JPH1133810A - 種結晶加工装置 - Google Patents
種結晶加工装置Info
- Publication number
- JPH1133810A JPH1133810A JP9215574A JP21557497A JPH1133810A JP H1133810 A JPH1133810 A JP H1133810A JP 9215574 A JP9215574 A JP 9215574A JP 21557497 A JP21557497 A JP 21557497A JP H1133810 A JPH1133810 A JP H1133810A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- seed crystal
- cutting device
- rotary cutting
- crystal
- seed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Milling Processes (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 種結晶の切欠き傾斜面を確実に平坦に、且つ
傾斜角度を正確に加工でき、種結晶と支持棒との接触部
分で力を分散させると共に種結晶をシードチャックに常
に正しい姿勢で保持させられ、ＣＺ法による単結晶引上
げ時の種結晶の信頼性を向上させられる種結晶加工装置
を提供する。 【解決手段】 種結晶１０を回転切削装置２に対し角度
調整自在に保持する種結晶保持部を配設すると共に、種
結晶保持部ごと種結晶を回転切削装置２に対し位置調整
自在とする送り台を配設し、回転切削装置に対する角度
及び位置を調整した種結晶を送り台ごと、回転切削装置
２の回転軸に平行な第一の方向及びこれに垂直な第二、
第三の方向の計三方向のいずれかに直線的に送り、種結
晶１０と回転切削装置２の切削工具２ａとの角度関係を
変化させずに種結晶１０を切削工具２に接触させて切削
を行う。
傾斜角度を正確に加工でき、種結晶と支持棒との接触部
分で力を分散させると共に種結晶をシードチャックに常
に正しい姿勢で保持させられ、ＣＺ法による単結晶引上
げ時の種結晶の信頼性を向上させられる種結晶加工装置
を提供する。 【解決手段】 種結晶１０を回転切削装置２に対し角度
調整自在に保持する種結晶保持部を配設すると共に、種
結晶保持部ごと種結晶を回転切削装置２に対し位置調整
自在とする送り台を配設し、回転切削装置に対する角度
及び位置を調整した種結晶を送り台ごと、回転切削装置
２の回転軸に平行な第一の方向及びこれに垂直な第二、
第三の方向の計三方向のいずれかに直線的に送り、種結
晶１０と回転切削装置２の切削工具２ａとの角度関係を
変化させずに種結晶１０を切削工具２に接触させて切削
を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はチョクラルスキー法
によるシリコン単結晶製造に用いられる種結晶に所定の
加工を施す種結晶加工装置に関し、特に種結晶に形成す
る傾斜面の傾斜角度が調整自在で且つ傾斜面を平坦に加
工でき、引上げ装置への種結晶取付状態の信頼度を向上
させられる種結晶加工装置に関する。
によるシリコン単結晶製造に用いられる種結晶に所定の
加工を施す種結晶加工装置に関し、特に種結晶に形成す
る傾斜面の傾斜角度が調整自在で且つ傾斜面を平坦に加
工でき、引上げ装置への種結晶取付状態の信頼度を向上
させられる種結晶加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】チョクラルスキー法（以下、ＣＺ法と略
称）によるシリコン単結晶製造においてシリコン単結晶
の引上げに用いる種結晶は、従来、引上げ装置のシード
チャックの保持穴に挿入されると共に、シードチャック
のピン穴へ支持棒を挿入されることで引上げ装置中に確
実に保持される構成であった。この種結晶の側面には、
図５に示すように、支持棒との係合のために切欠き傾斜
面１１が形成され、この種結晶１０の切欠き傾斜面１１
の加工には、従来、公知の研削装置を用いるのが一般的
であった。
称）によるシリコン単結晶製造においてシリコン単結晶
の引上げに用いる種結晶は、従来、引上げ装置のシード
チャックの保持穴に挿入されると共に、シードチャック
