JPS63100614A - 磁気デイスク用基板めつき治具 - Google Patents
磁気デイスク用基板めつき治具Info
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- JPS63100614A JPS63100614A JP24653986A JP24653986A JPS63100614A JP S63100614 A JPS63100614 A JP S63100614A JP 24653986 A JP24653986 A JP 24653986A JP 24653986 A JP24653986 A JP 24653986A JP S63100614 A JPS63100614 A JP S63100614A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する技術分野〕
本発明は、高密度記録再生用磁気ディスク装置に用いら
れる磁気ディスクの製造において、基板に下地層として
無電解めっき法でニッケル(N+ )−りん(P)合金
層を形成するときに用いるめっき治具に関する。
れる磁気ディスクの製造において、基板に下地層として
無電解めっき法でニッケル(N+ )−りん(P)合金
層を形成するときに用いるめっき治具に関する。
近年、高密度記録再生の磁気記録装置には薄膜磁気ディ
スクが用いられるようになってきている。
スクが用いられるようになってきている。
薄膜磁気ディスクは、例えば、ディスク状アルミニウム
合金Xfiの表面に下地層として無電解めっきでN1−
P合金層を形成した後、その上にスパッタ法で非磁性金
属下地層、薄膜磁性層を均一に形成し、さらに、その上
に保護潤滑膜を形成して作製される。
合金Xfiの表面に下地層として無電解めっきでN1−
P合金層を形成した後、その上にスパッタ法で非磁性金
属下地層、薄膜磁性層を均一に形成し、さらに、その上
に保護潤滑膜を形成して作製される。
このような薄膜磁気ディスクの製造において、アルミニ
ウム合金基板の表面に下地層として無電解めっき法でN
1−P合金層を成膜する場合、欠陥の少ない均質な膜を
均一な膜厚で、かつ、量産性良く成膜することが要求さ
れる。そのための方法として、一般に第1図に示すよう
なめっき治具に基板を複数枚セットし、めっき前処理を
施した後、めっき槽内の取付台に装着し、取付台を介し
てめっき治具を自転あるいは自公転させながら、従って
基板が自転あるいは自公転しながらめっきを行う。
ウム合金基板の表面に下地層として無電解めっき法でN
1−P合金層を成膜する場合、欠陥の少ない均質な膜を
均一な膜厚で、かつ、量産性良く成膜することが要求さ
れる。そのための方法として、一般に第1図に示すよう
なめっき治具に基板を複数枚セットし、めっき前処理を
施した後、めっき槽内の取付台に装着し、取付台を介し
てめっき治具を自転あるいは自公転させながら、従って
基板が自転あるいは自公転しながらめっきを行う。
従来、このようなめっき治具の構成材料には、ポリプロ
ピレン(PP)などの樹脂、ステンレス鋼などの金属が
用いられていた。
ピレン(PP)などの樹脂、ステンレス鋼などの金属が
用いられていた。
ところが、PPなどの樹脂で作製されためっき治具は、
使用によって治具が収縮してしまうという欠点と、前処
理によって材料である樹脂そのものの性質が変質してし
まうという欠点があり、治具の寿命が短いという問題が
あった。
使用によって治具が収縮してしまうという欠点と、前処
理によって材料である樹脂そのものの性質が変質してし
まうという欠点があり、治具の寿命が短いという問題が
あった。
また、ステンレス鋼1例えば5US304などの金属で
作製されためっき治具は、前処理において治具自体が反
応し、続いて行うめっきにおいて治具自体にもN1−P
合金が付着するため、めっきを−回行う毎に治具に付着
したN1−P合金を剥離しなければならないという問題
があった。
作製されためっき治具は、前処理において治具自体が反
応し、続いて行うめっきにおいて治具自体にもN1−P
合金が付着するため、めっきを−回行う毎に治具に付着
したN1−P合金を剥離しなければならないという問題
があった。
本発明は、上述の点に鑑みてなされたものであって、磁
気ディスク用基板に下地層としてN1−P合金無電解め
っきを施すときに用いるめっき治具として、めっきおよ
びその前処理に用いる処理液に対する耐性が強く、変形
も少な(て、使用寿命が長く、かつ、めっき治具自体へ
のN1−P合金の析出付着がなく、その剥離作業を必要
としないめっき治具を提供することを目的とする。
気ディスク用基板に下地層としてN1−P合金無電解め
っきを施すときに用いるめっき治具として、めっきおよ
びその前処理に用いる処理液に対する耐性が強く、変形
も少な(て、使用寿命が長く、かつ、めっき治具自体へ
のN1−P合金の析出付着がなく、その剥離作業を必要
としないめっき治具を提供することを目的とする。
本発明の目的は、めっきおよびその前処理に基板を保持
するために用いるめっき治具をポリフェニレンサルファ
イド(PPS)を用いて作製することによって達成され
る。
するために用いるめっき治具をポリフェニレンサルファ
イド(PPS)を用いて作製することによって達成され
る。
以下、本発明の実施例を図面を参照しながら説明する。
第1図に本発明によるめっき治具の一実施例の概念的側
面図を示す。めっき治具1は形状は従来のめっき治具と
同じであり、材質が従来のPPや5IIS304と異な
りPPSからなる。めっき治具1は支持軸2と取付部4
からなり、支持軸2には溝3が複数個(20〜30個程
度)設けられている。支持軸の長さAは483.6m+
eである。支持軸の先端Bよリディスク基板5の穴6を
とおして谷溝に基板をゆるくはめる。その状態を第2図
に示す。第2図は溝3の部分を拡大した側面図であって
、基板5(断面を示す)がディスクの穴6により支持軸
2にとおされ、溝3にゆるやかにはめられている。
面図を示す。めっき治具1は形状は従来のめっき治具と
同じであり、材質が従来のPPや5IIS304と異な
りPPSからなる。めっき治具1は支持軸2と取付部4
からなり、支持軸2には溝3が複数個(20〜30個程
度)設けられている。支持軸の長さAは483.6m+
eである。支持軸の先端Bよリディスク基板5の穴6を
とおして谷溝に基板をゆるくはめる。その状態を第2図
に示す。第2図は溝3の部分を拡大した側面図であって
、基板5(断面を示す)がディスクの穴6により支持軸
2にとおされ、溝3にゆるやかにはめられている。
基板の自重で基板の穴と溝の軸の一部とは接触しており
、支持軸2が軸まわりに自転すると、それにつれて基板
5も回転するようになっている。
、支持軸2が軸まわりに自転すると、それにつれて基板
5も回転するようになっている。
このように、めっき治具lの支持軸2の谷溝3に基板5
がセットされ、めっきの前処理が施され、次にめっき槽
に設萱された取付台に、めっき治具1が複数本、取付部
4によりリング状に水平に取り付けられ、リングの中心
を軸として公転しながら各々自転し、このようにして自
公転せしめられている基板5の表面にN1−P合金の無
電解めっきが施される。
がセットされ、めっきの前処理が施され、次にめっき槽
に設萱された取付台に、めっき治具1が複数本、取付部
4によりリング状に水平に取り付けられ、リングの中心
を軸として公転しながら各々自転し、このようにして自
公転せしめられている基板5の表面にN1−P合金の無
電解めっきが施される。
めっき治具に用いた材料であるPPSの特性を第1表に
示す。比較のために従来用いられていたPPの特性も同
時に示す。
示す。比較のために従来用いられていたPPの特性も同
時に示す。
第 1 表
また、無電解N+−P合金めっきのプロセス、浴。
処理条件を第2表に示す。
m2表
第2表に見られるとおり、無電解N+−P合金めっきの
プロセスにおいては、浴温か純水の約20℃からめっき
液の約90℃とかなり大幅に変わり、しかも高温、低温
がほぼ交互になっているので、これらのプロセス中基板
を支持しているめっき治具はかなり大きな熱サイクルを
受けることになる。
プロセスにおいては、浴温か純水の約20℃からめっき
液の約90℃とかなり大幅に変わり、しかも高温、低温
がほぼ交互になっているので、これらのプロセス中基板
を支持しているめっき治具はかなり大きな熱サイクルを
受けることになる。
いま、従来のようにPPで作製しためっき治具を用いて
上述のめっきを行った場合、PPは第1表に示したよう
に熱膨張率が大きいので、めっきプロセスにおける熱サ
イクルにより膨張・収縮を繰り返しているうちに、めっ
き治具の長さが短くなり、支持軸の長さAが最初483
.60mc+であったものが、24回使用後には483
.3躯と0.3ma+短くなり、48回使用後には4g
2.85 wsと0.75 msも収縮し短くなってし
まった。溝幅Cについても、使用前1.37mmあった
ものが120回使用後には1.35+eと0.02+u
+狭くなり、そのため、めっき中支持軸が自転しても基
板が自転しなくなり、基板の内径部にめっきが被着しな
い部分が発生するようになった。
上述のめっきを行った場合、PPは第1表に示したよう
に熱膨張率が大きいので、めっきプロセスにおける熱サ
イクルにより膨張・収縮を繰り返しているうちに、めっ
き治具の長さが短くなり、支持軸の長さAが最初483
.60mc+であったものが、24回使用後には483
.3躯と0.3ma+短くなり、48回使用後には4g
2.85 wsと0.75 msも収縮し短くなってし
まった。溝幅Cについても、使用前1.37mmあった
ものが120回使用後には1.35+eと0.02+u
+狭くなり、そのため、めっき中支持軸が自転しても基
板が自転しなくなり、基板の内径部にめっきが被着しな
い部分が発生するようになった。
また、第1表に見られるとおり、PPは熱変形温度が低
く曲げ強さが弱いために、水平にして使用しているめっ
き治具の支持軸が、熱および基板の重量のために下方に
曲がり、120回使用後では支持軸の先端で1.48a
+i下方に曲がってしまった。
く曲げ強さが弱いために、水平にして使用しているめっ
き治具の支持軸が、熱および基板の重量のために下方に
曲がり、120回使用後では支持軸の先端で1.48a
+i下方に曲がってしまった。
このために、前処理およびめっき中に隣同士の基板が接
触しめっき不良が発生した。従来、この問題を防ぐため
に支持軸にステンレス鋼の心棒をいれることが行われて
きた。
触しめっき不良が発生した。従来、この問題を防ぐため
に支持軸にステンレス鋼の心棒をいれることが行われて
きた。
さらに、PPは強アルカリに対して耐性が小さいために
、前処理の強アルカリの浴によりめっき治具は使用につ
れて白色から黄色に変色し劣化し、もろくなってくる。
、前処理の強アルカリの浴によりめっき治具は使用につ
れて白色から黄色に変色し劣化し、もろくなってくる。
これに対して、PPSを材料とする実施例のめっき治具
の場合には、第1表に示したように熱膨張率がPPより
もPPSが非常に小さいので、第2表に示したような前
処理およびめっきを行っても、治具の膨張収縮はほとん
どなく、約50回使用後にも支持軸の収縮劣化はまった
く現れなかった。
の場合には、第1表に示したように熱膨張率がPPより
もPPSが非常に小さいので、第2表に示したような前
処理およびめっきを行っても、治具の膨張収縮はほとん
どなく、約50回使用後にも支持軸の収縮劣化はまった
く現れなかった。
同じく溝幅についても、使用前1.37mmの幅が12
0回使用後もまったく変わらず収縮劣化はみられなかっ
た。
0回使用後もまったく変わらず収縮劣化はみられなかっ
た。
また、第1表に示すように、PPSはPPに比し曲げ強
さで約5倍強く、熱変形温度で約4倍も高い。そのため
、PPSで作製しためっき治具の支持軸は、熱による変
形、基板の重量による曲がりは発生しない。従って、従
来のPPを材料とするめっき治具の場合のようにステン
レス鋼の心棒をいれる必要はない。
さで約5倍強く、熱変形温度で約4倍も高い。そのため
、PPSで作製しためっき治具の支持軸は、熱による変
形、基板の重量による曲がりは発生しない。従って、従
来のPPを材料とするめっき治具の場合のようにステン
レス鋼の心棒をいれる必要はない。
さらに、耐薬品性については第1表に見られるとおり、
強酸についてはPPと同じレベルであるが、強アルカリ
については優れており、劣化はみられない。
強酸についてはPPと同じレベルであるが、強アルカリ
については優れており、劣化はみられない。
めっき治具の材料として、ステンレス鋼9例えば5ll
S304を使用した場合には、熱や薬品に対して安定で
、めっき治具の収縮、変形、劣化はみられないが、前処
理によりめっき治具自体が反応して活性化し、続いての
めっき処理で治具にN+−P合金が被着してしまう。そ
のため、めっき終了後、治具に被着したL−P合金を取
り除かなければならず、治具を硝酸に8〜10時間浸漬
してN i−P合金層を剥離することが必要となり、め
っき治具の使用効率が低く量産には不向きである。PP
Sを材料とする実施例のめっき治具では、このような治
具へのN1−P合金の被着は生じないので硝酸剥離作業
は必要でなく、量産に適した治具である。
S304を使用した場合には、熱や薬品に対して安定で
、めっき治具の収縮、変形、劣化はみられないが、前処
理によりめっき治具自体が反応して活性化し、続いての
めっき処理で治具にN+−P合金が被着してしまう。そ
のため、めっき終了後、治具に被着したL−P合金を取
り除かなければならず、治具を硝酸に8〜10時間浸漬
してN i−P合金層を剥離することが必要となり、め
っき治具の使用効率が低く量産には不向きである。PP
Sを材料とする実施例のめっき治具では、このような治
具へのN1−P合金の被着は生じないので硝酸剥離作業
は必要でなく、量産に適した治具である。
本発明によれば、めっきおよびその前処理に基板を保持
するために用いるめっき治具をPPSにより作製する。
するために用いるめっき治具をPPSにより作製する。
耐熱性、耐薬品性に優れたPPSを用いることにより、
めっきおよびその前処理に用いる処理液に対して耐性が
強く変質劣化をせず、変形も少なくて使用寿命が長く、
かつ、めっき治具自体へのN1−P合金の被着がなく、
その剥離作業を必要としない量産に適しためっき治具を
得ることができる。
めっきおよびその前処理に用いる処理液に対して耐性が
強く変質劣化をせず、変形も少なくて使用寿命が長く、
かつ、めっき治具自体へのN1−P合金の被着がなく、
その剥離作業を必要としない量産に適しためっき治具を
得ることができる。
また、熱変形温度が高く、曲げ強さが大きいPPSを用
いているので、めっき治具の変形、特に支持軸の曲がり
が発生せず、従って、めっき治具への基板の装着、取り
はずしが自動化できることになり実用的効果は極めて大
きい。
いているので、めっき治具の変形、特に支持軸の曲がり
が発生せず、従って、めっき治具への基板の装着、取り
はずしが自動化できることになり実用的効果は極めて大
きい。
第1図は本発明の実施例および従来例の一例のめっき治
具の概念的側面図、第2図はめっき治具の支持軸の溝部
および溝に基板を装着した状態を示す概念的側面図であ
る。 1 めっき治具、2 支持軸、3 溝、4 取!f図 男2図
具の概念的側面図、第2図はめっき治具の支持軸の溝部
および溝に基板を装着した状態を示す概念的側面図であ
る。 1 めっき治具、2 支持軸、3 溝、4 取!f図 男2図
Claims (1)
- 1)磁気ディスク用基板表面に下地層として無電解めっ
き法でニッケル(Ni)−りん(P)合金層を形成する
際に、めっき処理およびその前処理を行うために用いる
前記基板を保持するめっき治具がポリフェニレンサルフ
ァイド(PPS)よりなることを特徴とする磁気ディス
ク用基板めっき治具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24653986A JPS63100614A (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 磁気デイスク用基板めつき治具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24653986A JPS63100614A (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 磁気デイスク用基板めつき治具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63100614A true JPS63100614A (ja) | 1988-05-02 |
JPH0554175B2 JPH0554175B2 (ja) | 1993-08-11 |
Family
ID=17149912
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP24653986A Granted JPS63100614A (ja) | 1986-10-17 | 1986-10-17 | 磁気デイスク用基板めつき治具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63100614A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019203212A1 (ja) * | 2018-04-18 | 2019-10-24 | 東洋鋼鈑株式会社 | ハードディスク用基板のめっき治具 |
-
1986
- 1986-10-17 JP JP24653986A patent/JPS63100614A/ja active Granted
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2019203212A1 (ja) * | 2018-04-18 | 2019-10-24 | 東洋鋼鈑株式会社 | ハードディスク用基板のめっき治具 |
JP2019189886A (ja) * | 2018-04-18 | 2019-10-31 | 東洋鋼鈑株式会社 | ハードディスク用基板のめっき治具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0554175B2 (ja) | 1993-08-11 |
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