JP2623632B2 - 超音波多刃ワイヤカッタ - Google Patents
超音波多刃ワイヤカッタInfo
- Publication number
- JP2623632B2 JP2623632B2 JP63024012A JP2401288A JP2623632B2 JP 2623632 B2 JP2623632 B2 JP 2623632B2 JP 63024012 A JP63024012 A JP 63024012A JP 2401288 A JP2401288 A JP 2401288A JP 2623632 B2 JP2623632 B2 JP 2623632B2
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- JP
- Japan
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- wire
- work
- ultrasonic
- vibration
- blade
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/042—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with blades or wires mounted in a reciprocating frame
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/047—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by ultrasonic cutting
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はワークを切断加工するワイヤカッタに関し、
超音波振動を利用した切断能率の高い多刃ワイヤカッタ
に関する。
超音波振動を利用した切断能率の高い多刃ワイヤカッタ
に関する。
ワイヤの外面にダイヤモンドを埋込んだワイヤなどを
用いてワークを切断するワイヤカッタが知られている。
用いてワークを切断するワイヤカッタが知られている。
このようなワイヤカッタは切断中に発熱がなく、ワー
クの変質などがなく、延性材料でばりを生じたり、脆性
材料で切断エッジ欠けやマイクロクラックを生ずること
なく、柔い材料から超硬物質まであらゆる材料を切断で
きる特質がある。
クの変質などがなく、延性材料でばりを生じたり、脆性
材料で切断エッジ欠けやマイクロクラックを生ずること
なく、柔い材料から超硬物質まであらゆる材料を切断で
きる特質がある。
しかしながら、切断能率が高くないという欠点があ
る。
る。
本発明は上記のワイヤカッタの優れた特性を失うこと
なく、切断能率を高めたワイヤカッタについて研究を重
ね、超音波振動を利用した多刃ワイヤカッタを開発し、
これを提供しようとするものである。
なく、切断能率を高めたワイヤカッタについて研究を重
ね、超音波振動を利用した多刃ワイヤカッタを開発し、
これを提供しようとするものである。
本発明はワーク軸に超音波ねじり振動またはワーク軸
に平行な方向に振動する超音波縦振動を付与する超音波
発振器を取付け、ワークにワイヤ長手方向と平行な低周
波振動を与える振動機を併設し、ワークに多条のワイヤ
を圧着摺動させるワイヤ送り装置を設けたことを特徴と
する超音波多刃ワイヤカッタである。
に平行な方向に振動する超音波縦振動を付与する超音波
発振器を取付け、ワークにワイヤ長手方向と平行な低周
波振動を与える振動機を併設し、ワークに多条のワイヤ
を圧着摺動させるワイヤ送り装置を設けたことを特徴と
する超音波多刃ワイヤカッタである。
縦振動とは、縦波の振動、たとえば柱状物体の行なう
弾性振動で、実質部分が物体の軸に平行に振動する弾性
振動をいう（岩波理化学辞典第３版790頁）。
弾性振動で、実質部分が物体の軸に平行に振動する弾性
振動をいう（岩波理化学辞典第３版790頁）。
この超音波多刃ワイヤカッタに用いられるワイヤとし
てはダイヤモンド埋込みワイヤ、ダイヤモンド電着ワイ
ヤ、ステンレスワイヤ、タングステンワイヤなどを用い
る。
てはダイヤモンド埋込みワイヤ、ダイヤモンド電着ワイ
ヤ、ステンレスワイヤ、タングステンワイヤなどを用い
る。
超音波発生装置の振動ホーンの先端にワーク取付部を
設け、取付けたワークに超音波振動を与えながら多数の
ワイヤでワークを切断するので、ワークを多数の小片に
同時に高能率で切断することができる。超音波振動の周
波数は19〜30KHzである。
設け、取付けたワークに超音波振動を与えながら多数の
ワイヤでワークを切断するので、ワークを多数の小片に
同時に高能率で切断することができる。超音波振動の周
波数は19〜30KHzである。
超音波ねじり振動を与えた場合は切断の寸法制度が高
く、超音波縦振動を与えた場合は切断の寸法精度よりも
切断効率が優れている。低周波横振動を併用した場合、
さらに能率向上する。本発明ではワークが共振状態とな
ったときのノード部では振動付与の効果がないので、ワ
ークの形状、寸法、弾性に応じてノード部を避けたワイ
ヤの配列を定めることが必要である。
く、超音波縦振動を与えた場合は切断の寸法精度よりも
切断効率が優れている。低周波横振動を併用した場合、
さらに能率向上する。本発明ではワークが共振状態とな
ったときのノード部では振動付与の効果がないので、ワ
ークの形状、寸法、弾性に応じてノード部を避けたワイ
ヤの配列を定めることが必要である。
第１図〜第４図は本発明の実施例装置を示し、第１図
は側面図、第２図は平面図、第３図は正面図、第４図は
正面全体図である。
は側面図、第２図は平面図、第３図は正面図、第４図は
正面全体図である。
ワーク軸１は一端側に超音波捩りまたは縦振動発振器
を備え、他端側は振動ホーン３を介してワーク４を取付
ける。ワーク軸はアンギュラーコンタクト軸受けで支承
し、固定子５と回転子６とからなる回転モータ７を備え
ている。またワーク軸の支承台はリニアスライドユニッ
ト８によって、前後左右に位置調節可能である。
を備え、他端側は振動ホーン３を介してワーク４を取付
ける。ワーク軸はアンギュラーコンタクト軸受けで支承
し、固定子５と回転子６とからなる回転モータ７を備え
ている。またワーク軸の支承台はリニアスライドユニッ
ト８によって、前後左右に位置調節可能である。
ワーク４は振動ホーン３に取付けられ、他端はねじ９
で押されるスプリング10によって弾性的に支持されてい
る。
で押されるスプリング10によって弾性的に支持されてい
る。
ワーク４には多条のワイヤ11が圧着摺動するように掛
