JPS63161145A - クリ−ンル−ム用鋼管 - Google Patents
クリ−ンル−ム用鋼管Info
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- JPS63161145A JPS63161145A JP30791786A JP30791786A JPS63161145A JP S63161145 A JPS63161145 A JP S63161145A JP 30791786 A JP30791786 A JP 30791786A JP 30791786 A JP30791786 A JP 30791786A JP S63161145 A JPS63161145 A JP S63161145A
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Landscapes
- Rigid Pipes And Flexible Pipes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、牛導体製造、医薬品製造等に用いられている
クリーンルーム用の鋼管に関する。
クリーンルーム用の鋼管に関する。
半導体製造、医薬品製造、医療・微生物工業等の分野番
こおいて所謂クリーンルームが広く用いられている。こ
のクリーンルームに招ける清浄度に対する要求は、半導
体の集積規模の増大等に対応して最適音に高まる傾向に
□ あり、対象とする微粒子（パーティクル）の大きさ
も、半導体製造に関しては既に０．１μ風以下となって
いる。
こおいて所謂クリーンルームが広く用いられている。こ
のクリーンルームに招ける清浄度に対する要求は、半導
体の集積規模の増大等に対応して最適音に高まる傾向に
□ あり、対象とする微粒子（パーティクル）の大きさ
も、半導体製造に関しては既に０．１μ風以下となって
いる。
従来、クリーンルームの清浄度を確保するためには原料
ガスをユースポイントまで供給する配管の内面に高度な
平滑性が必要とされることが知られている。すなわち、
配管の内面に疵があるとパーティクルが吸着していたり
、ガスが停留するデッド・ゾーンとなり、パーティクル
発生の原因となる。このため従来では、この種の配管に
は、管内面の平滑度が良好な精密細管が用いられており
、％に半導体関係のクリーンルーム用の鋼管については
、層内面平滑度（Ｒｍａｘ≦１μｍ）を得るため。
ガスをユースポイントまで供給する配管の内面に高度な
平滑性が必要とされることが知られている。すなわち、
配管の内面に疵があるとパーティクルが吸着していたり
、ガスが停留するデッド・ゾーンとなり、パーティクル
発生の原因となる。このため従来では、この種の配管に
は、管内面の平滑度が良好な精密細管が用いられており
、％に半導体関係のクリーンルーム用の鋼管については
、層内面平滑度（Ｒｍａｘ≦１μｍ）を得るため。
管内面は伸管工程において内面機械研磨加工が施され、
さらに最終１穐で電解研磨処理が施されている。しかし
ながら、実際にはこのような処、［１４こもかかわらず
、配管に起因したパーティクルの発生を十分に防止する
ことができず、その解決が望まれている。
さらに最終１穐で電解研磨処理が施されている。しかし
ながら、実際にはこのような処、［１４こもかかわらず
、配管に起因したパーティクルの発生を十分に防止する
ことができず、その解決が望まれている。
このようなことから１本発明者はこの種の配管における
パーティクル発生の原因について検討を重ねたものであ
り、この結果、パーティクルの発生は管内面の非金属介
在物、さらには析出物の存在に深く関係することが判明
したーすなわち１次のような事実が明らかとなった。
パーティクル発生の原因について検討を重ねたものであ
り、この結果、パーティクルの発生は管内面の非金属介
在物、さらには析出物の存在に深く関係することが判明
したーすなわち１次のような事実が明らかとなった。
■鋼管を繰り返し抽伸または圧延すると、内面に敏存し
ている非金属介在物を起点とした細溝が生じ、パーティ
クルの吸着場所となる。
