JP2989094B2 - 砥粒多刃式ウエハ−切断機に於けるワ−ク支持装置 - Google Patents
砥粒多刃式ウエハ−切断機に於けるワ−ク支持装置Info
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- JP2989094B2 JP2989094B2 JP33093093A JP33093093A JP2989094B2 JP 2989094 B2 JP2989094 B2 JP 2989094B2 JP 33093093 A JP33093093 A JP 33093093A JP 33093093 A JP33093093 A JP 33093093A JP 2989094 B2 JP2989094 B2 JP 2989094B2
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は砥粒多刃式ウエハ−切断
機に於けるワ−ク支持装置に関するものである。
機に於けるワ−ク支持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】砥粒多刃式ウエハ−切断機として、特公
昭５９−３９２７６号公報又は実開平３−５１１７号公
報に開示されたものがしられている。これらにおいては
複数枚の長尺刃物を平行にセットしたブレ−ド取付枠の
下方に上下方向に送りを与えることのできるワ−ク固定
台がある。ワ−ク固定台上のワ−クは一旦固定される
と、ブレ−ドとの相対角度関係は不変であった。特にワ
−クが円柱状の場合にはその半径方向中心に向うに従っ
て切削長さ並びに切削抵抗が変化し、切削精度あるいは
切削能率の面で問題があった。
昭５９−３９２７６号公報又は実開平３−５１１７号公
報に開示されたものがしられている。これらにおいては
複数枚の長尺刃物を平行にセットしたブレ−ド取付枠の
下方に上下方向に送りを与えることのできるワ−ク固定
台がある。ワ−ク固定台上のワ−クは一旦固定される
と、ブレ−ドとの相対角度関係は不変であった。特にワ
−クが円柱状の場合にはその半径方向中心に向うに従っ
て切削長さ並びに切削抵抗が変化し、切削精度あるいは
切削能率の面で問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】水晶発振子及びセラミ
ックウエハ−等の切断に要する製造コストの低減を図る
ことのできる砥粒多刃式ウエハ−切断機を提供すること
を目的とする。
ックウエハ−等の切断に要する製造コストの低減を図る
ことのできる砥粒多刃式ウエハ−切断機を提供すること
を目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】複数本の長尺刃物を平行
にセットしたブレード取付枠ａを長尺刃物の長手方向に
往復動させ、ブレード取付枠ａの下部に置いた円柱状ワ
ーク１を切断する砥粒多刃式ウエハー切断機において、
前記円柱状ワーク１の芯軸を前記ブレード取付枠ａの往
復動方向と直交する位置に取付可能なワーク取付部材２
を備えた断面Ｕ字形をしたワーク固定台３を有し、該ワ
ーク固定台３は両側上部に設けた耳軸４を介し断面Ｕ字
形をなすＵ型ベース５の両側壁上部に支持されており、
さらにワーク固定台３の往復動方向前後両端にはワーク
固定台３を往復動方向に揺動させる油圧シリンダ９に連
結するための駆動板７を有しており、又前記Ｕ型ベース
５にはその中央底部にワーク１に前記長尺刃物に向って
上向きの送りを与えるため、下端を支持軸１２で、前記
往復動方向に揺動可能に枢支され、ロッド端がＵ型ベー
ス５の底部に固定された送りシリンダ１０を有してい
る。
にセットしたブレード取付枠ａを長尺刃物の長手方向に
往復動させ、ブレード取付枠ａの下部に置いた円柱状ワ
ーク１を切断する砥粒多刃式ウエハー切断機において、
前記円柱状ワーク１の芯軸を前記ブレード取付枠ａの往
復動方向と直交する位置に取付可能なワーク取付部材２
を備えた断面Ｕ字形をしたワーク固定台３を有し、該ワ
ーク固定台３は両側上部に設けた耳軸４を介し断面Ｕ字
