JP3089405B2 - インゴット切断方法と装置 - Google Patents

インゴット切断方法と装置

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JP3089405B2 JP10061858A JP6185898A JP3089405B2 JP 3089405 B2 JP3089405 B2 JP 3089405B2 JP 10061858 A JP10061858 A JP 10061858A JP 6185898 A JP6185898 A JP 6185898A JP 3089405 B2 JP3089405 B2 JP 3089405B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この特許出願に係る発明(以
下、本願発明、と略称する)は、化合結晶工程により中
間が円柱塊状部且つ両端が円錐尖頭塊状部に形成された
シリコン,人工水晶,石英ガラス等のインゴットの切断
の方法と装置に係わり、特に、両端の尖頭部を中間の円
柱部から切断し、中間の円柱部の左右端一部を薄い断片
として円柱部から切断することに関する。
【0002】
【従来の技術】従来の円筒研削盤にける被研削材の支持
装置は、水平一直線の中心軸線上で左右に離隔し対向し
中心軸線に直交する平坦面をもつ両方の対向体をして、
中心軸線に直交する平坦面とし、中心軸線上の正逆方向
の外圧力により互いに左右方向で接近離隔可能とし、円
柱状の前記インゴットの両端を挟んで保持し、中心軸線
上で一方向に回転し、中心軸線との平行,,直角方向へ
移動する砥石によりインゴットの外周面を中心軸線に平
行して同一直径に研削するものであった。
【0003】しかし前記のインゴットは、化合結晶過程
により円柱塊状に形成されるので円柱の外周面には中心
軸線との直交方向に凹凸を生じているから、長手方向の
中心軸線は正確には確定しないので、インゴットを水平
に挟持して、その一端上方に配置し垂直降下する切断刃
で一端を切断してから挟持を解除した後に、他端を切断
するためにインゴットの左右端を反転して挟持し直し、
インゴットの他端を中心軸線を基準としてそれに直交し
一端と平行に切断しようとしても正確に平行する直交平
坦面を形成することは困難であり、また両端の切断時に
は切断刃が切断圧力により湾曲し、両端の切断面が中心
軸線との正確な直交平面に形成されないから、それらの
インゴットの両端切断平面を円周研削機の両端の支持体
により挟持しても、左右の支持体の中心軸線にインゴッ
トの中心軸線を一致させるインゴットのいわゆる芯出し
と挟持が困難となり、結局はインゴットの外周面を中心
軸線に正確に平行して研削することができなかった。
【0004】本願発明は、前記の従来の技術の欠陥――
従来の円周研削機における中心軸線上においてその直交
平面をもつ左右の被研削材の支持体が、外周面が直径方
向の凹凸があるためにその中心軸線に正確には直交しな
い平坦面に切断された円柱塊状のインゴットの左右両端
面をして、両者の中心軸線を一致させて挟持できなく
て、インゴットの外周面を中心軸線に正確に平行し同一
直径に研削できなかった――を解消するために、外周面
に直径方向の凹凸がある円柱のインゴットであっても、
その左右両端を中心軸線に正確に直交且つ互いに平行す
る平坦面に切断可能としたインゴット切断の方法と装置
を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本願発明は、前記の従来
の技術の欠陥を解消するために、インゴット切断の方法
と装置について、下記の要件を備えるように構成したこ
とを特徴とする。「水平一直線の左右方向に離れた複数
箇所において水平に配置し、その直線の前後に離れその
直線を頂点としその直線へ向け上下同角度に開き、前後
が同時に同距離をその直線へ向け水平前後動して水平軸
