JPS63177617A - 反射型ロ−タリエンコ−ダの回転板の製造方法 - Google Patents
反射型ロ−タリエンコ−ダの回転板の製造方法Info
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- JPS63177617A JPS63177617A JP939087A JP939087A JPS63177617A JP S63177617 A JPS63177617 A JP S63177617A JP 939087 A JP939087 A JP 939087A JP 939087 A JP939087 A JP 939087A JP S63177617 A JPS63177617 A JP S63177617A
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- Analogue/Digital Conversion (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
3カ 産業上の利用分野
本発明は反射型ロータリエンコーダの回転板の判造方法
に関する。
に関する。
(ロ) 従来の技術
従来この種の回転板は、鏡面ガラス板上に高反射率を有
する金属を蒸着し、この蒸着面てフォトエツチング等の
手法を用いて反射部例えば、細帯状体を反射状に配列し
た反射部を形成し1反射部以外の部分に印刷等(でより
無反射部を形成する。
する金属を蒸着し、この蒸着面てフォトエツチング等の
手法を用いて反射部例えば、細帯状体を反射状に配列し
た反射部を形成し1反射部以外の部分に印刷等(でより
無反射部を形成する。
その後放射状反射部の中心((エンコーダの回転軸に取
シクけるための孔部を設けたり1回転板の円板外周部に
形成し、この様にして出来上った回転板をエンコーダの
回転軸に嵌き固定していた。この種の回転板は4通常金
属を蒸着した面を反射部となし、印刷した部分を無反射
部となしたガラス体よりなるものである。
シクけるための孔部を設けたり1回転板の円板外周部に
形成し、この様にして出来上った回転板をエンコーダの
回転軸に嵌き固定していた。この種の回転板は4通常金
属を蒸着した面を反射部となし、印刷した部分を無反射
部となしたガラス体よりなるものである。
(・ウ 発明の解決しようとする問題点従来例の回転
板はガラス体を基板としてこれに加工を施すことにより
形成されたものであるから。
板はガラス体を基板としてこれに加工を施すことにより
形成されたものであるから。
これに伴って次に列挙する問題点が発生した。
(a) ガラス板江放射状に配列した細帯伏反射部を
形成しているので、この放射状細帯状反射部の中心部に
回転軸に嵌きするための穴部を加工する場合、前記反射
部の正確な中心位置に嵌合孔を設けること及びガラス板
を切断加工して回転板の円板外周を形成すること等は極
めて高度の技術を必要とすると共に所望のガラス体回転
板を得るためには煩瑣な工程をへなければならない。
形成しているので、この放射状細帯状反射部の中心部に
回転軸に嵌きするための穴部を加工する場合、前記反射
部の正確な中心位置に嵌合孔を設けること及びガラス板
を切断加工して回転板の円板外周を形成すること等は極
めて高度の技術を必要とすると共に所望のガラス体回転
板を得るためには煩瑣な工程をへなければならない。
(b) エンコーダの回転軸にガラス体回転板を嵌合
固着した場合その強度を維持するためにガラス体を適宜
な厚さに形成する、従ってガラス体回転板は相当な重量
と有するものとなシ。
固着した場合その強度を維持するためにガラス体を適宜
な厚さに形成する、従ってガラス体回転板は相当な重量
と有するものとなシ。
回転軸と共に回転中における慣性モーメントが比較的大
きくなる。
きくなる。
<c) 回転板にガラス体を採用しているので、高速
回転時に不要の振動、衝撃が発生するとガラス体が破損
したりして危険である。
回転時に不要の振動、衝撃が発生するとガラス体が破損
したりして危険である。
本発明は前述の各種の間雇点を解決することを目的とす
るもので以下その問題を解決するための手段1作用を開
示する。
るもので以下その問題を解決するための手段1作用を開
示する。
(づ 問題点を解決するための手段並びにその作用
本発明の反射型ロータリエンコーダの回転板の製造方法
は次の6エ程よりなるものである。す々わち。
は次の6エ程よりなるものである。す々わち。
