JPS6316937A - ロツドをスライスに切断する方法、その方法を実施するためのスライシング加工機、およびその使用 - Google Patents
ロツドをスライスに切断する方法、その方法を実施するためのスライシング加工機、およびその使用Info
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- JPS6316937A JPS6316937A JP62091106A JP9110687A JPS6316937A JP S6316937 A JPS6316937 A JP S6316937A JP 62091106 A JP62091106 A JP 62091106A JP 9110687 A JP9110687 A JP 9110687A JP S6316937 A JPS6316937 A JP S6316937A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はロッドをスライスに切断する方法、特にスライ
シング加工機によってディスクにする方法に関し、スラ
イスされたものは、材料のスライスが完了したとき真空
チャックにより取り出され、排出される。 硬質材料か
らロッドをスライスする方法、たとえばシリコンを薄い
ディスク（ウェーハ）にする方法、特にスライシング加
工機は知られている。スライシング加工ｉｔオ一般に内
径環４に鋸刃（ｉｎｓｉｄｅ ｄｉａｍｅｔｅｒ ａｎ
ｎｕｌａｒ ｓａｗ ｈｌａｄｅ）を（ｉｆｆえており
、この場合環状回転スライス鋸刃に研削材を厚く塗布し
た内側縁がロッドをスライスする。このロッドからスラ
イスした硬質で比較的脆い物質から成るウェーハの除去
に関して特別な問題が生しる。もし、ロッドのスライス
に際して、スライスしたウェーハに強過ぎる残留力が加
えられると、ロッドからのウェーハの分角１１が完了す
る直前にウェーハまたはロッドの割れたエツジによる危
険が存在する。このような破）旧Ｊ受容できないので、
軟質材料の切削用ベースがロッド表面上の一本の線に沿
って成形されるか、接着されており、その位置は各スラ
イス工程後ウェーハがロッドから＾Ｕれる所である。切
削用ベースは、生成されたウェーハを取出すために、な
お切断途中になければならない。最後に、各ウェーハは
それに付着している切削ベースから自由でな＋３れげな
らない（ＢＰ−Ａ−００７９７４４）。このような手順
は材料および時間の消耗が多過ぎるので、興味を引くも
のではない。更にＦト＾−２３６０４８８により、切削
用ベースを用いずに進行させ、そして切断工程完了の少
し前に弾性のある円錐形薄膜によって各ディスクを掴む
ことが知られている。この場合、この薄膜（１１真空に
より吸引される。しかし、吸引中に膜に作用する力の安
全な制御は不可能である。
シング加工機によってディスクにする方法に関し、スラ
イスされたものは、材料のスライスが完了したとき真空
チャックにより取り出され、排出される。 硬質材料か
らロッドをスライスする方法、たとえばシリコンを薄い
ディスク（ウェーハ）にする方法、特にスライシング加
工機は知られている。スライシング加工ｉｔオ一般に内
径環４に鋸刃（ｉｎｓｉｄｅ ｄｉａｍｅｔｅｒ ａｎ
ｎｕｌａｒ ｓａｗ ｈｌａｄｅ）を（ｉｆｆえており
、この場合環状回転スライス鋸刃に研削材を厚く塗布し
た内側縁がロッドをスライスする。このロッドからスラ
イスした硬質で比較的脆い物質から成るウェーハの除去
に関して特別な問題が生しる。もし、ロッドのスライス
に際して、スライスしたウェーハに強過ぎる残留力が加
えられると、ロッドからのウェーハの分角１１が完了す
る直前にウェーハまたはロッドの割れたエツジによる危
険が存在する。このような破）旧Ｊ受容できないので、
軟質材料の切削用ベースがロッド表面上の一本の線に沿
って成形されるか、接着されており、その位置は各スラ
イス工程後ウェーハがロッドから＾Ｕれる所である。切
削用ベースは、生成されたウェーハを取出すために、な
お切断途中になければならない。最後に、各ウェーハは
それに付着している切削ベースから自由でな＋３れげな
らない（ＢＰ−Ａ−００７９７４４）。このような手順
は材料および時間の消耗が多過ぎるので、興味を引くも
のではない。更にＦト＾−２３６０４８８により、切削
用ベースを用いずに進行させ、そして切断工程完了の少
し前に弾性のある円錐形薄膜によって各ディスクを掴む
ことが知られている。この場合、この薄膜（１１真空に
より吸引される。しかし、吸引中に膜に作用する力の安
全な制御は不可能である。
本発明の目的は前述の欠点を伴うことなく、硬質で脆い
月利から得られたロッドよりウェーハの完全なスライシ
ンク加工を行わせる方法およびスライシング加工機を提
供することにある。この問題を解決するために、本発明
による方法ＬＪ、切断に際してその支持体に対し方向法
めならびに位置決めし得る真空チャックをロッドの前面
に対し押圧し、吸引によってロフトに密着させ、その結
果ヌライス加工が完了する前に前記前面−１−で均一に
イ☆ｉａ決め、および方向法めして前記前面」二に静置
さゼ、それから真空チャックの圧力を除去すること、な
らびにスライスの完了後、ウェーハと共に真空チャック
をロッドから取外し、そしてウェーハを真空チャックか
ら分離することを特徴としている。本発明によるスライ
シング加工機ばロッド用の加工部材ホルダーおよびウェ
ーハを保持するための真空チャックを備え、真空ヂャソ
クはロン１′に対して位置決めおよび方向法めされ得る
ものであり、更に真空チャックに対する圧力を制御する
手段により特徴づけられている。
月利から得られたロッドよりウェーハの完全なスライシ
ンク加工を行わせる方法およびスライシング加工機を提
供することにある。この問題を解決するために、本発明
による方法ＬＪ、切断に際してその支持体に対し方向法
めならびに位置決めし得る真空チャックをロッドの前面
に対し押圧し、吸引によってロフトに密着させ、その結
果ヌライス加工が完了する前に前記前面−１−で均一に
イ☆ｉａ決め、および方向法めして前記前面」二に静置
さゼ、それから真空チャックの圧力を除去すること、な
らびにスライスの完了後、ウェーハと共に真空チャック
をロッドから取外し、そしてウェーハを真空チャックか
ら分離することを特徴としている。本発明によるスライ
シング加工機ばロッド用の加工部材ホルダーおよびウェ
ーハを保持するための真空チャックを備え、真空ヂャソ
クはロン１′に対して位置決めおよび方向法めされ得る
ものであり、更に真空チャックに対する圧力を制御する
手段により特徴づけられている。
ロッドに対抗する圧力、真空チャックの位置決めおよび
方向法めは、ディスクの既に切断した部分の如何なる変
形をも伴わず、真空チャックの精確な方向法めを維持す
るためにスライス工程の開始前、または切断深さの約半
分に達するまでに行われればよい。
方向法めは、ディスクの既に切断した部分の如何なる変
形をも伴わず、真空チャックの精確な方向法めを維持す
るためにスライス工程の開始前、または切断深さの約半
分に達するまでに行われればよい。
ロッドの自由前面上の真空チャックの精確な方向法めは
、第一の切断時点またはロフト方向法めの変形の結果と
して達成されねばならず、その後自由前面の方向法めは
もはや切断面に対し精確に平行なものではない。ロッド
の自由前面に対し吸引により密着する真空チャックの精
確な位置決めおよび方向法めならびに引き続く解放に起
因して、スライス工程の完了後、真空チャックは何らの
力を伴うことなくロッド、特に供されたウェーハに対し
密着する。その結果、たとえ切断用ベース無しで操作し
たとしても、割れによる危険ＩＪ全く存在しない。従っ
て、如何なる場合にも、やはり切断しなければならない
通常の軟質切断用ベース無して操作が可能となるが、必
要によりこれを薄いシー］・によって置換してもよい。
、第一の切断時点またはロフト方向法めの変形の結果と
して達成されねばならず、その後自由前面の方向法めは
もはや切断面に対し精確に平行なものではない。ロッド
の自由前面に対し吸引により密着する真空チャックの精
確な位置決めおよび方向法めならびに引き続く解放に起
因して、スライス工程の完了後、真空チャックは何らの
