JPH02247846A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
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- JPH02247846A JPH02247846A JP6881789A JP6881789A JPH02247846A JP H02247846 A JPH02247846 A JP H02247846A JP 6881789 A JP6881789 A JP 6881789A JP 6881789 A JP6881789 A JP 6881789A JP H02247846 A JPH02247846 A JP H02247846A
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- 230000005415 magnetization Effects 0.000 claims abstract description 45
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 abstract description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 10
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 4
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 description 11
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052689 Holmium Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
光磁気ディスク媒体に関し。
磁化の反転エネルギーを下げて記録感度を向上させ、デ
ィスクの高速回転に対応できるようにすることを目的と
し。
ィスクの高速回転に対応できるようにすることを目的と
し。
レーザ光線によってデータの記録および再生を行う磁気
光学記録装置に用いる。垂直磁化膜を記録膜とする光磁
気ディスク媒体において、垂直磁化膜の上地および/ま
たは下地に非磁性金属元素を添加した面内磁化膜を形成
するように構成する。
光学記録装置に用いる。垂直磁化膜を記録膜とする光磁
気ディスク媒体において、垂直磁化膜の上地および/ま
たは下地に非磁性金属元素を添加した面内磁化膜を形成
するように構成する。
(産業上の利用分野)
本発明は、光磁気ディスク媒体、特に、レーザ光線によ
ってデータの記録および再生を行う磁気光学記録装置に
用いる。垂直磁化膜を記録膜とする光磁気ディスク媒体
に関する。
ってデータの記録および再生を行う磁気光学記録装置に
用いる。垂直磁化膜を記録膜とする光磁気ディスク媒体
に関する。
光磁気ディスクにおいては、メモリとしての応用分野を
拡大するために、データの転送速度を向上させることが
重要である。
拡大するために、データの転送速度を向上させることが
重要である。
このため、光磁気ディスクを高速回転させても。
小さなレーザ・パワーで記録することができるように、
光磁気ディスク媒体そのものの記録感度を向上させるこ
とが要望されている。
光磁気ディスク媒体そのものの記録感度を向上させるこ
とが要望されている。
第5図は、従来の光磁気ディスク媒体の例を示す図であ
る。
る。
同図において、21は透明基板、22は上面保護膜、2
3は下面保護膜、24は垂直磁化膜である。
3は下面保護膜、24は垂直磁化膜である。
上面保護膜22および下面保護11423は9例えば、
厚さ約1100nのTb−310,膜からなる。
厚さ約1100nのTb−310,膜からなる。
垂直磁化膜24は、厚さ約1100nの稀土類−遷移金
属アモルファス合金からなる記録膜である。稀土類とし
ては、 Tb、 Gd、 Hoなどが用いられ。
属アモルファス合金からなる記録膜である。稀土類とし
ては、 Tb、 Gd、 Hoなどが用いられ。
遷移金属としては、 Pe、 Coなどが用いられる。
従来の光磁気ディスク媒体では、記録膜としての垂直磁
化膜24は、上述の稀土類および遷移金属からなる2例
えば、 TbFeCo、 GdTbFeCoなどのアモ
ルファス合金で形成していた。
化膜24は、上述の稀土類および遷移金属からなる2例
えば、 TbFeCo、 GdTbFeCoなどのアモ
ルファス合金で形成していた。
しかしながら、記録膜としての垂直磁化膜24をTbP
eCo、 GdTbFeCoなどのアモルファス合金で
形成した場合、光磁気ディスクを3600rpmという
高速回転で使用すると、データの記録に、約!5mWと
いう高いレーザ・パワーが必要となる。
eCo、 GdTbFeCoなどのアモルファス合金で
形成した場合、光磁気ディスクを3600rpmという
高速回転で使用すると、データの記録に、約!5mWと
いう高いレーザ・パワーが必要となる。
このパワーは、半導体レーザのパワーを遥かに超えてし
まい、実用性に欠ける。
まい、実用性に欠ける。
〔発明が解決しようとする課題]
従来の光磁気ディスク媒体は、データの記録に過大なレ
ーザ・パワーを必要とするため、He−Neレーザ等の
大きなレーザ源を使わなければならず。
ーザ・パワーを必要とするため、He−Neレーザ等の
大きなレーザ源を使わなければならず。
装置も大型化し、コストも高くなる。という問題があっ
