JP2509310Y2 - 硬質脆性材料の切断装置 - Google Patents
硬質脆性材料の切断装置Info
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- JP2509310Y2 JP2509310Y2 JP8982192U JP8982192U JP2509310Y2 JP 2509310 Y2 JP2509310 Y2 JP 2509310Y2 JP 8982192 U JP8982192 U JP 8982192U JP 8982192 U JP8982192 U JP 8982192U JP 2509310 Y2 JP2509310 Y2 JP 2509310Y2
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- Japan
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- wire
- weight
- pulley
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- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この考案はシリコンインゴットか
らウエハを切断する際などに用いられる硬質脆性材料の
切断装置に関するもので、ワークを加振しながら切断す
ることによって加工精度および加工能率を向上させた装
置に関するものである。
らウエハを切断する際などに用いられる硬質脆性材料の
切断装置に関するもので、ワークを加振しながら切断す
ることによって加工精度および加工能率を向上させた装
置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ワイヤソー、ブレードソー、ディスクソ
ーなどを用いてシリコンインゴットなどの硬質脆性材料
を切断するに際し、ワークを加振することによって加工
精度および加工能率を向上させ得ることが知られてい
る。
ーなどを用いてシリコンインゴットなどの硬質脆性材料
を切断するに際し、ワークを加振することによって加工
精度および加工能率を向上させ得ることが知られてい
る。
【０００３】従来のこの種の装置は、バネ板で支持した
ワーク台に加振装置を連結して振動させ、工具（ソー）
を下降させることによって切り込み送りを与える構造の
ものが多い。切削運動は、ディスクソーの場合はディス
クの回転によって与えられるが、ワイヤソーやブレード
ソーの場合には、工具側を走行ないし往復運動させる構
造のものとワーク側を往復運動させる構造のものとに大
別することができる。
ワーク台に加振装置を連結して振動させ、工具（ソー）
を下降させることによって切り込み送りを与える構造の
ものが多い。切削運動は、ディスクソーの場合はディス
クの回転によって与えられるが、ワイヤソーやブレード
ソーの場合には、工具側を走行ないし往復運動させる構
造のものとワーク側を往復運動させる構造のものとに大
別することができる。
【０００４】硬質脆性材料の切断のうち特にスライス加
工においては、材料の歩留りの点から薄い工具を用いる
ことが要請され、薄いソーを用いて切り曲がりを起こさ
ずにかつ能率良く加工を行うことが重要となる。
工においては、材料の歩留りの点から薄い工具を用いる
ことが要請され、薄いソーを用いて切り曲がりを起こさ
ずにかつ能率良く加工を行うことが重要となる。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】そこでこの考案は硬質
脆性材料をより高精度でかつ能率良くスライス加工する
ことができる簡単な構造の装置を得ることを課題として
おり、ワーク台に安定した切り込み送り力と振動とを同
時に与えることができる装置を提供しようとするもので
ある。
脆性材料をより高精度でかつ能率良くスライス加工する
ことができる簡単な構造の装置を得ることを課題として
おり、ワーク台に安定した切り込み送り力と振動とを同
時に与えることができる装置を提供しようとするもので
ある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本考案に係る硬質脆性材
料の切断装置は、昇降自在にガイドされたワーク台１０
と、このワーク台の上方の定位置に軸支されたプーリ１
４と、このプーリに巻架されてその一端に上記ワーク台
を懸吊し他端に当該ワーク台より質量の大なるウエイト
１６を懸吊しているワイヤ１８と、このワイヤに引っ張
ったり緩めたりする方向の振動を付与する加振装置１
９、２２と、前記ウエイトと不動部材との間に装架され
て当該ウエイトの振動を抑制するダンパ２４とを備えて
いる。 この種のスライシング機は、通常、スラリ（砥
粒）を供給しながら切断作業が行われ、またワーク台１
０の上昇動作によって切り込み送りが加えられる。そし
て上記構造により、ワーク台１０には上下方向の振動が
加えられる。
