JPS63220990A - 偏位型自動焦点機構 - Google Patents
偏位型自動焦点機構Info
- Publication number
- JPS63220990A JPS63220990A JP62054257A JP5425787A JPS63220990A JP S63220990 A JPS63220990 A JP S63220990A JP 62054257 A JP62054257 A JP 62054257A JP 5425787 A JP5425787 A JP 5425787A JP S63220990 A JPS63220990 A JP S63220990A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser beam
- automatic focusing
- preamplifiers
- differential signal
- sample
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 title claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 5
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 abstract 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は自動焦点機構、特にレーザ加工装置用自動焦点
機構に関するものである。
機構に関するものである。
従来の自動焦点機構には、焦点合せ位置が固定である電
気回路部が設けられており、光学素子の調整によって焦
点を合わせる方法がとられていた。
気回路部が設けられており、光学素子の調整によって焦
点を合わせる方法がとられていた。
上述した従来の自動焦点機構においては、７′イフオー
カスレーザ加工を行うときはその度毎に光学の調整をす
るので、相当の時間を必要とするだけでなく、鼻み４曇
品熟練を必要とするという問題点があった。
カスレーザ加工を行うときはその度毎に光学の調整をす
るので、相当の時間を必要とするだけでなく、鼻み４曇
品熟練を必要とするという問題点があった。
本発明は従来のもののこのような問題点を解決しようと
するもので、焦点位置ｆｔ１位させるのに光学系の調整
をしなくて済む装置を得ようとするものである。
するもので、焦点位置ｆｔ１位させるのに光学系の調整
をしなくて済む装置を得ようとするものである。
本発明の偏位型自動焦点機構は、光源にレーザを用いた
分割検出方式光学系と、試料面からの反射レーザ光によ
シ得られる電気的信号を基に逐次制御信号と発生する電
気回路部？含み、該電気回路部が外部から加えられる任
意のオフセット量に関連した位置で自動焦点合せを実現
する手段を有して構成される。
分割検出方式光学系と、試料面からの反射レーザ光によ
シ得られる電気的信号を基に逐次制御信号と発生する電
気回路部？含み、該電気回路部が外部から加えられる任
意のオフセット量に関連した位置で自動焦点合せを実現
する手段を有して構成される。
次に図面を参照して本発明について説明する。
第１図は本発明の一実施例の構成を示す図である。はじ
めに分割検出方式光学系について説明すると、パルス点
灯された半導体レーザ１よシのレーザ光はコリメータ２
と通過後ビームスプリッタ３から対物Ｖンズ４に照射さ
れ、被測定物である試料５に入射し、試料５の反射面と
対物レンズ４との距離に対応して２反射半導体レーザ光
は分割ミラー６によシ第１の検出器７と第２の検出器８
に入射し１反射半導体レーザ光の光量がａ、ｂとして分
割検出される。
めに分割検出方式光学系について説明すると、パルス点
灯された半導体レーザ１よシのレーザ光はコリメータ２
と通過後ビームスプリッタ３から対物Ｖンズ４に照射さ
れ、被測定物である試料５に入射し、試料５の反射面と
対物レンズ４との距離に対応して２反射半導体レーザ光
は分割ミラー６によシ第１の検出器７と第２の検出器８
に入射し１反射半導体レーザ光の光量がａ、ｂとして分
割検出される。
次に偏位自動焦点機能を持つ電気回路について説明する
。分割検出された第１の分割検出信号ａ及び第２の分割
検出信号すは、焦点位置が合っ念時には等しいが、焦点
位置が合っていない時には等しくなくなる。第１及び第
２の分割検出信号ａ及びｂは、プリアンプ９及び１０に
よりそれぞれ増幅される。偏位量すなわち焦点ずれ量は
プリアンプ９と１０の出力の差で示され、差信号発生回
路１１によシ差信号Ｃに変換される。従来はこの差信号
ＣがＯになるように焦点位置を自動的に合わせていたも
ので９本発明では次のようにする。
。分割検出された第１の分割検出信号ａ及び第２の分割
検出信号すは、焦点位置が合っ念時には等しいが、焦点
位置が合っていない時には等しくなくなる。第１及び第
２の分割検出信号ａ及びｂは、プリアンプ９及び１０に
よりそれぞれ増幅される。偏位量すなわち焦点ずれ量は
プリアンプ９と１０の出力の差で示され、差信号発生回
路１１によシ差信号Ｃに変換される。従来はこの差信号
ＣがＯになるように焦点位置を自動的に合わせていたも
ので９本発明では次のようにする。
差信号発生回路１１よりの差信号Ｃはアナログスイッチ
１２とウィンドウコンパレータ１３に加えられる。ウィ
ンドウコンパレータ１３にょシ前記差信号Ｃが外部から
加えられるオフセット量を決める信号（以下オフセット
電圧という）を越える場合にはスイッチ制御信号ｅによ
りアナログスイッチ１２をオンとして前記差信号ｃ１−
通過させ。