のピン穴へ支持棒を挿入されることで引上げ装置中に確
実に保持される構成であった。この種結晶の側面には、
図５に示すように、支持棒との係合のために切欠き傾斜
面１１が形成され、この種結晶１０の切欠き傾斜面１１
の加工には、従来、公知の研削装置を用いるのが一般的
であった。
【０００３】従来の研削装置により加工された種結晶１
０は、図６に示すように、引上げ装置のシードチャック
５０に取付けられる。この種結晶１０の取付けは、シー
ドチャック５０の保持穴５１に種結晶１０をその切欠き
傾斜面１１をピン穴５２側に向くようにして挿入し、次
にピン穴５２へ支持棒５３を差込んで種結晶１０の切欠
き傾斜面１１に支持棒５３を係合させ、シードチャック
５０に種結晶１０を固定するという工程で行われる。シ
ードチャック５０のピン穴５２は、シードチャック５０
の軸心（中心軸線）に対し垂直向き又は所定角度傾けた
状態で軸心から偏心させて形成され、支持棒５３と種結
晶１０とが線接触する仕組みとなっている。
０は、図６に示すように、引上げ装置のシードチャック
５０に取付けられる。この種結晶１０の取付けは、シー
ドチャック５０の保持穴５１に種結晶１０をその切欠き
傾斜面１１をピン穴５２側に向くようにして挿入し、次
にピン穴５２へ支持棒５３を差込んで種結晶１０の切欠
き傾斜面１１に支持棒５３を係合させ、シードチャック
５０に種結晶１０を固定するという工程で行われる。シ
ードチャック５０のピン穴５２は、シードチャック５０
の軸心（中心軸線）に対し垂直向き又は所定角度傾けた
状態で軸心から偏心させて形成され、支持棒５３と種結
晶１０とが線接触する仕組みとなっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の種結晶は以上の
ように加工され保持される構成であったが、従来の研削
装置による加工では、種結晶１０の切欠き傾斜面１１の
仕上りにばらつきが多く、切欠き傾斜面１１を正確に平
坦としたり、切欠き傾斜面１１の傾斜角度や位置を正確
に合わせたりするのが困難であるという問題があった。
ように加工され保持される構成であったが、従来の研削
装置による加工では、種結晶１０の切欠き傾斜面１１の
仕上りにばらつきが多く、切欠き傾斜面１１を正確に平
坦としたり、切欠き傾斜面１１の傾斜角度や位置を正確
に合わせたりするのが困難であるという問題があった。
【０００５】支持棒５３に当接支持される種結晶１０の
切欠き傾斜面１１が平坦でないと、支持棒５３との接触
が不均一となり、接触部分に加わる力が分散せずに歪み
を生じ、単結晶引上げ時に種結晶１０に過度に負担を与
えて破壊に至らせる場合もあるという課題を有した。
切欠き傾斜面１１が平坦でないと、支持棒５３との接触
が不均一となり、接触部分に加わる力が分散せずに歪み
を生じ、単結晶引上げ時に種結晶１０に過度に負担を与
えて破壊に至らせる場合もあるという課題を有した。
【０００６】また、シードチャック５０の保持穴５１及
び支持棒５３の挿入位置は固定されているため、種結晶
１０の切欠き傾斜面１１の傾斜角度及び位置が正確でな
いと、種結晶１０が保持穴５１内でぐらついたり、正し
い姿勢を保てないなどの問題を生じ、単結晶の引上げ作
業に支障が出てくるという課題を有した。
び支持棒５３の挿入位置は固定されているため、種結晶
１０の切欠き傾斜面１１の傾斜角度及び位置が正確でな
いと、種結晶１０が保持穴５１内でぐらついたり、正し
い姿勢を保てないなどの問題を生じ、単結晶の引上げ作
業に支障が出てくるという課題を有した。
【０００７】本発明は前記課題を解消するためになされ
たもので、種結晶の切欠き傾斜面を確実に平坦に、且つ
傾斜角度を正確に加工でき、種結晶と支持棒との接触部
分で力を分散させると共に種結晶をシードチャックに常
に正しい姿勢で保持させられ、単結晶引上げ時の種結晶
の信頼性を向上させられる種結晶加工装置を提供するこ
とを目的とする。
たもので、種結晶の切欠き傾斜面を確実に平坦に、且つ
傾斜角度を正確に加工でき、種結晶と支持棒との接触部
分で力を分散させると共に種結晶をシードチャックに常
に正しい姿勢で保持させられ、単結晶引上げ時の種結晶
の信頼性を向上させられる種結晶加工装置を提供するこ
とを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明に係る種結晶加工
装置は、ＣＺ法によるシリコン単結晶製造に用いられる
