JPS63207559A

JPS63207559A - ウエ−ハ自動研削装置

Info

Publication number: JPS63207559A
Application number: JP62036412A
Authority: JP
Inventors: Toshiyuki Mori; 利之森
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 1987-02-19
Filing date: 1987-02-19
Publication date: 1988-08-26

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この発明は、カセット内に装填されたウェーハを順次取
り出して、所定厚さに研削し、研削したウェーハを別の
カセット内に装填するまでの工程を自動化した、いわゆ
るカセットツウ−カセット方式のウェーハ自動研削装置
に関する。

〔従来技術〕

いわゆるカセットツウ−カセット方式のウェーハ自動研
削装置は、所定の一方向に回転するロータリーテーブル
を具備し、多数、たとえば、１２個程度のチャックテー
ブルが、ターンテーブルに組込まれている。また、ロー
ディング（搬入）、研削、アンローディング（搬出）、
切粉除去の各ステーションが、ターンテーブルに設定さ
れている。そして、各チャックテーブルは、ターンテー
ブルの回転に伴って、各ステーションに順次送られて、
ウェーハのローディング、研削、アンローディング、切
粉除去の各工程がそれぞれ遂行される。ここで、通常、
研削工程は、荒仕上げ、中仕上げ、精密仕上げの３工程
に分けられて実施される。そのため、３木の研削砥石用
スピンドルが、チャックテーブルの回転軌跡上で、ター
ンテーブルの上方に昇降可能に並設され、砥粒あらさの
異なる荒仕上げ、中仕上げ、精密仕上げ用研削砥石がス
ピンドルに装着される。

ウェーハ自動研削装置では、ターンテーブルが一回転す
る間に、ウェーハは、所定の厚さに研削される。そして
、研削されたウェーハは、ターンテーブルに隣接して配
設されたスピンナーテーブルに移されて、洗浄、乾燥さ
れ、その後、ウェーハカセットに装填すれることによっ
て、ウェーハの研削作業が完了する。

ウェーハ自動研削装置におけるウェーハ研削作業を詳述
すると、ウェーハカセットから取り出されたウェーハは
、搬入用トランスファーベルトによって、ターンテーブ
ルに隣接する位置まで搬送される。そして、ウェーハは
、ロープインクステーションに位置するチャックテーブ
ルに、トランスファーベルトからトランスファーアーム
によって、移され、ローディングされる。それから、ウ
ェーハを積載したチャックテーブルは、ターンテーブル
の回転に伴って、研削ステーションに送られる。研削ス
テーションでは、チャックテーブル自体を回転するとと
もに、各スピンドルを回転させて、荒仕上げ、中仕上げ
、精密仕上げ用研削砥石によって、チャックテーブル上
のウェー〉＼を順次研削する。研削されたウェーハは、
トランスファーアームによって、チャックテーブルから
アンローディングされて、スピンナテーブルに移され、
スピンナテーブルで洗浄、乾燥される。それから、トラ
ンスファーアームによって、スピンナテーブルからアン
ローディングされて、搬出用トランスファーベルトにの
せられ、ウェーハカセットに順次装填される。

上記のような公知のウェーハ自動研削装置によれば、荒
仕上げ、中仕上げ、精密仕上げの各研削砥石によって、
適切な研削代の研削が順次遂行される。そして、ウェー
ハの研削工程およびそれに伴う工程が全て自動化され、
所定厚さのウーーハが　入手を煩わすことなく、効率良
く得られる。

