JPH07186137A - 砥粒多刃式ウエハ−切断機に於けるワ−ク支持装置 - Google Patents
砥粒多刃式ウエハ−切断機に於けるワ−ク支持装置Info
- Publication number
- JPH07186137A JPH07186137A JP33093093A JP33093093A JPH07186137A JP H07186137 A JPH07186137 A JP H07186137A JP 33093093 A JP33093093 A JP 33093093A JP 33093093 A JP33093093 A JP 33093093A JP H07186137 A JPH07186137 A JP H07186137A
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- cutting
- cylinder
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 水晶発振子及びセラミックウエハ−等の切断
精度の向上及び切断に要する製造コストの低減を図るこ
とのできる砥粒多刃式ウエハ−切断機を提供することを
目的とする。 【構成】 ワ−ク１をクランク型をなし両側に耳軸４を
有するワ−ク固定台３上に固定し、前記耳軸４にてＵ型
ベ−ス５を支持し該Ｕ型ベ−ス５の下部を送りシリンダ
１０にて支持し、前記ワ−ク固定台３及び送りシリンダ
１０を切断刃の送行方向にシリンダによって所定角度正
逆回転可能にした。
精度の向上及び切断に要する製造コストの低減を図るこ
とのできる砥粒多刃式ウエハ−切断機を提供することを
目的とする。 【構成】 ワ−ク１をクランク型をなし両側に耳軸４を
有するワ−ク固定台３上に固定し、前記耳軸４にてＵ型
ベ−ス５を支持し該Ｕ型ベ−ス５の下部を送りシリンダ
１０にて支持し、前記ワ−ク固定台３及び送りシリンダ
１０を切断刃の送行方向にシリンダによって所定角度正
逆回転可能にした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は砥粒多刃式ウエハ−切断
機に於けるワ−ク支持装置に関するものである。
機に於けるワ−ク支持装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】砥粒多刃式ウエハ−切断機として、特公
昭５９−３９２７６号公報又は実開平３−５１１７号公
報に開示されたものがしられている。これらにおいては
複数枚の長尺刃物を平行にセットしたブレ−ド取付枠の
下方に上下方向に送りを与えることのできるワ−ク固定
台がある。ワ−ク固定台上のワ−クは一旦固定される
と、ブレ−ドとの相対角度関係は不変であった。特にワ
−クが円柱状の場合にはその半径方向中心に向うに従っ
て切削長さ並びに切削抵抗が変化し、切削精度あるいは
切削能率の面で問題があった。
昭５９−３９２７６号公報又は実開平３−５１１７号公
報に開示されたものがしられている。これらにおいては
複数枚の長尺刃物を平行にセットしたブレ−ド取付枠の
下方に上下方向に送りを与えることのできるワ−ク固定
台がある。ワ−ク固定台上のワ−クは一旦固定される
と、ブレ−ドとの相対角度関係は不変であった。特にワ
−クが円柱状の場合にはその半径方向中心に向うに従っ
て切削長さ並びに切削抵抗が変化し、切削精度あるいは
切削能率の面で問題があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】水晶発振子及びセラミ
ックウエハ−等の切断に要する製造コストの低減を図る
ことのできる砥粒多刃式ウエハ−切断機を提供すること
を目的とする。
ックウエハ−等の切断に要する製造コストの低減を図る
ことのできる砥粒多刃式ウエハ−切断機を提供すること
を目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】ワ−ク１とワ−ク固定台
３を切断刃送行方向に所定角度正逆転させ乍らワ−ク１
をスライス切断するようにした。より具体的に言えばワ
−ク１をクランク型をなし両側に耳軸４を有するワ−ク
固定台３上に固定し、前記耳軸４にてＵ型ベ−ス５を支
持し該Ｕ型ベ−ス５の下部を送りシリンダ１０にて支持
し、前記ワ−ク固定台３及び送りシリンダ１０を切断刃
の送行方向にシリンダによって所定角度正逆回転可能に
した。
３を切断刃送行方向に所定角度正逆転させ乍らワ−ク１
をスライス切断するようにした。より具体的に言えばワ
−ク１をクランク型をなし両側に耳軸４を有するワ−ク
固定台３上に固定し、前記耳軸４にてＵ型ベ−ス５を支
持し該Ｕ型ベ−ス５の下部を送りシリンダ１０にて支持
し、前記ワ−ク固定台３及び送りシリンダ１０を切断刃
の送行方向にシリンダによって所定角度正逆回転可能に
した。
【０００５】
【作用】ワ−ク固定台３上にワ−ク取付部材２を介して
ワ−ク１を固定し、ブレ−ド取付枠ａを往復動させる。
さらにワ−ク固定台３を油圧シリンダ９で左右に揺動す
ると共に、送りシリンダ１０もシリンダ１３で切断刃の
送行方向に揺動させ乍ら、円柱形をなしたワ−ク１を常
に一定の面積で切断するようにした。
ワ−ク１を固定し、ブレ−ド取付枠ａを往復動させる。
