JPS63100614A - 磁気デイスク用基板めつき治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の属する技術分野〕 本発明は、高密度記録再生用磁気ディスク装置に用いら
れる磁気ディスクの製造において、基板に下地層として
無電解めっき法でニッケル（Ｎ＋　）−りん（Ｐ）合金
層を形成するときに用いるめっき治具に関する。

〔従来技術とその問題点〕

近年、高密度記録再生の磁気記録装置には薄膜磁気ディ
スクが用いられるようになってきている。

薄膜磁気ディスクは、例えば、ディスク状アルミニウム
合金Ｘｆｉの表面に下地層として無電解めっきでＮ１−
Ｐ合金層を形成した後、その上にスパッタ法で非磁性金
属下地層、薄膜磁性層を均一に形成し、さらに、その上
に保護潤滑膜を形成して作製される。

このような薄膜磁気ディスクの製造において、アルミニ
ウム合金基板の表面に下地層として無電解めっき法でＮ
１−Ｐ合金層を成膜する場合、欠陥の少ない均質な膜を
均一な膜厚で、かつ、量産性良く成膜することが要求さ
れる。そのための方法として、一般に第１図に示すよう
なめっき治具に基板を複数枚セットし、めっき前処理を
施した後、めっき槽内の取付台に装着し、取付台を介し
てめっき治具を自転あるいは自公転させながら、従って
基板が自転あるいは自公転しながらめっきを行う。

従来、このようなめっき治具の構成材料には、ポリプロ
ピレン（ＰＰ）などの樹脂、ステンレス鋼などの金属が
用いられていた。

ところが、ＰＰなどの樹脂で作製されためっき治具は、
使用によって治具が収縮してしまうという欠点と、前処
理によって材料である樹脂そのものの性質が変質してし
まうという欠点があり、治具の寿命が短いという問題が
あった。

また、ステンレス鋼１例えば５ＵＳ３０４などの金属で
作製されためっき治具は、前処理において治具自体が反
応し、続いて行うめっきにおいて治具自体にもＮ１−Ｐ
合金が付着するため、めっきを−回行う毎に治具に付着
したＮ１−Ｐ合金を剥離しなければならないという問題
があった。

〔発明の目的〕

本発明は、上述の点に鑑みてなされたものであって、磁
気ディスク用基板に下地層としてＮ１−Ｐ合金無電解め
っきを施すときに用いるめっき治具として、めっきおよ
びその前処理に用いる処理液に対する耐性が強く、変形
も少な（て、使用寿命が長く、かつ、めっき治具自体へ
のＮ１−Ｐ合金の析出付着がなく、その剥離作業を必要
としないめっき治具を提供することを目的とする。

〔発明の要点〕

本発明の目的は、めっきおよびその前処理に基板を保持
するために用いるめっき治具をポリフェニレンサルファ
イド（ＰＰＳ）を用いて作製することによって達成され
る。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の実施例を図面を参照しながら説明する。

第１図に本発明によるめっき治具の一実施例の概念的側
面図を示す。めっき治具１は形状は従来のめっき治具と
同じであり、材質が従来のＰＰや５ＩＩＳ３０４と異な
りＰＰＳからなる。めっき治具１は支持軸２と取付部４
からなり、支持軸２には溝３が複数個（２０〜３０個程
度）設けられている。支持軸の長さＡは４８３．６ｍ＋
ｅである。支持軸の先端Ｂよリディスク基板５の穴６を
とおして谷溝に基板をゆるくはめる。その状態を第２図
に示す。第２図は溝３の部分を拡大した側面図であって
、基板５（断面を示す）がディスクの穴６により支持軸
２にとおされ、溝３にゆるやかにはめられている。

基板の自重で基板の穴と溝の軸の一部とは接触しており
、支持軸２が軸まわりに自転すると、それにつれて基板
５も回転するようになっている。

このように、めっき治具ｌの支持軸２の谷溝３に基板５
がセットされ、めっきの前処理が施され、次にめっき槽
に設萱された取付台に、めっき治具１が複数本、取付部
４によりリング状に水平に取り付けられ、リングの中心
を軸として公転しながら各々自転し、このようにして自
公転せしめられている基板５の表面にＮ１−Ｐ合金の無
電解めっきが施される。

めっき治具に用いた材料であるＰＰＳの特性を第１表に
示す。比較のために従来用いられていたＰＰの特性も同
時に示す。

第　　　１　　　表 また、無電解Ｎ＋−Ｐ合金めっきのプロセス、浴。

処理条件を第２表に示す。

ｍ２表 第２表に見られるとおり、無電解Ｎ＋−Ｐ合金めっきの
プロセスにおいては、浴温か純水の約２０℃からめっき
液の約９０℃とかなり大幅に変わり、しかも高温、低温
がほぼ交互になっているので、これらのプロセス中基板
を支持しているめっき治具はかなり大きな熱サイクルを
受けることになる。