〔従来技術の問題点〕

上記のように、公知のウェーハ自動研削装置では、通常
、３木のスピンドルが、ターンテーブルのＬ方に昇降可
能に配設され、荒仕上げ、中仕上げ、精密仕上げの研削
がそれぞれ実施可能に構成されている。しかしながら、
ユーザーの要求する研削加工は多種多様であり、たとえ
ば、荒仕上げ、中仕上げ、精密仕上げの３回に分けて研
削工程を実施せず、１回の研削で足りることもある。こ
の場合、他の２つの研削工程は不要であり、スピンドル
は１本あれば足りる。しかし、ウェーハ自動研削装置は
、３木のスピンドルが標準装備されており、１本のスピ
ンドルの装備されたものは市販されていない。そのため
、１木のスピンドルしか使用しないにも拘らず、尚該ユ
ーザーは、３本のスピンドルの装備された標準タイプの
ウェーハ自動研削装置を購入せざるを得ない。この標準
タイプのウェーハ自動研削装置は、金銭的に無駄である
とともに、据付は面積も大きく、当該ユーザーにとって
、適切でない。

また、たとえば、研削代が大きく、荒仕上げを２回に分
け、計４回の研削を行なう研削加工がときとして必要と
される。このような場合、ターンテーブルを２回転しな
ければ、所定の研削加工が行なえないとともに、研削砥
石の交換等人手を要する作業が必要となり、自動化のメ
リットが半減する。

このように、公知のウェーハ自動研削装置は、多様化す
るユーザーの要求を十分に満足できず、汎用性に欠ける
傾向にある。

〔発明の目的〕

この発明は、ユーザーの多様化する要求を十分に満たす
汎用性に富むウェーハ自動研削装置の提供を目的として
いる。

〔発明の概略〕

この目的を達成するため、この発明によれば、ウェーハ
自動研削装置での各工程を実施する専用機をユニット化
して独立させ、それぞれのユニットを組合せて、ウェー
ハ自動研削装置を構成可能としている。ここで、研削ユ
ニットは、スピンドルを１木しか有していない。そして
、ユーザーは、要求する研削のタイプに応じて、必要な
台数の研削ユニットを組込むことにより、最適のウェー
ハ自動研削装置を構成できる。つまり、ウェーハの研削
を、荒仕上げ、中仕上げ、精密仕上げに分けて行なう場
合には、王台の研削ユニットを組込んでウェーハ自動研
削装置が構成される。しかし、１回の研削で足りる場合
には、一台の研削ユニットを組込めば足り、また、荒仕
上げを２回にわけて行なう場合には、四台の研削ユニッ
トを組合せて、ウェーハ自動研削装置が構成される。

〔実施例〕

以下、図面を参照しながらこの発明の実施例について詳
細に説明する。

この発明に係るウェーハ自動研削装置１０は、ウェーハ
の研削における各工程を実施する専用機をユニット化し
て独立させ、それぞれのユニットを適当に組合せて構成
されている。

実施例では、ウェーハ自動研削装Ｍ１０は、右から順次
配設された、ウェーハロードユニット１２、研削ユニッ
ト１４．１５、洗浄ユニット１６、ウェーハアンロード
ユニット１８を具備するとともに、手前（図の下方）に
、トランスファーユニット２０が配設されている。この
ような構成のウェーハ自動研削装置１０においては、ウ
ェーハは右端からローディング（搬入）され、左方に送
られるにつれて、研削、洗浄、乾燥され、左端からアン
ローディング（搬出）される。また、研削水、洗浄液等
のリザーバやポンプ等の収納された研削水供給ユニット
１８が、ウェーハロードユニッ）１２の背゛後に独立し
て配設され、負圧を利用した吸着盤等に負圧を供給する
バキュームユニット２１が、ウェーハアンロードユニッ
ト１８の背後に独立して配設されている。そして、これ
らの切削水供給ユニット１９、バキュームユニット２１
は、他のユニットと適宜連結されている。なお、これら
のユニット１８．２１は、必ずしも、ユニット化して、
独立に設ける必要はすく、ウェーハロートユニッ）１２
ナト個々のユニ・シトに、必要に応じて、それぞれ内蔵
させてもよい。しかしながら、これらのユニ・シト１９
．２１をユニ・シト化して独立させれば、ユニツ）１２
．１４．１６、１８が、構成的に簡素化され、小型化で
きる。