種結晶の側部に切欠き加工を行って支持用の傾斜面を形
成する種結晶加工装置において、略円筒形の外周及び端
面に一又は複数の切れ刃を有する切削工具を回転させて
前記種結晶の切削を行う回転切削装置と、当該回転切削
装置の回転軸に平行な第一の方向並びに当該方向に垂直
な方向で互いに直角をなす第二及び第三の方向へそれぞ
れ独立して移動自在に配設され、前記回転切削装置に対
し位置調整自在である送り台と、当該送り台上に配設さ
れ、前記回転切削装置の回転軸に対し垂直な軸を中心と
して回動調整自在に配設され、前記種結晶の長手方向が
回動調整の中心軸と垂直になるようにして前記種結晶を
保持する種結晶保持部とを備えるものである。このよう
に本発明によれば、種結晶を回転切削装置に対し角度調
整自在に保持する種結晶保持部を配設すると共に、種結
晶保持部ごと種結晶を回転切削装置に対し位置調整自在
とする送り台を配設し、回転切削装置に対する角度及び
位置を調整した種結晶を送り台ごと、回転切削装置の回
転軸に平行な第一の方向及びこれに垂直な第二、第三の
方向の計三方向のいずれかに直線的に送り、種結晶と回
転切削装置の切削工具との角度関係を変化させずに種結
晶を切削工具に接触させて切削を行うことにより、傾斜
面の傾斜角度及び位置を正確にできると共に傾斜面を平
坦面に形成できることとなり、種結晶をシードチャック
に取付けた状態で種結晶の傾斜面と支持棒との接触部分
で力を分散させて破損の危険を防ぐと共に、種結晶をシ
ードチャックに常時正しい姿勢で保持させて引上げ作業
への悪影響をなくし、単結晶引上げ時における種結晶の
信頼性を大きく向上させることができる。
装置は、ＣＺ法によるシリコン単結晶製造に用いられる
種結晶の側部に切欠き加工を行って支持用の傾斜面を形
成する種結晶加工装置において、略円筒形の外周及び端
面に一又は複数の切れ刃を有する切削工具を回転させて
前記種結晶の切削を行う回転切削装置と、当該回転切削
装置の回転軸に平行な第一の方向並びに当該方向に垂直
な方向で互いに直角をなす第二及び第三の方向へそれぞ
れ独立して移動自在に配設され、前記回転切削装置に対
し位置調整自在である送り台と、当該送り台上に配設さ
れ、前記回転切削装置の回転軸に対し垂直な軸を中心と
して回動調整自在に配設され、前記種結晶の長手方向が
回動調整の中心軸と垂直になるようにして前記種結晶を
保持する種結晶保持部とを備えるものである。このよう
に本発明によれば、種結晶を回転切削装置に対し角度調
整自在に保持する種結晶保持部を配設すると共に、種結
晶保持部ごと種結晶を回転切削装置に対し位置調整自在
とする送り台を配設し、回転切削装置に対する角度及び
位置を調整した種結晶を送り台ごと、回転切削装置の回
転軸に平行な第一の方向及びこれに垂直な第二、第三の
方向の計三方向のいずれかに直線的に送り、種結晶と回
転切削装置の切削工具との角度関係を変化させずに種結
晶を切削工具に接触させて切削を行うことにより、傾斜
面の傾斜角度及び位置を正確にできると共に傾斜面を平
坦面に形成できることとなり、種結晶をシードチャック
に取付けた状態で種結晶の傾斜面と支持棒との接触部分
で力を分散させて破損の危険を防ぐと共に、種結晶をシ
ードチャックに常時正しい姿勢で保持させて引上げ作業
への悪影響をなくし、単結晶引上げ時における種結晶の
信頼性を大きく向上させることができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態に係
る種結晶加工装置を図１〜図４に基づいて説明する。こ
の図１は本実施形態に係る種結晶加工装置の概略平面
図、図２は本実施形態に係る種結晶加工装置の要部平面
図、図３は本実施形態に係る種結晶加工装置の要部側面
図、図４は本実施形態に係る種結晶加工装置の加工工程
説明図である。
る種結晶加工装置を図１〜図４に基づいて説明する。こ
の図１は本実施形態に係る種結晶加工装置の概略平面
図、図２は本実施形態に係る種結晶加工装置の要部平面
図、図３は本実施形態に係る種結晶加工装置の要部側面
図、図４は本実施形態に係る種結晶加工装置の加工工程
説明図である。
【００１０】前記各図において本実施の形態に係る種結
晶加工装置１は、切削工具２ａを回転させて種結晶１０
の切削を行う回転切削装置２と、この回転切削装置２の
回転軸に平行な第一の方向及びこれに垂直で互いに直角
をなす第二、第三の方向の計三方向にそれぞれ独立して
