JPH02139165A

JPH02139165A - ウエーハの自動面取り方法及びその装置

Info

Publication number: JPH02139165A
Application number: JP17110789A
Authority: JP
Inventors: Hideo Kudo; 秀雄工藤; Makoto Takaoka; 高岡　誠
Original assignee: Shin Etsu Handotai Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Handotai Co Ltd
Priority date: 1988-08-12
Filing date: 1989-07-04
Publication date: 1990-05-29

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）本発明は、半導体素子の製造工程においてウェーハに対
する面取り加工を自動的に行なう方法及び該方法を具体
的に実施するための自動面取り装置に関する。

（従来の技術）半導体ウェーハの素材であるシリコン等は、非常に堅く
て脆い上、単結晶であるために特定の方向に割れ易い。

又、近年、ウェーハ製造工程及びデバイス製造工程にお
いては自動化が進んでおり、ウェーハはそれらの工程中
にライン上を何回も搬送されるため、これの外周縁に面
取り加工を施さなければ、該ウェーハに欠けやチップが
発生し、欠けたシリコン等の粉がゴミや埃と同様にデバ
イスの特性劣化や収率低下を引き起こす。

そこで、ウェーハ製造工程においでは、従来からウェー
ハの外周縁に対して面取り加工が施されており、具体的
には、この面取り加工はウェーハの外周縁に砥石等の回
転加工具を押し当てることによってなされている。

ところで１通常、ウェーハの外周の一部には、結晶性の
方向を示すための、或はオプティカルパターンの位置決
め等のためのオリエンテーション・フラット（以下、オ
リフラ部と略称する）が形成されている。尚、このオリ
フラ部は、ウェーハの外周の一部を直線的に切除するこ
とによって形成される。

従って、斯かるオリフラ部を有するウェーハの面取り加
工は直線的なオリフラ部と円弧状の外周部の面取り加工
を含むこととなるため、その作業が複雑となって作用能
率か悪く、高い加工精度を期し難い。

そこで、このウェーハの面取り加工においでは、その方
法及び装置に関する提案が種々なされている。

例えば、特公昭５７−１０５６８号公報には、所謂倣い
方式を採用した装置か開示されており。

該装置では、上、下部軸の座の間でウェーハを挟持し、
該ウェーハに対して基準（マスター）を同軸に配して該
基準に倣って砥石を移動せしめるようにしている。

又、特開昭５９−２２４２５０号公報には、２枚のウェ
ーハに対して同時に面取り加工を行なう方法が開示され
ている。

（発明か解決しようとする課題）しかしながら、上記のように面取り加工自体に関する方
法や装置は提案されているが、ウェーハの供給から面取
り加工を経て回収に至る一連の作業を全自動的に行なう
方法や装置は未だ提案されておらず、これら一連の作業
は人手に頼っていたのか実情てあり、従って斯かる一連
の作業には多くの時間と人手を要し、作業能率の向上や
省力化か望まれていた。

本発明は上記実情に鑑みてなされたもので、その目的と
する処は、ウェーハの供給から面取り加工を経て回収に
至る一連の作業を全自動的に行なうことによって、作業
能率及び加工処理能力の向上、省力化等を図ることがで
きるウェーハの自動面取り方法及びその装こを提供する
にある。

（課題を解決するための手段）上記目的を達成すべく本発明方法では、ウェーハを１枚
ずつ順次供給するウェーハ供給工程と。

供給されたウェーハを搬送してこれを加工ステージ上に
位置決めセットするウェーハ位置決めセット工程と、加
工ステージ上に位置決めセットされたウェーハの面取り
加工を行なう面取り加工工程と、面取り加工されたウェ
ーハを搬送してこれを回収するウェーハ回収工程を連続
的、且つ自動的に実施するようにしたことを特徴とする
。

又、本発明は、ウェーハを１枚ずつ順次供給するウェー
ハ供給手段と、供給されたウェーハを位置決めしてこれ
を加工ステージ上に位置決めセットするウェーハ位置決
めセット手段と、位置決めセットされたウェーハの面取
り加工を行なう面取り加工手段と、面取り加工されたウ
ェーハを回収するウェーハ回収手段と、前記ウェーハ位
首決めセット手段から前記面取り加工手段及び／又は同
面取り加工手段から前記ウェーハ回収手段へウェーハを
搬送する搬送手段を含んでウェーハの自動面取り装置を
構成したことをその特徴とする。

（作用）本発明方法及び装置によれば、ウェーハの供給から位置
決めセット、面取り加工、搬送、回収に至る一連の作業
を全自動的に行なうことができるため、作業能率及び加
工処理能力の向上、省力化等を図ることができる。尚、
加工ステージにおいて自由に面取り角度を設定し、加工
具に研磨用パフ等を用いれば、ウェーハの面取り部の形
状な滑かに連続する曲面て構成することかできるととも
に、その面取り部の平滑度及び加工精度を高めることか
てきる。

（実施例）以下に本発明の一実施例を添付図面に基づいて説明する
。

第１図は本発明に係る自動面取り装ｍｌの全体構成を示
す斜視図てあり、同図中、２はボックス状のケーシング
てあって、該ケーシング２の前面上部には操作ボックス
３が設けられている。又、このケーシング２の前面及び
側面には複数の透明な窓４・・・か設けられており、こ
のらの窓４・・・から内部か監視できるようになってい
る。

更に、ケーシング２の上面には、空気中の塵埃を除去す
るためのフィルタユニット５が設けられており、同ケー
シング２の下部には、外気を吸引するためのエアボック
ス６、研磨剤であるスラリーを収容するスラリータンク
７及び各種コントロー機器を収容する制御ボックス８が
設けられている。

而して、該ケーシング２の前記窓４・・・で囲まれた内
部には、本自動面取り装置ｌの主要部が設けられており
、その構成は第２図に示される。

即ち、第２図は自動面取り装置ｌの主要部の構成を示す
平面図であり、該自動面取り装置１は特にオリフラ部を
有するウェーハを加工対象とするものであって、これは
、図示のウェーハ供給手段Ａ、ウェーハ位置決めセット
手段Ｂ、第１搬送手段Ｃ、オリフラ部加工手段Ｄ、第２
搬送手段Ｅ、外周部加工手段Ｆ、第３搬送手段Ｇ、ウェ
ーハ反転手段Ｈ、ウェーハ回収手段■を含んで構成され
る。

