JPS63195707A - 位置決め制御装置 - Google Patents

位置決め制御装置

Info

Publication number
JPS63195707A
JPS63195707A JP62026457A JP2645787A JPS63195707A JP S63195707 A JPS63195707 A JP S63195707A JP 62026457 A JP62026457 A JP 62026457A JP 2645787 A JP2645787 A JP 2645787A JP S63195707 A JPS63195707 A JP S63195707A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
deceleration
acceleration
target position
positioning
memory
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP62026457A
Other languages
English (en)
Inventor
Hiroyuki Sekiguchi
浩之 関口
Yoshinori Makita
義範 牧田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP62026457A priority Critical patent/JPS63195707A/ja
Publication of JPS63195707A publication Critical patent/JPS63195707A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は可動物体を目標位置に位置決めする位置決め制
御装置に係り、特に、起動から停止までの時間が短かい
高速の位置決めが要求されしかもその間の速度の経過を
きめ細かく制御することを要求される場合に好適な位置
決め制御装置に関する。
[従来技術] 第5図に従来の位置決めサーボ制御装置の構成を示す(
特開昭60−217416号参照)。
同図において、初期状態では切換スイッチ8は8−1側
に切り換えられており、またアップ・ダウン・カウンタ
53はリセット状態にある。第7図に示す速度特性にお
いて時刻1=0で制御装置1から位置指令2が減算器4
に出力されると同時にスタート信号51がアントゲ−)
 60.64に出力される。この時減算器4より出力さ
れる位置偏差εが一定値、例えば2non以上であるこ
とを検出する論理回路52の出力は論理“ビ′となり、
アンドゲート60に人力される。
このとき、アンドゲート70の出力は“0”であり、イ
ンバータ72の出力は“1゛°である。したがってアン
ドゲート60の出力は°1″となり、これがアンドゲー
ト66の一方の入力端子に印加される。
これにより、パルス発生回路54の出力パルスはアンド
ゲート66を介してアップ・ダウン・カウンタ53のア
ップカウント側の入力端子53−1に加えられ、カウン
タ53の計数内容は0から一定速度で増加して行く。ア
ップ・ダウン・カウンタ53の31数出力は読み出し専
用メモリ(以下ROMと印す)55のアドレス端子に接
続されているので、ROM55の出力端子には、ROM
55の内容が0番地から次々と走査されて出力される。
ROM55には第6図に示すように、第7図の区間[0
,T]における速度特性曲線を2進コード化した速度値
が予め記憶されており、ROM55の出力はD/A変換
器6を経て、速度指令となるから直流電動機12は円滑
な加速を行なう。
一方、アップ・ダウン・カウンタ53の計数内容が上限
値に達し、ROM55のアドレスの最終番地に達すると
アンドゲート70の出力が°゛ビ、インバータ72の出
力が“0゛°となり、アントゲート6(1の出力が“0
”となる。これにより、アンドゲート66が非導通とな
り、パルス発生回路54からアンドゲート66を介して
アップ・ダウン・カウンタ53のアップカウント側端子
へ人力されていたパルス信号が断たれるためカウンタ5
3は計数を停止し、直流電動機12はROM55の最終
番地の記憶エリアに格納された速度値に基づいて一定速
度で運転を続ける。そして移動物体14が目標位置に近
づき、位置(m差が論理回路52の設定値、例えば21
以下になって、論理回路52の出力″が0°′になると
、今度はアンドゲート54の出力が“1”となり、アン
ドゲート68が導通状態となるため、パルス発生回路5
4の出力パルスは、アンドゲート68を介してアップ・
ダウン・カウンタ53のダウンカウント側の入力端子5
3−2に加えられ、アップ・ダウン・カウンタ5゛3の
内容は上限値から、一定速度で減少する。したがって、
直流電動機12は第6図に示される曲線を、加速の時と
は逆の向きにたどって、円滑な減速を行なう。更に移動
物体14が目標位置に十分近づいた時点で、制御装置1
