JPS5940106A - トリガ信号発生装置 - Google Patents
トリガ信号発生装置Info
- Publication number
- JPS5940106A JPS5940106A JP15040182A JP15040182A JPS5940106A JP S5940106 A JPS5940106 A JP S5940106A JP 15040182 A JP15040182 A JP 15040182A JP 15040182 A JP15040182 A JP 15040182A JP S5940106 A JPS5940106 A JP S5940106A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- sample
- signal
- trigger signal
- photodetector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（１）０発明の技術分野
本発明は被測定試料の被測定部の測定に用いるトリガ信
号の発生手段を改良したトリガ信号発生装置に関する。
号の発生手段を改良したトリガ信号発生装置に関する。
（２）、技術の背景
被測定試料、例えばプリント板のホトマスク等のパター
ン幅を測定するのに、その試料を光学的に走査してその
パターン幅等を測定する手段が用いられている。この手
段は試料のパターン幅等へ走査ビームが到達する前方の
基準位置にトリガ信号発生装置を設けて上記パターン幅
等の測定のだめの時間的基準となるトリガ信号を発生さ
せている。
ン幅を測定するのに、その試料を光学的に走査してその
パターン幅等を測定する手段が用いられている。この手
段は試料のパターン幅等へ走査ビームが到達する前方の
基準位置にトリガ信号発生装置を設けて上記パターン幅
等の測定のだめの時間的基準となるトリガ信号を発生さ
せている。
この従来のトリガ信号発生装置はその構成上、発生され
るトリガ信号の時間的基準性が十分でなく、それにより
パターン幅等の測定精度の向上が阻まれており、これを
解決しうる技術的手段の開発が要望されている。
るトリガ信号の時間的基準性が十分でなく、それにより
パターン幅等の測定精度の向上が阻まれており、これを
解決しうる技術的手段の開発が要望されている。
（３）、従来技術と問題点
従来のトリガ信号発生装置は第１図に示すように、回転
ミラー１で反射されたレーザビーム２はスキャンレンズ
３によりプリント板のホトマスク等４へ照射される前に
トリガ用光検知器５へ照射されるように構成されている
が、この光検知器５がレンズ３からの走査ビームの焦点
より手前に配設されている関係上、光検知器５へ接続さ
れた処理回路６かも得られるトリガ信号は第２図の（２
−１）に示す如きなだらかな立上り特性となってしまう
ことから光量、温度等の外乱により図示矢印の如きジッ
タ等を伴い易い（第２図の（２−２）参照）。
ミラー１で反射されたレーザビーム２はスキャンレンズ
３によりプリント板のホトマスク等４へ照射される前に
トリガ用光検知器５へ照射されるように構成されている
が、この光検知器５がレンズ３からの走査ビームの焦点
より手前に配設されている関係上、光検知器５へ接続さ
れた処理回路６かも得られるトリガ信号は第２図の（２
−１）に示す如きなだらかな立上り特性となってしまう
ことから光量、温度等の外乱により図示矢印の如きジッ
タ等を伴い易い（第２図の（２−２）参照）。
従って、このようなトリガ信号（第３図の（３−４）参
照。なお、（３−２）は光検知器５の出力信号でるる。
照。なお、（３−２）は光検知器５の出力信号でるる。
）と、し／ズ３を通ったレーザビーム２によりホトマス
ク等４を走査し、これを透過したビームを受けるデータ
信号用光検知器７からの信号（第３図の（３−１）参照
）を処理回路８で１σ化して得られるデータ信号（第３
図の（３−３）参照）とから、ホトマスク等４のノ（タ
ーン幅（ｔｚ−ｔｌの関数として求められる）を測定し
ようとするとき、測定基準となるトリガ信号が精度の低
下は免れ得なかった。
ク等４を走査し、これを透過したビームを受けるデータ
信号用光検知器７からの信号（第３図の（３−１）参照
）を処理回路８で１σ化して得られるデータ信号（第３
図の（３−３）参照）とから、ホトマスク等４のノ（タ
ーン幅（ｔｚ−ｔｌの関数として求められる）を測定し
ようとするとき、測定基準となるトリガ信号が精度の低
下は免れ得なかった。
（４）０発明の目的
本発明は上述したような従来装置の有する欠点に鑑みて
創案されたもので、その目的は立上り特性が改善され、
ジッタ等が減少されたトリガ信号全発生して測定精度の
向上に役立つトリガ信号発生装置を提供すること［６る
。
創案されたもので、その目的は立上り特性が改善され、
ジッタ等が減少されたトリガ信号全発生して測定精度の
向上に役立つトリガ信号発生装置を提供すること［６る
。
（５）０発明の構成
そして、この目的は被測定試料に焦点を結ばせ、該被測
定試料と相対的に移動される走査ビームによって、上記
被測定試料の被測定部が所定の方向に走査されて該被測
定部の測定を行う装置において、上記所定の方向であっ
て上記被測定部の前方基準位置に、上記焦点を゛被測定
試料上方位置に結ばせる光学手段を設け、且つ、該被測
定試料上方の焦点位置にピンホールを設け、光検知器を
ピンホールの背後に設けて上記測定のためのトリガ信号
を発生するように構成することによって達成される。