先ず、上記ウェーハ供給手段Ａ、ウェーハ位置決めセッ
ト手段Ｂ及び第１搬送手段Ｃの構成の詳細を第３図乃至
第５図に基づいて説明する。尚、第３図はこれらウェー
ハ供給手段Ａ、ウェーハ位置決めセット手段Ｂ及び第１
搬送手段Ｃの斜視図、第４図はウェーハ供給手段Ａ及び
ウェーハ位置決めセット手段Ｂの平面図、第５図は同側
面図である。

ウェーハ供給手段Ａは搬入カセットｌＯ及びブツシャｌ
ｌを含んで構成され、搬入カセット１０は昇降台１２上
にａａされており、これには下降対象たる複数枚のウェ
ーハＷ・・・か適当な間隔をあけて、且つ所定の向きに
揃えられた状態て積層収納されている。そして、この搬
入カセットｌＯの後方（図中、右方）には前記ブツシャ
１１か設けられているが、該ブツシャ１１は不図示のエ
アシリンダ等の駆動手段によって前後方向（第３図の矢
印方向）にストローフせしめられるものであって、その
先部にはブツシャ板１１ａが取り付けられている。尚、
前記昇降台１２は不図示の駆動手段によって昇降せしめ
られる。

前記ウェーハ位置決めセット手段Ｂは前記搬入カセット
１０の前方（図中、左方）に配設される厚肉のガイド板
２０を有しており、該ガイド板２０上の一側部には位置
決め板２１が設けられており、該位８決め板２１にはウ
ェーハＷの搬送方向（第４図の左右方向）に平行な位置
決め面２１ａが形成されている。そして、ガイド板２０
には複数の第１空気孔２２・・・及び第２空気孔２３・
・・が斜めに穿設されており、第１空気孔２２・・・は
前方（ウェーハＷの搬送方向）に向かって開口しており
、第２空気孔２３・・・は前記ストップ板２１に向かっ
て開口している。尚、第１空気孔２２・・・及び第２空
気孔２３・・・は不図示の圧縮エア供給源に接続されて
いる。

又、ガイド板２０の前記搬入カセットｌＯ、ストップ板
２１の近傍に形成された開口部２４゜２５には光学セン
サ２６，２６．２７かそれぞれ設けられている。更に、
ガイド板２０のストップ板２１が設けられてる側とは反
対側の下面には、揺動アーム２８の一端かボルト２９に
て結着されており、該揺動アーム２８の他端（自由端）
にはモータ３０が取り付けられている。そして、このモ
ータ３０から上方へ延出する出力軸には回転ローラ３１
が結着されており、この回転ローラ３１はガイド板２０
に穿設された長円形溝３２を貫通してこれの上部に臨ん
でいる。

一方、前記ガイド板２０の側部には、第３図に示すよう
にエアシリンダ３３か設けられており。

該エアシリンダ３３のロッド３３ａはウェーハＷの搬送
方向に対して直角方向に進退するものであって、該ロッ
ド３３ａの先部にはブツシャ板３４か取り付けられてお
り、これらエアシリンダ３３とブツシャ板３４か位ご決
め用のブツシャを構成している。

又、前記第１搬送手段Ｃは、第３図に示すように搬送フ
レーム４０上をこれの長手方向（図示矢印方向）に水平
移動する移動フレーム４１を有しており、該移動フレー
ム４１にはエアシリンダ４２が設けられている。そして
、このエアシリンダ４２から上方へ延出するロッド４２
ａの端部には、位置決めセット手段Ｂ方向に向かって水
平に延出する搬送アーム４３の基端部か支持されており
、該搬送アーム４３の自由端には、ウェーハＷを吸着す
べき吸着部４４か設けられている。尚、吸着部４４は不
図示の真空源に接続されている。

次に、前記オリフラ部加工手段りの構成の詳細を第６図
乃至第９図に基づいて説明する。尚、第６図は第１加エ
ステーシの平面図、第７図は同側断面図、第８図はオリ
フラ部加工ヘッドの斜視図、第９図は同平面図である。

オリフラ部加工手段りは、第６図及び第７図に示す第１
加工ステージ５０と第８図及び第９図に示すオリフラ部
加工ヘッド６０を含んで構成される。

先ず、第１加工ステージ５０の構成を第６図及び第７図
に基づいて説明するに、該第１加工ステージ５０は回転
軸５１の上端に円板状の吸着盤５２をボルト５３・・・
にて結着して構成され、これら回転軸５１と吸着盤５２
の中心には吸引孔５４か貫設されている。そして、吸着
盤５２の側方には位置決め板５５が設けられており、こ
の位置決め板５５は平坦な位置決め面５５ａを有してい
る。尚、前記吸引孔５４は不図示の真空源に接続されて
いる。又、前記回転軸５１は不図示の駆動手段によりて
その軸中心口りに回転駆動される。

上記吸着盤５２の上面には円形の吸着溝５６が形成され
ており、該吸着溝５６は複数の放射状吸Ｍ溝５７・・・
によって前記吸引孔５４に連通せしめられている。

一方、前記オリフラ部加工ヘッド６０は、第８図に示す
ようにＸ、Ｙ軸方向に移動可能な主移動フレーム６１を
有しており、この主移動フレーム６１上には支持フレー
ム６２か垂直に立設されている。そして、この支持フレ
ーム６２にはこれに沿って図示のＺ軸方向（上下方向）
に移動可能な副移動フレーム６３が支持されており、該
副移動フレーム６３には揺動フレーム６４かその基端部
を中心にして図示のθ方向に揺動可能であって、且つ図
示矢印Ｑ方向に微少移動可能に取り付けられている。尚
、この揺動フレーム６４は前記支持フレーム６２に取り
付けられたパルスモータ６５によってその傾斜角度か調
整される。

又、上記揺動フレーム６４には、スライドベース６６か
矢印Ｑ方向に摺動可能に支持されており、該スライドベ
ース６６上にはモータ６７とスピンドル６８が並設され
ている。そして、モータ６７の出力軸端に結着されてプ
ーリ６９とスピンドル６８に結着されたプーリ７０との
間には無端状のベルト７１が巻き掛けられている。又、
スピンドル６８から延出する出力軸７２の端部には砥石
７３か結着されている。従って、この砥石７３はその位
置がｘ、ｙ、ｚ直交座標軸方向、回転角θ方向及び矢印
Ｑ方向に制御されることとなる。