いま、従来のようにＰＰで作製しためっき治具を用いて
上述のめっきを行った場合、ＰＰは第１表に示したよう
に熱膨張率が大きいので、めっきプロセスにおける熱サ
イクルにより膨張・収縮を繰り返しているうちに、めっ
き治具の長さが短くなり、支持軸の長さＡが最初４８３
．６０ｍｃ＋であったものが、２４回使用後には４８３
．３躯と０．３ｍａ＋短くなり、４８回使用後には４ｇ
２．８５　ｗｓと０．７５　ｍｓも収縮し短くなってし
まった。溝幅Ｃについても、使用前１．３７ｍｍあった
ものが１２０回使用後には１．３５＋ｅと０．０２＋ｕ
＋狭くなり、そのため、めっき中支持軸が自転しても基
板が自転しなくなり、基板の内径部にめっきが被着しな
い部分が発生するようになった。

また、第１表に見られるとおり、ＰＰは熱変形温度が低
く曲げ強さが弱いために、水平にして使用しているめっ
き治具の支持軸が、熱および基板の重量のために下方に
曲がり、１２０回使用後では支持軸の先端で１．４８ａ
＋ｉ下方に曲がってしまった。

このために、前処理およびめっき中に隣同士の基板が接
触しめっき不良が発生した。従来、この問題を防ぐため
に支持軸にステンレス鋼の心棒をいれることが行われて
きた。

さらに、ＰＰは強アルカリに対して耐性が小さいために
、前処理の強アルカリの浴によりめっき治具は使用につ
れて白色から黄色に変色し劣化し、もろくなってくる。

これに対して、ＰＰＳを材料とする実施例のめっき治具
の場合には、第１表に示したように熱膨張率がＰＰより
もＰＰＳが非常に小さいので、第２表に示したような前
処理およびめっきを行っても、治具の膨張収縮はほとん
どなく、約５０回使用後にも支持軸の収縮劣化はまった
く現れなかった。

同じく溝幅についても、使用前１．３７ｍｍの幅が１２
０回使用後もまったく変わらず収縮劣化はみられなかっ
た。

また、第１表に示すように、ＰＰＳはＰＰに比し曲げ強
さで約５倍強く、熱変形温度で約４倍も高い。そのため
、ＰＰＳで作製しためっき治具の支持軸は、熱による変
形、基板の重量による曲がりは発生しない。従って、従
来のＰＰを材料とするめっき治具の場合のようにステン
レス鋼の心棒をいれる必要はない。

さらに、耐薬品性については第１表に見られるとおり、
強酸についてはＰＰと同じレベルであるが、強アルカリ
については優れており、劣化はみられない。

めっき治具の材料として、ステンレス鋼９例えば５ｌｌ
Ｓ３０４を使用した場合には、熱や薬品に対して安定で
、めっき治具の収縮、変形、劣化はみられないが、前処
理によりめっき治具自体が反応して活性化し、続いての
めっき処理で治具にＮ＋−Ｐ合金が被着してしまう。そ
のため、めっき終了後、治具に被着したＬ−Ｐ合金を取
り除かなければならず、治具を硝酸に８〜１０時間浸漬
してＮ　ｉ−Ｐ合金層を剥離することが必要となり、め
っき治具の使用効率が低く量産には不向きである。ＰＰ
Ｓを材料とする実施例のめっき治具では、このような治
具へのＮ１−Ｐ合金の被着は生じないので硝酸剥離作業
は必要でなく、量産に適した治具である。

〔発明の効果〕

本発明によれば、めっきおよびその前処理に基板を保持
するために用いるめっき治具をＰＰＳにより作製する。

耐熱性、耐薬品性に優れたＰＰＳを用いることにより、
めっきおよびその前処理に用いる処理液に対して耐性が
強く変質劣化をせず、変形も少なくて使用寿命が長く、
かつ、めっき治具自体へのＮ１−Ｐ合金の被着がなく、
その剥離作業を必要としない量産に適しためっき治具を
得ることができる。

また、熱変形温度が高く、曲げ強さが大きいＰＰＳを用
いているので、めっき治具の変形、特に支持軸の曲がり
が発生せず、従って、めっき治具への基板の装着、取り
はずしが自動化できることになり実用的効果は極めて大
きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例および従来例の一例のめっき治
具の概念的側面図、第２図はめっき治具の支持軸の溝部
および溝に基板を装着した状態を示す概念的側面図であ
る。 １　めっき治具、２　支持軸、３　溝、４　取！ｆ図 男２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）磁気ディスク用基板表面に下地層として無電解めっ
   き法でニッケル（Ｎｉ）−りん（Ｐ）合金層を形成する
   際に、めっき処理およびその前処理を行うために用いる
   前記基板を保持するめっき治具がポリフェニレンサルフ
   ァイド（ＰＰＳ）よりなることを特徴とする磁気ディス
   ク用基板めっき治具。