から切換信号9が切換スイッチ8に出力され、切換スイ
ッチ8は8−2側に切り換えられ、以後D/A変換器6
′による位置決めサーボ・ループが形成され、移動物体
が目標位置に到蓮した時点で直流電動機12は回転動作
を停止する。
[発明が解決しようとする問題点1 以上のような従来装置の問題点を以下に述べる。
まず、上記の従来装置では、第6図に示される曲線を加
速と減速の両方に使用している。このため、物体14が
目標位置に十分近づく前に減速が終了すると、ROM5
5からの出力はOとなり、モータ12は停止してしまう
。ここで切換スイッチ8を8−2側に切換えて位置決め
サーボループにしても、目標位置までの距離が大きすぎ
るので、第7図に示すように、位置決め時間が長くなっ
てしまう。
また、従来の装置では加減速パターンが一定であるため
、例えばストローク量が小さくて、加速時にアップ・ダ
ウン・カウンタ53の値が上限値になる以前に位置偏差
が論理回路52の設定値に達した場合、第8図に示すよ
うに加速途中で急に減速に切り換わって加速度が急変し
てしまう。このように加速度が急変すると、駆動される
機械に振動を誘起し、位置決め精度が悪化し、位置決め
が完了するまでの時間が長くかかることになる。
本発明は、上記従来装置の欠点を解消し、所望の加減速
制御を行なうことにより、位置決め時間を短縮すること
を目的とする。
[問題点を解決するための手段および作用]上記問題点
を解決するため本発明は、可動体を目標位置に移動する
に際し、該可動体を先ず速度重視の第1の制御モードで
目標位置近傍まで移動し、次いで停止位置精度重視の第
2の制御モードに切り換えて目標位置に位置決めするサ
ーボ制御系において、予め複数の加減速パターンのデー
タを記憶しておき、第1の制御モードでは、これらの加
減速パターンのうち所望のものに基づいて可動体の移動
を行なうようにしている。
[実施例] 以下、本発明の実施例を第1図〜第4図に基づいて説明
する。
第1図は本発明の一実施例に係る位置決め制御装置の制
御系の構成を示す。同図において、1はシーケンスを制
御する制御回路、4は差分器、6はD/A変換器、7は
位置サーボと速度サーボを切り換えるセレクタ、lOは
ドライバアンプ、12はサーボモータ、14はステージ
等の可動体、15はレーザ干渉計等の位置検出器、30
は加減速パターンを選択する選択信号、31は加速と減
速を切り換える加減速選択(切換)信号、32は位置サ
ーボと速度サーボを選択する選択信号、53はメモリ5
5に与えるアドレスを発生するカウンタ、54は発振器
、55は複数の加減速パターンに対応する複数のデータ
群を記憶するROM/RAM等の書き換え可能なデジタ
ルメモリ、56は発振器54のパルスを自由に分周でき
るプログラマブル分周タイマ、6oは速度データである
。また、2は目標位置データ、3は現在位置データ、5
は位置偏差データである。
次に、この装置の動作を説明する。初期状態において、
メモリ55には第2図のような加速データと第3図のよ
うな減速データが別々に設定しであるものとする。
まず、ストローク量に従って制御回路1はメモリ55に
書かれている複数の加減速パターンの中から最適な加減
速パターンを加減速パターン選択信号30によって選択
する。つまり大きなストローク量に対しては高速まで加
速する加減速パターンを選び、小さなストローク量に対
しては低速までしか加速しない加減速パターンを選択す
る。次に加減速選択信号31は加速を選択し、位置サー
ボ/速度サーボ選択信号32によってセレクタ7を速度
サーボに切り換え、カウンタ53をOにリセットする。
そして、選んだ加減速パターンに従って、分周定数を分
周タイマ56に設定することにより、カウンタ53のカ
ウントアツプが開始されると、メモリ55に書き込まれ
た加速パターンのデータが順次読み出される。このデー
タはD/A変換器6によりアナログ信号に変換されてか
らドライバアンプIOを経てモータ12に伝えられるた
め、モータ12はメモリ55に書き込まれた加速パター
ンに従ってなめらかな加速を開始する。
カウンタ53が順々にカウントアツプしてゆき最高値に
達すると、カウンタ53はその値をホールドする。その
後メモリ55は加速パターンの最高値を出力し続け、可
動体14は定速で移動する。この間可動体I4の位置は
位置検出器15により計測されており、差分器4は目標
位置データ2と現在位置データ3との差をとり、位置偏
差データ5を出力している。そして可動体14が目標位
置に近づき、位置偏差が加減速パターンに従って定めら
れた減速を開始すべき位置偏差に等しくなると、制御回
路1は加減速選択信号31を減速に切り換え、カウンタ
53をOにクリアし、再びカウントアツプを開始する。
そしてメモリ55からは第3図のようななめらかな減速
パターンに従った減速データが出力され始め、モータ1
2はなめらかに減速を開始する。
減速パターンの最低速度はモータ12が停止しないよう
に、0より多少大きな値にしておく。減速の場合も加速