ウェーハロードユニット１２は、ウェーハローディング
の中断を避けるように、２個のウェーハカセット２２．
２３を連続して処理可能に構成されている。つます、ウ
ェーハロードユニット１２は、エレベータテーブルを右
端に備え、ウェーハカセット２２．２３が、エレベータ
テーブル上に配設される。

ここで、多数の、通常、２５枚の、ウェーハ２６が、回
路パターン面を上面にした状態で、垂直方向に所定ピッ
チＰ＃間して、ウェーハカセット２２．２３に装填され
ている。そして、エレベータテーブルは、ピッチＰずつ
下降可能に構成されている。エレベータテーブルから左
方に、トランスファーベルト２８．２９カ延出し、トラ
ンスファーアーム３２、反転アーム３３が、トランスフ
ァーペル）・２８．２９の左端に設けられている。ここ
で、トランスファーアーム３２、反転アーム３３は、負
圧を利用してウェーハ２６を吸着する負圧式の吸着盤３
４．３５を一端に備え、他端は、ガイドレール３６．３
７にスライド可能に支持されている。なお、トランスフ
ァーアーム３２はトランスファーベルト２日の上方に位
置シ、その吸着盤３４の吸着面は下方に面している。他
方、反転アーム３３はトランスファーベルトより下方に
昇降可能に位置し、その吸着盤の吸着面は上方に面して
いる。ガイドレール３６は、トランスファーユニット２
０の一部を形成するトランスファー手段３８に設けられ
ている。そして、各種スイッチよりなるキーボード４０
が、トランスファー手段３８の右端部に設けられている
。ウェーハロードユニット１２のための駆動源、制御系
等およびそのコントロールボックスは、トランスファー
ベルト２８．２８の下方で、ウェーハロードユニットに
内蔵されている。

」上記構成のウェーハローディングユニッ）１２におい
て、まず手前に位置するウェーハカセット２２内のウェ
ーハ２６が、順次取り出される。トランスファーベルト
２８は、２木のエンドレスワイヤーを備えて構成されて
いる。そして、エレベータテーブルが、ピッチＰ　（ウ
ェーハカセット内でのウェーハの装填間隔に等しい）で
下降することによって、ウェーハカセット２２内の最下
方のウェーハ２６が、トランスファーベルト２８に順次
積載され、左方に搬送される。左端までウェーハ２６を
搬送すると、トランスファーベルト２８は停止する。こ
こで、ウェーハカセット２２内におけると同様に、ウェ
ーハ２６の回路パターン面は、上面に位置している。し
かし、研削されるのは回路パターン面の裏面であり、ウ
ェーハ２８の上下面を反転させる必要がある。そして、
ウェーハ２６の反転は、反転アーム３３によって遂行さ
れる。つまり、反転アー１１３３はトランスファーベル
ト２８の下方に予め待機しており、ウェーハ２８が搬送
されると、反転アーム３３が上昇し、吸着盤３５によっ
て、ウェーハを吸着する。その後、反転アーム３３は、
ウェーハ２６を吸着したまま上昇し、トランスファーベ
ルト２８の上方で１８０度回動し、ウェーハを反転させ
、回路パターン面を下面とする。それから、反転アーム
３３は下降し、ウェーハ２６をトランスファーベルト２
８上に移す。干ると、トランスファーアーム３２が、下
降し、吸着盤３４によって、ウェー／＼２６を吸着する
。

そして、トランスファーアーム３２は、上昇した後、ガ
イドレール３６にガイドされて、次の研削ユニットにウ
ェーハ２６を順次搬送する。トランスファーアーム３２
がウェーハ２６を搬送する間に、反転アーム３３は、下
降され、トランスファーベルトの下方で反転し、吸着盤
３５を上方に面した状態で待機する。ウェーハカセット
２２が空になると、後方のウェーハカセット２３から、
同様にして、ウェー／＼２６が、トランスファーベルト
２８によって取り出され、左方に搬送される。左端まで
ウエーノ＼２６を搬送すると、トランスファーベルト２
Ｂは停止し、下方に待機する反転アーム３３によって、
ウエーノ＼は吸着される。ウェー／＼２６を吸着した後
、反転アーム３３は上昇し、反転して、ウェー／＼を反
転させる。それから、反転アーム３３は、ガイドレール
３７にガイドされて手前に移動し、ウェーハ２６をトラ
ンスファーベルト２８の左端に移す。その後、ウェーハ
２６は、トランスファーアーム３２に吸着されて、次の
研削ユニット１４に搬送される。なお、ウェーハカセッ
ト２３内のウェーハ２６を順次取り出し、搬送する間に
、空のウェー／＼カセ、、）２２が交換される。

