JP2001212749A - 多刃式ブレードによる人工水晶及びセラミック等のクロス切断装置 - Google Patents
多刃式ブレードによる人工水晶及びセラミック等のクロス切断装置Info
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- JP2001212749A JP2001212749A JP2000026102A JP2000026102A JP2001212749A JP 2001212749 A JP2001212749 A JP 2001212749A JP 2000026102 A JP2000026102 A JP 2000026102A JP 2000026102 A JP2000026102 A JP 2000026102A JP 2001212749 A JP2001212749 A JP 2001212749A
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は平板状に切断されたウエハー等の原
石をワークとし、このワークを貼り付けたワーク台を一
旦取り外すのでなく、ワーク台を回転することによって
所望の角度位置で精度良く位置決めし、クロス切断（直
交する方向即ち碁盤目状に切断する）ができる装置を提
供することを目的とする。 【解決手段】 複数本の長尺刃物をスペーサを介し平行
にセットしたブレード取付枠ａを長尺刃物の長手方向に
往復動させ、ブレード取付枠ａの下部に置いた平板状ワ
ーク２７を切断する砥粒多刃式切断機において、送りシ
リンダの上部に固定され、上部周縁に円形のインロー部
２３が設けられたワーク固定台２２と、前記インロー部
２３に沿って回転可能に嵌っている回転台２４を有し、
該回転台２４はワーク固定台２２の前記インロー部２３
に対しボルト２５で位置を固定することができ、回転台
２４の上面にワーク台２６が固定され、さらにワーク台
２６の上面にガラス板等の板体２７が着脱可能に取付け
られ、該ワーク台２６の上部にウエハー２８を取付ける
ことができるようにした。
石をワークとし、このワークを貼り付けたワーク台を一
旦取り外すのでなく、ワーク台を回転することによって
所望の角度位置で精度良く位置決めし、クロス切断（直
交する方向即ち碁盤目状に切断する）ができる装置を提
供することを目的とする。 【解決手段】 複数本の長尺刃物をスペーサを介し平行
にセットしたブレード取付枠ａを長尺刃物の長手方向に
往復動させ、ブレード取付枠ａの下部に置いた平板状ワ
ーク２７を切断する砥粒多刃式切断機において、送りシ
リンダの上部に固定され、上部周縁に円形のインロー部
２３が設けられたワーク固定台２２と、前記インロー部
２３に沿って回転可能に嵌っている回転台２４を有し、
該回転台２４はワーク固定台２２の前記インロー部２３
に対しボルト２５で位置を固定することができ、回転台
２４の上面にワーク台２６が固定され、さらにワーク台
２６の上面にガラス板等の板体２７が着脱可能に取付け
られ、該ワーク台２６の上部にウエハー２８を取付ける
ことができるようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、多刃式ブレードに
よる人工水晶及びセラミック等のクロス切断装置に関す
るものである。
よる人工水晶及びセラミック等のクロス切断装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来縦方向と横方向に交叉して切断す
る、いわゆるクロス切断装置においては、先ず最初ステ
ィック状（棒状）に切断したのち、ワークを貼り付けて
いるワーク台を取り外し、角度をたとえば９０°に合わ
せて取り付け、同一の切断刃で切断していた。このた
め、角度のセッティング等の精度が劣り、出来上り製品
の精度に問題があった。
る、いわゆるクロス切断装置においては、先ず最初ステ
ィック状（棒状）に切断したのち、ワークを貼り付けて
いるワーク台を取り外し、角度をたとえば９０°に合わ
せて取り付け、同一の切断刃で切断していた。このた
め、角度のセッティング等の精度が劣り、出来上り製品