さらにワ−ク固定台３を油圧シリンダ９で左右に揺動す
ると共に、送りシリンダ１０もシリンダ１３で切断刃の
送行方向に揺動させ乍ら、円柱形をなしたワ−ク１を常
に一定の面積で切断するようにした。
【０００６】
【実施例】図に基いて説明する。図１は本発明に係るワ
−ク支持装置を内蔵した砥粒多刃式ウエハ−切断機の斜
視図、図２はワ−ク支持装置の正面図、図３は図２のＡ
矢視側面図、そして図４はワ−ク支持装置の制御系の一
例を示す。図１でａは多数のブレ−ドｂを平行にセット
したブレ−ド取付枠で、図の左右方向(矢印Ｘ方向)に往
復動し、この下に設けられた本発明のワ−ク支持装置上
のワ−ク１(図２)を薄く切断してウエハ−化する。ｃは
切削液供給部で、こゝから下向に切削液を滴下しつゝ切
断加工する。ｄは切断機本体、ｅは制御部である。
−ク支持装置を内蔵した砥粒多刃式ウエハ−切断機の斜
視図、図２はワ−ク支持装置の正面図、図３は図２のＡ
矢視側面図、そして図４はワ−ク支持装置の制御系の一
例を示す。図１でａは多数のブレ−ドｂを平行にセット
したブレ−ド取付枠で、図の左右方向(矢印Ｘ方向)に往
復動し、この下に設けられた本発明のワ−ク支持装置上
のワ−ク１(図２)を薄く切断してウエハ−化する。ｃは
切削液供給部で、こゝから下向に切削液を滴下しつゝ切
断加工する。ｄは切断機本体、ｅは制御部である。
【０００７】図２以下を参照してワ−ク支持装置につい
て説明する。図２と図３で１は円柱状をしたワ−クで、
水晶・セラミックあるいはシリコン等である。ワ−ク１
は接着剤2aでワ−ク取付部２上に接着される。ワ−ク取
付部２は円柱状をなすワ−ク１をセットする為、断面円
弧状に形成されている。ワ−ク取付部２はクランク型を
したワ−ク固定台３上に固定されている。ワ−ク固定台
３は両側上部に耳軸４を有しＵ型ベ−ス５に軸受６を介
し揺動可能に支持されている。７はワ−ク固定台３の両
側に固定された駆動板で、該駆動板７の両側に連結板８
（図３）を介し油圧シリンダ９が取付けられている。１
０はＵ型ベ−ス５の下部に取付けられた送りシリンダ
で、これによりワ−ク１に上向きの送りを与える。油圧
シリンダ９はワ−ク固定台３の両側で、しかもワ−ク固
定台３を挟んでその揺動方向（切断刃の走行方向）両側
に設けられている。
て説明する。図２と図３で１は円柱状をしたワ−クで、
水晶・セラミックあるいはシリコン等である。ワ−ク１
は接着剤2aでワ−ク取付部２上に接着される。ワ−ク取
付部２は円柱状をなすワ−ク１をセットする為、断面円
弧状に形成されている。ワ−ク取付部２はクランク型を
したワ−ク固定台３上に固定されている。ワ−ク固定台
３は両側上部に耳軸４を有しＵ型ベ−ス５に軸受６を介
し揺動可能に支持されている。７はワ−ク固定台３の両
側に固定された駆動板で、該駆動板７の両側に連結板８
（図３）を介し油圧シリンダ９が取付けられている。１
０はＵ型ベ−ス５の下部に取付けられた送りシリンダ
で、これによりワ−ク１に上向きの送りを与える。油圧
シリンダ９はワ−ク固定台３の両側で、しかもワ−ク固
定台３を挟んでその揺動方向（切断刃の走行方向）両側
に設けられている。
【０００８】図４は本発明に係る切断機の制御系の一例
を示す。１１はブレ−ドｂを取付けたブレ−ド取付枠ａ
を往復動させるシリンダで、そのロッド先端に取付枠ａ
が取付けられている。送りシリンダ１０はその下端が支
持軸１２で枢支されている。送りシリンダ１０のシリン
ダ部にはシリンダ１３が取付けられている。このシリン
ダ１３の伸縮によって送りシリンダ１０を支持軸１２の
まわりに揺動させることができる。図４でシリンダ１１
とシリンダ１３は検出器にポテンショメ−タ１４を用い
た変位制御系が構成されており、送りシリンダ１０に一
定の押上力がかかるような回路となっている。位置決め
系はソフトスタ−ト、ソフトストップ（ゆっくりと振幅
を増したり、減じたりする）機能を備えている。
を示す。１１はブレ−ドｂを取付けたブレ−ド取付枠ａ
を往復動させるシリンダで、そのロッド先端に取付枠ａ
が取付けられている。送りシリンダ１０はその下端が支
持軸１２で枢支されている。送りシリンダ１０のシリン
ダ部にはシリンダ１３が取付けられている。このシリン
ダ１３の伸縮によって送りシリンダ１０を支持軸１２の
まわりに揺動させることができる。図４でシリンダ１１
とシリンダ１３は検出器にポテンショメ−タ１４を用い
た変位制御系が構成されており、送りシリンダ１０に一
定の押上力がかかるような回路となっている。位置決め
系はソフトスタ−ト、ソフトストップ（ゆっくりと振幅
を増したり、減じたりする）機能を備えている。
【０００９】
【効果】ワ−ク１とワ−ク固定台３を切断刃の送行方向
に所定角度正逆転させ乍らワ−ク１をスライス切断する
ようにしたので、 １）切断刃（ブレ−ド）の摩擦抵抗を減少かつ一定にす
ることができる。 ２）摩擦抵抗を減少することにより、刃物の消耗を低減
し、切断刃１サイクル当りの使用時間及び回数を長く
し、製品のコスト低下が可能となった。 ３）ウエハ−母材が揺動することによって、切断面積が
少なくなり、切削剤の流入も良くなる。従って切断時間
も従来に比べて短縮でき製品コスト低減が可能となっ