料の切断装置は、昇降自在にガイドされたワーク台１０
と、このワーク台の上方の定位置に軸支されたプーリ１
４と、このプーリに巻架されてその一端に上記ワーク台
を懸吊し他端に当該ワーク台より質量の大なるウエイト
１６を懸吊しているワイヤ１８と、このワイヤに引っ張
ったり緩めたりする方向の振動を付与する加振装置１
９、２２と、前記ウエイトと不動部材との間に装架され
て当該ウエイトの振動を抑制するダンパ２４とを備えて
いる。 この種のスライシング機は、通常、スラリ（砥
粒）を供給しながら切断作業が行われ、またワーク台１
０の上昇動作によって切り込み送りが加えられる。そし
て上記構造により、ワーク台１０には上下方向の振動が
加えられる。
【０００７】上記構造において、ウエイト１６として水
タンクを用い、この水タンクに水を供給する水供給手段
２７、２６を設けた構造とすることができる。また加振
装置２２として、偏心位置で軸２３に軸支された偏心プ
ーリ１９と前記軸２３を回転させるモータ２２とを備
え、前記ワイヤ１８をこの偏心プーリ１９に巻架した構
造を採用することができる。
タンクを用い、この水タンクに水を供給する水供給手段
２７、２６を設けた構造とすることができる。また加振
装置２２として、偏心位置で軸２３に軸支された偏心プ
ーリ１９と前記軸２３を回転させるモータ２２とを備
え、前記ワイヤ１８をこの偏心プーリ１９に巻架した構
造を採用することができる。
【０００８】
【作用】ワーク台１０に搭載されたワーク８はウエイト
１６の重量により付勢されてソー１に安定した力で押し
つけられており、ウエイト１６として水タンクを用い、
加工中にタンク内に水を供給することにより、軽い力で
切り込みを開始し、切り込みが進行するに従って切り込
み力を大きくしていくという制御が簡単にでき、正確で
安定したスライス加工が可能になる。またワーク台１０
とウエイト１６とを連結しているワイヤ１８を加振する
ことにより、ワーク台１０にウエイト１６による切り込
み送り力と共に切り込み送り方向の振動を付与すること
ができ、これによってソー１の刃先が短い時間間隔でワ
ーク８への切り込みと離隔とを繰り返し、ワーク８とソ
ー１との間に有効にスラリ（砥粒）が進入して切り曲が
りの防止と加工能率の向上が達成される。
１６の重量により付勢されてソー１に安定した力で押し
つけられており、ウエイト１６として水タンクを用い、
加工中にタンク内に水を供給することにより、軽い力で
切り込みを開始し、切り込みが進行するに従って切り込
み力を大きくしていくという制御が簡単にでき、正確で
安定したスライス加工が可能になる。またワーク台１０
とウエイト１６とを連結しているワイヤ１８を加振する
ことにより、ワーク台１０にウエイト１６による切り込
み送り力と共に切り込み送り方向の振動を付与すること
ができ、これによってソー１の刃先が短い時間間隔でワ
ーク８への切り込みと離隔とを繰り返し、ワーク８とソ
ー１との間に有効にスラリ（砥粒）が進入して切り曲が
りの防止と加工能率の向上が達成される。
【０００９】ワイヤ１８を加振することによってワーク
台１０を振動させるようにした上記構造では、ワイヤ１
８の加振力がウエイト１６へも伝達されることとなる
が、ウエイト１６側にダンパ２４を設けてその振動を抑
制することにより、ワーク台１０の振動を調整すること
も比較的容易にできる。またワイヤを介してワーク台１
０を振動させ、切り込み送りをウエイト１６の重量によ
って与える構造であるから、ワイヤ１８の緩衝作用によ
って切削部に衝撃的な力が作用するのが避けられ、より
安定した切断が可能になる。
台１０を振動させるようにした上記構造では、ワイヤ１
８の加振力がウエイト１６へも伝達されることとなる
が、ウエイト１６側にダンパ２４を設けてその振動を抑
制することにより、ワーク台１０の振動を調整すること
も比較的容易にできる。またワイヤを介してワーク台１
０を振動させ、切り込み送りをウエイト１６の重量によ
って与える構造であるから、ワイヤ１８の緩衝作用によ
って切削部に衝撃的な力が作用するのが避けられ、より
安定した切断が可能になる。
【００１０】
【実施例】次に図面に示す実施例について説明する。図
の実施例は多数の（マルチ）ブレードソーを用いた硬質
脆性材料のスライシング機にこの考案の構造を採用した
例を示したものである。マルチブレードソー１のブレー
ド３・・・は、強い力で平行に張られた状態でブレード
枠２に固定されており、ブレード枠２は図示されていな
いガイドでブレード３と平行な方向に移動自在に装着さ
れている。ブレード枠２は、図示されないモータで回転
駆動されている減速機４の出力軸５に設けた円板６の偏
心位置とロッド７で連結されており、円板６の回転に伴
って２〜３ヘルツのサイクルで往復運動してブレード３
に切削運動を与える。図示はしてないが、ブレード３の
鉛直上方にはスラリ（砥粒）の供給口が設けられてい
る。
の実施例は多数の（マルチ）ブレードソーを用いた硬質
脆性材料のスライシング機にこの考案の構造を採用した
