JPS6183904A - 終点検出方法 - Google Patents
終点検出方法Info
- Publication number
- JPS6183904A JPS6183904A JP20573684A JP20573684A JPS6183904A JP S6183904 A JPS6183904 A JP S6183904A JP 20573684 A JP20573684 A JP 20573684A JP 20573684 A JP20573684 A JP 20573684A JP S6183904 A JPS6183904 A JP S6183904A
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- Japan
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- light
- end point
- reflected light
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
- G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
- G01B11/0616—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material of coating
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本η案は、゛ト導体への回路パターン形成時等にオンけ
るｐｌＡ厚変比変化点検出などに適用される終点検出方
法に関する。
るｐｌＡ厚変比変化点検出などに適用される終点検出方
法に関する。
〈従来技術とその問題点〉
一般に、２１′−導体集積回路を例えばフォトエツチン
グ法を適用して形成する場合などには、回路パターンを
形成４°る工程中における現像、あるいはエツチングの
進行状況を検出することか品質管理上必要となる。
グ法を適用して形成する場合などには、回路パターンを
形成４°る工程中における現像、あるいはエツチングの
進行状況を検出することか品質管理上必要となる。
従来、係る進行状況の終点を検出するには半導体等の被
検（４の表面にレーザ光なとのコヒーレット光を照射し
、被検材から放射される１ｉｉｊ記コヒーレント光の−
１−渉反射光を受光してこれを電気信号に変換した後、
その電圧レベルの変化状態から現（象あるいはエツチン
グの終点を検出している。
検（４の表面にレーザ光なとのコヒーレット光を照射し
、被検材から放射される１ｉｉｊ記コヒーレント光の−
１−渉反射光を受光してこれを電気信号に変換した後、
その電圧レベルの変化状態から現（象あるいはエツチン
グの終点を検出している。
しかしながら、従来では被検材への照射光にコヒーレッ
トなレーザ光を用いるので、光源に揺らぎを生じるｔと
して不安定で検出感度が一定ｕ′４゛、また、光源に大
眉源が必要となり終点検出のための装置が大型化するな
どの難点かある。
トなレーザ光を用いるので、光源に揺らぎを生じるｔと
して不安定で検出感度が一定ｕ′４゛、また、光源に大
眉源が必要となり終点検出のための装置が大型化するな
どの難点かある。
〈 し１１白 〉
本発明は従来の係る問題点を解消し、インコヒーレント
光を用いて被検材からその膜厚変化に伴なって放射され
る前記インコヒーレント光の反射光の内ある特定の波長
の反射光のみ検出するよっにして、従来よりら検出感度
が安定化し、しかも、終占、検出装置の小片３峰ｍ化か
図れるようにすることを１」的と４°ろ。
光を用いて被検材からその膜厚変化に伴なって放射され
る前記インコヒーレント光の反射光の内ある特定の波長
の反射光のみ検出するよっにして、従来よりら検出感度
が安定化し、しかも、終占、検出装置の小片３峰ｍ化か
図れるようにすることを１」的と４°ろ。
（実施例〉
以ト、本発明を図面に下４゛太施に梧−）いて詳細に説
明オろ。なお、この実施例では現像の終へ検出に適用し
た場合について説明する。
明オろ。なお、この実施例では現像の終へ検出に適用し