力を伴うことなくロッド、特に供されたウェーハに対し
密着する。その結果、たとえ切断用ベース無しで操作し
たとしても、割れによる危険ＩＪ全く存在しない。従っ
て、如何なる場合にも、やはり切断しなければならない
通常の軟質切断用ベース無して操作が可能となるが、必
要によりこれを薄いシー］・によって置換してもよい。
このシートは、ロッド′と、その支持体との直接接触を
防ぎ、またスライス工程の末期において、材料の割れを
防止するものである。真空チャックは個々の、好ましく
は硬質の吸込みノズルのクラウンからなっていでもよく
、こればロッドの自由前面に対し真空チャツタの最適ア
ラインメントを提供する。他の態様の実施において、全
ノズルについて均一で静的に決定された支持を保証する
ために、３本の吸込みノズルのみを使用することも可能
である。
防ぎ、またスライス工程の末期において、材料の割れを
防止するものである。真空チャックは個々の、好ましく
は硬質の吸込みノズルのクラウンからなっていでもよく
、こればロッドの自由前面に対し真空チャツタの最適ア
ラインメントを提供する。他の態様の実施において、全
ノズルについて均一で静的に決定された支持を保証する
ために、３本の吸込みノズルのみを使用することも可能
である。
好ましくは真空チャックがボール・ジョイントにより連
結され、そしてこのジヨイントは」二記したように所定
位置にロックしても、あるいはフリーのままとしてもよ
い。後者の場合には、自由移動ボール・ジョイントを備
えた真空チャックをロッドの前面に取り付け、かつ方向
法めし、そして次ζこ真空チャックをその支持体に固定
的に結合させるためにそのジヨイントかロックされる。
結され、そしてこのジヨイントは」二記したように所定
位置にロックしても、あるいはフリーのままとしてもよ
い。後者の場合には、自由移動ボール・ジョイントを備
えた真空チャックをロッドの前面に取り付け、かつ方向
法めし、そして次ζこ真空チャックをその支持体に固定
的に結合させるためにそのジヨイントかロックされる。
ロッドの前面に関して、それを位置決め、かつ方向法め
するロッド前面に対する真空チャックの圧力は、圧力を
除去した後、真空チャックが力を用いずに実際上ロッド
の前面、特にスライス工程稈により生成されたウェーハ
に密着するようＧこは圧力手段によって生成させるのが
好ましい。日ソ１前面に対する真空チャックの方向法め
は、圧力手段から圧力を排除する前に吸引により真空チ
ャックを密着させるような真空によってなされる。
するロッド前面に対する真空チャックの圧力は、圧力を
除去した後、真空チャックが力を用いずに実際上ロッド
の前面、特にスライス工程稈により生成されたウェーハ
に密着するようＧこは圧力手段によって生成させるのが
好ましい。日ソ１前面に対する真空チャックの方向法め
は、圧力手段から圧力を排除する前に吸引により真空チ
ャックを密着させるような真空によってなされる。
ロッドと、除去装置との堅固で、一定した相対位置を保
証するために、スライシング力ｎ工機は、加工部材ホル
ダーおよび真空チャックがａ＋Ｊの共通フレーＪ、上に
堅固で一定した相対イ装置に配置され、一方、鋸、たと
えば内径鋸刃ばスライスのために切断送りを行うような
設計となっているのが好ましい。公知のスライシング加
工機において、内径鋸刃は機械の固定部上に支持されて
おり、一方、加工部材ホルダーはスライス工程の間、送
り連動を行う。この種の真空チャックに対する加工部材
ホルダーの相対連動は、加工部材および真空チャック間
の望ましくない相対連動を招くことになり、これは順次
スライス工程の最後においてロソｌ−の引張りおよび破
１員を生ずる可能性がある。
証するために、スライシング力ｎ工機は、加工部材ホル
ダーおよび真空チャックがａ＋Ｊの共通フレーＪ、上に
堅固で一定した相対イ装置に配置され、一方、鋸、たと
えば内径鋸刃ばスライスのために切断送りを行うような
設計となっているのが好ましい。公知のスライシング加
工機において、内径鋸刃は機械の固定部上に支持されて
おり、一方、加工部材ホルダーはスライス工程の間、送
り連動を行う。この種の真空チャックに対する加工部材
ホルダーの相対連動は、加工部材および真空チャック間
の望ましくない相対連動を招くことになり、これは順次
スライス工程の最後においてロソｌ−の引張りおよび破
１員を生ずる可能性がある。
本発明によるスライシング加工機が備えているスライス
工程中の固定加工部材と、スライスしたウェーハに関す
る固定ウェーハ除去装置とはそれぞれ独立した意味を有
している。本発明６才また、より具体的にはスライシン
グ加工機の利用に関しており、これは弾性表示装置によ
って、方向決め可能な、または固定の真空チャックを、
１♂°に移動すべき加工部材に対して、位置決めがそれ
自体により、スライスすべきウェーハの厚さとは関係な
く行われるように、ロッドに対して押圧することにより
特徴づＬＪられるものである。この加工部＋４に対する
真空チャックの弾性的位置決めは圧力手段により達成さ
れるのが好ましく、そしてそれは決められた限界内で、
加工部＋、１の自由前面の精確な位置とは関係なく、特
に切断ずべきウェーハの厚さとは無関係に適度の圧力を
もって真空チャックの適切な位置決めを許容するもので
ある。このことが、真空チャック６才それ自体を、スラ
イス工程の完了後うニームを除去する所望位置に配置す
るという事実に起因して最適厚さを有するＣ）ｌ−ハの
生産をもたらすものである。
工程中の固定加工部材と、スライスしたウェーハに関す
る固定ウェーハ除去装置とはそれぞれ独立した意味を有
している。本発明６才また、より具体的にはスライシン
グ加工機の利用に関しており、これは弾性表示装置によ
って、方向決め可能な、または固定の真空チャックを、
１♂°に移動すべき加工部材に対して、位置決めがそれ
自体により、スライスすべきウェーハの厚さとは関係な
く行われるように、ロッドに対して押圧することにより
特徴づＬＪられるものである。この加工部＋４に対する
真空チャックの弾性的位置決めは圧力手段により達成さ
れるのが好ましく、そしてそれは決められた限界内で、
加工部＋、１の自由前面の精確な位置とは関係なく、特
に切断ずべきウェーハの厚さとは無関係に適度の圧力を
もって真空チャックの適切な位置決めを許容するもので
ある。このことが、真空チャック６才それ自体を、スラ
イス工程の完了後うニームを除去する所望位置に配置す
るという事実に起因して最適厚さを有するＣ）ｌ−ハの
生産をもたらすものである。
第２図によれば、スライシング加］Ｔ、＋ＪＪは固定支
持体１を含んで構成されている。支持体１に係止された
揺動支持体２Ｃ才、内径鋸刃に対する良好なアクセスを
許容させるために、ナツト指示装置を緩めた後、軸４を
中心として揺動させるようにしてもよい。受動支持体５
は、揺動支持体２に固定的に連結された支持プレート３
上で回転可能に設けられている。受動支持体は加工部材
を図示しない軸を中心として水平方向に方向決めするた
めに機能し、そしてそれば図示しない手段により所望位
置にクランプされてもよい。受動支持体５における水平
軸６を中心として方向決め可能なテーブル８は、クラン
プ・レバー７によって係止可能である。テーブル８上に
直接、すなわち切断用ヘースを伴わずに置かれているの
は、加工部材９、たとえばシリコン・ロッドである。所
望により、シートを加工部十４９十に接着してもよく、
これは加工部）４をテーブル８上に配置した場合、それ
に対するあらゆる損傷を回避するため、ならびに内径鋸
刃１２が加工部材について出現するときに若干の材料の
僅かな破損をも回避するためである。シートは、たとえ
ば０．１乃至１ ｍｍの厚さを有していればよい。加工
部材９はアダプタ１０に連結され、これは送りスライド
ｌｌに着脱自在に螺着されており、これによりロッド加
工部材９から個々の部分、より具体的にはディスクまた
はウェーハに切り放すために、その加工部材をテーブル
８−トに段階的に供給することができる。加工部材受動
装置のテーブル８」二における加工部材の直接支持を除
けば、−に舵装置は、この種の公知のスライシング加工
機における通常の実施例に対応している。
持体１を含んで構成されている。支持体１に係止された
揺動支持体２Ｃ才、内径鋸刃に対する良好なアクセスを