例を示したものである。マルチブレードソー１のブレー
ド３・・・は、強い力で平行に張られた状態でブレード
枠２に固定されており、ブレード枠２は図示されていな
いガイドでブレード３と平行な方向に移動自在に装着さ
れている。ブレード枠２は、図示されないモータで回転
駆動されている減速機４の出力軸５に設けた円板６の偏
心位置とロッド７で連結されており、円板６の回転に伴
って２〜３ヘルツのサイクルで往復運動してブレード３
に切削運動を与える。図示はしてないが、ブレード３の
鉛直上方にはスラリ（砥粒）の供給口が設けられてい
る。
【００１１】切断されるワーク８は装置のフレームに固
定されたガイド筒９に図示されていないボールスプライ
ンで昇降自在にガイドされたワーク台１０に搭載され
る。ワーク台の支持ロッド１１はガイド筒９を貫通して
おり、その下端に両側に延びる腕を備えたブラケット１
２が固定されており、その両側の腕の先端にワイヤフッ
ク１３が設けられている。またワイヤフック１３の上方
には不動部材に自由回転可能に軸支された同心プーリ１
４が配置されている。
定されたガイド筒９に図示されていないボールスプライ
ンで昇降自在にガイドされたワーク台１０に搭載され
る。ワーク台の支持ロッド１１はガイド筒９を貫通して
おり、その下端に両側に延びる腕を備えたブラケット１
２が固定されており、その両側の腕の先端にワイヤフッ
ク１３が設けられている。またワイヤフック１３の上方
には不動部材に自由回転可能に軸支された同心プーリ１
４が配置されている。
【００１２】一方装置のフレームの側方にはウエイトと
なる水タンク１６がそのワイヤフック１７に一端を連結
したワイヤ１８で懸吊されており、このワイヤ１８は水
タンク１６の上方に配置した偏心プーリ１９および前記
同心プーリ１４を介してワーク台のワイヤフック１３に
連結されている。偏心プーリ１９は装置のフレームと一
体のブラケット２０に軸支されており、タイミングベル
ト２１を介して偏心プーリ１９を回転駆動するモータ２
２が設けられている。偏心プーリ１９はその軸２３に偏
心位置で固着されており、モータ２２で軸２３を回転さ
せることによって偏心プーリ１９がワイヤ１８を引っ張
ったり緩めたりして振動させる。
なる水タンク１６がそのワイヤフック１７に一端を連結
したワイヤ１８で懸吊されており、このワイヤ１８は水
タンク１６の上方に配置した偏心プーリ１９および前記
同心プーリ１４を介してワーク台のワイヤフック１３に
連結されている。偏心プーリ１９は装置のフレームと一
体のブラケット２０に軸支されており、タイミングベル
ト２１を介して偏心プーリ１９を回転駆動するモータ２
２が設けられている。偏心プーリ１９はその軸２３に偏
心位置で固着されており、モータ２２で軸２３を回転さ
せることによって偏心プーリ１９がワイヤ１８を引っ張
ったり緩めたりして振動させる。
【００１３】また水タンク１６とこれを懸吊しているブ
ラケット２０との間にはオイルダンパ２４が設けられて
おり、そのシリンダ２５が水タンク１６に固定され、ピ
ストンロッド２６がブラケット２０に固定されている。
このオイルダンパ２４は、水タンク１６の上下方向への
移動に対して大きな抵抗が生ずるようにして、偏心プー
リ１９からワイヤ１８に与えられた振動がワーク台１０
側へより多く伝達されるようにそのダンピング特性を調
整している。
ラケット２０との間にはオイルダンパ２４が設けられて
おり、そのシリンダ２５が水タンク１６に固定され、ピ
ストンロッド２６がブラケット２０に固定されている。
このオイルダンパ２４は、水タンク１６の上下方向への
移動に対して大きな抵抗が生ずるようにして、偏心プー
リ１９からワイヤ１８に与えられた振動がワーク台１０
側へより多く伝達されるようにそのダンピング特性を調
整している。
【００１４】水タンク１６へは上方の水タンク２７から
流量調整弁２８を介して水を流入させるようになってお
り、ワーク８の切り込み開始時には軽い力でブレード３
・・・とワーク８が当接し、切り込みが進むに従って上
方の水タンク２７からウエイトとなる水タンク１６に水
を流下させて送り力を増加させている。
流量調整弁２８を介して水を流入させるようになってお
り、ワーク８の切り込み開始時には軽い力でブレード３
・・・とワーク８が当接し、切り込みが進むに従って上
方の水タンク２７からウエイトとなる水タンク１６に水
を流下させて送り力を増加させている。
【００１５】このように構成された装置において、水タ
ンク１６の重量によりワイヤ１８を介してワーク台１０
を上方に付勢し、かつモータ２２で偏心プーリ１９を回
転させることによってワイヤ１８を介してワーク台１０
に上下方向の振動を与え、ブレード３の上方からスラリ
を供給しながら、マルチブレードソー１に切削運動を与
えてワーク８を切断していく。一般的には上記振動の振
動数は１００Ｈｚ以下、振幅は１ｍｍ程度以下の範囲で
適宜設定する。
ンク１６の重量によりワイヤ１８を介してワーク台１０
を上方に付勢し、かつモータ２２で偏心プーリ１９を回