定試料と相対的に移動される走査ビームによって、上記
被測定試料の被測定部が所定の方向に走査されて該被測
定部の測定を行う装置において、上記所定の方向であっ
て上記被測定部の前方基準位置に、上記焦点を゛被測定
試料上方位置に結ばせる光学手段を設け、且つ、該被測
定試料上方の焦点位置にピンホールを設け、光検知器を
ピンホールの背後に設けて上記測定のためのトリガ信号
を発生するように構成することによって達成される。
（６）０発明の実施例
以下、添付図面を参照しながら、本発明の詳細な説明す
る。
る。
第４図は本発明実施例の要部構成を示す。
この図は第１図のスキャンレンズ３と被測定試料４（プ
リント板のホトマスク等）との間であって、レンズ３か
らの走査ビーム（レーザビーム）１０の走査基準位置に
ミラー１１が設けられ、第４図の（４−１）に示すよう
に、ミラー１１で反射された走査ビームの焦点にピンホ
ール１２が設けられてｈる。そして、ピンホール１２の
背後にトリガ用光検知器１３が設けられて本発明の要部
が構成されている。その他の構成は第１図と同じでらる
。
リント板のホトマスク等）との間であって、レンズ３か
らの走査ビーム（レーザビーム）１０の走査基準位置に
ミラー１１が設けられ、第４図の（４−１）に示すよう
に、ミラー１１で反射された走査ビームの焦点にピンホ
ール１２が設けられてｈる。そして、ピンホール１２の
背後にトリガ用光検知器１３が設けられて本発明の要部
が構成されている。その他の構成は第１図と同じでらる
。
このような構成を採ると、走査ビームが走査基準位置へ
向けられたとき、そのビームはミラー１１で反射され、
ピンホール１２を経てトリガ用光検知器１３にて検知さ
れるから。
向けられたとき、そのビームはミラー１１で反射され、
ピンホール１２を経てトリガ用光検知器１３にて検知さ
れるから。
その光検知器１３からの出力信号は第５図の（５−１）
に示すように立上り（立下シ）の急峻な信号を得ること
が出来る。このようにして、信号立上り（立下シ）に急
峻性が得られると、光量、温度等の外乱が生じて信号に
変動が現われても、処理回路８からの２値化信号の変動
が少なくて済む（第５図の（５−２）参照）。従って、
被測定試料４の被測定部、例えば試料４がプリント板の
ホト１スク等でるる場合にはそのパターン幅の測定精度
を向上させることが出来る。
に示すように立上り（立下シ）の急峻な信号を得ること
が出来る。このようにして、信号立上り（立下シ）に急
峻性が得られると、光量、温度等の外乱が生じて信号に
変動が現われても、処理回路８からの２値化信号の変動
が少なくて済む（第５図の（５−２）参照）。従って、
被測定試料４の被測定部、例えば試料４がプリント板の
ホト１スク等でるる場合にはそのパターン幅の測定精度
を向上させることが出来る。
（７）０発明の効果
以上述べたように、本発明によれば、走査ビームの焦点
を被測定試料上方に結ばせ、そこにピンホールを設は光
検知器で走査ビーム、 を検知するように構成してい
る力）ら、光量、温度等の外乱がめってもトリガ信号に
与える影響が少なくなる。その結果として、測定精度を
向上させ得る。
を被測定試料上方に結ばせ、そこにピンホールを設は光
検知器で走査ビーム、 を検知するように構成してい
る力）ら、光量、温度等の外乱がめってもトリガ信号に
与える影響が少なくなる。その結果として、測定精度を
向上させ得る。
第１図は従来装置例を示す図、第２図及び第３図は第１
図装置の動作を説明するだめの波形図、第４図は本発明
装置の要部構成を示す図でろって、その（４−１）は側
面図、又（４−２）は正面図、第５図は本発明装置の動
作を説明するための波形図である。 図中、１は回転ミラー、２はレーザビーム、３はスキャ
ンレンズ、４は被測定試料、１１はミラー、１２はピン
ホール、１３はトリガ用光検知器、６は処理回路、７は
データ信号用検知器、８は処理回路である。 特許 出 願人 富士通株式会社 第１図 第２図 ： ； １ （２−２） −デー１− 第３図 （３−１）
ｙ−ｉイｘｂ（４−１）
（４−２）３
５ 第５図
図装置の動作を説明するだめの波形図、第４図は本発明
装置の要部構成を示す図でろって、その（４−１）は側
面図、又（４−２）は正面図、第５図は本発明装置の動
作を説明するための波形図である。 図中、１は回転ミラー、２はレーザビーム、３はスキャ
ンレンズ、４は被測定試料、１１はミラー、１２はピン
ホール、１３はトリガ用光検知器、６は処理回路、７は
データ信号用検知器、８は処理回路である。 特許 出 願人 富士通株式会社 第１図 第２図 ： ； １ （２−２） −デー１− 第３図 （３−１）
ｙ−ｉイｘｂ（４−１）
（４−２）３
５ 第５図
Claims (1)
- 被測定試料に焦点を結ばせ、該被測定試料と相対的に移
動される走査ビームによって、上記被測定試料の被測定
部が所定の方向に走査されて該被測定部の測定を行う装
置において、上記所定の方向でろって上記被測定部の前
方基準位置に、上記焦点を上記被測定試料上方位置に結
ばせる光学手段を設け、且つ、該被測定試料上方の焦点
位置にピンホールを設け、光検知器をピンホールの背後
に設けて上記測定のためのトリガ信号を発生するように