尚、前記スライドベース６６、エアシリンダ７７等は、
砥石７３をウェーハＷのオリフラ部Ｗ。に対して一定の
力で押圧するための定圧研削機構を構成している。

一方、揺動フレーム６４の先部にはマイクロメータ７４
が取り付けられており、前記スライドベース６６に突設
されたブラケット７５には、前記マイクロメータ７４に
対向するストップねし７６が進退自在に螺合している。

又、揺動フレーム６４にはエアシリンダ７７が固設され
ており、該エアシリンダ７７から図示矢印Ｑ方向に進退
自在に延出するロッド７７ａの先部はスライドベース６
６に立設されたプレート７８に連結奄れており、エアシ
リンダ７７を駆動することによって砥石７３は矢印Ｑ方
向の位置が微調整される。尚、上記マイクロメータ７４
とストップねじ７６は、砥石７３の切込深さを制限する
切込深さ制限機構とウェーハＷの外周な定寸に仕上げる
定寸研削機構を構成している。

次に、前記第２搬送手段Ｅ及び第３搬送手段Ｇの構成を
第２図及び第１０図に基づいて説明する。

即ち、第１Ｏ図は第２搬送手段Ｅの斜視図であり、該第
２４ＩＩ２送手段Ｅは、駆動部８０の軸８１にその一端
が結着された搬送アーム８２を有しており、該搬送アー
ム８２は第２図に示すように前記オリフラ部加工手段り
の第１加工ステージ５０と外周部加工手段Ｆの第２加エ
ステーシ１２０の間を水平旋回するものてあって、その
先部の下面には真空吸着部８３が設けられている。そし
て上記第１加工ステーシ５０と第２加工ステージ１２０
の中間位置であって、且つ搬送アーム８２の真空吸着部
８３か描く円弧軌跡上には、真空吸着部８３を洗浄すべ
き洗浄ユニット９０か設置されており、該洗浄ユニット
９０は第１０図に示すように回転軸９工上にブラシ９２
を植設して構成される。

又、第３搬送手段Ｇも第２搬送手段Ｅと同様に構成され
るが、該第３搬送手段Ｇの搬送アーム１０２は第２図に
示す駆動部１００の軸１０１を中心に第２加工ステージ
１２０と前記ウェー八反転手段Ｈの反転ステージ１７０
との間又は同第２加Ｔステージ１２０と前記ウェーハ回
収手段Ｉのウォーターシュート２００との間を水平旋回
するものであって、その先部の下面には真空吸着部１０
３か設けられており、第２加工ステージ１２０と反転ス
テージ１７０の中間位置てあって、且つ搬送アーム１０
２の真空吸着部１０３が描く円弧軌跡上には、真空吸着
部１０３を洗浄すべき洗浄ユニット１１０が設置されて
いる。

次に、前記外周部加工手段Ｆの構成の詳細を第１１図に
基づいて説明する。尚、第１１図は外周部加工手段Ｆの
斜視図である。

図示のように外周部加工手段Ｆは、前記第２加エステー
ジ１２０と、該第２加工ステーシ１２０の両側にこれを
挟むように対向配置される外周部加工ヘット１３０，１
５０とを含んで構成される。尚、上記第２加工ステージ
１２０の構成は前記第１加工ステージ５０のそれと同し
であるため、その説明は省略する。

前記一方の外周部加工ヘット１３０は、図示のＸ、Ｙ軸
方向に移動可能な移動フレーム１３１を有しており、こ
の移動フレーム１３１上には支持プレート１３２が垂直
に立設されている。そして、この支持プレート１３２に
は円弧状のガイド溝１３２ａ、１３２ｂが穿設されてお
り、これらガイド溝１３２ａ、１３２ｂには固定ねじ１
３３ａ、１３３ｂか挿通している。これら固定ねじ１３
３ａ、１３３ｂは支持プレート１３２ニヘース１３４を
取付は固定しており、ベース１３４上にはモータ１３５
とスピンドル１３６か並設されている。そして、モータ
１３５の出力軸端に結着されたプーリ１３７とスピンド
ル１３６の入力軸端に結着されたプーリ１３８との間に
は無端状のベルト１３９か巻き掛けられている。

又、スピンドル１３６から第１１図の矢印Ｒ方向に延出
する出力軸１３６ａの端部には砥石１４０か結着されて
いる。

而して、前記固定ねじ１３３ａ、１３３ｂを緩めてこれ
らをガイド溝Ｌ３２ａ、１３２ｂに沿ってそれぞれ移動
させれば、これら固定ねじ１３３ａ、１３３ｂによって
支持されたベース１３４の支持プレート１３２上の取付
角度が変わり、該ベース１３４上に設置されたスピンド
ル１３６によって回転駆動される砥石１４０の水平面に
対する傾斜角度か変わる。尚、移動フレーム１３１をＸ
、Ｙ軸方向に移動させれば、砥石１４０のＸ、Ｙ軸方向
の位ｆｆ１（Ｘ、Ｙ座標上の位置）も変わる。

尚、他方の外周部加工ヘッド１５０の構成も以上に説明
した外周部加工ヘッド１３０のそれと全く同様であるた
め、その説明は省略するか、図中１５１は移動フレーム
、１５２は支持プレート、１５２ａ、１５２ｂはガイド
溝、１５３ａ。

１５３ｂは固定ねじ、１５４はベース、１５５はモータ
、１５６はスピンドル、１６０は砥石である。又、図示
しないか１両外周部加工ヘッド１３０．１５０には前記
オリフラ部加工ヘッド６０に設けられたと同様の定圧研
削機構、切込深さ制限機構及び定寸研削機構が設けられ
ている。

次に、前記ウェー八反転手段Ｈの構成の詳細を第１２図
乃至第１４図に基づいて説明する。尚、第１２図はウェ
ー八反転手段Ｈの斜視図、第１３図は反転ステージ１７
０の縦断面図、第１４図は同反転ステージ１７０の半裁
平断面図であり、この反転手段Ｈは上記反転ステージ１
７０と反転ユニット１９０を含んで構成される。