た。
た。
本発明は、磁化の反転エネルギーを下げて記録感度を向
上させ、ディスクの高速回転に対応できるようにした光
磁気ディスク媒体を提供することを目的とする。
上させ、ディスクの高速回転に対応できるようにした光
磁気ディスク媒体を提供することを目的とする。
〔課題を解決するための手段]
上記の目的を達成するために3本発明に係る光磁気ディ
スク媒体は、レーザ光線によってデータの記録および再
生を行う磁気光学記録装置に用いる。垂直磁化膜を記録
膜とする光磁気ディスク媒体において、垂直磁化膜の上
地および/または下地に非磁性金属元素を添加した面内
磁化膜を形成するように構成する。
スク媒体は、レーザ光線によってデータの記録および再
生を行う磁気光学記録装置に用いる。垂直磁化膜を記録
膜とする光磁気ディスク媒体において、垂直磁化膜の上
地および/または下地に非磁性金属元素を添加した面内
磁化膜を形成するように構成する。
本発明に係る光磁気ディスク媒体は、膜面に垂直の方向
に磁気異方性を有する。記録膜としての垂直磁化膜の上
地および/または下地に非磁性金属元素を添加した面内
磁化膜を形成しているので。
に磁気異方性を有する。記録膜としての垂直磁化膜の上
地および/または下地に非磁性金属元素を添加した面内
磁化膜を形成しているので。
磁化の反転エネルギーを減少させることができる。
この結果、データの記録に使用するレーザ・パワーを小
さくすることができるので1通常用いられている180
0rpm対応の半導体レーザと同程度のパワーでデータ
の記録を行うことが可能となる。
さくすることができるので1通常用いられている180
0rpm対応の半導体レーザと同程度のパワーでデータ
の記録を行うことが可能となる。
すなわち2本発明に係る光磁気ディスク媒体によれば、
記録感度を向上させることができる。
記録感度を向上させることができる。
[実施例]
[第1の実施例]
第1図は、本発明の第1の実施例に係る光磁気ディスク
媒体を示す図である。
媒体を示す図である。
、同図において、1は透明基板、2は上面保護膜。
3は下面保護膜、4は垂直磁化膜、5は上地面内磁化膜
である。
である。
透明基板1は、ガラス5プラスチツクなどからなり、ト
ラッキング・ガイド部1例えば、ガイド用溝がホトポリ
マー法などで形成されている。
ラッキング・ガイド部1例えば、ガイド用溝がホトポリ
マー法などで形成されている。
上面保護膜2台よび下面保護膜3には、厚さ約1100
nのTb 5iOz複合膜を用いる。
nのTb 5iOz複合膜を用いる。
記録膜としての垂直磁化膜4には、厚さ約1100nの
稀土類−遷移金属アモルファス合金であるTbFeCo
を使用する。
稀土類−遷移金属アモルファス合金であるTbFeCo
を使用する。
上地面内磁化膜5は、厚さ約20nmで、垂直磁化膜4
と上面保護膜2の間に設けられ、+4土頻−遷移金属ア
モルファス合金であるTbFeCoに、非磁性金属であ
るBiを添加した。 TbFeCo−B1が使用される
。
と上面保護膜2の間に設けられ、+4土頻−遷移金属ア
モルファス合金であるTbFeCoに、非磁性金属であ
るBiを添加した。 TbFeCo−B1が使用される
。
次に1本実施例に係る光磁気ディスク媒体の製造方法を
説明する。
説明する。
各膜は、マグネトロン・スパッタにより、成1模する。
スパッタは、RF、DCのいずれを用いててもよい。
以下、各工程を説明する。
■透明基板l上に、厚さ1100nのTb−SiOx複
合膜を成膜して、下面保護膜3を形成する゛。
合膜を成膜して、下面保護膜3を形成する゛。
■厚さ10 Q nmのTbFeCoを成膜して、記録
膜としての垂直磁化膜4を形成する。
膜としての垂直磁化膜4を形成する。
■厚さ20nmのTbFeCo−B1を成膜して、上地
面内磁化1g15を形成する。
面内磁化1g15を形成する。
■厚さ1100nのTb−5iO□複合膜を成膜し7て
。
。
上面保護膜2を形成する。
[第2の実施例]
第2図は1本発明の第2の実施例に係る光磁気ディスク
媒体を示す図である。
媒体を示す図である。
同図において、6は透明基板、7は上面保護膜。
8は下面保護膜、9は垂直磁化膜、10は下地面内磁化
膜である。
膜である。
透明基板6ば、ガラス、プラスチックなどからなり、ト
ラッキング・ガイド部1例えば、ガイド用溝がホトポリ
マー法などで形成されている。
ラッキング・ガイド部1例えば、ガイド用溝がホトポリ
マー法などで形成されている。
上面保aI膜7および下面保護膜8には、厚さ約110
0nのTb−3LO,複合膜を用いる。
0nのTb−3LO,複合膜を用いる。
記録膜としての垂直磁化膜9には、厚さ約1100nの
稀土類−遷移金属アモルファス合金であるTbFeCo
を使用する。
稀土類−遷移金属アモルファス合金であるTbFeCo
を使用する。
下地面内磁化11910は、W−さ約20nmで、垂直
磁化膜9と下面保護膜8の間に設けられ、稀土類−遷移
金属アモルファス合金であるTbFeCoに。
磁化膜9と下面保護膜8の間に設けられ、稀土類−遷移
金属アモルファス合金であるTbFeCoに。
非磁性金属であるBiを添加した。 TbFeCo−B
1が使用される。
1が使用される。
次に1本実施例に係る光6■気ディスク媒体の製造方法
を説明する。
を説明する。
各膜は、マグネトロン・スパッタにより、成膜する。ス
パッタは、RF、DCのいずれを用いててもよい。
パッタは、RF、DCのいずれを用いててもよい。
以下、各工程を説明する。