の精度に問題があった。
【０００３】本出願人は先に「砥粒多刃式ウエハー切断
機に於けるワーク支持装置」と題する発明（以下先発明
という）を開示した（特許第２９８９０９４号）。以下
図６以下を参照して先発明について説明する。
機に於けるワーク支持装置」と題する発明（以下先発明
という）を開示した（特許第２９８９０９４号）。以下
図６以下を参照して先発明について説明する。
【０００４】図７は先発明に係るワーク支持装置を内蔵
した砥粒多刃式ウエハー切断機の斜視図、図８はワーク
支持装置の正面図、図９は図８のＡ矢視側面図、そして
図１０はワーク支持装置の制御系の一例を示す。図１で
ａは多数のブレードｂを平行にセットしたブレード取付
枠で、図の左右方向（矢印Ｘ方向）に往復動し、この下
にあるワーク支持装置上のワーク１（図８）を薄く切断
してウエハー化する。ｃは切削液供給部で、ここから下
向に切削液を滴下しつつ切断加工する。ｄは切断機本
体、ｅは制御部である。
した砥粒多刃式ウエハー切断機の斜視図、図８はワーク
支持装置の正面図、図９は図８のＡ矢視側面図、そして
図１０はワーク支持装置の制御系の一例を示す。図１で
ａは多数のブレードｂを平行にセットしたブレード取付
枠で、図の左右方向（矢印Ｘ方向）に往復動し、この下
にあるワーク支持装置上のワーク１（図８）を薄く切断
してウエハー化する。ｃは切削液供給部で、ここから下
向に切削液を滴下しつつ切断加工する。ｄは切断機本
体、ｅは制御部である。
【０００５】図８以下を参照してワーク支持装置につい
て説明する。図８と図９で１は円柱状をしたワークで、
水晶・セラミックあるいはシリコン等である。ワーク１
は接着剤２ａでワーク取付部材２上に接着される。ワー
ク取付部材２には円柱状をなすワーク１をセットする
為、断面円弧状の凹部２ｂが形成されている。ワーク取
付部材２は断面Ｕ型をしたワーク固定台３の中央上部に
固定される。ワーク固定台３は両側上部に耳軸４を有
し、断面Ｕ型をしたＵ型ベース５の両側壁部に軸受６を
介し揺動可能に支持されている。７はワーク固定台３の
揺動方向の前後両端に固定された駆動板で、該駆動板７
に連結板８（図９）を介し揺動用の油圧シリンダ９がピ
ン結合により取付けられている。１０はＵ型ベース５の
底部にロッド端が取付けられ、ワーク１に切り込み送り
を与えるための送りシリンダで、これによりワーク１に
長尺刃物に向って上向きの送りを与えることができる。
て説明する。図８と図９で１は円柱状をしたワークで、
水晶・セラミックあるいはシリコン等である。ワーク１
は接着剤２ａでワーク取付部材２上に接着される。ワー
ク取付部材２には円柱状をなすワーク１をセットする
為、断面円弧状の凹部２ｂが形成されている。ワーク取
付部材２は断面Ｕ型をしたワーク固定台３の中央上部に
固定される。ワーク固定台３は両側上部に耳軸４を有
し、断面Ｕ型をしたＵ型ベース５の両側壁部に軸受６を
介し揺動可能に支持されている。７はワーク固定台３の
揺動方向の前後両端に固定された駆動板で、該駆動板７
に連結板８（図９）を介し揺動用の油圧シリンダ９がピ
ン結合により取付けられている。１０はＵ型ベース５の
底部にロッド端が取付けられ、ワーク１に切り込み送り
を与えるための送りシリンダで、これによりワーク１に
長尺刃物に向って上向きの送りを与えることができる。
【０００６】図９は切断機の制御系の一例を示す。１１
はブレードｂを取付けたブレード取付枠ａを往復動させ
るシリンダで、そのロッド先端に取付枠ａが取付けられ
ている。送りシリンダ１０はその下端が支持軸１２で枢
支されている。送りシリンダ１０のシリンダ部にはシリ
ンダ１３が取付けられている。このシリンダ１３の伸縮
によって送りシリンダ１０を支持軸１２のまわりに揺動
させることができる。図９でシリンダ１１とシリンダ１
３は検出器にポテンショメータ１４を用いた変位制御系
が構成されており、送りシリンダ１０に一定の押上力が
かかるような回路となっている。位置決め系はソフトス
タート、ソフトストップ（ゆっくりと振幅を増したり、
減じたりする）機能を備えている。
はブレードｂを取付けたブレード取付枠ａを往復動させ