構成したことを特徴とするトリガ信号発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15040182A JPS5940106A (ja) | 1982-08-30 | 1982-08-30 | トリガ信号発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15040182A JPS5940106A (ja) | 1982-08-30 | 1982-08-30 | トリガ信号発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5940106A true JPS5940106A (ja) | 1984-03-05 |
Family
ID=15496163
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15040182A Pending JPS5940106A (ja) | 1982-08-30 | 1982-08-30 | トリガ信号発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5940106A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62221535A (ja) * | 1986-03-24 | 1987-09-29 | 新神戸電機株式会社 | 片面金属箔張コンポジツト積層板 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5324233A (en) * | 1976-08-19 | 1978-03-06 | Fujitsu Ltd | Pattern examination system |
-
1982
- 1982-08-30 JP JP15040182A patent/JPS5940106A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5324233A (en) * | 1976-08-19 | 1978-03-06 | Fujitsu Ltd | Pattern examination system |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62221535A (ja) * | 1986-03-24 | 1987-09-29 | 新神戸電機株式会社 | 片面金属箔張コンポジツト積層板 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4629324A (en) | Arrangement for measuring depth based on lens focusing | |
| US4673817A (en) | Measuring system for contactless measuring the distance between a predetermined point of an object surface and a reference level | |
| US4983827A (en) | Linescan apparatus for detecting salient pattern of a product | |
| UST102104I4 (en) | Scanning optical system adapted for linewidth measurement in semiconductor devices | |
| US4629885A (en) | Scanning apparatus | |
| JPH02501958A (ja) | 光学測定システムで用いるための焦点検出システム | |
| JPS5940106A (ja) | トリガ信号発生装置 | |
| EP0007902B1 (en) | Automatic focusing system | |
| JPS5459166A (en) | Visual sensibility measuring apparatus of interferometer | |
| JPS5767815A (en) | Measuring method for position of reflector using light | |
| JPS6113207B2 (ja) | ||
| JPS6157921A (ja) | 光ビ−ム走査装置 | |
| JPH0434503Y2 (ja) | ||
| JPS56147164A (en) | Copying apparatus capable of reading and writing image | |
| JPS6183904A (ja) | 終点検出方法 | |
| JPH063578A (ja) | 焦点検出装置 | |
| JPS5826325Y2 (ja) | 位置検出装置 | |
| KR840001118B1 (ko) | 전자선 장치에 있어서 촛점검출 장치 | |
| JPH0312532Y2 (ja) | ||
| JPS6148811A (ja) | 光ビ−ム走査装置のトリガ信号発生装置 | |
| JPH05167792A (ja) | 光走査位置検出装置 | |
| JPH02112706A (ja) | 位置検出回路 | |
| JPH04328439A (ja) | 光走査測定装置並びに測定方法 | |
| JPS55153915A (en) | Laser scanner | |
| JPS58114175A (ja) | パタ−ン読取り装置 |