金属基板上に回転@嵌合孔を形成するための輪郭部と円
形外周部と形成するための外周輪郭部とをネガ型フォト
レジストで皮膜状に形成する第1工程と。
形外周部と形成するための外周輪郭部とをネガ型フォト
レジストで皮膜状に形成する第1工程と。
前記二つのフォトレジスト皮膜で形成する環状帯内側の
金属基板π金、寓層を電鋳により電着する第2工程と。
金属基板π金、寓層を電鋳により電着する第2工程と。
前記電着金1属層に1回転軸嵌合孔を構成するための円
板状フォトレジストを中心として放射状に。
板状フォトレジストを中心として放射状に。
ポジ型フォトレジストにより細帯状体群を形成する第3
工程と。
工程と。
前記第1工程及び第3工程において、フォトレジストに
より形成した部分を除き、第2工程により形成した電着
金属層【黒色電着塗装皮膜を電着する第4工程と。
より形成した部分を除き、第2工程により形成した電着
金属層【黒色電着塗装皮膜を電着する第4工程と。
アルカリ性溶夜により前記電着金属層(て形成した放射
状細帯状体群を除去し、露出した電着金、m層の部分に
反射率を向上するための皮膜を形成する第5工程と。
状細帯状体群を除去し、露出した電着金、m層の部分に
反射率を向上するための皮膜を形成する第5工程と。
金属基板より前記電着金属層と剥離する第6エ程とより
なる反射型ロータリエンコーダの回転板の製造方法を提
供するものである。
なる反射型ロータリエンコーダの回転板の製造方法を提
供するものである。
この製造方法を採用することにょシ、従来例のガラス体
を使用して製作する際に欠陥と考えられている加工技術
上の欠陥、慣性6破損等に関する問題点を克1服し、極
めて薄型にして高性能の回転板を容易に製作することが
可能となった。
を使用して製作する際に欠陥と考えられている加工技術
上の欠陥、慣性6破損等に関する問題点を克1服し、極
めて薄型にして高性能の回転板を容易に製作することが
可能となった。
(O実施例
以下添付図面を参照して本発明の詳細な説明する。第1
図は、メッキ可能な金属基板2上に。
図は、メッキ可能な金属基板2上に。
ネガ型不溶性のフォトレジストを使用して、ロータリエ
ンコーダの回転板の回転軸取付は孔20の輪郭部4と外
周部18の輪郭部6とをあらかじめ準備したフォトマス
クから密着露光、現像して形成した断面である、第2図
は第1図の平面図である、本実施例においては、使用し
た金属基板2には1本発明の最終工程において、後述す
る電着金属層10が容易に剥離可能なステンレス鋼板を
使用したが、特(Cステンレス鋼板でない金属板を使用
する場合には電着百に酸化皮膜をコーテングすればよい
ことは勿論である。
ンコーダの回転板の回転軸取付は孔20の輪郭部4と外
周部18の輪郭部6とをあらかじめ準備したフォトマス
クから密着露光、現像して形成した断面である、第2図
は第1図の平面図である、本実施例においては、使用し
た金属基板2には1本発明の最終工程において、後述す
る電着金属層10が容易に剥離可能なステンレス鋼板を
使用したが、特(Cステンレス鋼板でない金属板を使用
する場合には電着百に酸化皮膜をコーテングすればよい
ことは勿論である。
次に、第1図、第2図ておいて説明した外周輪郭部6と
嵌合孔輪郭部4とで構成した環状帯8の部分の基板2上
面K[気メッキにより金属層10を電鋳電着する。この
実施例ではニッケルメッキ浴槽内でニッケル電鋳を下記
条件で実施して、電着金属層lOを形成する(第3図参
照〕。
嵌合孔輪郭部4とで構成した環状帯8の部分の基板2上
面K[気メッキにより金属層10を電鋳電着する。この
実施例ではニッケルメッキ浴槽内でニッケル電鋳を下記
条件で実施して、電着金属層lOを形成する(第3図参
照〕。
メッキ浴組成:
スルファボン酸ニッケル 45097を塩化ニッケ
ル 15 f/lホウ酸
45 f/lレベリング剤
2〜/lメッキ条件: 浴温度 50℃±3℃pH4,0〜
4.5 電流密度 3 A / dm2尚電
着金属層10はニッケル以外に銅等を使用して電鋳1(
より形成してもよい。厚さは0.05閣〜0.08閣を
最適とする。
ル 15 f/lホウ酸
45 f/lレベリング剤
2〜/lメッキ条件: 浴温度 50℃±3℃pH4,0〜
4.5 電流密度 3 A / dm2尚電
着金属層10はニッケル以外に銅等を使用して電鋳1(
より形成してもよい。厚さは0.05閣〜0.08閣を
最適とする。
次の工程は反射部に関するものである。前記電着金属層
10の上面にポジ型溶解注フォトレジストを全面塗布し
、乾燥後あらかじめ用意された精度の高いフォトマスク
を、取付は孔4を中心として放射状に細帯状体群12が
形成されるように。
10の上面にポジ型溶解注フォトレジストを全面塗布し
、乾燥後あらかじめ用意された精度の高いフォトマスク
を、取付は孔4を中心として放射状に細帯状体群12が
形成されるように。
密HN光、現像する、これらの細帯状体群12は。
後述するように1回転板のIa帯状反射部16を形成す
るものである(第5図、参照)。前記のように密着露光
、現像により形成した細帯状体群12を形成後、金層基
板2を電着塗装槽に入れ電M塗装を実施して電着塗装皮
膜層14を形成する。使用する塗装材は、布板されてい
る「ニ二一ペイン)J(商品名)、陰極電着塗装顔吾タ
イプで主成樹脂分はエポキシ樹脂である、光の乱反射を
防止するために黒色を使用する。尚既にフォトレジスト
により形成された嵌合孔輪郭部4.外周部輪郭部6.放
射状細帯状体群12はフォトレジスト塗装皮膜で絶縁さ
れている関係上、これらの部材の上面には黒色電着塗装
皮膜14は電着されない。
るものである(第5図、参照)。前記のように密着露光
、現像により形成した細帯状体群12を形成後、金層基
板2を電着塗装槽に入れ電M塗装を実施して電着塗装皮
膜層14を形成する。使用する塗装材は、布板されてい
る「ニ二一ペイン)J(商品名)、陰極電着塗装顔吾タ
イプで主成樹脂分はエポキシ樹脂である、光の乱反射を
防止するために黒色を使用する。尚既にフォトレジスト
により形成された嵌合孔輪郭部4.外周部輪郭部6.放
射状細帯状体群12はフォトレジスト塗装皮膜で絶縁さ
れている関係上、これらの部材の上面には黒色電着塗装
皮膜14は電着されない。
電着塗装は下記条件で実施した。
浴温度 28℃±1℃
浴電圧 50〜250v
電流密度 IA/dm2以下通電時間
2〜5分 實厚 3〜5ずクロン前述の様に電着
塗装皮膜層14の形成完了後。
2〜5分 實厚 3〜5ずクロン前述の様に電着
塗装皮膜層14の形成完了後。
金属基板を背進ソーダ5%の溶液に浸漬し、電着金属層
lO上に密着露光、現像した放射状細帯状体群12のポ
ジ型フォトレジストを溶解除去する。
lO上に密着露光、現像した放射状細帯状体群12のポ
ジ型フォトレジストを溶解除去する。
けれども電着塗装皮膜層14及び外周輪郭部6゜嵌合孔
輪郭部4を形成するネガ型フォトレジストは溶解されな
いので、放射状細帯状体群12のみ除去され、この除去
部分には電着金、属層10のメッキ面(本実施例の場合
にはニッケルメッキ面)が露出する、この露出面には、
エンコーダに使用する光源の種類に応じて反射率の良好
な適宜のメッキ15を施す。例えば、可視光線光源使用
の場合には、可視光線の反射率のよいロジウムメッキを
又赤外線光源使用の場合には赤外線の反射率のよい金メ
ッキを施す。又露出面にメッキを施す代りにアルず蒸着
を行ってもよいことは勿論であシ。
輪郭部4を形成するネガ型フォトレジストは溶解されな
いので、放射状細帯状体群12のみ除去され、この除去
部分には電着金、属層10のメッキ面(本実施例の場合
にはニッケルメッキ面)が露出する、この露出面には、
エンコーダに使用する光源の種類に応じて反射率の良好
な適宜のメッキ15を施す。例えば、可視光線光源使用
の場合には、可視光線の反射率のよいロジウムメッキを
又赤外線光源使用の場合には赤外線の反射率のよい金メ
ッキを施す。又露出面にメッキを施す代りにアルず蒸着
を行ってもよいことは勿論であシ。
反射率向上のためには他の金属てよるメッキや蒸着を行
ってもよい。
ってもよい。
前記のメッキ又は蒸着工程完了後電着金属層lOを金層
基板2より剥離して第7図に図示の完成品である回転板
Rを得るものである。Ia帯状体群12は、完成品回転
板Rにおいてはmvr伏体反射部16を構成する。外周
部18は、外周部輪郭部6により、又ロータリエンコー
ダの回転軸の嵌合孔20は6嵌合孔輪郭部4により、そ
れぞれ形成されたものである。
基板2より剥離して第7図に図示の完成品である回転板
Rを得るものである。Ia帯状体群12は、完成品回転
板Rにおいてはmvr伏体反射部16を構成する。外周
部18は、外周部輪郭部6により、又ロータリエンコー
ダの回転軸の嵌合孔20は6嵌合孔輪郭部4により、そ
れぞれ形成されたものである。
(効果)
本発明のロータリエンコーダの回転板は、金属板を基板
として採用し、その上面に電鋳又は電着塗装により形成
された後、基板より剥離したものである。その反射部は
電着塗装皮膜で3〜5ミクロンの極めて薄い構成である
から細帯状体群の高密度化が可能であり、又回転板の外
周部はフォトレジストで形成された外周部輪郭部がその
ま\再現されてなるので、シャープ〒あり、フォトマス
ク通りに再現できる等の効果をもたらすものである。
として採用し、その上面に電鋳又は電着塗装により形成
された後、基板より剥離したものである。その反射部は
電着塗装皮膜で3〜5ミクロンの極めて薄い構成である
から細帯状体群の高密度化が可能であり、又回転板の外
周部はフォトレジストで形成された外周部輪郭部がその
ま\再現されてなるので、シャープ〒あり、フォトマス
ク通りに再現できる等の効果をもたらすものである。
すなわち本発明の製造方法は、従来例のガラス体を使用
して製作する場合に欠点として列挙し九加工技術、慣性
、破損等に関する問題点を克服するものであり、当業界
の技術的向上に大いに貢献する。
して製作する場合に欠点として列挙し九加工技術、慣性
、破損等に関する問題点を克服するものであり、当業界
の技術的向上に大いに貢献する。
第1図は金属基板上に外周部輪郭部、嵌合孔輪郭部をフ
ォトレジストで形成した状態の断面図。 第2図は第1図の平面図。第3図は電着金属層?金属基
板上に形成した状態の[iガ崗。第4図は第3図の電着
金属層上面て放射状細帯状体群を形成した状態の断直因
。第5図は第4図の平面図。第6図は電着金属層に電着
塗装皮膜を塗布し更に放射状細帯状体群の上面にメッキ
を施した状態の断百図。第゛7図は金層基板より剥、@
シた完成品の平面図。 R・・・回転板62・・・金属基板、4・・・嵌合孔輪
郭部。 6・・・外周部輪郭部、8・・・環状帯、10・・・電
着金属層、12・・・放射状細帯状体、14・・・電着
塗装皮膜嘆。 15・・・メッキ層、16・・・反射部、18・・・外
周部。 20・・・嵌合孔 出 、顎 大 株式会社デルファイ外−名 代理人 弁理士 小 林 榮図面の浄V(
内容に変更なし) 第1図 ts 2 図 第3図 第4図 第5図 第6図 第7図 ・ト続負$7 ’tE −i木2 (自発)昭和62年
4J’J14tl 特許庁長官 黒 111 リ1 雄 殿昭和62
年 特 許 願 第009390 !;2、発1!1
の名称 反射型ロータリエンコーダの回転板の製造方法3、補正
をする者 事件との関係 特許出願人 氏 名(名称)株式会社デルファイ 4、代理人 〒160 5、補正命令のl十[「自発」
ォトレジストで形成した状態の断面図。 第2図は第1図の平面図。第3図は電着金属層?金属基
板上に形成した状態の[iガ崗。第4図は第3図の電着
金属層上面て放射状細帯状体群を形成した状態の断直因
。第5図は第4図の平面図。第6図は電着金属層に電着
塗装皮膜を塗布し更に放射状細帯状体群の上面にメッキ
を施した状態の断百図。第゛7図は金層基板より剥、@
シた完成品の平面図。 R・・・回転板62・・・金属基板、4・・・嵌合孔輪
郭部。 6・・・外周部輪郭部、8・・・環状帯、10・・・電
着金属層、12・・・放射状細帯状体、14・・・電着
塗装皮膜嘆。 15・・・メッキ層、16・・・反射部、18・・・外
周部。 20・・・嵌合孔 出 、顎 大 株式会社デルファイ外−名 代理人 弁理士 小 林 榮図面の浄V(
内容に変更なし) 第1図 ts 2 図 第3図 第4図 第5図 第6図 第7図 ・ト続負$7 ’tE −i木2 (自発)昭和62年
4J’J14tl 特許庁長官 黒 111 リ1 雄 殿昭和62
年 特 許 願 第009390 !;2、発1!1
の名称 反射型ロータリエンコーダの回転板の製造方法3、補正
をする者 事件との関係 特許出願人 氏 名(名称)株式会社デルファイ 4、代理人 〒160 5、補正命令のl十[「自発」
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、金属基板上に回転板の回転軸嵌合孔を形成するため
の輪郭部と回転板の外周部を形成するための外周輪郭部
とをネガ型フォトレジストで皮膜状に形成する第1工程
と、 前記二つのフォトレジスト皮膜で形成する環状帯内側の
金属基板上に金属層を電鋳により電着する第2工程と、 前記電着金属層に、回転軸嵌合孔を形成するための輪郭
部を中心として放射状に、ポジ型フォトレジストにより
細帯状体群を形成する第3工程と、 前記第1工程及び第3工程において、フォトレジストに
より形成した部分を除き、第2工程により形成した電着
金属層に黒色塗装皮膜を電着する第4工程と、 アルカリ性溶液により前記電着金属層に形成した前記放
射状細帯状体群を除去し、露出した電着金属層の部分に
反射率を向上するための物質の皮膜を形成する第5工程
と、 金属基板より前記電着金属層を剥離する第6工程とより
なる反射型ロータリエンコーダの回転板の製造方法。 2、第1工程の金属基板にステンレス鋼板を採用した特
許請求の範囲第1項記載の反射型ロータリエンコーダの
回転板の製造方法。 3、第2工程において形成される電着金属層はニッケル
又は銅よりなり、0.05mm〜0.08mmの厚さを
有することを最適とする特許請求の範囲第1項に記載の
反射型ロータリエンコーダの回転板の製造方法。 4、第5工程において反射率を向上するためにロジウム
又は金をメッキして皮膜を形成した特許請求の範囲第1
項記載の反射型ロータリエンコーダの回転板の製造方法
。 5、第5工程において、アルカリ性溶液によりフォトレ
ジストにより形成された放射状細帯状体群を除去後、そ
の露出面にアルミ蒸着を施した特許請求の範囲第1項記
載の反射型ロータリエンコーダの回転板の製造方法
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP939087A JPS63177617A (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | 反射型ロ−タリエンコ−ダの回転板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP939087A JPS63177617A (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | 反射型ロ−タリエンコ−ダの回転板の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63177617A true JPS63177617A (ja) | 1988-07-21 |
Family
ID=11719111
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP939087A Pending JPS63177617A (ja) | 1987-01-19 | 1987-01-19 | 反射型ロ−タリエンコ−ダの回転板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63177617A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008170286A (ja) * | 2007-01-12 | 2008-07-24 | Mitsubishi Electric Corp | 光学式エンコーダ用スケールおよびその製造方法 |
JP5240198B2 (ja) * | 2007-09-05 | 2013-07-17 | 株式会社ニコン | 光学式エンコーダ用反射板およびその製造方法、ならびに光学式エンコーダ |
JP6171213B1 (ja) * | 2016-11-25 | 2017-08-02 | 株式会社プロセス・ラボ・ミクロン | 光学式エンコーダ用反射板とその製造方法 |
-
1987
- 1987-01-19 JP JP939087A patent/JPS63177617A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008170286A (ja) * | 2007-01-12 | 2008-07-24 | Mitsubishi Electric Corp | 光学式エンコーダ用スケールおよびその製造方法 |
JP5240198B2 (ja) * | 2007-09-05 | 2013-07-17 | 株式会社ニコン | 光学式エンコーダ用反射板およびその製造方法、ならびに光学式エンコーダ |
JP6171213B1 (ja) * | 2016-11-25 | 2017-08-02 | 株式会社プロセス・ラボ・ミクロン | 光学式エンコーダ用反射板とその製造方法 |
JP2018084562A (ja) * | 2016-11-25 | 2018-05-31 | 株式会社プロセス・ラボ・ミクロン | 光学式エンコーダ用反射板とその製造方法 |
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