許容させるために、ナツト指示装置を緩めた後、軸４を
中心として揺動させるようにしてもよい。受動支持体５
は、揺動支持体２に固定的に連結された支持プレート３
上で回転可能に設けられている。受動支持体は加工部材
を図示しない軸を中心として水平方向に方向決めするた
めに機能し、そしてそれば図示しない手段により所望位
置にクランプされてもよい。受動支持体５における水平
軸６を中心として方向決め可能なテーブル８は、クラン
プ・レバー７によって係止可能である。テーブル８上に
直接、すなわち切断用ヘースを伴わずに置かれているの
は、加工部材９、たとえばシリコン・ロッドである。所
望により、シートを加工部十４９十に接着してもよく、
これは加工部）４をテーブル８上に配置した場合、それ
に対するあらゆる損傷を回避するため、ならびに内径鋸
刃１２が加工部材について出現するときに若干の材料の
僅かな破損をも回避するためである。シートは、たとえ
ば０．１乃至１ ｍｍの厚さを有していればよい。加工
部材９はアダプタ１０に連結され、これは送りスライド
ｌｌに着脱自在に螺着されており、これによりロッド加
工部材９から個々の部分、より具体的にはディスクまた
はウェーハに切り放すために、その加工部材をテーブル
８−トに段階的に供給することができる。加工部材受動
装置のテーブル８」二における加工部材の直接支持を除
けば、−に舵装置は、この種の公知のスライシング加工
機における通常の実施例に対応している。
内径鋸刃１２は概略的に２個の部分で示されるリング１
３内に位置し、このリングはロータ１４の一部分を構成
している。このロータはスイープ１５内に、１ま たとえば静的空気ヘアリングによって回転可能に支持さ
れ、そしてこのロータは図示しないモータにより駆動さ
れる。ロータならびに環状内径鋸刃１２の形状はこの種
の機械について知られているので、それらを詳細に説明
するのは省略する。ハウジングのパーツ、特に保護装置
１６および１７を図面中に概略的に示す。
３内に位置し、このリングはロータ１４の一部分を構成
している。このロータはスイープ１５内に、１ま たとえば静的空気ヘアリングによって回転可能に支持さ
れ、そしてこのロータは図示しないモータにより駆動さ
れる。ロータならびに環状内径鋸刃１２の形状はこの種
の機械について知られているので、それらを詳細に説明
するのは省略する。ハウジングのパーツ、特に保護装置
１６および１７を図面中に概略的に示す。
より詳細に第１図および第３図中に示されるように、ス
イープ１５は支持体のヘアリング・ブロック１８内の軸
１９に枢支されており、そして油圧シリンダー２０によ
って軸１９を中心として揺動可能である。従って、スラ
イス連動、特にスライス送りは、スイープの揺動、ひい
ては加工部材９に対して内径鋸刃１２を下降させること
により支配される。」皿体したように、この装置は特に
有利である。なぜならば、上記加工物ホルダーならびに
（１ソ下に説明される）切断ウェーハ移動装置は、スラ
イス工程中如何なる相対連動も行わないことになってい
るからであり、その結果その相対位置は、共通の装置支
持体１を用いる直接の固定的接続によって明確に決定さ
れる。移動装置は真空チャック２１を含んで構成され、
これは連結部２２によって支持アーム２３に着１１Ｔｈ
自在に固定されており、この支持アーム（■（真空チャ
ック２１に連結された前面部２３ａを備え、前記前面部
は、以下により詳細に説明するように、後面部２３ｈに
対し回転可能に設けられている。しかし、通常はアーム
部２３ａおよび２３ｂは所定位置で共に動かないように
連結され、そしてそれらは真空チャック２１の位置を確
実に定める。
イープ１５は支持体のヘアリング・ブロック１８内の軸
１９に枢支されており、そして油圧シリンダー２０によ
って軸１９を中心として揺動可能である。従って、スラ
イス連動、特にスライス送りは、スイープの揺動、ひい
ては加工部材９に対して内径鋸刃１２を下降させること
により支配される。」皿体したように、この装置は特に
有利である。なぜならば、上記加工物ホルダーならびに
（１ソ下に説明される）切断ウェーハ移動装置は、スラ
イス工程中如何なる相対連動も行わないことになってい
るからであり、その結果その相対位置は、共通の装置支
持体１を用いる直接の固定的接続によって明確に決定さ
れる。移動装置は真空チャック２１を含んで構成され、
これは連結部２２によって支持アーム２３に着１１Ｔｈ
自在に固定されており、この支持アーム（■（真空チャ
ック２１に連結された前面部２３ａを備え、前記前面部
は、以下により詳細に説明するように、後面部２３ｈに
対し回転可能に設けられている。しかし、通常はアーム
部２３ａおよび２３ｂは所定位置で共に動かないように
連結され、そしてそれらは真空チャック２１の位置を確
実に定める。
真空チャック２１およびその連結部２２の構成が第４図
および第５図に示されている。真空チャックは吸込みノ
ズル２４の円形クラウンを備え、これらのノズルは円形
板２５内に挿入される。これらは前面を精確に機械仕−
１−げした、外方カンチレバーを具（ｉｔｆｆ シ、第
１図および第２図に示すように、位置決め、特にロッド
９の自在にアクセスする対向前面部に取り付けるのに適
切である。
および第５図に示されている。真空チャックは吸込みノ
ズル２４の円形クラウンを備え、これらのノズルは円形
板２５内に挿入される。これらは前面を精確に機械仕−
１−げした、外方カンチレバーを具（ｉｔｆｆ シ、第
１図および第２図に示すように、位置決め、特にロッド
９の自在にアクセスする対向前面部に取り付けるのに適
切である。
吸込みノズル２４の孔はプレート２８に加工された真空
チャック２６と関連しており、これらのチャンネルシＪ
゛プレート２５およびプレート２８間に横たわるシール
・プレー１〜２７によって緊密とされる。全ての真空チ
ャック２６はヌリーブ状クランプ・ピストン３０の軸孔
２９と直接乃至間接に関連している。プレート２８は球
形支持面３２を備えた装着プレート３１に確実に螺着さ
れ、前記球形支持面はハウジング・エレメント３４の円
錐形支持面３３に対して配置されている。このハウジン
グ・エレメントは連結部２２に緊密に取り付けられ、か
つ固定的に連結されている。クランプ・ピストン３Ｏ−
Ｉ−にし才、球形クランプ面３６を有するクランプ・リ
ング３５が固定されている。このクランプ・リング３５
および装着プレート３１の円錐面３７間には、球形で、
折り畳んだ連結部材３８が挿入されており、これは一つ
の面（第５同項部）において装着プレー１３１の溝４０
ａ内のスタッド３９ａと係合し、一方他の面（第５図底
部）においてクランプ・リング３５の満４０ｂ内の対応
するスタッド３９ｈと係合している。これに、（′って
、クランプ・リング３５および装着プレート３１間にカ
ルダンねじり継手が堤供される。このクランプ・リング
３５は、挿入されたフェザ−キー３５ａによってクラン
プ・ピストン３０」−の定められた方向に保持され、ま
た溝および連結部２２のピン４２８によってクランプ・
ピストン３０の対向端は回転に対して固定される。第５
図の右方へ力を指向させるために、ｊｌｎｍ下で媒体を
人口４３を経由して室４４内のハウシング・エレメント
と、クランプ・ピストン３０のピストンとして作用する
厚くなった端部との間に）、ｑ人してもよい。チャンネ
ル２９内の真空は別の入「１４５および吸込めノズル２
４内のチャンネル２６を介して生成してもよい。エラス
トマー・バッキング旧がクランプ・リング３５およびプ
レート２８間に挿入され、このバッキングは真空のロス
を防止する。軟質シール３４′は装着プレート３１およ
びハウジング・エレメント３４間に配置される。
チャック２６と関連しており、これらのチャンネルシＪ
゛プレート２５およびプレート２８間に横たわるシール
・プレー１〜２７によって緊密とされる。全ての真空チ
ャック２６はヌリーブ状クランプ・ピストン３０の軸孔
２９と直接乃至間接に関連している。プレート２８は球
形支持面３２を備えた装着プレート３１に確実に螺着さ
れ、前記球形支持面はハウジング・エレメント３４の円
錐形支持面３３に対して配置されている。このハウジン
グ・エレメントは連結部２２に緊密に取り付けられ、か
つ固定的に連結されている。クランプ・ピストン３Ｏ−
Ｉ−にし才、球形クランプ面３６を有するクランプ・リ