形をなすＵ型ベース５の両側壁上部に支持されており、
さらにワーク固定台３の往復動方向前後両端にはワーク
固定台３を往復動方向に揺動させる油圧シリンダ９に連
結するための駆動板７を有しており、又前記Ｕ型ベース
５にはその中央底部にワーク１に前記長尺刃物に向って
上向きの送りを与えるため、下端を支持軸１２で、前記
往復動方向に揺動可能に枢支され、ロッド端がＵ型ベー
ス５の底部に固定された送りシリンダ１０を有してい
る。
【０００５】
【作用】ワーク固定台３上にワーク取付部材２を介して
ワーク１を固定し、ブレード取付枠ａを往復動させる。
さらにワーク固定台３を一対の油圧シリンダ９で前記ブ
レードの取付枠ａの往復動方向に揺動すると共に、送り
シリンダ１０によって少しずつワーク１に切込送りを与
えながら円柱形をなしたワーク１を切断するようにし
た。
ワーク１を固定し、ブレード取付枠ａを往復動させる。
さらにワーク固定台３を一対の油圧シリンダ９で前記ブ
レードの取付枠ａの往復動方向に揺動すると共に、送り
シリンダ１０によって少しずつワーク１に切込送りを与
えながら円柱形をなしたワーク１を切断するようにし
た。
【０００６】
【実施例】図に基いて説明する。図１は本発明に係るワ
−ク支持装置を内蔵した砥粒多刃式ウエハ−切断機の斜
視図、図２はワ−ク支持装置の正面図、図３は図２のＡ
矢視側面図、そして図４はワ−ク支持装置の制御系の一
例を示す。図１でａは多数のブレ−ドｂを平行にセット
したブレ−ド取付枠で、図の左右方向(矢印Ｘ方向)に往
復動し、この下に設けられた本発明のワ−ク支持装置上
のワ−ク１(図２)を薄く切断してウエハ−化する。ｃは
切削液供給部で、こゝから下向に切削液を滴下しつゝ切
断加工する。ｄは切断機本体、ｅは制御部である。
−ク支持装置を内蔵した砥粒多刃式ウエハ−切断機の斜
視図、図２はワ−ク支持装置の正面図、図３は図２のＡ
矢視側面図、そして図４はワ−ク支持装置の制御系の一
例を示す。図１でａは多数のブレ−ドｂを平行にセット
したブレ−ド取付枠で、図の左右方向(矢印Ｘ方向)に往
復動し、この下に設けられた本発明のワ−ク支持装置上
のワ−ク１(図２)を薄く切断してウエハ−化する。ｃは
切削液供給部で、こゝから下向に切削液を滴下しつゝ切
断加工する。ｄは切断機本体、ｅは制御部である。
【０００７】図２以下を参照してワーク支持装置につい
て説明する。図２と図３で１は円柱状をしたワークで、
水晶・セラミックあるいはシリコン等である。ワーク１
は接着剤２ａでワーク取付部材２上に接着される。ワー
ク取付部材２には円柱状をなすワーク１をセットする
為、断面円弧状の凹部２ｂが形成されている。ワーク取
付部材２は断面Ｕ型をしたワーク固定台３の中央上部に
固定される。ワーク固定台３は両側上部に耳軸４を有
し、断面Ｕ型をしたＵ型ベース５の両側壁部に軸受６を
介し揺動可能に支持されている。７はワーク固定台３の
揺動方向の前後両端に固定された駆動板で、該駆動板７
に連結板８（図３）を介し揺動用の油圧シリンダ９がピ
ン結合により取付けられている。１０はＵ型ベース５の
底部にロッド端が取付けられ、ワーク１に切り込み送り
を与えるための送りシリンダで、これによりワーク１に
長尺刃物に向って上向きの送りを与えることができる。
て説明する。図２と図３で１は円柱状をしたワークで、
水晶・セラミックあるいはシリコン等である。ワーク１
は接着剤２ａでワーク取付部材２上に接着される。ワー
ク取付部材２には円柱状をなすワーク１をセットする
為、断面円弧状の凹部２ｂが形成されている。ワーク取
付部材２は断面Ｕ型をしたワーク固定台３の中央上部に
固定される。ワーク固定台３は両側上部に耳軸４を有
し、断面Ｕ型をしたＵ型ベース５の両側壁部に軸受６を
介し揺動可能に支持されている。７はワーク固定台３の
揺動方向の前後両端に固定された駆動板で、該駆動板７
に連結板８（図３）を介し揺動用の油圧シリンダ９がピ
ン結合により取付けられている。１０はＵ型ベース５の
底部にロッド端が取付けられ、ワーク１に切り込み送り