の場合と同じように、カウンタ53が最高値に達すると
その値をホールドし、その後メモリ55は最低速度デー
タを出力し続ける。
可動体がさらに目標位置に近づき位置サーボ切換位置偏
差に等しくなると、制御回路1はセレクタ7を位置サー
ボ側に切り換え、D / A変換器6、ドライバアンプ
10、モータ12、可動体14、位置検出器15および
差分器4によって位置サーボループを構成し、これによ
り可動体14は目標位置に位置決めされる。
以上の位置決め動作を時間と速度の関係で示したのが第
4図である。同図で、20はストローク量が小さい場合
、22はストローク量が大ぎい場合、21は20と22
の中間くらいのストローク量の場合である。
本実施例によれば加速と減速のデータを別々に設定する
ため、従来装置のように減速終了時に出力がOになって
しまうようなことはない。さらに、加速、減速でそれぞ
れ自由な曲線を設定することもでき、減速開始位置も所
望の位置に設定することができる。
また1、第4図に示したようにストローク量に応じて複
数の加減速パターンの中から最適な加減速パターンを選
択するため、ストローク量が小さいときに第8図のよう
に加速途中で減速に切り換わって加速度が急変しyAy
jJされる機械に振動を銹起して位置決め時間が長くな
るという従来装置に起こった現象は起こらない。そのた
め位置決め時間を短縮し、位置決め精度を向上させると
いう効果がある。
[発明の効果] 以上説明したように本発明によれば、複数の加1mパタ
ーンの中から所望の加減速パターンを選択できるため、
任意の目標位置に対してなめらかな加減速制御が可能で
あり、位置決め時間を短縮し位置決め精度を向上させる
ことができる。
また、加速のパターンと減速のパターンを別々に記憶し
であるので、加速と減速で違ったパターンのカーブが設
定でき、減速終了時の速度を0以上の値にすることかで
きるため、減速終了後位置サーボに切り換わる以前にモ
ータが停止してしまうということを避けることができる
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明に係る位置決めサーボ制御装置の一実
施例の構成を示すブロック図、第2図は、第1図に示し
た位置決めサーボ制御装置におけるメモリ55に記憶さ
せておく加速データを示す図、 第3図は、第1図のメモリ55に記憶させておく減速デ
ータを示す図、 第4図は、第1図の装置におけるストローク量に対する
時間−速度特性を示す図、 第5図は、従来の位置決めサーボ制御装置の構成を示す
ブロック図、 第6図は、第5図に示した従来装置におけるROM55
に予め記憶させておくべき内容を示す特性図、 第7図は、第5図の従来装置において物体14が目標位
置に十分近づく前に減速が終了した場合の速度特性を示
す図、 第8図は、第5図の従来装置において加速途中に急に減
速に切り換わった場合の速度特性を示す図である。 に制御回路、4:差分器、 6 : D/A変換器、7:セレクタ、12:モータ、
14:可動体、15:位置検出器、30:加減速パター
ン選択信号、 31;加速減速選択信号、53:カウンタ、54:発振
器、55:メモリ、56:分周タイマ。 第4図 第8図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、複数の加減速パターンのデータを記憶する記憶手段
    と、該加減速パターンのうち所望のものを選択する選択
    手段と、該選択手段により選択された加減速パターンに
    基づき加減速する速度重視の第1の制御モードで可動体
    を目標位置近傍まで移動する第1のサーボ制御系と、該
    目標位置近傍まで移動された可動体を停止位置精度重視
    の第2の制御モードで目標位置に位置決めする第2のサ
    ーボ制御系とを具備することを特徴とする位置決め制御
    装置。 2、前記第1のサーボ制御系が、減速開始位置を所望の
    位置に設定可能な加速・減速切換手段と、前記選択手段
    により選択された加減速パターンに応じた速度データを
    前記記憶手段から所望の周期で読み出す読出手段とを有
    するものである特許請求の範囲第1項記載の位置決め制
    御装置。 3、前記選択手段が前記目標位置までの距離に応じた最
    適な加減速パターンを選択するものであり、前記加速・
    減速切換手段が前記目標位置までの距離に応じた最適な
    減速開始位置を設定するものである特許請求の範囲第2
    項記載の位置決め制御装置。
JP62026457A 1987-02-09 1987-02-09 位置決め制御装置 Pending JPS63195707A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62026457A JPS63195707A (ja) 1987-02-09 1987-02-09 位置決め制御装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62026457A JPS63195707A (ja) 1987-02-09 1987-02-09 位置決め制御装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63195707A true JPS63195707A (ja) 1988-08-12