た場合について説明する。
第１図は本発明の方法を適用ケるための終点検出装置の
概略構成図である。同図において、■は終点検出装置、
２は現象液スプレーで、現像液スプレー２は終点検出装
置１によ−−ζ現象処理９１作か制御される。４は回路
パター７を現象酊べきＳｌつＪ、ハとし゛ごの彼検香４
であ１．て、モータ６によって回転駆動され、例えば図
示のよつに現像液スプレー２によって該彼倹材４の上方
からスビノ現像による所定の現象処理か施される。上記
終点検出装置ｌは、イノコヒーレット光を放射する発光
ダイオード等の発光素子８、この発光素子８から放射さ
れたイノコヒーレット光を凸レンズ１０にまで導く投光
用先ファイバ１２、ｖＬ倹材４に照射されｒこイノコヒ
ーレット光のその反射光を凸レンズ１０を介して受ノし
４″ろ受光用光ファイバト１、ス ゛尤用先ファイハト
１て導かれた反射光を検出する所定の検出感塵特性をＷ
ｉｔえた光電変換手段１Ｇ、このノいＵ変換丁１段１６
かり出）Ｊされる検出（０号を増幅４〜ろ増幅器１８、
増幅２３１８で増幅されｒ二検串信５）に基−ノき現像
処理の終点を検出する終点検出回路２０および終Ｉ′３
．検出回路２０の出力を入力しτ現象液スプレー２を制
御する自動制御回路２２とを備えて構成されるう まノコ、１１（３記尤１ｕ変換Ｔ一段１６は、第２図ニ
小４゜ように、被検材４から放射されるイノコヒーレッ
ト）しの反射光の内ある特定の波長λ。の成う）のみを
倹山４ろらので、例えば所定の０１．長感度特性を何す
る受光素子単体、あるいは受光素子の前面に所定の波長
の光のみを通過させるフィルタを配置して構成される。
概略構成図である。同図において、■は終点検出装置、
２は現象液スプレーで、現像液スプレー２は終点検出装
置１によ−−ζ現象処理９１作か制御される。４は回路
パター７を現象酊べきＳｌつＪ、ハとし゛ごの彼検香４
であ１．て、モータ６によって回転駆動され、例えば図
示のよつに現像液スプレー２によって該彼倹材４の上方
からスビノ現像による所定の現象処理か施される。上記
終点検出装置ｌは、イノコヒーレット光を放射する発光
ダイオード等の発光素子８、この発光素子８から放射さ
れたイノコヒーレット光を凸レンズ１０にまで導く投光
用先ファイバ１２、ｖＬ倹材４に照射されｒこイノコヒ
ーレット光のその反射光を凸レンズ１０を介して受ノし
４″ろ受光用光ファイバト１、ス ゛尤用先ファイハト
１て導かれた反射光を検出する所定の検出感塵特性をＷ
ｉｔえた光電変換手段１Ｇ、このノいＵ変換丁１段１６
かり出）Ｊされる検出（０号を増幅４〜ろ増幅器１８、
増幅２３１８で増幅されｒ二検串信５）に基−ノき現像
処理の終点を検出する終点検出回路２０および終Ｉ′３
．検出回路２０の出力を入力しτ現象液スプレー２を制
御する自動制御回路２２とを備えて構成されるう まノコ、１１（３記尤１ｕ変換Ｔ一段１６は、第２図ニ
小４゜ように、被検材４から放射されるイノコヒーレッ
ト）しの反射光の内ある特定の波長λ。の成う）のみを
倹山４ろらので、例えば所定の０１．長感度特性を何す
る受光素子単体、あるいは受光素子の前面に所定の波長
の光のみを通過させるフィルタを配置して構成される。
次に、Ｌ記構成の終点検出装置１を適用して披険付・１
に面の現像に伴なう＠比変化の終戦を検出４°ろノｊ法
にすいて説明する。
に面の現像に伴なう＠比変化の終戦を検出４°ろノｊ法
にすいて説明する。
まず、発光素ｒ−８から放射されるインコヒーレット光
を投光用光ファイバ１２によって凸レンズ１０に導き、
ここから被検材４表面にイノコヒーレット光を照射する
。被検材４．！面からはインコヒーレノトノｔの反射光
が放ｑ（されるので、この反ｑ・を光を１１１び凸レン
ズ１０を介して受光用光ファイ・〈１１で２光し、受光
した反Ｉ（光を該受光用光ファ（バ１４によ−て光電変
換手段１６に導く。そして、光・Ｕ変換ト段Ｉを）て反
Ｑ・ｔ ノしのうら特定波長成分のみを検出４゛ろ、１
４゛なわり、彼検材４から故射さ（Ｉろ反ｑｔ毘は被検
Ｉ４・１の唖Ｆｉの変化にχｉ応してピークが連続的に
変化するので、特定波長の反射）ｅのみに着目してこれ