るシリンダで、そのロッド先端に取付枠ａが取付けられ
ている。送りシリンダ１０はその下端が支持軸１２で枢
支されている。送りシリンダ１０のシリンダ部にはシリ
ンダ１３が取付けられている。このシリンダ１３の伸縮
によって送りシリンダ１０を支持軸１２のまわりに揺動
させることができる。図９でシリンダ１１とシリンダ１
３は検出器にポテンショメータ１４を用いた変位制御系
が構成されており、送りシリンダ１０に一定の押上力が
かかるような回路となっている。位置決め系はソフトス
タート、ソフトストップ（ゆっくりと振幅を増したり、
減じたりする）機能を備えている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は上記
先発明で開示された切断されたウエハー等の原石をワー
クとし、このワークを貼り付けたワーク台を一旦取り外
すのでなく、ワーク台を回転することによって所望の角
度位置で精度良くクロス切断（直交する方向即ち碁盤目
状に切断する）ができる装置を提供することを目的とす
る。
先発明で開示された切断されたウエハー等の原石をワー
クとし、このワークを貼り付けたワーク台を一旦取り外
すのでなく、ワーク台を回転することによって所望の角
度位置で精度良くクロス切断（直交する方向即ち碁盤目
状に切断する）ができる装置を提供することを目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】複数本の長尺刃物を個々
の長尺刃物間に間挿したスペーサを介して平行にセット
したブレード取付枠ａを長尺刃物の長手方向に往復動さ
せ、ブレード取付枠ａの下部に置いた平板状ワーク２７
を切断する砥粒多刃式切断機において、送りシリンダの
上部に固定され、上部周縁に円形のインロー部２３を設
けたワーク固定台２２と、前記インロー部２３に沿って
回転可能に嵌っている回転台２４を有し、該回転台２４
はワーク固定台２２の前記インロー部２３に対しボルト
２５で位置を固定することができ、回転台２４の上面に
ワーク台２６が固定され、さらにワーク台２６の上面に
ガラス板等の板体２７が着脱可能に取付けられ、該ワー
ク台２６の上部にウエハー等の原石２８を取付けること
ができるようにした。また、ウエハー等の原石２８はガ
ラス板等の板体２７上に接着剤２９で接着され、多刃式
切断機によりまずスティック状に切断し、次に固定補助
ボルト３０を緩め、ワーク台２６を９０°回転して正確
に位置決めするようにし、該位置決め時、ワーク台２６
上に設けた上下左右の位置固定ピン３１により行うよう
にした。
の長尺刃物間に間挿したスペーサを介して平行にセット
したブレード取付枠ａを長尺刃物の長手方向に往復動さ
せ、ブレード取付枠ａの下部に置いた平板状ワーク２７
を切断する砥粒多刃式切断機において、送りシリンダの
上部に固定され、上部周縁に円形のインロー部２３を設
けたワーク固定台２２と、前記インロー部２３に沿って
回転可能に嵌っている回転台２４を有し、該回転台２４
はワーク固定台２２の前記インロー部２３に対しボルト
２５で位置を固定することができ、回転台２４の上面に
ワーク台２６が固定され、さらにワーク台２６の上面に
ガラス板等の板体２７が着脱可能に取付けられ、該ワー
ク台２６の上部にウエハー等の原石２８を取付けること
ができるようにした。また、ウエハー等の原石２８はガ
ラス板等の板体２７上に接着剤２９で接着され、多刃式
切断機によりまずスティック状に切断し、次に固定補助
ボルト３０を緩め、ワーク台２６を９０°回転して正確
に位置決めするようにし、該位置決め時、ワーク台２６
上に設けた上下左右の位置固定ピン３１により行うよう
にした。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１〜図５に基いて説明する。図
１は本発明に関るクロス切断装置のワーク台近傍の側面
図、図２は図１の上面図、図３はワーク台を９０°回転
し位置決めする装置の平面図、図４はスティック状に切
断した状態、図５はこれを９０°回転してクロス切断し
た状態を示す。
１は本発明に関るクロス切断装置のワーク台近傍の側面