けられている。ワイヤ11はワークの種類、寸法、切断寸
法その他によって適切なワイヤが選定される。ワイヤ11
は第４図に示すようなワイヤ送り装置12によって無端式
に送られる。このワイヤの送りは１方向連続（例えば第
４図に示す矢印13のように）でもよくまた往復動しても
よい。
けられている。ワイヤ11はワークの種類、寸法、切断寸
法その他によって適切なワイヤが選定される。ワイヤ11
は第４図に示すようなワイヤ送り装置12によって無端式
に送られる。このワイヤの送りは１方向連続（例えば第
４図に示す矢印13のように）でもよくまた往復動しても
よい。
ワイヤ11は切断対象物によって、ダイヤモンド埋込み
ワイヤ、ダイヤモンド電着ワイヤ、ステンレスワイヤ、
タングステンワイヤを用いる。ワイヤの太さは通常0.07
6mm〜0.38mmである。
ワイヤ、ダイヤモンド電着ワイヤ、ステンレスワイヤ、
タングステンワイヤを用いる。ワイヤの太さは通常0.07
6mm〜0.38mmである。
ワーク11をモータ７で回転しつつ、一方、超音波捩り
または縦振動を与え、ワイヤ11を送ると、ワーク４は多
数のピースに切断される。
または縦振動を与え、ワイヤ11を送ると、ワーク４は多
数のピースに切断される。
この切断中、必要に応じて切削油またはエマルジョン
を供給管14から供給する。
を供給管14から供給する。
さらに、実施例は第２図の平面図に示すように、ワイ
ヤ11の進行方向と同方向に低周波振動を加えるように低
周波振動加振器15を備えており、ワーク支持台が前記リ
ニアスライドユニット上に載置されているので、ワーク
は50〜100Hzの低周波横振動を付与される。この低周波
横振動の付与によりワーク４は高能率で切断される。
ヤ11の進行方向と同方向に低周波振動を加えるように低
周波振動加振器15を備えており、ワーク支持台が前記リ
ニアスライドユニット上に載置されているので、ワーク
は50〜100Hzの低周波横振動を付与される。この低周波
横振動の付与によりワーク４は高能率で切断される。
ワイヤ11は第３図に示すように、緊張装置16によって
緊張を与えられながらワーク４に接触しこれを切断す
る。
緊張を与えられながらワーク４に接触しこれを切断す
る。
本発明の超音波多刃ワイヤカッタはワークの寸法、切
断寸法、材質等に応じて適切なワイヤを用い、金属、単
結晶、セラミックス、その他各種の材料を精度よく高能
率で切断することができ、寄与するところが大である。
断寸法、材質等に応じて適切なワイヤを用い、金属、単
結晶、セラミックス、その他各種の材料を精度よく高能
率で切断することができ、寄与するところが大である。
第１図〜第４図は本発明の実施例装置を示し、第１図は
側面図、第２図は平面図、第３図は正面図、第４図は全
体配列を示す説明図である。 １……ワーク軸 ２……超音波振動発振器 ３……振動ホーン ４……ワーク ５……固定子 ６……回転子 ７……モータ 11……ワイヤ 12……ワイヤ送り装置 15……低周波加振器
側面図、第２図は平面図、第３図は正面図、第４図は全
体配列を示す説明図である。 １……ワーク軸 ２……超音波振動発振器 ３……振動ホーン ４……ワーク ５……固定子 ６……回転子 ７……モータ 11……ワイヤ 12……ワイヤ送り装置 15……低周波加振器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西村 公一 埼玉県秩父郡横瀬町大字横瀬2270番地 三菱鉱業セメント株式会社セラミックス 研究所内 (56)参考文献 特開 昭63−11273（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】ワーク軸に超音波ねじり振動またはワーク
軸に平行な方向に振動する超音波縦振動を付与する超音
波発振器を取付け、ワークにワイヤ長手方向と平行な低
周波振動を与える振動機を併設し、ワークに多条のワイ
ヤを圧着摺動させるワイヤ送り装置を設けたことを特徴
とする超音波多刃ワイヤカッタ。 - 【請求項２】ワイヤがダイヤモンド埋込みワイヤ、ダイ
ヤモンド電着ワイヤ、ステンレスワイヤ、タングステン
ワイヤから選ばれたワイヤである請求項１記載の超音波
多刃ワイヤカッタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63024012A JP2623632B2 (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | 超音波多刃ワイヤカッタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63024012A JP2623632B2 (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | 超音波多刃ワイヤカッタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01199759A JPH01199759A (ja) | 1989-08-11 |
| JP2623632B2 true JP2623632B2 (ja) | 1997-06-25 |
Family
ID=12126636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63024012A Expired - Lifetime JP2623632B2 (ja) | 1988-02-05 | 1988-02-05 | 超音波多刃ワイヤカッタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2623632B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0419754U (ja) * | 1990-06-11 | 1992-02-19 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6311273A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-18 | Toshiba Corp | ラツピング加工方法 |
-
1988
- 1988-02-05 JP JP63024012A patent/JP2623632B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01199759A (ja) | 1989-08-11 |
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