移動自在に配設され、回転切削装置２に対する位置を調
整自在とされる送り台としてのテーブル３と、このテー
ブル３上で前記回転切削装置２の回転軸に対し垂直をな
す中心軸周りに所定角度範囲回動自在に配設され、前記
種結晶１０の長手方向が回動の中心軸と垂直になるよう
にして前記種結晶１０を保持する種結晶保持部としての
回動支持台４とを備える構成である。
晶加工装置１は、切削工具２ａを回転させて種結晶１０
の切削を行う回転切削装置２と、この回転切削装置２の
回転軸に平行な第一の方向及びこれに垂直で互いに直角
をなす第二、第三の方向の計三方向にそれぞれ独立して
移動自在に配設され、回転切削装置２に対する位置を調
整自在とされる送り台としてのテーブル３と、このテー
ブル３上で前記回転切削装置２の回転軸に対し垂直をな
す中心軸周りに所定角度範囲回動自在に配設され、前記
種結晶１０の長手方向が回動の中心軸と垂直になるよう
にして前記種結晶１０を保持する種結晶保持部としての
回動支持台４とを備える構成である。
【００１１】前記回転切削装置２は、回転する軸端部に
略円筒状の切削工具２ａを配設し、これを回転させて被
切削物の切削を行う公知の装置で、切削工具２ａは周端
部にダイヤモンドチップを複数取付けられている。
略円筒状の切削工具２ａを配設し、これを回転させて被
切削物の切削を行う公知の装置で、切削工具２ａは周端
部にダイヤモンドチップを複数取付けられている。
【００１２】前記回動支持台４は、種結晶１０を着脱自
在に保持するクランプ４ａが配設されると共に、テーブ
ル３に対する回動角度を示す指示部４ｂが形成されてお
り、テーブル３の目盛３ａと合わせて用いられる。回動
支持台４のテーブル３への固定は、固定ボルト４ｃの締
付けにより行われる仕組みとしている。
在に保持するクランプ４ａが配設されると共に、テーブ
ル３に対する回動角度を示す指示部４ｂが形成されてお
り、テーブル３の目盛３ａと合わせて用いられる。回動
支持台４のテーブル３への固定は、固定ボルト４ｃの締
付けにより行われる仕組みとしている。
【００１３】次に、前記構成に基づく種結晶加工装置の
加工操作及び種結晶の固定動作について説明する。ま
ず、種結晶１０を前記回動支持台４のクランプ４ａに挟
んで固定支持する。支持した種結晶１０を回動支持台４
ごと回動させ、回転切削装置２に対する角度、すなわち
種結晶１０に形成する傾斜面のなす角度を設定する。角
度を決めたら固定ボルト４ｃを締付けて回動支持台４を
テーブル３に固定し、テーブル３を切削装置回転軸方向
（図１中Ｘ方向）に動かして種結晶１０の切削位置を決
定する。次に回転切削装置２を起動させ、テーブル３を
図１中Ｙ方向に送って種結晶１０を切削工具２ａ外周に
接触させ、切削を開始する。略Ｖ字状に所定の切削深さ
まで切削した後、テーブル３を上下方向（図１中、紙面
垂直方向）にスライドさせ、傾斜面を確実に平坦面に切
削する。傾斜面の形成が完了したら、テーブル３を図１
中Ｙ方向に逆に戻し、回転切削装置２を停止させる。
加工操作及び種結晶の固定動作について説明する。ま
ず、種結晶１０を前記回動支持台４のクランプ４ａに挟
んで固定支持する。支持した種結晶１０を回動支持台４
ごと回動させ、回転切削装置２に対する角度、すなわち
種結晶１０に形成する傾斜面のなす角度を設定する。角
度を決めたら固定ボルト４ｃを締付けて回動支持台４を
テーブル３に固定し、テーブル３を切削装置回転軸方向
（図１中Ｘ方向）に動かして種結晶１０の切削位置を決
定する。次に回転切削装置２を起動させ、テーブル３を
図１中Ｙ方向に送って種結晶１０を切削工具２ａ外周に
接触させ、切削を開始する。略Ｖ字状に所定の切削深さ
まで切削した後、テーブル３を上下方向（図１中、紙面
垂直方向）にスライドさせ、傾斜面を確実に平坦面に切
削する。傾斜面の形成が完了したら、テーブル３を図１
中Ｙ方向に逆に戻し、回転切削装置２を停止させる。
【００１４】種結晶１０のシードチャック５０への固定
に関しては、切欠き傾斜面１１が正確に形成された種結
晶１０をシードチャック５０の保持穴５１に挿通し、支
持棒５３をピン穴５２に挿通して種結晶１０の切欠き傾
斜面１１と支持棒５３とを係合させると、相互に線接触
状態となって種結晶１０が正しい姿勢で固定されること
となる（図６参照）。
に関しては、切欠き傾斜面１１が正確に形成された種結
晶１０をシードチャック５０の保持穴５１に挿通し、支