図、図２は図１の上面図、図３はワーク台を９０°回転
し位置決めする装置の平面図、図４はスティック状に切
断した状態、図５はこれを９０°回転してクロス切断し
た状態を示す。
【００１０】まず図１で、２１は送りシリンダで、この
上部にワーク固定台２２が固着されている。固定台２２
の上部周縁に円形のインロー部２３が設けられ、これに
沿って回転台２４が回転可能に嵌っている。回転台２４
はワーク固定台２２の前記インロー部２３に対しボルト
２５で位置を固定することができる。
上部にワーク固定台２２が固着されている。固定台２２
の上部周縁に円形のインロー部２３が設けられ、これに
沿って回転台２４が回転可能に嵌っている。回転台２４
はワーク固定台２２の前記インロー部２３に対しボルト
２５で位置を固定することができる。
【００１１】回転台２４の上面にはワーク台２６が固定
されている。ワーク台２６の上面にはガラス板等の板体
２７が着脱可能に取付けられ、このワーク台２６の上部
に原石２８即ち先発明で切断されたウエハー等が接着さ
れる。
されている。ワーク台２６の上面にはガラス板等の板体
２７が着脱可能に取付けられ、このワーク台２６の上部
に原石２８即ち先発明で切断されたウエハー等が接着さ
れる。
【００１２】原石２８は図４に示す如く、ガラス板等の
板体２７上に接着剤２９で接着され、まずスティック状
に切断される。そして、図３の固定補助ボルト３０を緩
め、ワーク台２６を９０°回転する。この時ワーク台２
６上に設けた上下左右の位置固定ピン３１が設けられて
いるので、正確に位置決めされる。
板体２７上に接着剤２９で接着され、まずスティック状
に切断される。そして、図３の固定補助ボルト３０を緩
め、ワーク台２６を９０°回転する。この時ワーク台２
６上に設けた上下左右の位置固定ピン３１が設けられて
いるので、正確に位置決めされる。
【００１３】
【発明の効果】ウエハー等の原石をワークとし、これを
クロス切断する場合、原石はワーク台上に固定するが、
このワーク台を回転台に設けたインロー部に沿って回転
し、機械的に精密に位置決めできるので最終製品の精度
をより向上できる。特にスティック状に切断し、これを
９０°回転するに際し、上下左右の位置固定ピンの設置
により、機械的位置設定がより精度よく行うことができ
るので、最終製品であるクロス切断製品を極めて高精度
に加工することができる。
クロス切断する場合、原石はワーク台上に固定するが、
このワーク台を回転台に設けたインロー部に沿って回転
し、機械的に精密に位置決めできるので最終製品の精度
をより向上できる。特にスティック状に切断し、これを
９０°回転するに際し、上下左右の位置固定ピンの設置
により、機械的位置設定がより精度よく行うことができ
るので、最終製品であるクロス切断製品を極めて高精度
に加工することができる。
【図１】本発明に関るクロス切断装置のワーク台近傍の
側面図。
側面図。
【図２】図１の上面図。
【図３】ワーク台を９０°回転し位置決めする装置の平
面図。
面図。
【図４】スティック状に切断する状態。
【図５】９０°回転してクロス切断する状態を示す。
【図６】ウエハー切断機の全体斜視図。
【図７】図６におけるワーク支持装置の正面図。
【図８】図７のＡ矢視図。
【図９】切断機の制御系を示す回路図の一例。
１ ワーク ２ ワーク取付部 2a 接着剤 ３ ワーク固定台 ４ 耳軸 ５ Ｕ型ベース ６ 軸受 ７ 駆動板 ８ 連結板 ９ 油圧シリンダ 10 送りシリンダ 11 シリンダ 12 支持軸 13 シリンダ 14 ポテンショメータ 21 送りシリンダ 22 ワーク固定台 23 インロー部 24 回転台 25 ボルト 26 ワーク台 27 ガラス板等の板
体 28 ウエハー 29 接着剤 30 固定補助ボルト 31 位置固定ピン
体 28 ウエハー 29 接着剤 30 固定補助ボルト 31 位置固定ピン
Claims (2)
- 【請求項１】 複数本の長尺刃物を個々の長尺刃物間に
間挿したスペーサを介して平行にセットしたブレード取
付枠（ａ）を長尺刃物の長手方向に往復動させ、ブレー
ド取付枠（ａ）の下部に置いた平板状ワーク（２７）を
