JPS58114175A - パタ−ン読取り装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （１）　　発明の技術分野 本発明は、物体の形状を読み取る丸めのパターン読取シ
装置に関する◇ （２）従来技術と問題点 従来物体の凹凸を検知する方法としては光ビームの反射
方向を調べる三角測量法や物体の表面に針を突き当て針
の動きにより表面の凹凸を知る探針法がある。しかし両
者とも高速に物体の凹凸を検知することはできない。

（３）発明の目的 本発明の目的は物体の凹凸を高速に検知する装置を提供
することにある。

（４）　　発明の構成 上記目的を達成するための本発明は、レーザー・光を用
いて物体の形状を読み取るパターン読取り装置に於いて
、物体より反射した光を再結像させる円筒状のレンズと
、そのレンズの光軸方向に複数の検知器を設け、検知器
の出力を比較判定することにより物体の形状を読み取る
ことを特徴とする。

（５）発明の実施例 第１図は本発明の一実施例を示す図でレーザ・＝１より
出力された元はレンズ２で広げられ、回転ミラー３によ
シ偏向された後、レンズ番により絞られ％ＸＹステージ
５に乗せられた物体６をスポット走査する。この時物体
６で反射され九九の一部はレンズ番を通り、回転ミラー
３により振ｂｙされ、もと来た・光路を戻って行く。そ
してノ１−７ミラーフによシ、その一部は円筒レンズ８
によりスリット９上に結像される。スリット９は第２図
（ａ）、（ｂ）に示す様に円筒レンズ８０元軸に対しθ
傾けである。尚、第２図（ａ）は平面図、第２図（ｂ）
は第２図（ａ）の矢印方向から見九図である。第１図の
ａ。

ｂ両点から反射された光に注目すると、レンズ番より遠
いａ点からの反射は、ｂ点からの反射光が結像する面ｂ
′に比べ、円筒レンズ８に近いａ′面で結像し、この結
果、スリット９上の点Ｐ１を強い元が通過し、その点に
置かれた光検知器ユぴから強い信号が出力される。一方
す点からの反射光はｂ′面で結像し、スリット９上の１
２点を強い光が通過し、その点にある光検知器１０”か
ら強い信号が出力される。

この様にして、スポット走査したある点の高さが瞬時に
光検知器の位置に変換されるので、高速に物体の凹凸情
報を読み取ることができる。

第３図に本発明の他の実施例を示す。第１図のスリット
９０代りに第４図に詳細構造を示す光検知−３１を複数
個平行に並べる。この検知器３１は両側を導体３２には
さまれ九ｃｄｓ等の非線形な感［特性を有する光導電体
３３から成る、。

この検知器に集中された光３４が当九るとより大きな導
電性を示すことから並列に並べられた検知器のうち厳も
抵抗の低す検知器を探すことにより物体の凹凸を読み取
ることができる。この方式によればレンズ８と検知器３
１面との軸合せが容易となる。

（６）発明の詳細 な説明したように本発明によれば、物体の凹凸を高速に
検知することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例を示す図、第２図（ａ）、
（ｂ）は第１図の詳細図、第３図は本発明の他の実施例
を示す図、第４図は第３図の詳細図である。 ８：円筒状レンズ、９ニスリツト、１０：光検知器、３
３：非線形元導電体 審２　図 １１ １ １）９ 寥３１ １ １ １

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. レーザー元を用＾て物体の形状を読み取るパターン読取
   り装置に於いて、物体より反射した光を再結像させる円
   筒状のレンズと、そのレンズの光軸方向に複数の検知器
   を設け、検知器の出力を比較判定することＫよシ物体の
   形状を読み取ることを特徴とするパターン読取シ装置。