を与えるための送りシリンダで、これによりワーク１に
長尺刃物に向って上向きの送りを与えることができる。
【０００８】図４は本発明に係る切断機の制御系の一例
を示す。１１はブレ−ドｂを取付けたブレ−ド取付枠ａ
を往復動させるシリンダで、そのロッド先端に取付枠ａ
が取付けられている。送りシリンダ１０はその下端が支
持軸１２で枢支されている。送りシリンダ１０のシリン
ダ部にはシリンダ１３が取付けられている。このシリン
ダ１３の伸縮によって送りシリンダ１０を支持軸１２の
まわりに揺動させることができる。図４でシリンダ１１
とシリンダ１３は検出器にポテンショメ−タ１４を用い
た変位制御系が構成されており、送りシリンダ１０に一
定の押上力がかかるような回路となっている。位置決め
系はソフトスタ−ト、ソフトストップ（ゆっくりと振幅
を増したり、減じたりする）機能を備えている。
を示す。１１はブレ−ドｂを取付けたブレ−ド取付枠ａ
を往復動させるシリンダで、そのロッド先端に取付枠ａ
が取付けられている。送りシリンダ１０はその下端が支
持軸１２で枢支されている。送りシリンダ１０のシリン
ダ部にはシリンダ１３が取付けられている。このシリン
ダ１３の伸縮によって送りシリンダ１０を支持軸１２の
まわりに揺動させることができる。図４でシリンダ１１
とシリンダ１３は検出器にポテンショメ−タ１４を用い
た変位制御系が構成されており、送りシリンダ１０に一
定の押上力がかかるような回路となっている。位置決め
系はソフトスタ−ト、ソフトストップ（ゆっくりと振幅
を増したり、減じたりする）機能を備えている。
【０００９】
【効果】ワーク固定台３上のワーク１をワーク固定台３
上に取付け、これをＵ型ベース上に揺動可能に取付け、
ブレート取付枠ａの往復動方向に揺動させ乍ら円筒状の
ワーク１をスライス切断するようにしたので、 １）切断刃（ブレード）にかかる摩擦抵抗を減少かつ切
削中ほぼ一定にすることができる。 ２）摩擦抵抗を減少することにより、刃物の消耗を低減
し、切断刃１サイクル当りの使用時間及び回数を長く
し、製品のコスト低下が可能となった。 ３）円柱状をしたウエハー母材であるワーク１が、刃物
の下で揺動することによって、切断時にブレードがワー
クに当る面積が少なくなり、切削剤の流入も良くなる。
従って切断時間も従来に比べて短縮でき製品コスト低減
が可能となった。 ４）ウエハー母材であるワーク１の切断面の摩擦熱及び
切削油の流入度合の改善によって切削油の温度上昇も押
えることができる。さらに切削油の冷却システムを採用
することにより、ウエハー母材であるワーク１固定用の
接着剤への影響も少なくなり、切断最終時のウエハー母
材の脱落も防止できる。
上に取付け、これをＵ型ベース上に揺動可能に取付け、
ブレート取付枠ａの往復動方向に揺動させ乍ら円筒状の
ワーク１をスライス切断するようにしたので、 １）切断刃（ブレード）にかかる摩擦抵抗を減少かつ切
削中ほぼ一定にすることができる。 ２）摩擦抵抗を減少することにより、刃物の消耗を低減
し、切断刃１サイクル当りの使用時間及び回数を長く
し、製品のコスト低下が可能となった。 ３）円柱状をしたウエハー母材であるワーク１が、刃物
の下で揺動することによって、切断時にブレードがワー
クに当る面積が少なくなり、切削剤の流入も良くなる。
従って切断時間も従来に比べて短縮でき製品コスト低減
が可能となった。 ４）ウエハー母材であるワーク１の切断面の摩擦熱及び
切削油の流入度合の改善によって切削油の温度上昇も押
えることができる。さらに切削油の冷却システムを採用
することにより、ウエハー母材であるワーク１固定用の
接着剤への影響も少なくなり、切断最終時のウエハー母
材の脱落も防止できる。
【図１】本発明を具えたウエハ−切断機の全体斜視図。
【図２】ワ−ク支持装置の正面図。
【図３】図２のＡ矢視図。
【図４】切断機の制御系を示す回路図の一例。
ａ ブレ−ド取付枠 ｂ ブレ−ド ｃ 切削液供給部 ｄ 切断機本体 ｅ 制御部 １ ワ−ク ２ ワ−ク取付部 2a 接着剤 ３ ワ−ク固定台 ４ 耳軸 ５ Ｕ型ベ−ス ６ 軸受 ７ 駆動板 ８ 連結板 ９ 油圧シリンダ 10 送りシリンダ 11 シリンダ 12 支持軸 13 シリンダ 14 ポテンショメ−タ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B28D 5/04 B24B 27/06 B24B 47/16 B28D 7/04 H01L 21/304
Claims (1)
- 【請求項１】 複数本の長尺刃物を平行にセットしたブ
レード取付枠(ａ)を長尺刃物の長手方向に往復動させ、
ブレード取付枠(ａ)の下部に置いた円柱状ワーク(１)を
切断する砥粒多刃式ウエハー切断機において、前記円柱
状ワーク(１)の芯軸を前記ブレード取付枠(ａ)の往復動
方向と直交する位置に取付可能なワーク取付部材(２)を
備えた断面Ｕ字形をしたワーク固定台(３)を有し、該ワ
ーク固定台(３)は両側上部に設けた耳軸(４)を介し断面
Ｕ字形をなすＵ型ベース(５)の両側壁上部に支持されて
おり、さらにワーク固定台(３)の往復動方向前後両端に
はワーク固定台(３)を往復動方向に揺動させる油圧シリ
ンダ(９)に連結するための駆動板(７)を有しており、又
前記Ｕ型ベース(５)にはその中央底部にワーク(１)に前
記長尺刃物に向って上向きの送りを与えるため、下端を
支持軸(12)で、前記往復動方向に揺動可能に枢支され、
ロッド端がＵ型ベース(５)の底部に固定された送りシリ
ンダ(10)を有していることを特徴とする砥粒多刃式ウエ
ハー切断機におけるワーク支持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33093093A JP2989094B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 砥粒多刃式ウエハ−切断機に於けるワ−ク支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33093093A JP2989094B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 砥粒多刃式ウエハ−切断機に於けるワ−ク支持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07186137A JPH07186137A (ja) | 1995-07-25 |
| JP2989094B2 true JP2989094B2 (ja) | 1999-12-13 |
Family
ID=18238035
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33093093A Expired - Fee Related JP2989094B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 砥粒多刃式ウエハ−切断機に於けるワ−ク支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2989094B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102825672A (zh) * | 2012-07-31 | 2012-12-19 | 金慧 | 单晶棒定向夹紧装置 |
| CN112605821B (zh) * | 2020-12-15 | 2023-04-14 | 安徽新和博亚电子科技有限公司 | 电子陶瓷材料表面湿研磨设备及其研磨方法 |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP33093093A patent/JP2989094B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07186137A (ja) | 1995-07-25 |
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