上記反転ステージ１７０はウェーハＷの芯出しを行なう
センタリング機能を備えており、これは円形盤１７１上
に同一長さの６つの位置決めアーム１７２・・・を回転
自在、且つ放射状に配して構成される。即ち、円形ｆｉ
１７１の同一円上には６つの回転軸１７３・・・が等角
度ピッチ（６０”ピッチ）で配されており、各回転軸１
７３は第１３図に示すように垂直に起立してその上端は
円形盤１７１の上方へ突出しており、この回転軸１７３
の上端部に前記各位置決めアーム１７２の内端部か結着
されている。そして、各位置決めアーム１７２の径方向
外方へ水平に延出する外端部には、ウェーハＷの外周面
か当接すべき当接ローラ１７４か取り付けられている。

一方、上記円形盤１７１とこれの下方に配されるフレー
ム１７５の中心間には第１３図に示すように回転軸１７
６が回転自在、且つ垂直に支承されており、これの中間
部には大径の中心ギヤ１７７が結着されている。そして
、この中心ギヤ１７７には第１４図にも示すように前記
各回転軸１７３の中間部に結着された小径のギヤ１７８
か噛合している。

又、上記回転軸１７６は第１３図に示すようにフレーム
１７５の下方に固設されたモータ１７９の出力軸１７９
ａにカップリング１８０を介して連結されている。

他方、前記円形盤１７１の上面には、ウェーハＷを支持
するための３木の支持ビン１８１・・・か同一円上に等
角度ピッチ（１２０’ピツチ）て立設されている。

前記反転ユニット１９０は第１２図に示すように、その
先端に吸着部１９１を設けて成る反転アーム１９２と、
該反転アーム１９２を水平に支持してこれを反転させる
とともに、上下方向（図示のＺ軸方向）に移動せしめる
作動フレーム１９３を含んで構成されている。

最後に、前記ウェーハ回収手段工の構成の詳細を第１５
図及び第１６図に基づいて説明する。

尚、第１５図はウェーハ回収手段Ｉの斜視図、第１６図
は同ウェーハ回収手段■の側断面図である。

このウェーハ回収手段Ｉは上面か開口する容器状のウォ
ーターシュート２００を有し、該つオーターシュート２
００には水２０１が収容されている。そして、この水２
０１の中には、昇降台２０２上に載晟された搬出カセッ
ト２０３及び該搬出カセット２０３に向かって斜め下方
に傾斜するガイド板２０４が収容されている。

上記搬出カセット２０３は前記搬入カセットｌＯと同様
に構成されるが、これは面取り加工か終了したウェーハ
Ｗを下方から順次積層して収容するものである。

又、前記ガイド板２０４上の両側部には、ウェーハＷを
搬出カセット２０３に案内すべき２つのガイド片２０５
，２０５か互いに平行に設置されており、ガイド板２０
４のこれらガイド片２０５．２０５の間の部位には複数
の水孔２０６・・・か穿設されている。そして、ガイド
板２０４の下面には流路２・０７か形成されており、該
流路２０７にはウォーターシュート２００内に設置され
たつオーターポンプ２０８から導出するパイプ２０９か
接続されている。尚、ウォーターシュート２００には、
水位を調整するためのパイプ２１０か設けられている。

次に、本発明方法を本自動面取り装置ｌの作用を説明し
ながら以下に詳述する。

先ず、第２図及び第３図に示すように多数のウェーハＷ
・・・を積層収納した搬入カセット１０か昇降台１２ｈ
にセットされるとともに、空の搬出カセット２０３か第
１５図及び第１６図に示す昇降台２０２上にセ・ントさ
れる。この状態で第１図に示す操作ボックス３のスター
トボタンが押されると、ブツシャ１１かストロークして
搬入カセットｌＯの最下位にあるウェーハＷを押し出し
てこれをウェーハ位置決めセット手段Ｂのガイド板２０
上に供給する。このウェーハＷのガイド板２０上への供
給か、ガイド板２０に設けられた前記光学センサ２６，
２６によって検知されると、昇降台１２か所定高さだけ
下降せしめられ、次のウェーハＷがブツシャ１１によっ
て同様にガイド板２０上に供給されるための準備かなさ
れる。そして、以後は同様の作用か繰り返されて搬入カ
セット１０内のウェーハＷは下から順に次々とガイド板
２０上に供給される。

上記のようにガイド板２０上に供給されたウェーハＷは
、ガイド板２０に穿設された第１空気孔２２・・・から
噴出される圧縮エアの圧力によってガイド板２０上を第
４図中、左方へ搬送され、これか第３図乃至第５図に示
す回転ローラ３１に当接した時点て同方向への搬送か中
止され、モータ３０によって回転駆動される回転ローラ
３１によってｇｇｌＴ図の矢印方向へ回転せしめられる
。

尚、第１７図はウェーハＷの位置決め原理を説明するた
めの平面図である。上記と同時に該ウェーハＷはガイド
板２０に穿設された第２空気孔２３・・・から噴出され
る圧縮エアの圧力を受けて位置決め板２１側に押し付け
られており、第４図及び第１７図に示すようにそのオリ
フラ部Ｗ。が位置決め板２１の位置決め面２１ａに当接
した時点てその回転が中止され、このとき該ウェーハＷ
の位置決めが完了し、ウェーハＷはそのオリフラ部Ｗ。

が所定の方向に揃えられる。このウェーハＷの位り決め
が完了すると、ガイド板２０に設けられた前記光学セン
サ２７はウェーハＷによって被われるため、該センサ２
７は位置決めの完了を検知し、これによってモータ３０
が停止されて回転ローラ３１の回転も停止される。尚、
第４図及び第５図に示すボルト２９を緩めて揺動アーム
２８をボルト２９を中心に揺動せしめ、これの先部に取
り付けられた回転ローラ３１を長円形溝３２内で移動さ
せれば、ウェーハ位置決めセット手段Ｂはサイズの異な
るウェーハにも対応することか可能となる。