持棒５３をピン穴５２に挿通して種結晶１０の切欠き傾
斜面１１と支持棒５３とを係合させると、相互に線接触
状態となって種結晶１０が正しい姿勢で固定されること
となる（図６参照）。
【００１５】このように、本実施の形態に係る種結晶加
工装置では、回転切削装置２を固定して配設し、回転切
削装置２に対する角度及び位置を調整した種結晶１０を
テーブル３ごと回転切削装置２に対し直線移動させなが
ら、回転切削装置２の切削工具２ａに当てて切削を行う
ことにより、切欠き傾斜面１１を正確な傾斜角度で且つ
平坦に切削して形成できることとなり、種結晶１０をシ
ードチャック５０に取付けた状態で種結晶１０と支持棒
５３との接触部分で力を分散させて破損の危険を防ぐと
共に、種結晶１０をシードチャック５０に常時正しい姿
勢で保持させて引上げ作業への悪影響をなくし、単結晶
引上げ時の種結晶１０の信頼性を大幅に向上させられ
る。
工装置では、回転切削装置２を固定して配設し、回転切
削装置２に対する角度及び位置を調整した種結晶１０を
テーブル３ごと回転切削装置２に対し直線移動させなが
ら、回転切削装置２の切削工具２ａに当てて切削を行う
ことにより、切欠き傾斜面１１を正確な傾斜角度で且つ
平坦に切削して形成できることとなり、種結晶１０をシ
ードチャック５０に取付けた状態で種結晶１０と支持棒
５３との接触部分で力を分散させて破損の危険を防ぐと
共に、種結晶１０をシードチャック５０に常時正しい姿
勢で保持させて引上げ作業への悪影響をなくし、単結晶
引上げ時の種結晶１０の信頼性を大幅に向上させられ
る。
【００１６】
【発明の効果】以上のように本発明においては、種結晶
を回転切削装置に対し角度調整自在に保持する種結晶保
持部を配設すると共に、種結晶保持部ごと種結晶を回転
切削装置に対し位置調整自在とする送り台を配設し、回
転切削装置に対する角度及び位置を調整した種結晶を送
り台ごと、回転切削装置の回転軸に平行な第一の方向及
びこれに垂直な第二、第三の方向の計三方向のいずれか
に直線的に送り、種結晶と回転切削装置の切削工具との
角度関係を変化させずに種結晶を切削工具に接触させて
切削を行うことにより、傾斜面の傾斜角度及び位置を正
確にできると共に傾斜面を平坦面に形成できることとな
り、種結晶をシードチャックに取付けた状態で種結晶の
傾斜面と支持棒との接触部分で力を分散させて破損の危
険を防ぐと共に、種結晶をシードチャックに常時正しい
姿勢で保持させて引上げ作業への悪影響をなくし、単結
晶引上げ時における種結晶の信頼性を大きく向上させる
ことができるという効果を奏する。
を回転切削装置に対し角度調整自在に保持する種結晶保
持部を配設すると共に、種結晶保持部ごと種結晶を回転
切削装置に対し位置調整自在とする送り台を配設し、回
転切削装置に対する角度及び位置を調整した種結晶を送
り台ごと、回転切削装置の回転軸に平行な第一の方向及
びこれに垂直な第二、第三の方向の計三方向のいずれか
に直線的に送り、種結晶と回転切削装置の切削工具との
角度関係を変化させずに種結晶を切削工具に接触させて
切削を行うことにより、傾斜面の傾斜角度及び位置を正
確にできると共に傾斜面を平坦面に形成できることとな
り、種結晶をシードチャックに取付けた状態で種結晶の
傾斜面と支持棒との接触部分で力を分散させて破損の危
険を防ぐと共に、種結晶をシードチャックに常時正しい
姿勢で保持させて引上げ作業への悪影響をなくし、単結
晶引上げ時における種結晶の信頼性を大きく向上させる
ことができるという効果を奏する。
【図１】本発明の一実施の形態に係る種結晶加工装置の
概略平面図である。
概略平面図である。
【図２】本発明の一実施の形態に係る種結晶加工装置の
要部平面図である。
要部平面図である。
【図３】本発明の一実施の形態に係る種結晶加工装置の
要部側面図である。
要部側面図である。
【図４】（Ａ）は本発明の一実施の形態に係る種結晶加
工装置による加工開始状態説明図である。（Ｂ）は本発
明の一実施の形態に係る種結晶加工装置による加工中状
態説明図である。（Ｃ）は本発明の一実施の形態に係る
種結晶加工装置による加工終了状態説明図である。
工装置による加工開始状態説明図である。（Ｂ）は本発
明の一実施の形態に係る種結晶加工装置による加工中状
態説明図である。（Ｃ）は本発明の一実施の形態に係る
種結晶加工装置による加工終了状態説明図である。
【図５】本発明の一実施の形態に係る種結晶加工装置で