このようなウェー／＼カセット２２．２３からのウェー
ハ２６の取り出し、搬送およびウェー／＼カセット２２
．２３の交換等は、ウェー／スローディングユニ・シト
１２のコントロールポ・ンクスに予め読込まれたプログ
ラムに従って、自動的に行なわれる。

実施例では、研削工程を２回に分けて行なうように、２
台の研削ユニット１４．１５が、ウェーハロードユニッ
ト１２の左に配設されている。つまり、実施例では、ウ
ェーｌ＼自動研削装置１０は、１７）わゆる２軸タイプ
に構成されている。以下に研削ユニット１４の構成を説
明するが、研削ユニｙ）１４．１５が構造的に同一のも
のであることはいうまでもなしλ　。

研削ユニッ）１４は、ターンテーブル４４を備え、複数
の、たとえば、２つのチャ１．クチ−プル４Ｂ、４７が
、ターンテーブルに装着されている。研削ユニット１４
のための駆動源、制御系等の収納されたコントロールボ
ックス４８が、ターンテーブル４４の後方に配設され、
スピンドル５０が、昇降可能に、支柱５２に取イづけら
れている。そして、研削砥石５３が、このスピンドル５
０に固着されている。一対の切粉除去手段、たとえば、
ブラシ５４．５５が、ターンテーブル４４の上方に、昇
降可能に配設されている。これらのブラシ５４．５５は
、ウェーハ２６、チャックテーブルに当接するまで下降
され、それがら旋回して、それらの上から切粉とともに
、研削水を除去する。また、トランスファ−ユニット２
０ノ一部を形成するトランスファー手段５６が、研削ユ
ニット１４の手前に配設され、トランスファーアーム５
８がトランスファー手段５Ｂのガイドレール６０にガイ
ドされてスライド可能に設けられている。ここで、ガイ
ドレール６０は、右方に位置するトランスフォ一手段３
８のガイドレール３６に連結可能に形成されている。な
お、吸着盤８２が、トランスファーアーム５８の先端に
取付けられていることはいうまでもない。また、研削ユ
ニット１４は、ウェーハの厚さ検出手段６４を更に備え
ている。この厚さ検出手段６４は、ウェーハ面およびそ
のウェーハを積載するチャックテーブル面のＺ軸（切込
み深さ）方向の位置をそれぞれ検出する２木のダイヤモ
ンドプローブ６６を持ち、それらの検出値を演算してウ
ェーハの厚さが検出される。