前述のように光学センサ２７かウェーハＷの位置決めの
完了を検知すると、第１搬送手段Ｃのエアシリンダ４２
が駆動されて搬送アーム４３が下降し、該搬送アーム４
３はその先部に設けられた吸着部４４でガイド板２０上
に位置決めされたウェーハＷを真空吸着してこれを保持
し、その後エアシリンダ４２によって上昇せしめられる
。その後、移動フレーム４１が搬送フレーム４０上をオ
リフラ部加工手段りの第１加工ステージ５０方向へ移動
することによって搬送アーム４３もウェーハＷを保持し
たまま同方向へ移動し、ウェーハＷが第１加工ステージ
５０上に位置したときに移動フレーム４１の移動か停止
され、エアシリンダ４２が再び駆動されて搬送アーム４
３が下降する、そして、搬送アーム４３の吸着部４４に
よるウェーハＷの吸着か解除されてウェーハＷかｍｌ加
工ステージ５０の吸着盤５２（第６図及び第７図参照）
上に載置され、搬送アーム４３は再び上昇して退く、す
ると、ウェーハ位置決めセット手段Ｂのエアシリンダ３
３が駆動されてブツシャ板３４が第３図に鎖線にて示す
ように吸着盤５２方向へ送り出され、該ブツシャ板３４
は吸着盤５２上のウェーハＷを位置決め板５５に押圧し
、そのオリフラ部Ｗ。を位置決め板５５の位置決め面５
５ａに当接せしめることによって、該ウェーハＷを吸着
盤５２上て位置決めする。そして、このウェーハＷの位
置決めか終了すると、該ウェーハＷは吸着盤５２上に真
空吸着されて固定される。

尚、上記位置決め板５５はオリフラ部加工手段りの加工
へラド６０の作動に同期して移動し、加工へラド６０に
よる面取り加工か始まる以前に第１加工ステージ５０か
ら退く。

ウェーハＷの第１加工ステージ５０での固定が終了する
と、第８図及び第９図に示すオリフラ部加工ヘット６０
の砥石７３の位ｎが前述のようにＸ、Ｙ、Ｚ直交座標軸
方向１回転角θ方向及び矢印Ｑ方向に制御され、回転駆
動される該砥石７３によってウェーハＷのオリフラ部Ｗ
。か面取り加工される。即ち、スライドベース６６上の
モータ６７か駆動されると、これの回転はプーリ６９゜
ベルト７１及びプーリ７０を経てスピンドル６８に伝達
され、該スピンドル６８の出力軸７２か回転駆動されて
これに結着された砥石７３か回転せしめられる。そして
、エアシリンダ７７を駆動してスライドベース６６をウ
ェーハＷの方向へ付勢し、砥石７３をウェーハＷのオリ
フラ部Ｗ。に対して所定の力で押圧した状態で、主フレ
ーム６１を第８図のＸ軸方向に往復動させれば、第１８
図の平面図に示すように砥石７３は回転しながらＸ軸方
向に移動し、ウェーハＷのオリフラ部Ｗ。はこの砥石７
３によって面取りされる。尚、上記スライドベース６６
、エアシリンダ７７等は、前述のように前述のように砥
石７３をウェーハＷのオリフラ部Ｗ。に対して一定の力
て押圧するための定圧研削機構を構成しており、該機構
においでは、ウェーハＷに過大な力か作用したときには
スライドベース６６か逃げるため、ウェーハＷの芯ズレ
に伴う該ウェーハＷの砥石７３への偏当り、この偏当り
によって発生する偏研削、更には砥石７３の過剰な押付
けによるウェーハＷの割れやチッピングの発生か有効に
防がれる。

ところで、ウェーハＷのオリフラ部Ｗ。は第１９図に示
すように傾斜角の異なるａ　Ｏ＋　ｂ　Ｏ＊ＣＯ＋　ｄ
　Ｏｒ　ｅ　０面の５面によって面取りされるか、各ａ
ｏ　＋　ｂｏ　＋　Ｃｏ　Ｉ　ｄｏ　ｌ　Ｃｏ面の加工
は砥石７３のオリフラ部Ｗ。に対する傾斜角を変えるこ
とによって順次なされ、砥石７３の傾斜角はパルスモー
タ６５によって揺動フレーム６４の傾斜角を変えること
によりてなされる。尚、第１９図は第１８図１７）Ｊ−
Ｊｉｌｌｌｒ面図であり、ａｏ。

００面の水平面に対する傾斜角θ。、　ｂｏ　、　ｄ。

面の同類斜角θ＋、Ｃｏ面の同傾斜角θ２はそれぞれθ
。＝５″〜２２”、θ、＝４０”〜６０°、０２＝９０
°に設定される。

而して、上記のように砥石７３の傾斜角を順次変えなが
らａｏ　ｌ　ｂｏ　Ｉ　ｃｏ　＋　ｄｏ　ｒ　Ｃｏ面を
順次加工する際、成る面から他の面に加工か変化すると
きには第１８図に実線にて示すように砥石７３かウェー
ハのオリフラ部Ｗ。から−旦逃げる。このとき、砥石７
３のＹ軸方向の移動（切込深さ）を規制しておかなけれ
ば、オリフラ部Ｗ。

の両端か砥石７３によって削られてしまうという不具合
が生ずる。

然るに、本実施例においでは、前述のようにマイクロメ
ータ７４とストップねし７６で構成される切込深さ制限
機構か設けられており、該切込深さ制限機構はストップ
ねじ７６かマイクロメータ７４に当接することによって
砥石７３のＹ軸方向への移動（切込み）を規制すため、
前記不具合は生じない、尚、マイクロメータ７４によっ
てこれとストップねじ７６との間の距離を変えることに
より、砥石７３のウェーハＷに対する切込深さが調整さ
れる。

以上のようにしてウェーハＷのオリフラ部Ｗ。

の面取り加工が終了すると、ウェーハＷを回転させなが
らこれのオリフラ部Ｗ。を除く外周面（第２０図に示す
０面）か同じ砥石７３によって研削される。

上記ウェーハＷの外周部の研削が終了すると、ウェーハ
Ｗの第１加工ステージ５０での吸着が解除され、該ウェ
ーハＷは第２搬送手段Ｅによって外周部加工手段Ｆの第
２加工ステージ１２０へ搬送されるとともに、次の新し
いウェーハＷが第１搬送手段Ｃによって第１加工ステー
ジ５０に搬送される。

第２搬送手段Ｅの搬送アーム８２は非作動時には第２図
に示すように洗浄ユニット９０上に待機してΣす、この
とき該洗浄ユニット９０のブラシ９２（第１Ｏ図参照）
によってその吸着部８３が洗浄されており、吸着される
ウェーハＷか搬送アーム８２の吸着部８３によって汚染
されないようになっている。

而して、この第２搬送手段Ｅによって第２加工ステージ
１２０に搬送されたウェーハＷは該第２加工ステージ１
２０上に真空吸着されて固定され、外周部加工ヘット１
３０，１５０によってそのオリフラ部Ｗ。を除く外周端
縁か面取り加工される。

ウェーハＷのオリフラ部Ｗ。を除く外周部も第２０図（
１８図のに−に線断面図）に示すようにオリフラ部Ｗ。

のａ。−８０面（第１９図参照）と同様の傾斜角を有す
るａ、ｂ、ｃ、ｄ、ａ面によって面取りされるか、該ウ
ェーハＷは第２加工ステージ１２０上で回転されながら
円外周部加工ヘット１３０，１５０によって先ずその上
面の外周端縁かａ、ｂ面によって面取りされる。即ち、
外周部加工へラド１３０においてモータ１３５が駆動さ
れると、この回転はプーリ１３７．ベルト１３９及びプ
ーリ１３８を経てスピンドル１３６に伝達され、該スピ
ンドル１３６の出力軸１３６ａが回転駆動されてこれに
結着された砥石１４０か回転され、ウェーハＷに対して
所定角度傾斜した該砥石１４０によってウェーハＷの外
周端縁がａ面のように面取りされる。同様に、外周部加
工ヘッド１５０の砥石１６０によってウェーハＷの外周
端縁かｂ面のように面取りされる。

尚、前述のように内外周部加工ヘッド１３０゜１５０に
も定圧研削機構、切込深さ制限機構及び定寸研削機構か
設けられているため、ウェーハＷの外周は砥石１４０，
１６０によって一定の力で一定寸法に面取り加工される
。又、第２１図に第２０図の矢視Ｎ方向の図を示すが、
例えば砥石１６０の回転中心ＯＩと該砥石１６０の加工
面すへの接触部（研削部）の中心０２とを結ぶ直線立が
Ｙ軸に対して角度θだけ傾く状態で砥石１６０を使用す
れば、良好な加工面すが得られ、角度θは通常２０°〜
７０°の範囲に設定される。そして、好ましくは、砥石
１４０，１６０を揺動させてこれらの全面を研削に供す
るようにすれば、該砥石１４０，１６０の局部的な摩耗
が防がれ、その寿命延長か図られる。

而して、ウェーハＷの外周部への前記ａ、ｂ面の面取り
加工が終了すると、第２加工ステージ１２０上のウェー
ハＷは第３搬送手段Ｇによってウェーハ反転手段Ｈの反
転ステージ１７０上に搬送される。即ち、第２加工ステ
ージ１２０上でのウェーハＷの吸着が解除され、第３搬
送手段Ｇの搬送アーム１０２が駆動部１００によって第
２加工ステージ１２０まで回動せしめられる。すると、
搬送アーム１０２はその先端部に設けられた吸着部１０
３にウェーハＷを吸着保持し、て再び回動し、ウェーハ
Ｗが反転ステージ１７０上に位置すると、該ウェーハＷ
の吸着を解除してこれを第１２図乃至第１３図に示す反
転ステージ１７０の支持ピン１８１・・・上に蔵置せし
める。このとき、反転ユニット１９０の反転アーム１９
２の先部は第１２図に示すようにウェーハＷと円形ｆｉ
１７１との間に位置している。尚、搬送アーム１０２は
非作動時には第２図に示すように洗浄ユニット１１０上
に待機しており、その先端に設けられた吸着部１０３か
洗詐ユニット１１０によって洗浄される。

その後、上記反転アーム１９２はその先部の吸着部１９
１て反転ステージ１７０上のウェーハＷを吸着しつつ上
昇し、ウェーハＷを反転してこれを裏返した後、再び下
降して該ウェーハＷを支持ビン１８１・・・上に載設せ
しめ、吸着部１９１によるウェーハＷの吸着を解除する
。

反転ステージ１７０においでは、反転されたウェーハＷ
のセンタリングが次のようにしてなされる。即ち、１３
図に示すモータ１７９によって回転軸１７６が回転駆動
されると、この回転は中心ギヤ１７７、ギヤ１７８・・
・を経て全回転軸１７３・・・に伝達され、該回転軸１
７３・・・が同時に同方向に回動せしめられる。すると
、回転軸１７３・・・に結着された同ア長さの位置決め
アーム１７２・・・も同時に同方向に回動するため、こ
れら位置決めアーム１７２・・・の外端部に設けられた
当接ローラ１７４・・・がウェーハＷの外周に一様に当
接して。

該ウェーハＷを反転ステージ１７０上でセンタリングす
る。

上記ウェーハＷのセンタリングが終了すると、第３１１
送手段Ｇが再び駆動され、反転ステージ１７０上のウェ
ーハＷはこの第３搬送手段Ｇによって再び第２加工ステ
ージ１２０上に搬送される。即ち、第３４１１２送手段
Ｇの搬送アーム１０２がその吸着部１０３てウェーハＷ
を吸着すると、反転ステージ１７０上において位置決め
アーム１７２・・・がセンタリング時とは逆方向に回動
せしめられて当接ローラ１７４・・・によるウェーハＷ
の押圧が解除される。その後、ウェーハＷは搬送アーム
１０２に吸着されて第２加工ステージ１２０に搬送され
るが、このとき反転ユニット１９０の反転アーム１９２
は下降して第１２図に示す状態で待機している。

第２加工ステージ１２０ではウェーハＷが吸着、固定さ
れ、該ウェーハＷは第２加工ステージ１２０上で回転さ
れながらその上面（ａ、ｂ面の面取りが施されていない
側の面）の外周端縁が外周部加工ヘッド１３０，１５０
によって面取りされ、ウェーハＷ上面の外周端縁には第
２０図に示すｄ、ｅ面が形成される。尚、前述のように
ウェーハＷの第２０図に示す０面の加工はオリフラ部加
工手段りによつて既になされている。又、前記第１加工
ステージ５０と第２加工ステージ１２０の上方には不図
示の回転ブラシが設けられておこの回転ブラシは各第１
．第２加工ステージ５０．１２０ての加工か終了すると
下降して水と共に第１．第２加工ステージ５０，１２０
の上面を洗浄し、洗浄糾了後に上昇する。これにより、
ウェーハＷへの汚れの付着、スクラッチの発生が有効に
防がれる。

上記ｄ、ｅ面の加工か終了すると、第２加工ステージ１
２０におけるウェーハＷの吸着が解除され、該ウェーハ
Ｗは３搬送手段Ｇの搬送アーム１０２に吸着されてウェ
ーハ回収手段Ｉのウォーターシュート２００上まで搬送
され、ここで搬送アーム１０２による吸着が解除されて
ウォーターシュート２００の水２０１の中に落下せしめ
られる。