を検出すれば所定の膜厚の変化状聾を検出でき、反射光
の変化かなくな。たときが現象の終点を示すことになる
。これはいイつば一定の波長軸上で反ｑ−を光を検出し
ていることになり、従−て、強度変動に対して非常にＳ
／Ｎ比の良い検出が可能となる。
を投光用光ファイバ１２によって凸レンズ１０に導き、
ここから被検材４表面にイノコヒーレット光を照射する
。被検材４．！面からはインコヒーレノトノｔの反射光
が放ｑ（されるので、この反ｑ・を光を１１１び凸レン
ズ１０を介して受光用光ファイ・〈１１で２光し、受光
した反Ｉ（光を該受光用光ファ（バ１４によ−て光電変
換手段１６に導く。そして、光・Ｕ変換ト段Ｉを）て反
Ｑ・ｔ ノしのうら特定波長成分のみを検出４゛ろ、１
４゛なわり、彼検材４から故射さ（Ｉろ反ｑｔ毘は被検
Ｉ４・１の唖Ｆｉの変化にχｉ応してピークが連続的に
変化するので、特定波長の反射）ｅのみに着目してこれ
を検出すれば所定の膜厚の変化状聾を検出でき、反射光
の変化かなくな。たときが現象の終点を示すことになる
。これはいイつば一定の波長軸上で反ｑ−を光を検出し
ていることになり、従−て、強度変動に対して非常にＳ
／Ｎ比の良い検出が可能となる。
引き続いて、光電変換手段１６で検出した反ｑ＝を尤を
これに対応する検出信号に変換し、変換した検出信号を
第３図に示すように、所定のサノプリノグ間隔ｔごとに
出力する。そして、この検出信号を次段の増幅器１８で
増幅しｒ二後、終点検出回路２０に送出する。終点検出
回路２０ではｆめ所定のスレツユホールトレベルＳしを
設定してれさ、検出信号を第４図に示ずよつなペルスフ
リに変換する。彼検材４の現象によりその膜厚が変化し
て特定波長の反射光の強度か弱まりＩ：ルスの繰り返し
出力がｔｉｌｔ ＜なったときを彼倹オの現像変化の終
点と干る。そして、終へ検出回路２０で終点を検出４ろ
と、柊！１ζ険出１＋ｊ’Ｊを自動制御回路２２にｌｙ
えるうこれによって、現像液スプレー２の現象処理動作
が停止１．される。
これに対応する検出信号に変換し、変換した検出信号を
第３図に示すように、所定のサノプリノグ間隔ｔごとに
出力する。そして、この検出信号を次段の増幅器１８で
増幅しｒ二後、終点検出回路２０に送出する。終点検出
回路２０ではｆめ所定のスレツユホールトレベルＳしを
設定してれさ、検出信号を第４図に示ずよつなペルスフ
リに変換する。彼検材４の現象によりその膜厚が変化し
て特定波長の反射光の強度か弱まりＩ：ルスの繰り返し
出力がｔｉｌｔ ＜なったときを彼倹オの現像変化の終
点と干る。そして、終へ検出回路２０で終点を検出４ろ
と、柊！１ζ険出１＋ｊ’Ｊを自動制御回路２２にｌｙ
えるうこれによって、現像液スプレー２の現象処理動作
が停止１．される。
？ｊわ、この実１赳例ては現象処理についてらうぽち説
明しノーか、これに限定されるものではな？、エッチツ
タ゛ξ１と；皮倹にの模ｒ／変化の検出に広く本発明を
適用４ることかできる。
明しノーか、これに限定されるものではな？、エッチツ
タ゛ξ１と；皮倹にの模ｒ／変化の検出に広く本発明を
適用４ることかできる。
く効用〉
以］−のように、本発明によれば被検材の表面ｔ＼の照
射光としてイノコヒーレット光を用い、披検祠からその
模１ｖ変化に（１−なって放射される前記イノコヒーレ
ノト尤の反射フしの内ある特定の波長の反射光Ｕ）Ａを
所定の検出感１１特性を（ｄｌｌえた尤・ｋ変換手段て
検出し、この光電変換手段から出力される検出（３、弓
のレベル変化から前記肢検ヰ（の１巨１１Ｊ変化の終点
を検出４−ろので、従来よりも検出感度が安定化し、し
かし、終点検出装置の小形軽量化か図れるようになると
いう優れた効果を奏する。
射光としてイノコヒーレット光を用い、披検祠からその
模１ｖ変化に（１−なって放射される前記イノコヒーレ
ノト尤の反射フしの内ある特定の波長の反射光Ｕ）Ａを
所定の検出感１１特性を（ｄｌｌえた尤・ｋ変換手段て
検出し、この光電変換手段から出力される検出（３、弓
のレベル変化から前記肢検ヰ（の１巨１１Ｊ変化の終点
を検出４−ろので、従来よりも検出感度が安定化し、し
かし、終点検出装置の小形軽量化か図れるようになると