ウェーハロードユニット１２のトランスフォーアーム３
２は、ガイドレール３Ｂにガイドされて左方にスライド
し、上記構成の研削ユニ−ン）１４のガイドレール６０
に至る。そして、ウェーハ２６はローディングステーシ
ョンにあるチャックテーブル４６上に移される。ウェー
ハ２６を積載したチャックテーブル４６は、ターンテー
ブル４４が、たとえば、反時計方向に回転することによ
り、研削ステーション方向に移動するとともに、チャツ
クテーブル４６自体も回転される。そして、研削水を加
えながら、研削砥石５３を高速回転させて、チャックテ
ーブル４６上のウェーハ２６が研削される。ここで、研
削砥石５３の研削刃面が、ウェーハ２６の中心に位置す
るように、スピンドル５０の位置を設定することが好ま
しい。このように設定すれば、研削面に、いわゆる、へ
そが形成されず、きれいな研削面が得られる。なお、ダ
イヤモンドプルーブ６６が、ウェーハ表面およびチャッ
クテーブル面の位置を計測し、演算することにより、ウ
ェーハ２６の厚さが把握され、研削砥石５３の切込み深
さが、研削砥石の摩耗を考慮して、調整される。その後
、ターンテーブル４４が更に反時計方向に回転すること
によって、チャックテーブルは、アンローディングステ
ーションに至り、チャックテーブル上のウェーハ２６は
、トランスファーアーム５８によって、次の研削二二、
シト１５に搬送される。一般に、アンローディングステ
ルジョンは、ローディングステーションに一致する。タ
ーンテーブル４４を一方向にのみ回転させず、時計方向
、反時計方向に交互に回転してもよい。なお、ターンテ
ーブル４４が反時計方向に回転する際、ブラシ５４．５
５が、チャックテーブル４Ｃ１４７、ウェーハ２６に当
接する位置まで下降し、矢視のように旋回して、それら
の上から、切粉、研削水等を除去干る。

研削ユニット１５においても、同様な研削工程が繰り返
され、２回の研削により所定厚さに研削されたウェーハ
２６ハ、トランスファーアーム５８によって、次工程に
送られる。

研削ユニ、ンｌｌａ、１５の左方に、洗浄ユニット１６
が配設されている。この洗浄ユニット１６の手前にも、
ガイドレール６８を持つトランスファー手段７゜が配設
され、ガイドレール６８は、研削ユこツト１４．１５の
ガイドレール６０に連結される。洗浄ユニット１６は、
スピンナテーブル７２と、メジャリングテーブル７４と
、スリーポジションのスイングアーム７６とを備えて構
成されている。スピンナテーブル７２は、たとえば、透
明プラスチックから成るフード７８を有して構成される
。トランスファーアーム５８によって研削ユニット１５
から搬送されたウェーハ２６は、スピンナテーブル７２
に載せられる。そして、フード７８をかけ、ウェーハを
密封した状態で、洗浄液を供給しながら、スピンナテー
ブル７２が回転されて、ウェーハ２６を洗浄し、その後
、スピンナテーブルを高速回転して、水滴を除去し、ウ
ェーハを乾燥させる。洗浄されたウェーハ２６はスイン
グアーム７６の吸着盤７７に吸着され、スイングアーム
７６を反時計方向に旋回することによって、ウェーハ２
６はメジャリングテーブル７４に移される。メジャリン
グテーブル７４に隣接して旋回可能なアラサ検出手段８
２が配設されており、このアラサ測定器８２を反時計方
向に旋回させて、メジャリングテーブル７４上のウェー
ハ２６の表面アラサを検出する。表面アラサの検出後、
ウェーハ２６はスイングアーム７６に吸着され、スイン
グアームを反時計方向に旋回することにより、左方に搬
送される。

ここで、洗浄ユニット１６における各部材の動き、たと
えば、スピンナテーブルの回転、フードの開閉、スイン
グアーム７６の旋回、吸着動作、アラサ検出手段８２の
旋回、検出動作等は、洗浄ユニット用コントロールボッ
クス８３に予め記憶された所定のプログラムに従って、
実施される。また、アラサ検出手段８２によって検出さ
れた検出値は、コントロールボックス８２に記憶され、
許容範囲外の表面アラサのウェーハが検出されると、研
削砥石５３の交換またはドレッシングが警告される。そ
して、許容範囲外の表面アラサのウェーハ２６は、コン
トロールボックス８３に記憶されて、許容範囲内のアラ
サのウェーハから識別され、適当に処理される。つまり
、再研削可能であれば、再研削され不能であれば、除外
される。