線をもち中間を円柱部と両端の円錐尖頭部を形成したイ
ンゴットの円柱部の外周面を挟持し停止可能とした複数
組の挟持体と、それら挟持体を水平に支持し、それらの
前後左右の中間の一垂直線を中心として水平に180度
回動し停止可能とした回動体と、回動体を水平に支持
し、水平に左右へ移動し停止可能とした移動体と、挟持
体と回動体と移動体とから水平一直線方向と上方へと離
れ、その直線との直交垂直平面に沿い下降しなから交差
するインゴットを切断して上昇可能とした切断体と、挟
持したインゴットの一端からその水平軸線方向へ離れて
配置し、切断すべき左右端の円錐の尖頭部を収容可能に
相似形の円錐孔に形成し、切断中の尖頭部に対して接近
した後に原位置へ復帰離脱可能とした収容体、挟持した
インゴットの一端からその水平軸線方向へ離れて配置
し、切断すべき一端の円柱部一部の切断片端面に対して
接近して接触支持し離脱可能とした支持体、左右両端が
円錐の尖頭部に形成され両尖頭部間が横長円柱の円柱部
に形成され両部の外周面の左右方向全部が仮想中心軸線
との直交方向にわずかに突出且つ没入する凹凸部に形成
されたインゴットをして中心軸線を水平とし且つ前後に
わずかに移動可能に複数組の挟持体の前後間に保持し、
挟持体を前後動して停止しインゴットの円柱部外周面の
左右方向の複数箇所の前後を挟持し、移動体を移動して
停止しインゴットをその一端の尖頭部を円柱部との境界
または円柱部の一端を切断体の下方へ移動して停止し、
切断体を下降して一端の尖頭部を円柱部との境界からま
たは円柱部の一端を切断し、収容体または支持体を尖頭
部または円柱部一端に接近してそれらを収容または接触
支持し、回動体を回動して停止しインゴットを水平に1
80度回動し停止して前後を反転して停止し、移動体を
移動して停止しインゴットをその他端の尖頭部を円柱部
との境界または円柱部の一端を切断体の下方へ移動して
停止し、切断体を下降して他端の尖頭部を円柱部との境
界からまたは円柱部の一端を切断し、収容体または支持
体を尖頭部または円柱部一端に接近してそれらを収容ま
たは接触支持するように制御する制御体、とを備え
る。」
【0006】
【発明の実施の態様】本願発明の実施例を図面に基いて
説明すると次のとうりである。切断の対象とするインゴ
ット1は、シリコン,人工水晶,石英ガラス等を化学合
成の結晶工程により、左右両端が円錐状の尖頭部2に形
成され、両尖頭部間の中間が横長円柱状の円柱部3に形
成され、両尖頭部2と円柱部3の外周面の左右方向全部
が直径方向へわずかに突出且つ没入する凹凸部4に形成
されるので中心軸線5は正確には特定されないものであ
る。
【0007】本願発明において利用する装置は図1,2
に示した以下のとうりである。水平一直線の左右方向へ
離れた複数箇所に水平に配置し、その直線の前後に離れ
その直線を頂点としその直線へ向けて上下に同角度に開
き、前後が同時に同距離をその直線に対し水平前後動し
停止可能とした複数組の挟持体6を設ける。
【0008】複数組の挟持体6を上方に載置して水平に
支持し、それらの前後左右の中間の垂直一直線7を中心
として水平に180度の回動をして停止可能とした回動
体8を設ける。
【0009】回動体8を上方に載置して水平に支持し、
水平に左右方向へ移動してから停止可能とした移動体9
を設けるとともに、挟持体6と回動体8と移動体9とか
ら水平一直線の一方向と上方とに離れ、その直線と直交
する垂直平面に沿って下降しながらそれに交差するイン
ゴット1を切断して停止した後に上昇して停止可能とし
た切断体10とを設ける。
【0010】複数組の挟持体6により挟持したインゴッ
トの一端からその中心軸線5の方向の一方へ離れて配置
し、切断すべきインゴット1の左右端の円錐の尖頭部2
を収容可能に相似形の円錐孔に形成し、切断中の尖頭部
2に対して接近して収容した後に離脱可能とした収容体
11を設ける。
【0011】複数組の挟持体6により挟持したインゴッ