いう優れた効果を奏する。
図面は本発明の実施例を示し、第１図は本発明の方法を
適用するための終点検出装置の概略構成図１、第２図は
光電変換手段の波長感度特性図、第３図および第４図は
本発明の詳細な説明図である。 １ 被検材、４ ・被検材、８−光源、１６ 光電変換
手段。
適用するための終点検出装置の概略構成図１、第２図は
光電変換手段の波長感度特性図、第３図および第４図は
本発明の詳細な説明図である。 １ 被検材、４ ・被検材、８−光源、１６ 光電変換
手段。
Claims (1)
- （１）被検材の表面への照射光としてインコヒーレント
光を用い、被検材からその膜厚変化に伴なって放射され
る前記インコヒーレント光の反射光の内ある特定の波長
の反射光のみを所定の検出感度特性を備えた光電変換手
段で検出し、この光電変換手段から出力される検出信号
のレベル変化から前記被検材の膜厚変化の終点を検出す
ることを特徴とする終点検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20573684A JPS6183904A (ja) | 1984-10-01 | 1984-10-01 | 終点検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20573684A JPS6183904A (ja) | 1984-10-01 | 1984-10-01 | 終点検出方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6183904A true JPS6183904A (ja) | 1986-04-28 |
Family
ID=16511810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20573684A Pending JPS6183904A (ja) | 1984-10-01 | 1984-10-01 | 終点検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6183904A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01134202A (ja) * | 1987-11-20 | 1989-05-26 | Fujitsu Ltd | レーザ終点検出装置 |
| JPH01217506A (ja) * | 1988-02-25 | 1989-08-31 | Fujitsu Ltd | 部品出材処理システム |
| WO1998058400A3 (en) * | 1997-06-17 | 1999-04-01 | Luxtron Corp | Liquid etch endpoint detection and process metrology |
-
1984
- 1984-10-01 JP JP20573684A patent/JPS6183904A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01134202A (ja) * | 1987-11-20 | 1989-05-26 | Fujitsu Ltd | レーザ終点検出装置 |
| JPH01217506A (ja) * | 1988-02-25 | 1989-08-31 | Fujitsu Ltd | 部品出材処理システム |
| WO1998058400A3 (en) * | 1997-06-17 | 1999-04-01 | Luxtron Corp | Liquid etch endpoint detection and process metrology |
| US6406641B1 (en) | 1997-06-17 | 2002-06-18 | Luxtron Corporation | Liquid etch endpoint detection and process metrology |
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