■透明基板6上に、厚さ1100nのTb SiOx
複合膜を成膜して、下面保護膜8を形成する。
複合膜を成膜して、下面保護膜8を形成する。
■厚さ20nmのTbFeCo−B+を成膜して、下地
面内磁化膜10を形成する。
面内磁化膜10を形成する。
■厚さ1100nのTbFeCoを成膜して、記録膜と
しての垂直磁化膜9を形成する。
しての垂直磁化膜9を形成する。
■厚さ1100nのTb 5iOz?J1合膜を成膜
して、上面保護膜7を形成する。
して、上面保護膜7を形成する。
[第3の実施例]
第3図は1本発明の第3の実施例に係る光磁気ディスク
媒体を示す図である。
媒体を示す図である。
同図において、11は透明基板、12は上面保護膜、1
3は下面保護膜、14は垂直磁化膜、15は上地面内磁
化膜、16は下地面内磁化膜である。
3は下面保護膜、14は垂直磁化膜、15は上地面内磁
化膜、16は下地面内磁化膜である。
透明基板11は、ガラス、プラスチックなどからなり、
トラッキング・ガイド部2例えば、ガイド用溝がホトポ
リマー法などで形成されている。
トラッキング・ガイド部2例えば、ガイド用溝がホトポ
リマー法などで形成されている。
上面保護膜12および下面保護膜13には、厚さ約11
00nのTb SiO□複合膜を用いる。
00nのTb SiO□複合膜を用いる。
記録膜としての垂直磁化膜14には、厚さ約1100n
の稀土類−遷移金属アモルファス合金であるTbFsC
oを使用する。
の稀土類−遷移金属アモルファス合金であるTbFsC
oを使用する。
上地面内磁化膜15および下地面内磁化膜16は1両者
共厚さ約20nmで、垂直磁化膜14と上面保護膜12
との間、および、垂直磁化膜14と下面保護膜13との
間に設けられ、稀土類−遷移金属アモルファス合金であ
るTbFeCoに、非磁性金属であるBiを添加した。
共厚さ約20nmで、垂直磁化膜14と上面保護膜12
との間、および、垂直磁化膜14と下面保護膜13との
間に設けられ、稀土類−遷移金属アモルファス合金であ
るTbFeCoに、非磁性金属であるBiを添加した。
TbFeCo−B1が使用される。
次に1本実施例に係る光磁気ディスク媒体の製造方法を
説明する。
説明する。
各膜は、マグネトロン・スパッタにより、成11りする
。スパッタは、RF、DCのいずれを用いでてもよい。
。スパッタは、RF、DCのいずれを用いでてもよい。
以下5各工程を説明する。
■透明基板11上に、厚さ1100nのTb−3iO□
複合膜を成膜して、下面保護膜13を形成する。
複合膜を成膜して、下面保護膜13を形成する。
■厚さ20nmのTbFeCo −B iを成膜して、
下地面内磁化膜16を形成する。
下地面内磁化膜16を形成する。
■厚さ1100nのTbFeCoを成膜して、記録膜と
しての垂直磁化114を形成する。
しての垂直磁化114を形成する。
■厚さ20nmのTbFeCo−B1を成膜して、上地
面内磁化膜15を形成する。
面内磁化膜15を形成する。
■厚さ1100nのTb Sing複合膜を成膜シテ
。
。
上面保護膜12を形成する。
[計測結果〕
以上に説明した。第1.第2および第3の実施例に係る
光磁気ディスク媒体を360Orpmで回転させた場合
のキュリー温度に対する最適記録パワー(感度)を計測
した結果を第4図に示す。
光磁気ディスク媒体を360Orpmで回転させた場合
のキュリー温度に対する最適記録パワー(感度)を計測
した結果を第4図に示す。
(キュリー温度は、 TbPeCoのCoiを変化させ
ることによって得た。) 第4図において、O印が本発明に係る光磁気ディスク媒
体の計測値である。比較のために、従来の光磁気ディス
ク媒体の計測値を・印で示した。
ることによって得た。) 第4図において、O印が本発明に係る光磁気ディスク媒
体の計測値である。比較のために、従来の光磁気ディス
ク媒体の計測値を・印で示した。
同図から1本発明によると、従来例に比して。
最適記録パワーを格段に低くできることがわかる。
[変形例]
第1.第2および第3の実施例では、記録膜としての垂
直磁化膜として、 TbFeCo膜を用いたが。
直磁化膜として、 TbFeCo膜を用いたが。
これに限らず、 DyFeCo等の積上類−遷移金属ア
モルファス合金を使用することができる。
モルファス合金を使用することができる。
また1面内磁化膜として、積上類−遷移金属アモルファ
ス合金に旧を添加した例を示したが、 Bi以外に、
AI、 Cu等の非磁性金属を用いることができる。
ス合金に旧を添加した例を示したが、 Bi以外に、
AI、 Cu等の非磁性金属を用いることができる。
さらに、保護膜として、Tb−5iO□複合膜を使用し
た例を示したが、SiN、/VN等を用いることができ
る。
た例を示したが、SiN、/VN等を用いることができ
る。
本発明に係る光磁気ディスク媒体では、記録膜としての
垂直磁化膜の上地および/または下地に非磁性金属元素
を添加した面内磁化膜を形成しているので、ttt化の
反転エネルギーを下げて記録感度を向上させることがで
き、光磁気ディスクの高速回転に対応することが可能と
なる。
垂直磁化膜の上地および/または下地に非磁性金属元素
を添加した面内磁化膜を形成しているので、ttt化の
反転エネルギーを下げて記録感度を向上させることがで
き、光磁気ディスクの高速回転に対応することが可能と
なる。
第1図は第1の実施例を示す図。
第2図は第2の実施例を示す図。
第3図は第3の実施例を示す図。
第4図はキュリー温度と最適記録パワーとの関係を示す