た。 ４）ウエハ−母材の切断面の摩擦熱及び切削剤の流入度
合の改善によって切削油の温度上昇もある程度押えるこ
とができ、さらに切削油の冷却システムを採用すること
により、ウエハ−母材固定用の接着剤への影響も少なく
なり、切断最終時のウエハ−母材の脱落も防止できる。
に所定角度正逆転させ乍らワ−ク１をスライス切断する
ようにしたので、 １）切断刃（ブレ−ド）の摩擦抵抗を減少かつ一定にす
ることができる。 ２）摩擦抵抗を減少することにより、刃物の消耗を低減
し、切断刃１サイクル当りの使用時間及び回数を長く
し、製品のコスト低下が可能となった。 ３）ウエハ−母材が揺動することによって、切断面積が
少なくなり、切削剤の流入も良くなる。従って切断時間
も従来に比べて短縮でき製品コスト低減が可能となっ
た。 ４）ウエハ−母材の切断面の摩擦熱及び切削剤の流入度
合の改善によって切削油の温度上昇もある程度押えるこ
とができ、さらに切削油の冷却システムを採用すること
により、ウエハ−母材固定用の接着剤への影響も少なく
なり、切断最終時のウエハ−母材の脱落も防止できる。
【図１】本発明を具えたウエハ−切断機の全体斜視図。
【図２】ワ−ク支持装置の正面図。
【図３】図２のＡ矢視図。
【図４】切断機の制御系を示す回路図の一例。
ａ ブレ−ド取付枠 ｂ ブレ−ド ｃ 切削液供給部 ｄ 切断機本体 ｅ 制御部 １ ワ−ク ２ ワ−ク取付部 2a 接着剤 ３ ワ−ク固定台 ４ 耳軸 ５ Ｕ型ベ−ス ６ 軸受 ７ 駆動板 ８ 連結板 ９ 油圧シリンダ 10 送りシリンダ 11 シリンダ 12 支持軸 13 シリンダ 14 ポテンショメ−タ
Claims (2)
- 【請求項１】 ワ−ク(１)とワ−ク固定台(３)を切断刃
の送行方向に所定角度正逆転させ乍らワ−ク(１)をスラ
イス切断するようにしたことを特徴とする砥粒多刃式ウ
エハ−切断機に於けるワ−ク支持装置。 - 【請求項２】 ワ−ク(１)をクランク型をなし両側に耳
軸(４)を有するワ−ク固定台(３)上に固定し、前記耳軸
(４)にてＵ型ベ−ス(５)を支持し該Ｕ型ベ−ス(５)の下
部を送りシリンダ(10)にて支持し、前記ワ−ク固定台
(３)及び送りシリンダ(10)を切断刃の送行方向にシリン
ダによって所定角度正逆回転可能にしたことを特徴とす
る砥粒多刃式ウエハ−切断機に於けるワ−ク支持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33093093A JP2989094B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 砥粒多刃式ウエハ−切断機に於けるワ−ク支持装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33093093A JP2989094B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 砥粒多刃式ウエハ−切断機に於けるワ−ク支持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07186137A true JPH07186137A (ja) | 1995-07-25 |
| JP2989094B2 JP2989094B2 (ja) | 1999-12-13 |
Family
ID=18238035
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33093093A Expired - Fee Related JP2989094B2 (ja) | 1993-12-27 | 1993-12-27 | 砥粒多刃式ウエハ−切断機に於けるワ−ク支持装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2989094B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102825672A (zh) * | 2012-07-31 | 2012-12-19 | 金慧 | 单晶棒定向夹紧装置 |
| CN112605821A (zh) * | 2020-12-15 | 2021-04-06 | 安徽新和博亚电子科技有限公司 | 电子陶瓷材料表面湿研磨设备及其研磨方法 |
-
1993
- 1993-12-27 JP JP33093093A patent/JP2989094B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102825672A (zh) * | 2012-07-31 | 2012-12-19 | 金慧 | 单晶棒定向夹紧装置 |
| CN112605821A (zh) * | 2020-12-15 | 2021-04-06 | 安徽新和博亚电子科技有限公司 | 电子陶瓷材料表面湿研磨设备及其研磨方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2989094B2 (ja) | 1999-12-13 |
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