転させることによってワイヤ１８を介してワーク台１０
に上下方向の振動を与え、ブレード３の上方からスラリ
を供給しながら、マルチブレードソー１に切削運動を与
えてワーク８を切断していく。一般的には上記振動の振
動数は１００Ｈｚ以下、振幅は１ｍｍ程度以下の範囲で
適宜設定する。
【００１６】
【考案の効果】以上説明したこの考案の装置によれば、
ワークに振動を与えながらかつ設定したウエイトで安定
した切り込み力をワークに与えながらワークの切断加工
を行うことができ、またウエイトとして水タンクを用い
ることにより、切り込み量に応じて切り込み力を変化さ
せていくことも容易に可能となるので、硬質脆性材料を
精度良くかつ能率良く加工することが可能になる。実施
例装置を用いて行った実験では、石英ガラスの切断にお
いて、無振動の従来装置に比べて３〜４倍の加工能率の
向上が認められた。またワイヤを介してワーク台に振動
を付与しているため、工具とワークの間に加工精度を低
下させるような衝撃的な力が作用するのが避けられ、よ
り安定した加工を行うことができるという効果がある。
ワークに振動を与えながらかつ設定したウエイトで安定
した切り込み力をワークに与えながらワークの切断加工
を行うことができ、またウエイトとして水タンクを用い
ることにより、切り込み量に応じて切り込み力を変化さ
せていくことも容易に可能となるので、硬質脆性材料を
精度良くかつ能率良く加工することが可能になる。実施
例装置を用いて行った実験では、石英ガラスの切断にお
いて、無振動の従来装置に比べて３〜４倍の加工能率の
向上が認められた。またワイヤを介してワーク台に振動
を付与しているため、工具とワークの間に加工精度を低
下させるような衝撃的な力が作用するのが避けられ、よ
り安定した加工を行うことができるという効果がある。
【図１】実施例を模式的に示す全体斜視図
８ ワーク 10 ワーク台 14 同心プーリ 16 水タンク 18 ワイヤ 19 偏心プーリ
Claims (2)
- 【請求項１】 昇降自在にガイドされたワーク台（１
０）と、このワーク台の上方の定位置に軸支されたプー
リ（１４）と、このプーリに巻架されてその一端に上記
ワーク台を懸吊し他端に当該ワーク台より質量の大なる
ウエイト（１６）を懸吊しているワイヤ（１８）と、こ
のワイヤに引っ張ったり緩めたりする方向の振動を付与
する加振装置（１９），（２２）と、前記ウエイトと不
動部材との間に装架されて当該ウエイトの振動を抑制す
るダンパ（２４）とを備えていることを特徴とする、硬
質脆性材料の切断装置。 - 【請求項２】 ウエイト（１６）が水タンクであり、こ
の水タンクに水を供給する水供給手段（２７）、（２
６）を備え、加振装置（２２）が軸（２３）に偏心位置
で軸支された偏心プーリ（１９）と前記軸（２３）を回
転させるモータ（２２）とを備え、前記ワイヤ１８が前
記偏心プーリに巻架されている、請求項１記載の硬質脆
性材料の切断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8982192U JP2509310Y2 (ja) | 1992-12-04 | 1992-12-04 | 硬質脆性材料の切断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8982192U JP2509310Y2 (ja) | 1992-12-04 | 1992-12-04 | 硬質脆性材料の切断装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0646918U JPH0646918U (ja) | 1994-06-28 |
| JP2509310Y2 true JP2509310Y2 (ja) | 1996-09-04 |
Family
ID=13981426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8982192U Expired - Fee Related JP2509310Y2 (ja) | 1992-12-04 | 1992-12-04 | 硬質脆性材料の切断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2509310Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113085029B (zh) * | 2021-05-07 | 2022-10-18 | 安徽鳄鱼尼卡新材料有限公司 | 一种新材料加工用板材线切割设备 |
-
1992
- 1992-12-04 JP JP8982192U patent/JP2509310Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0646918U (ja) | 1994-06-28 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |