JP6171213B1 - 光学式エンコーダ用反射板とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
請求項2に記載の発明は、光学式エンコーダ用反射板の製造方法であって、光沢を有する導電性のめっき基材上に、スリッドのパターンに対応した所定のパターンで第一のレジストを形成し、前記めっき基材上に、銅めっき皮膜を放射線状の配列で形成し、前記第一のレジストを除去し、前記めっき基材上に、第二のレジストを、前記銅めっき皮膜の配列と同心円状に、円環状に形成し、前記めっき基材上に、前記銅めっき皮膜より厚くニッケルめっき皮膜を形成し、前記第二のレジストを除去し、前記ニッケルめっき皮膜を、前記銅めっき皮膜とともに前記めっき基材から剥離して、薄板状の円板体を形成し、前記円板体に銅の黒化処理を施して、前記円板体のめっき基材側の面における前記銅めっき皮膜の露出部を黒化する、ことを特徴とする。
図1は、実施の形態1にかかる、光学式エンコーダ用マスク1の概略の正面図(a)と、側面断面図(b)である。
2 円板
21 軸受穴
3 スリッド
31 スリッド本体
32 係合突起
41 めっき基材
42 第一のレジスト
43 第二のレジスト
Claims (2)
- 金属製の薄板状の円板体からなる光学式エンコーダ用反射板であって、
前記円板体は、平坦かつ光を反射可能な光沢面を有し、
前記光沢面は、面内に所定のパターンで配列されたスリッドを有し、
前記スリッドの一面は、前記光沢面と面一に形成されており、
前記スリッドは、側面断面図で見たとき、矩形状のスリッド本体と、前記スリッド本体の露出面に対向する側に形成され、横幅が前記スリッド本体より広くせり出した形状の係合突起から構成され、全体としてマッシュルーム型をしており、前記光沢面と同一面に露出する表面以外は、前記円板体に嵌め込まれた銅片であり、
前記スリッドの前記光沢面と同一面に露出する表面が黒色処理されている、
ことを特徴とする、光学式エンコーダ用反射板。 - 光沢を有する導電性のめっき基材上に、スリッドのパターンに対応した所定のパターンで第一のレジストを形成し、
前記めっき基材上に、銅めっき皮膜を放射線状の配列で形成し、
前記第一のレジストを除去し、
前記めっき基材上に第二のレジストを、前記銅めっき皮膜の配列と同心円状に、円環状に形成し、
前記めっき基材上に、前記銅めっき皮膜より厚くニッケルめっき皮膜を形成し、
前記第二のレジストを除去し、
前記ニッケルめっき皮膜を、前記銅めっき皮膜とともに前記めっき基材から剥離して、薄板状の円板体を形成し、
前記、円板体に銅の黒化処理を施して、前記円板体のめっき基材側の面における前記銅めっき皮膜の露出部を黒化する、
ことを特徴とする、光学式エンコーダ用反射板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP6240867B1 (ja) * | 2017-06-12 | 2017-12-06 | 株式会社プロセス・ラボ・ミクロン | 光学式エンコーダ用反射板とその製造方法 |
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- 2016-11-25 JP JP2016229527A patent/JP6171213B1/ja active Active
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