１２とウィンドウコンパレータ１３に加えられる。ウィ
ンドウコンパレータ１３にょシ前記差信号Ｃが外部から
加えられるオフセット量を決める信号（以下オフセット
電圧という）を越える場合にはスイッチ制御信号ｅによ
りアナログスイッチ１２をオンとして前記差信号ｃ１−
通過させ。
外部から加えられるオフセット電圧を越えない場合には
アナログスイッチ１２をオフとし、前記差信号Ｃの通過
を阻止する。そしてアナログスイッチ１２の出力の正負
信号をアップダウン電圧ｆとしてモータに送−シ、逐次
制御の自動焦点合せを実現する。
アナログスイッチ１２をオフとし、前記差信号Ｃの通過
を阻止する。そしてアナログスイッチ１２の出力の正負
信号をアップダウン電圧ｆとしてモータに送−シ、逐次
制御の自動焦点合せを実現する。
レーザ加工装置で使用されるレーザ光の自動焦点位置は
外部から加えられる任意のオフセット電圧によって制御
され、前記差信号Ｃがオフセット電圧ｅよシ大きい時は
自動焦点合せが行なわれ。
外部から加えられる任意のオフセット電圧によって制御
され、前記差信号Ｃがオフセット電圧ｅよシ大きい時は
自動焦点合せが行なわれ。
差信号Ｃが小さくなるとディフォーカスにょるレーザ光
の加工が実現される。
の加工が実現される。
一一娯、ｇは焦点レベル入力電圧を示している。
以上説明したように２本発明は逐次制御信号を発生する
電気回路部に外部から加えられる任意のオフセット量に
関連した位置で自動焦点合せを実現する回路を有するこ
とになり、外部から加えられる任意のオフセット電圧を
含んだ位置で自動焦点合せを実現でき２例えばディフォ
ーカスにょるレーザ光の加工ができる効果がある。
電気回路部に外部から加えられる任意のオフセット量に
関連した位置で自動焦点合せを実現する回路を有するこ
とになり、外部から加えられる任意のオフセット電圧を
含んだ位置で自動焦点合せを実現でき２例えばディフォ
ーカスにょるレーザ光の加工ができる効果がある。
第１図は本発明の一実施例の構成図、第２図は第１図の
ウィンドウコンパレータ１３の回路構成の一例を示す図
である。 〔記号の説明〕 １・・・半導体レーザ、２・・・コリメータ、３・・・
ビームスプリッタ、４・・・対物レンズ、５・・・試’
Ｒｔ ６””分割ミラー、７・・・第１の検出器、８・
・・第２の検出器、９．・１０・・・プリアンプ、１１
・・・差信号発生回路、１２・・・アナログスイッチ、
１３・・・ウインドウコンノぐレータ。 第２図 且 ２１．２２：比較回路
ウィンドウコンパレータ１３の回路構成の一例を示す図
である。 〔記号の説明〕 １・・・半導体レーザ、２・・・コリメータ、３・・・
ビームスプリッタ、４・・・対物レンズ、５・・・試’
Ｒｔ ６””分割ミラー、７・・・第１の検出器、８・
・・第２の検出器、９．・１０・・・プリアンプ、１１
・・・差信号発生回路、１２・・・アナログスイッチ、
１３・・・ウインドウコンノぐレータ。 第２図 且 ２１．２２：比較回路
Claims (1)
- １、光源にレーザを用いた分割検出方式光学系と、試料
面からの反射レーザ光によって得られる電気的信号を基
に逐次制御信号を発生する電気回路部を含み、該電気回
路部が外部から加えられる任意のオフセット量に関連し
た位置で自動焦点合せを実現する手段を有することを特
徴とする偏位型自動焦点機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62054257A JPS63220990A (ja) | 1987-03-11 | 1987-03-11 | 偏位型自動焦点機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62054257A JPS63220990A (ja) | 1987-03-11 | 1987-03-11 | 偏位型自動焦点機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63220990A true JPS63220990A (ja) | 1988-09-14 |
Family
ID=12965503
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62054257A Pending JPS63220990A (ja) | 1987-03-11 | 1987-03-11 | 偏位型自動焦点機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63220990A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6259057B1 (en) * | 1999-05-11 | 2001-07-10 | Great Computer Corp. | Automatically focusing structure of laser sculpturing machine |
-
1987
- 1987-03-11 JP JP62054257A patent/JPS63220990A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6259057B1 (en) * | 1999-05-11 | 2001-07-10 | Great Computer Corp. | Automatically focusing structure of laser sculpturing machine |
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