ウォーターシュート２００の水２０１の中の落下したウ
ェーハＷは第１６図に示すようにガイド板２０４上を搬
出カセット２０３に向かって移動するが、このとき該ウ
ェーハＷはガイド板２０４に穿設されて水孔２０６・・
・から噴出される水流によってフローティング状態て強
制的に搬出カセット２０３偏に搬送せしめられ、搬出カ
セット２０３の下部から順に収納される。尚、搬出カセ
ット２０３を支持する昇降台２０２はウェーハＷが搬出
カセット２０３に収納される毎に所定高さだけ下降せし
められ、搬出カセット２０３には面取り加工が終了した
複数のウェーハＷ・・・が下から順次上方に向かって積
層されて収納される。

而して、本自動面取り装置ｆにおいでは、以上説明した
ウェーハＷの供給から位り決めセット、搬送、面取り加
工及び回収に至る一連の工程が連続的に、且つ全自動で
行なわれるため、作業能率及び加工処理能力の向上、省
力化等を図ることができる。

尚、以上の実施例では、ウェーハＷのオリフラ部Ｗ。、
外周部にそれぞれ第１９図、第２０図に示すような８０
〜ｅｏ面及び３〜８面の各５面の面取りを行なったが、
面取り面の数はこれに限定されず、例えばこれ以上に面
取り面の数が増えた場合には、第１加工ステージ５０、
第２加工ステージ１２０のそれぞれにおける加工ヘッド
６０゜１３０．１５０の砥石７３，１４０，１６０の傾
斜角を面取り面の角度に応して変えるか、予め所定−角
度に取り、付けられた砥石を有する加工ヘッドを複数台
設けるようにすればよい。又１以上の実施例では回転加
工具として特に砥石を用いたが、これの代わりに研府用
バフを用いてこれのウェーハに対する傾斜角度を自由に
変えるようにすれば、ウェーハの面取り形状を滑らかに
連続する曲面で構成することかできるとともに、その面
取り部の平滑度及び加工精度を高めることができる。

更に、以上は特にオリフラ部Ｗ。を有するウェーハＷに
対する面取り加工について言及したか、本発明方法及び
装置はオリフラ部を有しないウェーハに対しても適用可
能であることは勿論である。即ち、オリフラ部を有しな
いウェーハの面取り加工においでは、該ウェーハを第２
図に示す搬入カセット１０から直接第１加工ステージ５
０へ搬送し、この第１加工ステージ５０上てウェーハＷ
の位置決めを行なって加工ヘット６０にて該ウェーハＷ
の外周端面（第２０図に示す０面）のみを加工し、これ
以後は前記実施例と同様に処理すればよい。

（発明の効果）以上の説明で明らかなように本発明によれば、ウェーハ
の供給から位置決めセット、面取り加工、搬送、回収に
至る一連の作業を全自動的に行なうことかてきるため、
作業能率及び加工処理能力の向上、省力化等を図ること
かてきるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係るウェーハの自動面取り装置の斜視
図、第２図は同自動面取り装置の主要部の構成を示す平
面図、第３図はウェーハ供給手段、ウェーハ位置決めセ
ット手段、第１搬送手段及び位置決め板を含む第１ステ
ージの斜視図、第４図はウェーハ供給手段、ウェーハ位
置決めセット手段の平面図、第５図は同側面図、第６図
は第１加工ステージの位置決め板を含む平面図、第７図
は同側断面図、第８図はオリフラ部加工ヘットの斜視図
、ｔｉ４９図は同平面図、第１０図は第２１Ｉ１２送手
段の斜視図、第１１図は外周部加工手段のｊ１１視図、
第１２図はウェーハ反転手段の斜視図、第１３図は反転
ステージの縦断面図、第１４図は同反転ステージの半裁
平断面図、第１５図はウェーハ回収手段の斜視図、第１
６図は同ウェーハ回収手段の側断面図、第１７図はウェ
ーハの位置決め原理を説明するための平面図、第１８図
はウェーハオリフラ部の面取り加工を示す平面図、第１
９図は第１８図のＪ−Ｊ線断面図、第２０図は第１８図
のに−に線断面図、第２１図は第２０図の矢視Ｎ方向の
図である。Ａ・・・ウェーハ供給手段、Ｂ・・・ウェーハ位置決め
セット手段、Ｃ・・・第１搬送手段、Ｄ・・・オリフラ
部加工手段、Ｅ・・・第２搬送手段、Ｆ・・・外周部加
工手段、Ｇ・・・第３搬送手段、Ｈ・・・ウェーハ反転
手段、■・・・ウェーハ回収手段、Ｗ・・・ウェーハ、
Ｗｏ・・・オリフラ部、ｌ・・・自動面取り装置、ｌＯ
・・・搬入カセット、１１・・・ブツシャ、１２・・・
昇降台、２１・・・位置決め板、３１・・・回転ローラ
、３３・・・エアシリンダ、３４・・・ブツシャ板、４
３・・・搬送アーム、４４・・・吸着部、５０・・・第
１加工ステージ、５５・・・位置決め板、６０・・・オ
ソフラ部加工へ・ント、７３゜１４０．１６０・・・砥
石（加工具）、７４・・・マイクロメータ、７６・・・
ストップねし、８０，１００・・・駆動部、８２，１０
２・・・搬送アーム、８３゜１０３・・・吸着部、９０
，１１０・・・洗浄ユニット、１２０・・・第２加工ス
テージ、１３０，１５０・・・外周部加工ヘット、１７
０・・・反転ステージ、１７２・・・位置決めアーム、
１７４・・・当接ローラ、１９０・・・反転ユニット、
１９１・・・吸着部、１９２・・・反転アーム、１９３
・・・作動フレーム（駆動部）、２００・・・つオータ
ーシュート、２０２・・・昇降台、２０３・・・搬出カ
セット、２０４・・・ガイド板。特許出願人　　　信越半導体株式会社代　理　人　　　　　弁理士　山　下　亮第６図第７図第１０図第９図宵Ｉ７図に−