ウェーハアンロードユニット１日が、洗浄ユニット−１
６に隣接して、ウェーハ自動研削装置１０の左端に配設
されている。ウェーハアンロードユニット１８は、トラ
ンスファーアーム３２を有しない点を除けば、前述のウ
ェーハロードユニット１２とほぼ同様の構成をしている
。つまり、ウェーハアンロードユニット１８は、ウェー
ハの装填ピッチＰずつ上昇可能なエレベータテーブルを
左端に備え、空のウェーハカセット８６．８７が、エレ
ベータテーブル上に配設されている。そして、エレベー
タテーブルから右方に、トランスファーベルト８８．８
８が延出し、反転アーム９２が、トランスファーベルト
８８．８９の右方に設けられている。また、反転アーム
９２のガイドレール９６が、ウェーハアンロードユニッ
ト１８の右端に設けられている。更に、各種スイッチよ
りなるキーボード９７が、トランスファーベルト８８の
手前に配置されている。

洗浄ユニット１６のスイングアーム７６の旋回によって
、ウェーハ２６は、メジャリングテーブル７４からトラ
ンスファーベルト８９上に搬送される。そして、ウェー
ハ２６は、反転アーム８２によって、反転され、回路パ
ターン面が上面にくるように、トランスファーベルト８
９上に再度置かれる。それから、エレベータテーブル上
をピッチＰで上昇させつつ、トランスファーベルト８８
を左方に移動させることにより、ウェーハ２６は、回路
パターン面が上面に位置する状態で、ウェーハカセット
８７内に上から順次装填される。ウェーハカセット８７
に所定枚数のウェーハ２６が装填されると、次のウェー
ハは、手前のウェーハカセット８６に装填されることと
なる。そのため、トランスファーベルト８９は停止され
、スイングアーム７６によって搬送されるウェーハ２６
は、トランスファーベルト８９の右端に一１放置される
。それから、反転アーム８２が作動し、その吸着盤８３
によって、トランスファーベルト８８−ヒのウェーハ２
６が吸着される。反転アーム８２は、ウェーハ２Ｂを吸
着したまま反転され、ウェーハの回路パターン面が上面
となる。それから、反転アーム８２は、ウェーハ２８を
吸着したまま、ガイドレール９６にガイドされて、手前
に移動し、ウェーハ２６をトランスファーベルト８日の
右端まで搬送する。そして、トランスファーベルト８８
は、左方に移動し、所定ピッ≠Ｐで上昇するウェーハカ
セット８６内にウェーハ２８を搬入し、ウェーハ２６は
、回路パターン面が上面となった状態で、ウェーハカセ
ット内に上から順次装填される。ここで、ウェーハカセ
ット８６へのウェーハ２Ｂの装填中に、ウェーハカセッ
ト８７が交換されることはいうまでもない。

なお、実施例では、各ユニット間にウェーノＸ２６を搬
送するトランスファーユニット２０は、トランスファー
手段３８．５６．７０から構成されている。しかし、ト
ランスファーユニット２０の構成はこれに限定されない
、また、各ユニットのトランスファー手段を集合させ、
実施例のように、トランスファーユニットを独立して設
けることことなく、各ユニットのトランスファー手段を
当該ユニットにそれぞれ内蔵させてもよい。

また、この発明によれば、必要最小限の据付は面積しか
占有せず、スペース的に無駄がない。

ターンテーブル４４に取付けられるチャックテーブルの
数は、２個に限定されないが、作業効率を考慮すれば、
２個で十分である。

この発明は、ウェーハの研削の自動化を目的としている
といえ、このようにユニット化した構成においては、た
とえば、ユーザーは、まず、研削ユニットのみを購入し
、ウェーハのローディング、アンローディングを手動で
行ない、その後、ウェーハローディングユニッ）、　洗
ｓ−Ｌニッと、アンローディングユニットを購入して、
全自動体制を確立してもよい。

」二連した実施例は、この発明を説明するためのもので
あり、この発明を何等限定するものでなく、この発明の
技術範囲内で変形、改造等の施されたものも全てこの発
明に包含されることはいうまでもない。