加工された種結晶の外観斜視図である。
加工された種結晶の外観斜視図である。
【図６】（Ａ）は本発明の一実施の形態に係る種結晶加
工装置で加工された種結晶の保持状態を示す斜視図であ
る。（Ｂ）は本発明の一実施の形態に係る種結晶加工装
置で加工された種結晶の保持状態を示す縦断面図であ
る。
工装置で加工された種結晶の保持状態を示す斜視図であ
る。（Ｂ）は本発明の一実施の形態に係る種結晶加工装
置で加工された種結晶の保持状態を示す縦断面図であ
る。
１ 種結晶加工装置 ２ 回転切削装置 ２ａ 切削工具 ３ テーブル ３ａ 目盛 ４ 回動支持台 ４ａ クランプ ４ｂ 指示部 ４ｃ 固定ボルト １０ 種結晶 １１ 切欠き傾斜面 ５０ シードチャック ５１ 保持穴 ５２ ピン穴 ５３ 支持棒
Claims (1)
- 【請求項１】 チョクラルスキー法によるシリコン単結
晶製造に用いられる種結晶の側部に切欠き加工を行って
支持用の傾斜面を形成する種結晶加工装置において、 略円筒形の外周及び端面に一又は複数の切れ刃を有する
切削工具を回転させて前記種結晶の切削を行う回転切削
装置と、 当該回転切削装置の回転軸に平行な第一の方向並びに当
該方向に垂直な方向で互いに直角をなす第二及び第三の
方向へそれぞれ独立して移動自在に配設され、前記回転
切削装置に対し位置調整自在である送り台と、 当該送り台上に配設され、前記回転切削装置の回転軸に
対し垂直な軸を中心として回動調整自在に配設され、前
記種結晶の長手方向が回動調整の中心軸と垂直になるよ
うにして前記種結晶を保持する種結晶保持部とを備える
ことを特徴とする種結晶加工装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9215574A JPH1133810A (ja) | 1997-07-24 | 1997-07-24 | 種結晶加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9215574A JPH1133810A (ja) | 1997-07-24 | 1997-07-24 | 種結晶加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1133810A true JPH1133810A (ja) | 1999-02-09 |
Family
ID=16674697
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9215574A Pending JPH1133810A (ja) | 1997-07-24 | 1997-07-24 | 種結晶加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1133810A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001016407A1 (en) * | 1999-08-31 | 2001-03-08 | Memc Electronic Materials, Inc. | Apparatus for supporting a semiconductor ingot during growth |
| KR200447165Y1 (ko) | 2009-05-22 | 2009-12-29 | 김창식 | 농기계용 칼날 연마장치 |
| KR101048111B1 (ko) | 2009-08-18 | 2011-07-08 | 김창호 | 굴삭기용 유압 브레이커의 로드 절삭 장치 |
| CN110153810A (zh) * | 2018-01-26 | 2019-08-23 | 德州学院 | 一种木工雕刻机刀具加工设备 |
| CN112171443A (zh) * | 2020-09-25 | 2021-01-05 | 合肥市东庐机械制造有限公司 | 一种可调节角度的叉车配件精加工用转向机构 |
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1997
- 1997-07-24 JP JP9215574A patent/JPH1133810A/ja active Pending
Cited By (6)
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