ト1の一端からその中心軸線5の方向の一方へ離れて配
置し、切断中のインゴット1の円柱部3の左右両端一部
の薄い切断片の一端面に対して接近して、吸気力または
電磁力により吸着し接触して支持して離脱し、吸着力ま
たは電磁力を消去可能とした支持体13を設ける。
【0012】本願発明は、前記の装置が下記のとうりに
順次に継続して作用するように構成する制御体を備え
る。インゴット1をして図示しない保持装置により、図
3のように不特定な中心軸心5をほぼ水平に位置するよ
うに保持し、且つ前後にわずかに移動できるように前後
に離間している左右の複数組の挟持体6の前後間に保持
する。
【0013】図1,2のように、複数組の挟持体6をイ
ンゴット1の不特定な中心軸線5へ向けて前後動し停止
することより、インゴット1の円柱部3外周面の左右方
向複数箇所の前後を挟みつけて挟持する。
【0014】図4図示のとおりに、インゴット1の左端
の尖頭部2と円柱部3の境界を切断体10の上下動経路
へ向けて中心軸線5に沿い移動して停止するように、図
1において移動体9を左へ移動してから停止する。
【0015】図4,1図示のとおりに、インゴット1の
上方に位置し停止している切断体10を始動し下降し
て、インゴット1の左端の尖頭部2を円柱部3との境界
から中心軸線5と直交垂直面に沿い切断して尖頭部2を
円柱部3から切離してから、切断体10を上昇して停止
する。
【0016】図1図示のとおりに、収容体11を右へ移
動し切断中の尖頭部2に対し中心軸線5上で接近し接触
して尖頭部2を収容した後に、収容体11を原位置へ復
帰するように左へ移動し停止して尖頭部2から離脱す
る。
【0017】図4図示のとおりに、尖頭部2を切り離し
たインゴット1の円柱部3の左方を切断体10の上下動
経路へ向け中心軸線5に沿いわずかに移動して停止する
ように,図1において移動体9を左へわずかに移動して
停止する。
【0018】図4,1図示のとおりに、インゴット1の
上方に位置し停止している切断体10を始動し下降し
て、インゴット1の円柱部3の左方を中心軸線5との直
交垂直面に沿い薄い切断片12として切断し円柱部3か
ら切り離してから、切断体10を上昇して停止する。
【0019】図1図示のとおりに、支持体13を右へ移
動し切断中の切断片12に対し中心軸線5上で接近し接
触して、吸気力または電磁力の付勢により切断片12を
支持した後に、支持体13を原位置へ復帰するように左
へ移動し停止してから、支持体13の吸気力または電磁
力の消勢により切断片12を離脱させる。
【0020】図5図示のとおりに、インゴット1の切断
後の円柱部3の左端が中心軸線5に沿い切断体10、収
容体17、支持体13から右へ離れて停止するように、
図1において移動体9を右へ移動してから停止する。
【0021】図5図示のとおりに、インゴット1の円柱
部3の左右両端を左右が反転するように、図1における
回動体8をして、挾持箇所の挾持体6の中心軸線5に対
する左右前後の中間の一垂直線を中心とし水平に180
度回動して停止する。
【0022】図6図示のとおりに、第
【0014】段階から第
【0019】段落までと同様にその順序で作業して、イ
ンゴット1の右端の尖頭部を切断し収容して離脱し且つ
右方の円柱部3から切断片12を切断し支持して離脱す
る。
【0023】
【発明の効果】本願発明は、前記の装置とその作用を有
しているので、下記の効果を奏する。
【0024】A.外周面に直径方向の凹凸部4が形成さ
れていることにより、中心軸線5が正確には特定されて
いないインゴット1であっても、挟持体6によりインゴ
ット1を水平に且つ外周面の前後から外周面の左右方向
の複数箇所を挟持して、左右の一端を中心軸線5との直
交垂直平面に切断してから、回動体8により垂直線7を
中心にインゴット1を前後が反転するように180度の
回転をした後に、左右の他端を中心軸線5との直交平坦
平面に切断するので、インゴット1を一度挟持するのみ
で挟持を解除して左右端を反転するように挟持し直すこ
となく、インゴット1の左右両端を互いに平行して中心
軸線5との直交平坦面に切断できる。従ってインゴット
1の外周面を研削する次工程において、円周研削機の左
右に対向するインゴット1回転用の支持体間にインゴッ
ト1を支持すると、インゴット1の外周面をその中心軸
線5に正確に平行して研削することができる。
【0025】B.インゴット1の尖頭部2は、切断中に
それと相似形の円錐孔をもつ収容体11の接触により収
容されるので、切断後に落下することはない。
【0026】C.インゴット1のテストピースとして使
用する切断片12は、切断中に支持体13の接触と吸気
力または電磁力により接触支持されるので、切断後に落
下することはない。
【0027】
【図面の簡単な説明】
【図1】 装置の正面図
【図2】 装置の側面図
【図3〜6】 作業順序の説明図
【0028】
【符号の説明】
1 インゴット 2 尖頭部 3 円柱部 4 凹凸部 5 中心軸線 6 挟持体 7 垂直一直線 8 回動体 9 移動体 10 切断体 11 収容体 12 切断片 13 支持体

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】左右両端を円錐の尖頭部2に形成し、両尖
    頭部2間を中心軸線5をもつ横長円柱の円柱部3に形成
    し、尖頭部2と円柱部3との全外周面を中心軸線5との
    直交方向でわずかに突出及び没入する凹凸部4に形成し
    たインゴット1をして、 中心軸線5を水平とし且つ中心軸線5との直交水平面上
    において中心軸線5に対する前後にわずかに移動可能に
    保持し、 円柱部3の外周面の中心軸線5上の左右に離れた箇所
    を中心軸線5に対する前後で挟持し、円柱部3を中心軸線5に沿って左へ移動し、 左端の尖頭部2を円柱部3との境界から中心軸線5との
    直交垂直面に沿って切断し、円柱部3を中心軸線5に沿ってわずかに左方へ移動し、 尖頭部2の切断後の円柱部3の左方を中心軸線5との直
    垂直面に沿って薄く切断し、円柱部3を中心軸線5に沿って右へ移動し、 円柱部3の左右両端を左右が反転するように、 挟持箇所
    中心軸線5に対する左右前後の中間の一直線を中心と
    して水平に180度回動して停止し、円柱部3を中心軸線5に沿って左へ移動し、 反転した右端の 尖頭部2を円柱部3との境界から中心軸
    線5との直交垂直面に沿って切断し、 円柱部3を中心軸線5に沿ってわずかに左方へ移動し、 反転した尖頭部2の切断後の円柱部3の左方を中心軸線
    5との直交垂直面に沿って薄く切断、するように順次に
    作業する、インゴットの切断方法。
  2. 【請求項2】水平一直線の左右方向に離れ且つその直線
    の前後に配置し、その直線を挟み直角に開いて対向しそ
    の直線に向け互いに同時に同距離を接近可能とした二組
    の挟持体6と、 上面に二組の挟持体6を水平に固定し、二組の挟持体6
    の前後左右の中間の垂直一直線7を中心として180度
    の回動とその停止を可能とした回動体8と、 上面に回動体8を水平に支持し、水平一直線に沿ってそ
    の左右方向への移動とその停止を可能とした移動体9挟
    持体6と回動体8と移動体9とから水平一直線の一方向
    と上方とに離れて配置し、その直線との直交垂直面に沿
    い下降しインゴットを切断可能とし且つ上昇して停止可
    能とした切断体10と、 左右両端を円錐の尖頭部2に形成し両尖頭部2間を中心
    軸線5をもつ横長円柱の円柱部3を形成したインゴット
    1をして円柱部3の外周面の中心軸線5上の左右に離れ
    た二箇所を中心軸線5に対する前後で挟持するように二
    組の挟持体6をして接近してから停止し、インゴット1
    の左端の尖頭部2と円柱部3の境界を切断体10の下方
    へ移動するように移動体9をして左方へ移動してから停
    止し、左端の尖頭部2を円柱部3から切断するように切
    断体10をして下降してから停止し、インゴット1の左
    端の円柱部3を切断体10の下方へ移動するように移動
    体9をしてわずかに左方へ移動してから停止し、左端の
    円柱部3を薄い切断片12として切断するように切断体
    10をして下降してから停止し、インゴット1の左右両
    端を左右が反転するように回動体8をしてから停止し、
    インゴット1の右端の尖頭部2と円柱部3の境界を切断
    体10の下方へ移動するように移動体9をして左方へ移
    動してから停止し、右端の尖頭部2を円柱部3から切断
    するように切断体10をして下降してから停止し、イン
    ゴット1の右端の円柱部3を切断体10の下方へ移動す
    るように移動体9をしてわずかに左方へ移動してから停
    止し、左端の円柱部3を薄い切断片12として切断する
    ように切断体10をして下降してから停止、するように
    挟持体6と回動体8と移動体9と切断10とを作動させ
    る制御体、 とを備えた、インゴット切断装置。
  3. 【請求項3】挟持したインゴット1の一端から中心軸線
    5上の一方向に離れて配置し、一端の尖頭部2と相似形
    の円錐孔を形成し、切断中の尖頭部2に接近して収容し
    てから原位置へ復帰移動可能とした収容体11と、 切断中の尖頭部2へ接近し収容してから原位置へ復帰移
    動するように収容体11をして接近移動してから復帰移
    動させる制御体、 とを備えた、請求項2に記載したインゴット切断装置。
  4. 【請求項4】挟持したインゴット1の一端から中心軸線
    5上の一方向に離れて配置し、一端の円柱部3の薄い切
    断片12に接近し接触し吸気力または電磁力の付勢によ
    り切断片12を支持してから、原位置へ復帰移動した後
    に吸気力または電磁力の消勢により切断片12から離脱
    可能とした支持体13と、 切断中の切断片12に接近して吸気力または電磁力の付
    勢により切断片12を支持してから、原位置へ復帰移動
    した後に吸気力または電磁力の消勢により切断片12か
    ら離脱するように、支持体を接近と復帰移動し付勢と消
    勢作用させる制御体、 とを備えた、請求項2に記載したインゴット切断装置。
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CN101856844A (zh) * 2010-05-31 2010-10-13 常州亿晶光电科技有限公司 硅棒连接座的拆卸、翻转、搬运器具
KR101306904B1 (ko) * 2011-08-24 2013-09-10 (주)대성하이텍 실리콘잉곳의 복합가공기
KR101890149B1 (ko) * 2016-12-22 2018-08-21 (주)제이쓰리 와이어 쏘우를 이용한 잉곳 커팅 방법
CN109080019B (zh) * 2018-09-30 2024-03-29 福州天瑞线锯科技有限公司 一种晶硅棒切割机用进料装置
CN109176930B (zh) * 2018-09-30 2024-03-29 福州天瑞线锯科技有限公司 一种晶硅棒切割机
CN113352485A (zh) * 2021-06-09 2021-09-07 阜宁协鑫光伏科技有限公司 硅片多线切割方法
CN113954255B (zh) * 2021-11-24 2022-09-06 江苏嘉一北科光学科技有限公司 一种蓝宝石晶棒切割气动抓手
CN114311350B (zh) * 2022-03-15 2022-06-28 天通控股股份有限公司 一种钽酸锂晶体头尾切割方法

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