〔発明の効果〕

上記のように、この発明に係るウェーハ自動研削装置で
は、ウェーハ研削での各工程を実施する専用機をユニッ
ト化して独立させている。そして、研削ユニットは、ス
ピンドルを１木しか有していない。ユーザーは、要求さ
れる研削のタイプに応じて、必要な台数の研削ユニット
を組込むことにより、最適のウェーハ自動研削装置が自
在に構成できる。つまり、ユーザーの多種多様な要望を
満たすウェーハ自動研削装置が、研削ユニットの台数を
選択することにより容易かつ安価に構成できる。そのた
め、汎用性が水曜的に向上し、効率的な研削が可能とな
る。そして、必要最小限の据付は面積しか占有せず、ス
ペースの有効利用がはかられる。

また、たとえば、ユーザーは、まず、研削ユニットのみ
を購入し、その後、他のユニットを必要に応じて、買い
足すことができる。そのため、予算に応じて、ウェーハ
研削の自動化体制が徐々に確立できる。

【図面の簡単な説明】

図面は、この考案に係る２軸タイプのウェーハ自動研削
装置の概略平面図である。１０：ウェーハ自動研削装置、１２：ウエーハローディ
ンクユニッと、　１４：　研削ユコツ）　、　１６　：
　洗浄ユニッ）、１８：ウェーハアンローディングユニ
ッと、１８：研削水供給ユニッと、２ｏニドランスフア
ーユニツと、２１：バキュームユニッと、２２．２３　
、ｓｅ　、ｓ７　：ウェーハカセッと、２８．２Ｊ８８
．Ｈ：　）ランスファーベルと、３２，３３．５８　：
　トランス、ファーアーム、３６．３７．８０．１３９
．９８　ニガイドレール、３８．５Ｅｌ、７０　：　）
ランスファ一手段、４４：ターンテーブル、４８．４７
：チャックテーブル、５０ニスピンドル、５２：支柱、
５３：研削砥石、５４，５５：ブラシ（切粉除去手段）
、６４：厚さ検出手段、６６：ダイヤモンドプルーブ、
７２：スピンナテーブル、７４：メジャリングテーブル
、７６：スイングアーム、８０：アラサ検出手段。手続補正書昭和８２年３月２０日

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ウェーハカセットからウェーハを順次取り出し、
搬送するトランスファーベルトを備えたウェーハローデ
ィングユニットと、ウェーハローディングユニットから
搬送されたウェーハを積載する複数のチャックテーブル
の取付けられたターンテーブルと、チャックテーブル上
のウェーハを研削する研削砥石の装着される一本のスピ
ンドルと、ウェーハ、チャックテーブルから、切粉、研
削水等を除去する切粉除去手段とを備えた研削ユニット
と、スピンナテーブルを備え、スピンナテーブルを回転
させて、スピンナテーブル上のウェーハを洗浄、乾燥さ
せる洗浄ユニットと、洗浄後のウェーハの積載されるト
ランスファーベルトを備え、トランスファーベルト上の
ウェーハをウェーハカセットに順次装填するウェーハア
ンローディングユニットと、を適宜組合わせてなるウェ
ーハ自動研削装置。
（２）各ユニット間にウェーハを搬送するトランスファ
ー手段をユニット化した特許請求の範囲第１項記載のウ
ェーハ自動研削装置。
（３）２個のチャックテーブルが、ターンテーブルに取
付けられている特許請求の範囲第１項または第２項記載
のウェーハ自動研削装置。
（４）研削ユニットは、チャックテーブル上のウェーハ
の厚さを検出する厚さ検出手段を更に備えている特許請
求の範囲第１項または第３項記載のウェーハ自動研削装
置。
（５）洗浄ユニットは、メジャリングテーブルと、メジ
ャリングテーブル上のウェーハの表面アラサを検出する
アラサ検出手段と、スピンナテーブルからウェーハをメ
ジャリングテーブルに搬送するとともに、ウェーハをメ
ジャリングテーブルから、ウェーハアンロードユニット
のトランスファーベルトに搬送するスイングアームとを
備えている特許請求の範囲第１項ないし第４項記載のウ
ェーハ自動研削装置。