切断する砥粒多刃式切断機において、送りシリンダの上
部に固定され、上部周縁に円形のインロー部（２３）を
設けたワーク固定台（２２）と、前記インロー部（２
３）に沿って回転可能に嵌っている回転台（２４）を有
し、該回転台（２４）はワーク固定台（２２）の前記イ
ンロー部（２３）に対しボルト（２５）で位置を固定す
ることができ、回転台（２４）の上面にワーク台（２
６）が固定され、さらにワーク台（２６）の上面にガラ
ス板等の板体（２７）が着脱可能に取付けられ、該ワー
ク台（２６）の上部にウエハー等の原石（２８）を取付
けることができるようにした多刃式ブレードによる人工
水晶及びセラミック等のクロス切断装置。 - 【請求項２】 ウエハー等の原石（２８）はガラス板等
の板体（２７）上に接着剤（２９）で接着され、多刃式
切断機によりまずスティック状に切断し、次に固定補助
ボルト（３０）を緩め、ワーク台（２６）を９０°回転
して正確に位置決めするようにし、該位置決め時、ワー
ク台（２６）上に設けた上下左右の位置固定ピン（３
１）により行うようにした請求項１記載の多刃式ブレー
ドによる人工水晶及びセラミック等のクロス切断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000026102A JP2001212749A (ja) | 2000-02-03 | 2000-02-03 | 多刃式ブレードによる人工水晶及びセラミック等のクロス切断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000026102A JP2001212749A (ja) | 2000-02-03 | 2000-02-03 | 多刃式ブレードによる人工水晶及びセラミック等のクロス切断装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001212749A true JP2001212749A (ja) | 2001-08-07 |
Family
ID=18551871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000026102A Pending JP2001212749A (ja) | 2000-02-03 | 2000-02-03 | 多刃式ブレードによる人工水晶及びセラミック等のクロス切断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001212749A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102768114A (zh) * | 2012-08-01 | 2012-11-07 | 无锡创明传动工程有限公司 | 一种可移动支座 |
| CN102879194A (zh) * | 2012-06-21 | 2013-01-16 | 浙江吉利汽车研究院有限公司杭州分公司 | 一种变速器试验台的可调支架结构 |
| CN103389219A (zh) * | 2013-07-22 | 2013-11-13 | 力帆实业(集团)股份有限公司 | 微耕机测试台 |
-
2000
- 2000-02-03 JP JP2000026102A patent/JP2001212749A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102879194A (zh) * | 2012-06-21 | 2013-01-16 | 浙江吉利汽车研究院有限公司杭州分公司 | 一种变速器试验台的可调支架结构 |
| CN102768114A (zh) * | 2012-08-01 | 2012-11-07 | 无锡创明传动工程有限公司 | 一种可移动支座 |
| CN103389219A (zh) * | 2013-07-22 | 2013-11-13 | 力帆实业(集团)股份有限公司 | 微耕机测试台 |
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