ング３５が固定されている。このクランプ・リング３５
および装着プレート３１の円錐面３７間には、球形で、
折り畳んだ連結部材３８が挿入されており、これは一つ
の面（第５同項部）において装着プレー１３１の溝４０
ａ内のスタッド３９ａと係合し、一方他の面（第５図底
部）においてクランプ・リング３５の満４０ｂ内の対応
するスタッド３９ｈと係合している。これに、（′って
、クランプ・リング３５および装着プレート３１間にカ
ルダンねじり継手が堤供される。このクランプ・リング
３５は、挿入されたフェザ−キー３５ａによってクラン
プ・ピストン３０」−の定められた方向に保持され、ま
た溝および連結部２２のピン４２８によってクランプ・
ピストン３０の対向端は回転に対して固定される。第５
図の右方へ力を指向させるために、ｊｌｎｍ下で媒体を
人口４３を経由して室４４内のハウシング・エレメント
と、クランプ・ピストン３０のピストンとして作用する
厚くなった端部との間に）、ｑ人してもよい。チャンネ
ル２９内の真空は別の入「１４５および吸込めノズル２
４内のチャンネル２６を介して生成してもよい。エラス
トマー・バッキング旧がクランプ・リング３５およびプ
レート２８間に挿入され、このバッキングは真空のロス
を防止する。軟質シール３４′は装着プレート３１およ
びハウジング・エレメント３４間に配置される。
装着プレート３１およびハウジング・エレメント３４は
、各々の球形面３２および円錐形面３３と共に固定装着
部２２および３４と、真空チャック１７との間にボール
・ジョイントを形成する。圧力室４４ば圧力を伴わず、
そしてクランプ・ピストン３０が最左方の静置位置にあ
る図示された状態においては、前記パーツ３１および３
４間に圧力は全く作用しないので、真空チャック２１は
ほんの僅かの抵抗を伴いながら１Ｍ動することができる
。次いで、もしロソ［′９の前面側に対して押圧される
と、吸込みノズル２４の外面はロッド９の前面に対して
ぴったりと取り付けられた状態となり、そして真空チャ
ック２１は前面に従って精確に方向法めされる。下方吸
込みノズル２４の圧力は上方吸込みノズルの圧力よりも
高い。なぜならば、必要に応して、最初真空チャックの
圧力が発生したときに吸込みノズルのクラウンの中心の
下部に圧力が加えられるからであり、第２図に示すよう
な場合は成る深さの切断が既に達成されているのである
。互いに関連するこれら韮程に関する考察は後で行う。
、各々の球形面３２および円錐形面３３と共に固定装着
部２２および３４と、真空チャック１７との間にボール
・ジョイントを形成する。圧力室４４ば圧力を伴わず、
そしてクランプ・ピストン３０が最左方の静置位置にあ
る図示された状態においては、前記パーツ３１および３
４間に圧力は全く作用しないので、真空チャック２１は
ほんの僅かの抵抗を伴いながら１Ｍ動することができる
。次いで、もしロソ［′９の前面側に対して押圧される
と、吸込みノズル２４の外面はロッド９の前面に対して
ぴったりと取り付けられた状態となり、そして真空チャ
ック２１は前面に従って精確に方向法めされる。下方吸
込みノズル２４の圧力は上方吸込みノズルの圧力よりも
高い。なぜならば、必要に応して、最初真空チャックの
圧力が発生したときに吸込みノズルのクラウンの中心の
下部に圧力が加えられるからであり、第２図に示すよう
な場合は成る深さの切断が既に達成されているのである
。互いに関連するこれら韮程に関する考察は後で行う。
真空の接続ならびに真空チャックの密着によって、きら
んとした取り付けおよびロッ「９の前面に対ず乙真空チ
ャックの精確な方向法めが達成されろ。
んとした取り付けおよびロッ「９の前面に対ず乙真空チ
ャックの精確な方向法めが達成されろ。
吸込みバスケットを支持するアーム２３＆ｊ’垂直スラ
イド５０に固定される。この垂直スライ）＝’ ４；を
水平スライド５２に対し、クランプ・レバー５３に、１
り調節可能である。この水平スライドはロッド５４上で
水平に移動さセてもよい。この水平移動は、これば両方
向に歯形へＡｌ・５６およびモータ５７により駆動され
るスピンドル５６によって行われる。案内５４の側方に
配置された案内レール５Ｈに対して、特に水平スライド
５２の移動方向における水平スライド５２に対して鋼ス
トラップ５９が設Ｌｊられ、これによってクランプ・シ
リンダー６１のピストン・ロッド６０は、所定の加工位
置に水平スライドを係＋）＝するために働く。
イド５０に固定される。この垂直スライ）＝’ ４；を
水平スライド５２に対し、クランプ・レバー５３に、１
り調節可能である。この水平スライドはロッド５４上で
水平に移動さセてもよい。この水平移動は、これば両方
向に歯形へＡｌ・５６およびモータ５７により駆動され
るスピンドル５６によって行われる。案内５４の側方に
配置された案内レール５Ｈに対して、特に水平スライド
５２の移動方向における水平スライド５２に対して鋼ス
トラップ５９が設Ｌｊられ、これによってクランプ・シ
リンダー６１のピストン・ロッド６０は、所定の加工位
置に水平スライドを係＋）＝するために働く。
スピンドル５５と協働するナツト４７はシリンダボア内
でピストンを形成している。内部環状シリンダー壁間の
環状室４８内には、加工下で媒体が導入され、これは水
平スライド５２をスピンドル・ナツト４７に対して第２
図の左方へ移動させ、その結果所定の力をもって真空チ
ャック２１を押圧することになるが、ロッド′９の前面
に対しては弾性的で可ｌ３１１４１を有するものとなる
。もし、スピンドル・ナラ日７を第２図の右方へ移動さ
せると、水平スライＦ５２は、制限リング４９、コイル
ばね６２および水平スライドに連結されたスリーブ６３
を介して接続されたパーツと共に右方へ向かう。この方
法により、弾性連結部は制限位置を超えるスピン］′ル
・ナツト４７の成る程度のオーバーステッピングを許容
する両方向に作用する。
でピストンを形成している。内部環状シリンダー壁間の
環状室４８内には、加工下で媒体が導入され、これは水
平スライド５２をスピンドル・ナツト４７に対して第２
図の左方へ移動させ、その結果所定の力をもって真空チ
ャック２１を押圧することになるが、ロッド′９の前面
に対しては弾性的で可ｌ３１１４１を有するものとなる
。もし、スピンドル・ナラ日７を第２図の右方へ移動さ
せると、水平スライＦ５２は、制限リング４９、コイル
ばね６２および水平スライドに連結されたスリーブ６３
を介して接続されたパーツと共に右方へ向かう。この方
法により、弾性連結部は制限位置を超えるスピン］′ル
・ナツト４７の成る程度のオーバーステッピングを許容
する両方向に作用する。
案内ロッド５４およびそれらによって支持される移動可
能な案内ならびに水平スライｌの機１％ ４：Ｉ、案内
ヘッド５８およびヘローズ６４により保護される。
能な案内ならびに水平スライｌの機１％ ４：Ｉ、案内
ヘッド５８およびヘローズ６４により保護される。
第６図は油圧空気圧図を示しており、ここにおいて対応
するエレメントは他のＭにおｌるのと同一の参照数字に
より示され、機械のこれらエレメントは概略的に示され
ている。人口４３には、力ｎ圧媒体用増幅器６５から加
工媒体を供給してもよい。
するエレメントは他のＭにおｌるのと同一の参照数字に
より示され、機械のこれらエレメントは概略的に示され
ている。人口４３には、力ｎ圧媒体用増幅器６５から加
工媒体を供給してもよい。
この加工媒体用増幅器は変更弁６６を経由して供給パイ
プ６７から順次加工下の媒体を受むＪるか、あるいは加
工媒体を遮断してもよい。高圧側、すなわち入１］４３
における圧力が加工圧力に達すると、圧力スイッチ６８
が作動し、ライン６９に対して作動信号を送り出す。圧
力増幅器７０を経由してクランプ・シリンダー６１にも
また、供給されてもよく、これに対してもまた、高圧側
において圧力スイッチ７１が接続されて、このスイッチ
は加工圧力が存在し、または存在しない場合にライン７
２に対し信号を送り出す。制御は変更弁７３を介して行
われる。
プ６７から順次加工下の媒体を受むＪるか、あるいは加
工媒体を遮断してもよい。高圧側、すなわち入１］４３
における圧力が加工圧力に達すると、圧力スイッチ６８
が作動し、ライン６９に対して作動信号を送り出す。圧
力増幅器７０を経由してクランプ・シリンダー６１にも