図。 第5図は従来例を示す図 である。 第1図〜第3図において 1、 6.11:透明基板 2、 7,12:上面保護膜 3、 s、t3:下面像fllFJ4、 9,1
47垂直磁化膜 5、 t5:上地面内磁化膜 10、 16:下地面内磁化膜 第1図
図。 第5図は従来例を示す図 である。 第1図〜第3図において 1、 6.11:透明基板 2、 7,12:上面保護膜 3、 s、t3:下面像fllFJ4、 9,1
47垂直磁化膜 5、 t5:上地面内磁化膜 10、 16:下地面内磁化膜 第1図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザ光線によってデータの記録および再生を行う磁気
光学記録装置に用いる、垂直磁化膜(4、9、14)を
記録膜とする光磁気ディスク媒体において、 垂直磁化膜(4、9、14)の上地および/または下地
に非磁性金属元素を添加した面内磁化膜(5、10、1
5、16)を形成した ことを特徴とする光磁気ディスク媒体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1068817A JP2953705B2 (ja) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1068817A JP2953705B2 (ja) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | 光磁気記録媒体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02247846A true JPH02247846A (ja) | 1990-10-03 |
JP2953705B2 JP2953705B2 (ja) | 1999-09-27 |
Family
ID=13384645
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1068817A Expired - Fee Related JP2953705B2 (ja) | 1989-03-20 | 1989-03-20 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2953705B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05120745A (ja) * | 1991-10-24 | 1993-05-18 | Sharp Corp | 光磁気メモリー素子 |
EP0632437A2 (en) * | 1993-07-02 | 1995-01-04 | Teijin Limited | Magneto-optical recording medium |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60231935A (ja) * | 1984-05-01 | 1985-11-18 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
JPS61188762A (ja) * | 1985-02-18 | 1986-08-22 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
JPS61188758A (ja) * | 1985-02-18 | 1986-08-22 | Canon Inc | 光磁気記録方式 |
JPS63241739A (ja) * | 1987-03-27 | 1988-10-07 | Fujitsu Ltd | 光磁気デイスク |
-
1989
- 1989-03-20 JP JP1068817A patent/JP2953705B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60231935A (ja) * | 1984-05-01 | 1985-11-18 | Ricoh Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
JPS61188762A (ja) * | 1985-02-18 | 1986-08-22 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 光磁気記録媒体 |
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EP0632437A2 (en) * | 1993-07-02 | 1995-01-04 | Teijin Limited | Magneto-optical recording medium |
EP0632437A3 (en) * | 1993-07-02 | 1995-04-26 | Teijin Ltd | Magneto-optical recording medium. |
US5665468A (en) * | 1993-07-02 | 1997-09-09 | Teijin Limited | Magneto-optical recording medium |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2953705B2 (ja) | 1999-09-27 |
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