Family

ID=12194035

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62026457A Pending JPS63195707A (ja) 1987-02-09 1987-02-09 位置決め制御装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS63195707A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03253918A (ja) * 1990-03-05 1991-11-13 Hitachi Constr Mach Co Ltd 位置決めテーブルの駆動制御方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5965975A (ja) * 1982-10-05 1984-04-14 Comput Basic Mach Technol Res Assoc 磁気デイスク記憶装置
JPS61117608A (ja) * 1984-11-14 1986-06-05 Canon Inc 位置決め制御装置
JPS61160112A (ja) * 1985-01-07 1986-07-19 Hitachi Ltd サ−ボモ−タの制御方法
JPS61271511A (ja) * 1985-05-27 1986-12-01 Daikin Ind Ltd 移動体の動作制御装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5965975A (ja) * 1982-10-05 1984-04-14 Comput Basic Mach Technol Res Assoc 磁気デイスク記憶装置
JPS61117608A (ja) * 1984-11-14 1986-06-05 Canon Inc 位置決め制御装置
JPS61160112A (ja) * 1985-01-07 1986-07-19 Hitachi Ltd サ−ボモ−タの制御方法
JPS61271511A (ja) * 1985-05-27 1986-12-01 Daikin Ind Ltd 移動体の動作制御装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03253918A (ja) * 1990-03-05 1991-11-13 Hitachi Constr Mach Co Ltd 位置決めテーブルの駆動制御方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4696632A (en) Mold opening/closing speed control device
US4287460A (en) Positioning control system
JPS6022483A (ja) サ−ボモ−タの速度制御方式
US4254368A (en) Apparatus for driving a motor
JPS5868111A (ja) バツクラツシユ補正方式
JPS63195707A (ja) 位置決め制御装置
JPS63195708A (ja) 位置決め制御装置
JPS5932802B2 (ja) パルス分配装置
JPS55120388A (en) Drive circuit for feedback control type dc motor
JPH0869326A (ja) 位置決め制御器
JPS6232508A (ja) 数値制御装置のサ−ボ系の位置決め制御方法
US4104574A (en) Stepping motor control arrangement
JPH0472310B2 (ja)
JPS5846897A (ja) パルス・モ−タ制御方式
JPH05103488A (ja) デジタルサーボ制御装置
JPS63146108A (ja) サ−ボ装置
JPH0138646Y2 (ja)
JPS61109480A (ja) モ−タ駆動制御装置
JPH0431603Y2 (ja)
JP2784785B2 (ja) 開ループ制御パルスモータの回転速度変更方法
JP4437371B2 (ja) S字アップダウン設定装置
KR910005242B1 (ko) X-y 테이블의 위치 제어방법
JPS5923941B2 (ja) 加工間隙制御方法及び装置
JPH0738971Y2 (ja) 位置決め装置
JPH01119805A (ja) ロボットの原点位置復帰方法