また、供給されてもよく、これに対してもまた、高圧側
において圧力スイッチ７１が接続されて、このスイッチ
は加工圧力が存在し、または存在しない場合にライン７
２に対し信号を送り出す。制御は変更弁７３を介して行
われる。
シリンダー室４８に対する加工媒体の供給は調節可能圧
力調整器ならびに切換弁８４により行われる。
力調整器ならびに切換弁８４により行われる。
更に可逆空気シリンダー７５が設けられており、これは
ラック７６を一方もしくは他方の端部位置に選択的に移
動させる。このラック７６は大歯車７８と噛合い、この
大歯車は真空チャック２１の可動部分２３ａを支持する
アームに連結されている。シリンダー７５を一方または
他方に作動させることにより、真空チャックと共にアー
ム２３は作動位置から非作動（１７置へと揺動して、た
とえば加工部材８５のようなより大きい加工部材を排除
するように機能する他の除去装置８４のための場所を作
り出すことができる。検出器８０および８１は大歯車７
８の制御セグメント７９と協働してライン８２および８
３に対しパーツ２３ａの位置および真空チャック２１に
関する情報を送り出す。
ラック７６を一方もしくは他方の端部位置に選択的に移
動させる。このラック７６は大歯車７８と噛合い、この
大歯車は真空チャック２１の可動部分２３ａを支持する
アームに連結されている。シリンダー７５を一方または
他方に作動させることにより、真空チャックと共にアー
ム２３は作動位置から非作動（１７置へと揺動して、た
とえば加工部材８５のようなより大きい加工部材を排除
するように機能する他の除去装置８４のための場所を作
り出すことができる。検出器８０および８１は大歯車７
８の制御セグメント７９と協働してライン８２および８
３に対しパーツ２３ａの位置および真空チャック２１に
関する情報を送り出す。
例示されたスライシング加工機の作動は次の通、 りで
ある。
ある。
第１図、第２図および第６図はスライス工程中の状態を
示している。第２図に示すように、内径鋸刃１２はロッ
ド９内に約半分入り込んでいる。真空チャック２１はロ
ッド９の前面に、そして特に既に部分的に切り放したウ
ェーハ９ａに吸引によって密着している。圧力室４４は
、弁６６および圧力増幅器６５によって加工下にあるの
で、第５図中のクランプ・ピストン３０は右方へ付勢さ
れる。従って、球状面３２を備えるプレート３１は八う
ジンク・エレメント３４の円錐形表面３３に対して圧力
リング３５により付勢されるので、真空チャック２１は
、連結部２２およびアーム２３と共に所定位置に確実に
連結される。第６図によれば、圧力室４８は圧力を伴わ
ず、そしてスピンドル・ナツト４７は水平スライド５２
内にシール・エレメントを伴わずに自由に案内されるの
で、このスピンｌルおよびそれに連結されたパーツは完
全に解放される。この態様において、真空チャック２１
はロッド９、特にウェーハ９ａに対し全く力を及ぼさな
いか、または非常に僅か、すなわち実質的に無視し得る
程度の力を及ぼずに過ぎない。シリンダー６Ｈｊ圧力を
伴わないので、クランプ・ピストン６０はばね６］ａに
よりラグ５９に対して伺勢され、前記ばねは水平スライ
ド５２ならびにそれに連結されたパーツをその位置に係
止する。
示している。第２図に示すように、内径鋸刃１２はロッ
ド９内に約半分入り込んでいる。真空チャック２１はロ
ッド９の前面に、そして特に既に部分的に切り放したウ
ェーハ９ａに吸引によって密着している。圧力室４４は
、弁６６および圧力増幅器６５によって加工下にあるの
で、第５図中のクランプ・ピストン３０は右方へ付勢さ
れる。従って、球状面３２を備えるプレート３１は八う
ジンク・エレメント３４の円錐形表面３３に対して圧力
リング３５により付勢されるので、真空チャック２１は
、連結部２２およびアーム２３と共に所定位置に確実に
連結される。第６図によれば、圧力室４８は圧力を伴わ
ず、そしてスピンドル・ナツト４７は水平スライド５２
内にシール・エレメントを伴わずに自由に案内されるの
で、このスピンｌルおよびそれに連結されたパーツは完
全に解放される。この態様において、真空チャック２１
はロッド９、特にウェーハ９ａに対し全く力を及ぼさな
いか、または非常に僅か、すなわち実質的に無視し得る
程度の力を及ぼずに過ぎない。シリンダー６Ｈｊ圧力を
伴わないので、クランプ・ピストン６０はばね６］ａに
よりラグ５９に対して伺勢され、前記ばねは水平スライ
ド５２ならびにそれに連結されたパーツをその位置に係
止する。
その後、ばね６２を圧縮するために短時間モーフのスイ
ッチを入れることによりスピンドル・ナツト４７は第２
図の右方へ移動する。
ッチを入れることによりスピンドル・ナツト４７は第２
図の右方へ移動する。
除去装置は、ウェーハ９ａがロッド９から完全に分離さ
れるまで、この位置に留まる。分離の瞬間には、分離さ
れたウェーハ９ａには実際上何らの力も作用せず、また
相対的移動もこのウェーハ、真空チャックおよびロッド
９間では全く見られない。
れるまで、この位置に留まる。分離の瞬間には、分離さ
れたウェーハ９ａには実際上何らの力も作用せず、また
相対的移動もこのウェーハ、真空チャックおよびロッド
９間では全く見られない。
なぜならば、これらの要素が機械の支持体１上方で、互
いに固定的接続関係にあるからである。内径鋸刃１２の
切断送りはスイープ１５の揺動によりもたらされる。こ
の方法で、平坦な切断面を有する適切な切断がロッド９
ならびにウェーハ９ａにおいて行われる。
いに固定的接続関係にあるからである。内径鋸刃１２の
切断送りはスイープ１５の揺動によりもたらされる。こ
の方法で、平坦な切断面を有する適切な切断がロッド９
ならびにウェーハ９ａにおいて行われる。
ロッド９からのウェーハ９ａのスライス作業の完了後、
このロッドはスライド１１により取り去ってもよく、ま
た弁７３が、次いで圧力増幅器７０が逆転され、その結
果シリンダー６０が更に加工下に設定されたときに、ウ
ェーハ９ａも取り去られる。クランプ・ピストン６０は
ラグ５９により上昇され、そして排除のために水平スラ
イド°５２を解放する。あらかじめ圧縮された圧縮ばね
６２に起因して、スライド′５２、ついでディスク９ａ
を伴う真空チャソクカ僅かに引き離される。その結果、
切り取りホイールを有するスイープ１５が開始位置に移
転させられ、それによって内径鋸刃１２はロッド９の領
域の夕）側に完全に上昇させられる。同時に、アーム２
３を備えた水平スライド５２、真空チャック２１および
先に分離したウェーハ９ａがスピンドル５５の駆動によ
って、図示しないストップ・スイッチにより位置が決定
されるまで、第１図および第２図の右方へ移動される。
このロッドはスライド１１により取り去ってもよく、ま
た弁７３が、次いで圧力増幅器７０が逆転され、その結
果シリンダー６０が更に加工下に設定されたときに、ウ
ェーハ９ａも取り去られる。クランプ・ピストン６０は
ラグ５９により上昇され、そして排除のために水平スラ
イド°５２を解放する。あらかじめ圧縮された圧縮ばね
６２に起因して、スライド′５２、ついでディスク９ａ
を伴う真空チャソクカ僅かに引き離される。その結果、
切り取りホイールを有するスイープ１５が開始位置に移
転させられ、それによって内径鋸刃１２はロッド９の領
域の夕）側に完全に上昇させられる。同時に、アーム２
３を備えた水平スライド５２、真空チャック２１および
先に分離したウェーハ９ａがスピンドル５５の駆動によ
って、図示しないストップ・スイッチにより位置が決定
されるまで、第１図および第２図の右方へ移動される。
水平スライド５２の位置は、機械的ストップにより決定
され、スピン１ル、特にスピンドル・ナツト４７による
この位置の超過は、超過の際のスピン１ルにより圧縮さ
れるばね６２によって可能とされる。次に、ウェーハ９
８は図示されない公知の方法により取り出され、次いで
真空チャック内の真空が解放されるので、ウェーハを排
除することができる。場合により、シリンダー７５によ
る受は入れ位置に対する真空チャック２１によるパー・
ン２３ａの揺動が生ずるかも知れないが、この揺動は好
ましくは上述の目的、すなわち他の排除装置のための場
所を作り出すためになされる。
され、スピン１ル、特にスピンドル・ナツト４７による
この位置の超過は、超過の際のスピン１ルにより圧縮さ
れるばね６２によって可能とされる。次に、ウェーハ９
８は図示されない公知の方法により取り出され、次いで
真空チャック内の真空が解放されるので、ウェーハを排
除することができる。場合により、シリンダー７５によ
る受は入れ位置に対する真空チャック２１によるパー・
ン２３ａの揺動が生ずるかも知れないが、この揺動は好
ましくは上述の目的、すなわち他の排除装置のための場
所を作り出すためになされる。
うＬ−ハ９ａを排除した後、水平スライド５２を第１図
および第２図に示す作業位置に再び戻すために、スピン
ドル５５が逆方向に駆動される。同時またむ才それ以前
に、送りスライド１１によりロッド９は第２図右方へ部
分的に移動されるので、ロッド９の自由前面はロッドの
最前面、特に第２図に示された切断ディスクの位置に配
置される。この方法により、任意の厚さを有する新しい
ディスクが切断される。水平スライド５２の第１図およ
び第２図左方への進行中、圧力室４８内の圧力ばねで水
平スライド５２を成る範囲だけ移動させるために、弁８
４を逆転させることによって圧力室４８内に圧力を受入
れる。吸込みノズル２４と共に真空チャック２１は供給
されるロッド９の自由１１？１面に達してこれに接触す
ると、圧力室４８内の圧力がロッＦ ９の前面に対する
真空チャック２１の圧力を決定する。例示された作業位
置における水平スライド５２の＋ｉｉｆ 進ｉ瓢弁６６
は既に逆転されているので、圧力増幅器６５および圧力
室４４は圧力フリーとなる。クランプ・ピストン３０は
圧力リング３５を解放し、その結果ハウジング・パーツ
３４に抗するプレート３１の力は抑制され、そして真空
チャック２１は自由連動が可能となる。真空チャックの
吸込みノズルがロッド９の自由前面を打つと、もし真空
チャックが既に平行に方向づけられていなければ、それ
ば前面に対し正確に平行に方向法めされることになる。
および第２図に示す作業位置に再び戻すために、スピン
ドル５５が逆方向に駆動される。同時またむ才それ以前
に、送りスライド１１によりロッド９は第２図右方へ部
分的に移動されるので、ロッド９の自由前面はロッドの
最前面、特に第２図に示された切断ディスクの位置に配
置される。この方法により、任意の厚さを有する新しい
ディスクが切断される。水平スライド５２の第１図およ
び第２図左方への進行中、圧力室４８内の圧力ばねで水
平スライド５２を成る範囲だけ移動させるために、弁８
４を逆転させることによって圧力室４８内に圧力を受入
れる。吸込みノズル２４と共に真空チャック２１は供給
されるロッド９の自由１１？１面に達してこれに接触す
ると、圧力室４８内の圧力がロッＦ ９の前面に対する
真空チャック２１の圧力を決定する。例示された作業位
置における水平スライド５２の＋ｉｉｆ 進ｉ瓢弁６６
は既に逆転されているので、圧力増幅器６５および圧力
室４４は圧力フリーとなる。クランプ・ピストン３０は
圧力リング３５を解放し、その結果ハウジング・パーツ
３４に抗するプレート３１の力は抑制され、そして真空
チャック２１は自由連動が可能となる。真空チャックの
吸込みノズルがロッド９の自由前面を打つと、もし真空
チャックが既に平行に方向づけられていなければ、それ
ば前面に対し正確に平行に方向法めされることになる。
ロッ１゛９に対抗する真空チャック２１の圧力はこの場
合、圧力室４８内の圧力により決定され、そして水平ス
ライド５２の決められたストップ位置を越えるスピンド
′ル・ナツト４７の移動が存在するが、これは重要では
ない。なぜならば、圧力室４８は、いわば二ューマティ
ック・スプリングというべきものとして機能し、真空チ
ャックの圧力の影響を伴わずにこの超過を許容するから
である。
合、圧力室４８内の圧力により決定され、そして水平ス
ライド５２の決められたストップ位置を越えるスピンド
′ル・ナツト４７の移動が存在するが、これは重要では
ない。なぜならば、圧力室４８は、いわば二ューマティ
ック・スプリングというべきものとして機能し、真空チ
ャックの圧力の影響を伴わずにこの超過を許容するから
である。
方向法めの完了後、吸引によりロッド９の前面に対して
密着させるために、真空チャック２１は減圧される。次
に、弁６６が例示されるように、再び逆転されるので、
真空チャック２１およびその支持体間のボール・ジョイ
ントは、ハウジング・パーツ３４に対抗するプレート３
１の圧力によって係止されることになる。次いで、弁８
４が逆転され、圧力が室４８から排除される。この状態
で、真空チャック２１と、連結部２２、特にアーム２３
との間のボール・ジョイントの係止は直ちに起こること
になる。
密着させるために、真空チャック２１は減圧される。次
に、弁６６が例示されるように、再び逆転されるので、
真空チャック２１およびその支持体間のボール・ジョイ
ントは、ハウジング・パーツ３４に対抗するプレート３
１の圧力によって係止されることになる。次いで、弁８
４が逆転され、圧力が室４８から排除される。この状態
で、真空チャック２１と、連結部２２、特にアーム２３
との間のボール・ジョイントの係止は直ちに起こること
になる。
その後、水平スライド５２は、弁７３をその作業位置に
再び逆転させることにより係止される。この動作はスラ
イス工程中に、あるいはその後に開始される。この方法
で、例示された開始位置が達成される。説明した限りに
おいて、真空チャック２１およびその支持体間のボール
・ジョイントは各サイクル中に緩められ、かつ再調整さ
れる。しかし、この操作は、ロッド９の方向づけに変化
が生じた場合、すなわち自由ロッド先端がもばや内径鋸
刃１２の面に対し平行でし才なくなっった場合にのめ必
要とされるものである。水平スライド５２１．にびにそ
の係止装置の駆動装置の説明された構成によって、ウェ
ーハ９ａの厚さに伴う真空チャック２１の自動位置決め
が保証される。これによって、たとえ真空チャック２１
内に前述のボール・ジョイントを伴わなくても、すなわ
ら除去システムにおいて調整に関する何らの変更を伴う
ことなく、異なった厚さを有するウェーハを得ることが
できる。
再び逆転させることにより係止される。この動作はスラ
イス工程中に、あるいはその後に開始される。この方法
で、例示された開始位置が達成される。説明した限りに
おいて、真空チャック２１およびその支持体間のボール
・ジョイントは各サイクル中に緩められ、かつ再調整さ
れる。しかし、この操作は、ロッド９の方向づけに変化
が生じた場合、すなわち自由ロッド先端がもばや内径鋸
刃１２の面に対し平行でし才なくなっった場合にのめ必
要とされるものである。水平スライド５２１．にびにそ
の係止装置の駆動装置の説明された構成によって、ウェ
ーハ９ａの厚さに伴う真空チャック２１の自動位置決め
が保証される。これによって、たとえ真空チャック２１
内に前述のボール・ジョイントを伴わなくても、すなわ
ら除去システムにおいて調整に関する何らの変更を伴う
ことなく、異なった厚さを有するウェーハを得ることが
できる。
真空チャック２１を支持する連結部２２の別の構成の種
類によれば、ボール・ジョイント２２を省略する可能性
が存在する。たとえばボール・ジョイントを伴わずに真
空チャックを利用する。
類によれば、ボール・ジョイント２２を省略する可能性
が存在する。たとえばボール・ジョイントを伴わずに真
空チャックを利用する。
第１図は部分的に断面を示すスライシング加工機の平面
図、第２図は部分的に断面を示すスライシング加工機の
側面図、第３図はスライシング加工機の除去側の部分的
断面を示す正面図、第４図６才真空チャックを示す正面
図、第５図は第４図のＶ−Ｖ線に沿った真空チャックを
示す断面図、第６図は機械の制御と作動を例示する圧力
系統図である。 １・・・固定支持体、２・・・揺動支持体、３・・・支
持プレート、５・・・受動支持体、９．８５・・・加工
部材、１１・・・送りスライド、１２・・・内径鋸刃、
２０・・・油圧シリンダー、２１・・・真空チャック、
２２・・・連結部、２３・・・支持アーム、２３ａ・・
・前面部、２４・・・吸込みノズル、３５・・・クラン
プ・リング、４４・・・室、４７・・・ナツト、５２・
・・水平スライド、５５・・・スピンドル、６６、７３
．８４・・・切換特許出願人 マシーネンファブリーク
・メイヤー・ラント・バーガー−アクチェη−＋−＋ｖ
、４ア代理人 弁理士 １） 澤 博 昭（外２
名） 手続補正書（方式） 撃・７・２９ 昭和 月 日
図、第２図は部分的に断面を示すスライシング加工機の
側面図、第３図はスライシング加工機の除去側の部分的
断面を示す正面図、第４図６才真空チャックを示す正面
図、第５図は第４図のＶ−Ｖ線に沿った真空チャックを
示す断面図、第６図は機械の制御と作動を例示する圧力
系統図である。 １・・・固定支持体、２・・・揺動支持体、３・・・支
持プレート、５・・・受動支持体、９．８５・・・加工
部材、１１・・・送りスライド、１２・・・内径鋸刃、
２０・・・油圧シリンダー、２１・・・真空チャック、
２２・・・連結部、２３・・・支持アーム、２３ａ・・
・前面部、２４・・・吸込みノズル、３５・・・クラン
プ・リング、４４・・・室、４７・・・ナツト、５２・
・・水平スライド、５５・・・スピンドル、６６、７３
．８４・・・切換特許出願人 マシーネンファブリーク
・メイヤー・ラント・バーガー−アクチェη−＋−＋ｖ
、４ア代理人 弁理士 １） 澤 博 昭（外２
名） 手続補正書（方式） 撃・７・２９ 昭和 月 日
Claims (15)
- （１）スライシング加工機によってロッドをスライスに
、より具体的には一定の、あるいは種々の厚さのウェー
ハに切断する方法であって、材料のスライシング加工が
完了したときに前記ウェーハが真空チャックによって移
動および除去される方法において、支持体に対して方向
決めおよび位置決めすることが可能な真空チャックが、
これに作用する圧力が除かれる切断操作の最終部分が完
了するよりも前の段階で、前記ロッドの前面上で均一に
位置決めおよび方向決めされるように、前記ロッドの前
面に対して押圧され、かつ吸引によって固定されること
、およびスライシング操作の完了後に、前記真空チャッ
クが前記ウェーハとともに前記ロッドから離され、つい
で前記ウェーハが前記真空チャックから分離されること
、を特徴とする方法。 - （２）前記真空チャックが、前記ロッドの前記前面に対
して押圧されながら緩められ、次いでその支持体の自由
方向決めのために吸引により密着せしめられ、そして方
向決めの完了後再びクランプされる特許請求の範囲第１
項記載の方法。 - （３）前記真空チャックに対する圧力が圧力手段により
決定され、前記真空チャックの解放が圧力の除去により
行われる特許請求の範囲第２項記載の方法。 - （４）前記支持体に連結されたスライドが、解放完了後
にクランプされる特許請求の範囲第３項記載の方法。 - （５）ロッド用の加工部材ホルダーおよび前記加工部材
の部分を移動させるための真空チャックを備え、前記真
空チャックはロッドに対する圧力によって位置決めおよ
び方向決めされ、更に前記真空チャックに対する圧力を
制御する手段を備えていることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の方法を実施するためのスライシング加
工機、より具体的には内部切断鋸。 - （６）前記真空チャックが、ボール・ジョイントにより
その支持体に連結されている特許請求の範囲第５項記載
のスライシング加工機。 - （７）前記ボール・ジョイントが如何なる任意位置にも
係止可能である特許請求の範囲第６項記載のスライシン
グ加工機。 - （８）回転に抗するカルダン安定ジョイントが前記真空
チャックと、その支持体との間に設けられている特許請
求の範囲第６項記載のスライシング加工機。 - （９）前記真空チャックの圧力を制御する手段が圧力手
段シリンダーを含む特許請求の範囲第５項記載のスライ
シング加工機。 - （１０）前記圧力手段シリンダーが真空チャックおよび
それにより支持されるパーツに対する摩擦を殆ど伴わな
い連動を許容するようにシールを有していない特許請求
の範囲第９項記載のスライシング加工機。 - （１１）前記圧力手段シリンダーのピストンが移動スピ
ンドル上にナットとして止め付けられており、これによ
って前記真空チャックはシリンダーにより圧力の方向に
移動させることができ、ばねを介してピストンによって
逆方向に移動させることができるようになされた特許請
求の範囲第９項記載のスライシング加工機。 - （１２）前記加工部材ホルダーおよび真空チャックは、
スライス処理手順中前記スライシング加工機の共通支持
体上で一定の相互位置に配置され、たとえば内径鋸刃が
切断送りを行う特許請求の範囲第５項記載のスライシン
グ加工機。 - （１３）真空チャックをロッドに対し軸方向に供給する
こと、および半径方向に揺動させることが可能であり、
分離すべきパーツについて少なくとも１台の別の排除シ
ステムが設けられている特許請求の範囲第５項記載のス
ライシング加工機。 - （１４）前記真空チャックの真空チャック・クラウンが
、そのサスペンション、特に鋸刃がロッドに入る側に対
して偏心方向に働く圧力の作用線に関して配置されてい
る特許請求の範囲第５項記載のスライシング加工機。 - （１５）方向決め可能な、あるいは方向決め不可能な固
定の真空チャックを、位置決めがそれ自身により、そし
て切断すべき加工部材の厚さとは無関係に行われるよう
に、ロッド、特に排除すべき加工部材に対して弾性的移
動装置により押圧することを特徴とするスライシング加
工機、より具体的には特許請求の範囲第９項記載のスラ
イシング加工機の使用。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| EP86810177.5 | 1986-04-17 | ||
| EP86810177A EP0242489B1 (de) | 1986-04-17 | 1986-04-17 | Verfahren zum Trennen eines Stabes in Teilstücke, Trennschleifmaschine zur Durchführung dieses Verfahrens und Verwendung dieser Trennschleifmaschine |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6316937A true JPS6316937A (ja) | 1988-01-23 |
Family
ID=8196459
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62091106A Pending JPS6316937A (ja) | 1986-04-17 | 1987-04-15 | ロツドをスライスに切断する方法、その方法を実施するためのスライシング加工機、およびその使用 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4771759A (ja) |
| EP (1) | EP0242489B1 (ja) |
| JP (1) | JPS6316937A (ja) |
| DE (1) | DE3680205D1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102085696A (zh) * | 2009-11-23 | 2011-06-08 | J.施迈茨有限公司 | 用于制造材料片的装置 |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4903681A (en) * | 1987-02-24 | 1990-02-27 | Tokyo Seimitus Co., Ltd. | Method and apparatus for cutting a cylindrical material |
| US4899719A (en) * | 1987-07-31 | 1990-02-13 | Mitsubishi Kinsoku Kabushiki Kaisha | Apparatus for collecting wafers |
| DE3737540C1 (de) * | 1987-11-05 | 1989-06-22 | Mueller Georg Nuernberg | Verfahren und Maschine zum Herstellen von Ronden mit zumindest einer planen Oberflaeche |
| US5240882A (en) * | 1988-06-28 | 1993-08-31 | Naoetsu Electronics Co. | Process and apparatus for making discrete type substrates by re-slicing a wafer |
| DE3906091A1 (de) * | 1989-02-27 | 1990-08-30 | Wacker Chemitronic | Verfahren zum zersaegen von stabfoermigen werkstuecken in scheiben mittels innenlochsaege, sowie innenlochsaegen zu seiner durchfuehrung |
| DE3924616A1 (de) * | 1989-07-26 | 1991-01-31 | Rathscheck J B Soehne | Verfahren und vorrichtung zur zurichtung von platten |
| US4974578A (en) * | 1989-08-17 | 1990-12-04 | Silicon Technology Corporation | Housing for mounting a spindle of an internal diameter saw blade |
| JPH0695504B2 (ja) * | 1989-10-31 | 1994-11-24 | 直江津電子工業株式会社 | ウエハ枚葉式内周刃２分割切断装置におけるウエハ供給回収装置 |
| NL9001014A (nl) * | 1990-04-27 | 1991-11-18 | Koninkl Philips Electronics Nv | Gereedschapsmachine met verplaatsbare positioneerinrichting. |
| JPH1022244A (ja) * | 1996-06-29 | 1998-01-23 | Komatsu Electron Metals Co Ltd | 半導体ウェハの洗浄用バスケット |
| DE19905750B4 (de) * | 1999-02-11 | 2005-07-21 | Siltronic Ag | Innenlochsäge und Verfahren zum Schutz der Spannkante und zur Reinigung des Sägeblatts einer Innenlochsäge |
| DE10128630A1 (de) | 2001-06-13 | 2003-01-02 | Freiberger Compound Mat Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Orientierung einer kristallografischen Ebene relativ zu einer Kristalloberfläche sowie Vorrichtung und Verfahren zum Trennen eines Einkristalls in einer Trennmaschine |
| CN106626116B (zh) * | 2016-10-12 | 2018-05-29 | 王淙可 | 一种棒料自动送料机构 |
| CN111730771B (zh) * | 2020-06-09 | 2021-10-29 | 安徽利锋机械科技有限公司 | 一种晶圆切割机 |
| CN113799276A (zh) * | 2020-06-15 | 2021-12-17 | 天通日进精密技术有限公司 | 硅棒装卸装置及硅棒开方设备 |
| CN111673167B (zh) * | 2020-06-29 | 2021-11-12 | 安徽福瑞尔铝业科技有限公司 | 一种仿木纹铝单板裁切用定位机构及方法 |
| CN113119332B (zh) * | 2021-04-27 | 2022-04-08 | 曲靖阳光新能源股份有限公司 | 一种硅棒开方装置 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1646147A1 (de) * | 1967-05-13 | 1971-01-07 | Telefunken Patent | Vorrichtung zur Halterung einer Halbleiterscheibe bei der UEbertragung eines Musters durch Kontaktkopie oder durch Projektionsmaskierung |
| US3577861A (en) * | 1969-04-07 | 1971-05-11 | Kayex Corp | Transfer device for cutting apparatus |
| US3833230A (en) * | 1973-09-13 | 1974-09-03 | Corning Glass Works | Vacuum chuck |
| US3969004A (en) * | 1974-08-02 | 1976-07-13 | The Computervision Corporation | Air bearing piston assembly for semiconductor mask-to-wafer aligner |
| NL7608558A (nl) * | 1976-08-02 | 1978-02-06 | Philips Nv | Inrichting voor het afnemen van plakken. |
| US4116095A (en) * | 1977-08-05 | 1978-09-26 | Cousino Walter F | Metal sawing or milling machine |
| FR2412385A1 (fr) * | 1977-12-22 | 1979-07-20 | Crouzet Sa | Machine a scier des barreaux de silicium |
| US4420909B2 (en) * | 1981-11-10 | 1997-06-10 | Silicon Technology | Wafering system |
| SU1079373A1 (ru) * | 1983-02-04 | 1984-03-15 | Предприятие П/Я В-2265 | Вакуумный патрон |
-
1986
- 1986-04-17 EP EP86810177A patent/EP0242489B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1986-04-17 DE DE8686810177T patent/DE3680205D1/de not_active Expired - Lifetime
-
1987
- 1987-04-15 JP JP62091106A patent/JPS6316937A/ja active Pending
- 1987-04-15 US US07/038,729 patent/US4771759A/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102085696A (zh) * | 2009-11-23 | 2011-06-08 | J.施迈茨有限公司 | 用于制造材料片的装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3680205D1 (de) | 1991-08-14 |
| EP0242489B1 (de) | 1991-07-10 |
| US4771759A (en) | 1988-09-20 |
| EP0242489A1 (de) | 1987-10-28 |
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