の
条件は下地保護膜と同様に行った。比較のために、面内
磁化層14を設けない従来法による光磁気ディスクを作
成した。
こうして作成した光磁気ディスクの書込・消去特性は下
記の通りであった。
光源   レーザー  λ=0.83μm書込   7
mW    300nsパルス消去   7 m W 
   100〜200nsパルス第3図はプロッホライ
ン抑制の為の面内磁化層のパーマロイ層膜厚と記録感度
特性の結果を示す。
第3図よりプロッホライン抑制には100人程度で十分
であることが判る。なお20Å以下ではプロッホライン
抑制に効果がなり、200 Å以上では記録感度が低下
する。
実施例2) 面内磁化層としてパーマロイ層を設ける代りに記録膜で
あるTbFeCoに20KeV、  ドース量2X10
”イオン/dでHイオンを注入して表面から200人程
度の膜表面に圧縮応力を与え面内磁化層を設けたこと以
外は実施例1と同様に光磁気ディスクを作成した。
実施例3) TbFeCo膜を成膜後TbFeCo膜を150℃1h
大気中でベークして表面に200人程度の酸化層を設は
面内磁化膜としたこと以外は実施例1と同様に光磁気デ
ィスクを作成した。
実施例4) TbFeCo膜にキセノンランプを0.1秒照射し瞬間
的に加熱して表面から100人程度の表面を結晶化して
表面結晶化層を設は面内磁化膜にしたこと以外は実施例
1と同様に光磁気ディスクを作成した。
実施例2〜4に於ても、実施例1と同様の記録・消去特
性が得られた。
〔効果〕
本発明では補償温度が室温より数十度高いフェリ磁性体
薄膜からなる光磁気記録担体面に接し面内磁化層を設け
ることにより、フェリ磁性体薄膜中の磁壁と、面内磁化
層との相互作用により、磁壁内に多数のプロッホライン
の発生が抑制できて、記録ビットの完全な消去ができる
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の光磁気記録担体の模式断面図、第2図
は本発明の原理説明図、 第3図は本発明の実施例における書込特性を示す図、 第4図は従来技術による直接オーバーライド可能な光磁
気ディスクの動作原理説明図、第5図は第4図の問題点
を説明する図、第6図は上向きの磁化領域と下向きの磁
化領域との磁壁におけるスピンを説明する図、第7図は
従来技術としての磁気バブルメモリに於るハードバブル
抑制を説明する図である。 1.3,4:磁区、2,5:磁壁、16:磁壁、11:
基板、12:下地保護層、13:フェリ磁性体記録層、
14:面内磁化層、15:上地保護層。 σ         106        100 
        j!1ON:fe  月択厚 茅 3 図 (II          (F)         
(F’)         (#J(if      
  (IF        aF’        a
HbF        bF        bP’ 
       bN予 5 図 <a+ L (C) 第  乙  トJ

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)補償温度が室温以上にあるフェリ磁性体薄膜から
    なる光磁気ディスクにおいて、記録膜の表面に面内磁化
    層を設けた事を特徴とする光磁気ディスク媒体。
  2. (2)上記面内磁化層の厚さが10nm以下であること
    を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光磁気ディス
    ク媒体。
  3. (3)上記面内磁化層として強磁性薄膜を用いた事を特
    徴とする特許請求の範囲第1項記載の光磁気ディスク媒
    体。
  4. (4)上記面内磁化層としてイオン注入層を用いた事を
    特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光磁気ディスク
    媒体。
  5. (5)上記面内磁化層として記録媒体を部分的に酸化さ
    せた層を用いた事を特徴とする特許請求の範囲第1項記
    載の光磁気ディスク媒体。
  6. (6)上記面内磁化層として記録媒体を部分的に結晶化
    させた層を用いた事を特徴とする特許請求の範囲第1項
    記載の光磁気ディスク媒体。
  7. (7)上記フェリ磁性体が補償温度が室温より数十度高
    い組成を持つ希土類一遷移金属合金であることを特徴と
    する特許請求の範囲第1項記載の光磁気ディスク媒体。
  8. (8)上記強磁性体がパーマロイ、Fe、FeCo、N
    i、CoNiであることを特徴とする特許請求の範囲第
    1項記載の光磁気ディスク媒体。
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