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ウェーハを１枚ずつ順次供給するウェーハ供給工
程と、供給されたウェーハを搬送してこれを加工ステー
ジ上に位置決めセットするウェーハ位置決めセット工程
と、加工ステージ上に位置決めセットされたウェーハの
面取り加工を行なう面取り加工工程と、面取り加工され
たウェーハを搬送してこれを回収するウェーハ回収工程
を含み、これら全工程を連続的、且つ自動的に実施する
ようにしたことを特徴とするウェーハの自動面取り方法
。
（２）オリフラ部を有するウェーハの自動面取り方法で
あって、前記ウェーハ位置決めセット工程において該ウ
ェーハを加工ステージ上に位置決めセットする前に、ウ
ェーハのオリフラ部を所定の方向に揃えるようにしたこ
とを特徴とする請求項１記載のウェーハの自動面取り方
法。
（３）前記面取り加工工程では、ウェーハの片面を面取
り加工した後、該ウェーハを反転ステージヘ搬送し、該
反転ステージでウェーハを反転した後にこれの位置決め
を行ない、その後該ウェーハを加工ステージへ再び搬送
し、該加工ステージ上で同ウェーハの反対面を面取り加
工するようにしたことを特徴とする請求項１又は２記載
のウェーハの自動面取り方法。
（４）ウェーハを１枚ずつ順次供給するウェーハ供給手
段と、供給されたウェーハを位置決めしてこれを加工ス
テージ上に位置決めセットするウェーハ位置決めセット
手段と、位置決めセットされたウェーハの面取り加工を
行なう面取り加工手段と、面取り加工されたウェーハを
回収するウェーハ回収手段と、前記ウェーハ位置決めセ
ット手段から前記面取り加工手段及び／又は同面取り加
工手段から前記ウェーハ回収手段へウェーハを搬送する
搬送手段を含んで構成されることを特徴とするウェーハ
の自動面取り装置。
（５）前記ウェーハ供給手段は、複数枚のウェーハを積
層収容する搬入カセットと、該搬入カセットを載置して
これを所定のタイミングで所定高さだけ上動又は下動せ
しめる昇降台と、該昇降台の移動に連動してストローク
することによって前記搬入カセット内のウェーハを１枚
ずつ送り出すプッシャーを含んで構成されることを特徴
とする請求項４記載のウェーハの自動面取り装置
（６）前記ウェーハ位置決めセット手段は、前記面取り
加工手段の加工ステージ上に搬送されたウェーハを位置
決め板に押圧するプッシャーを含んで構成されることを
特徴とする請求項４記載のウェーハの自動面取り装置。
（７）前記ウェーハ位置決めセット手段は、ウェーハの
オリフラ部を所定の方向に揃える機構を備え、該機構は
、ウェーハのオリフラ部が当接すべき位置決め面を有す
る位置決め板と、ウェーハの外周に当接して該ウェーハ
を回転せしめる回転ローラと、流体噴流によってウェー
ハを前記位置決め板と回転ローラに押圧する押圧手段を
含んで構成されることを特徴とする請求項４又は６記載
のウェーハの自動面取り装置。
（８）前記回転ローラは、前記位置決め板に対する相対
位置が可変であることを特徴とする請求項７記載のウェ
ーハの自動面取り装置。
（９）前記面取り加工手段は、ウェーハを吸着固定する
加工ステージと、該加工ステージ上に固定されたウェー
ハに対する姿勢が３直交座標軸上及び一直線方向上の移
動並びに前記３直交座標軸のうちの１軸の回りの回転で
制御される加工具及び該加工具の回転手段を有して成る
加工ヘッドを含んで構成されることを特徴とする請求項
４記載のウェーハの自動面取り装置。
（１０）前記面取り加工手段は、オリフラ部を有するウ
ェーハの面取り加工を行なうものであって、オリフラ部
加工手段と外周部加工手段とから成り、該オリフラ部加
工手段と外周部加工手段の各々は前記加工ステージと加
工ヘッドを含んで構成されることを特徴とする請求項４
又は９記載のウェーハの自動面取り装置。
（１１）前記外周部加工手段は、その加工ステージが回
転可能であって、前記加工ヘッドが該加工ステージを挟
んで複数台設けられ、各加工ヘッドの加工具のウェーハ
に対する傾斜角度がそれぞれ異なっていることを特徴と
する請求項１０記載のウェーハの自動面取り装置。
（１２）前記加工ヘッドは加工具のウェーハ方向への移
動量を規制する切込深さ制限機構を備え、該切込深さ制
限機構はマイクロメータとこれに当接するストップねじ
とで構成されることを特徴とする請求項９、１０又は１
１記載のウェーハの自動面取り装置。
（１３）前記オリフラ部加工手段から前記外周部加工手
段へウェーハを搬送する搬送手段を設けたことを特徴と
する請求項１０、１１又は１２記載のウェーハの自動面
取り装置。
（１４）前記搬送手段は、一端を中心に回動する搬送ア
ームと、該搬送アームの他端に設けられた吸着部と、同
搬送アームを駆動する駆動部を含んで構成されることを
特徴とする請求項４又は１３記載のウェーハの自動面取
り装置。
（１５）前記搬送手段は、その搬送アームの吸着部を洗
浄する洗浄ユニットを有して成ることを特徴とする請求
項１４記載のウェーハの自動面取り装置。
（１６）前記面取り加工手段にてその片面を面取り加工
されたウェーハを反転した後に位置決めする反転手段と
、反転されたウェーハを該反転手段と前記面取り加工手
段との間で搬送する搬送手段を有して成ることを特徴と
する請求項４記載のウェーハの自動面取り装置。
（１７）前記反転手段は、反転ステージと反転ユニット
とで構成され、反転ステージは、同一円上の点を中心に
回動する同一長さの複数の位置決めアームと、該位置決
めアームの各先部に設けられる当接ローラと、同位置決
めアームを同方向へ同角度だけ回動せしめる駆動手段を
含んで構成され、前記反転ユニットは、一端を中心に回
動及び上下動する反転アームと、該反転アームの他端に
設けられた吸着部と、同反転アームを駆動する駆動部を
含んで構成されることを特徴とする請求項１６記載のウ
ェーハの自動面取り装置。
（１８）前記ウェーハ回収手段は、内部に水を収容して
成るウォータシュートと、該ウォータシュートの水中に
浸漬された搬出カセットと、該搬出カセットを載置して
これを上動又は下動せしめる昇降台と、前記搬出カセッ
トに向かって斜め下方に傾斜し、且つこれの上面から水
を噴出すべき水孔を穿設して成るガイド板を含んで構成
されることを特徴とする請求項４記載のウェーハの自動
面取り装置。