ている非金属介在物を起点とした細溝が生じ、パーティ
クルの吸着場所となる。
■最終の電解研磨により、管内面の表層に非金属介在物
が脱落したピンホールが生じ、ガスが停留するデッドゾ
ーンになるとともに、ここにパーティクルが吸着される
。
が脱落したピンホールが生じ、ガスが停留するデッドゾ
ーンになるとともに、ここにパーティクルが吸着される
。
また脱落しなかった非金属介在物は、配管施工時に曲げ
加工を行った際に、第１図に示すように地鉄との界面に
割れを生じたり、第２図に示すように非金属介在物自体
が割れたりし、これが配管径脱落してパーティクルとな
る。
加工を行った際に、第１図に示すように地鉄との界面に
割れを生じたり、第２図に示すように非金属介在物自体
が割れたりし、これが配管径脱落してパーティクルとな
る。
０粒界に炭素等のミクロ偏析が生じると粒界が粒内に較
べ硬化し、延性が低下する。このため曲げ加工等が加わ
ると粒界に割れが生じ、ガスが停留するデッドゾーンと
なる。
べ硬化し、延性が低下する。このため曲げ加工等が加わ
ると粒界に割れが生じ、ガスが停留するデッドゾーンと
なる。
このような事実に基づき本発明者は、鋼中の非金属介在
物さらには析出物が極端に低減し且つ微細分散すること
により内面性状が極めて良好であり、さらに必要に応じ
て耐食性。
物さらには析出物が極端に低減し且つ微細分散すること
により内面性状が極めて良好であり、さらに必要に応じ
て耐食性。
加工性にも優れた特性を有する新たなりリーンルーム用
鋼管を開発したものである。すなわち本願第１発明は、
非金属介在物が極めて少ないクリーンルーム用鋼管を提
供するもので、その構成は次の通りである。
鋼管を開発したものである。すなわち本願第１発明は、
非金属介在物が極めて少ないクリーンルーム用鋼管を提
供するもので、その構成は次の通りである。
（１） ｐ ： ｏ、ｏ １０ｗｔ Ｓ以下、Ｓ ：
０．０１０ｗｔ％以下、Ｓｉ ： ０．４ｗｔ−以下、
Ｍｎ ： ０．４ ｗｔ Ｓ以下、紅： ０．０１０ｗ
ｔ％以下、Ｃ：０．００５ｗｔ’１以下、Ｎｉ ： ９
〜３５ｗｔ％、Ｃｒ ： １５〜２６ｗｔ％を含有し、
残部Ｆｅ及び不可避的不純物からなる。
０．０１０ｗｔ％以下、Ｓｉ ： ０．４ｗｔ−以下、
Ｍｎ ： ０．４ ｗｔ Ｓ以下、紅： ０．０１０ｗ
ｔ％以下、Ｃ：０．００５ｗｔ’１以下、Ｎｉ ： ９
〜３５ｗｔ％、Ｃｒ ： １５〜２６ｗｔ％を含有し、
残部Ｆｅ及び不可避的不純物からなる。
本願第２発明は非金属介在物とともに析出物も極めて少
ないクリーンルーム用鋼管を提供するもので、その構成
は次の通りである。
ないクリーンルーム用鋼管を提供するもので、その構成
は次の通りである。
（２１Ｐ ： ０．０１０ｗｔ Ｓ以下、Ｓ ： ０．
０１０ｗｔ Ｓ以下、Ｓｉ：０．４ｗｔｑ１１以下、
Ｍｎ： ０．４ ｗｔ％以下、 Ａｌ： ０．０１０
ｗｔ Ｓ以下、Ｃ： ０．００５ｗｔ％以下。
０１０ｗｔ Ｓ以下、Ｓｉ：０．４ｗｔｑ１１以下、
Ｍｎ： ０．４ ｗｔ％以下、 Ａｌ： ０．０１０
ｗｔ Ｓ以下、Ｃ： ０．００５ｗｔ％以下。
Ｃ：Ｏ，００５ｗｔ−以下、Ｎ：０．００５ｗｔ％以下
、Ｎｉ ： 曾〜３５ｗｔ ％、 Ｃｒ ： １５〜２
６ ｗｔ％を含有し、残部Ｆｅ及び不可避的不純物から
なる。
、Ｎｉ ： 曾〜３５ｗｔ ％、 Ｃｒ ： １５〜２
６ ｗｔ％を含有し、残部Ｆｅ及び不可避的不純物から
なる。
本願第３発明は、非金属介在物が極めて少なく、シかも
高度の耐食性を有するクリーンルーム用鋼管を提供する
もので、その構成は次の通りである。
高度の耐食性を有するクリーンルーム用鋼管を提供する
もので、その構成は次の通りである。
（３） Ｐ ： ０．０１０ｗｔ Ｓ以下、Ｓ：０．０
１０ｗｔ％以下。
１０ｗｔ％以下。
Ｓｉ ： ０．４ｗｔ％以下、 Ｍｎ： ０．４ｗｔ
４以下、Ａｌ：Ｏｌｏ １０ ｗｔチ以下、Ｃ： ０．
００５ｗｔチ以下、Ｎｌ： ９〜３５ｗｔ１．Ｃｒ ：
１５〜２６ｗｔ ％を含有し、さらにＭｏ ： ３
ｗｔ％以下、Ｃｕ ： ３ｗｔ ％以下。
４以下、Ａｌ：Ｏｌｏ １０ ｗｔチ以下、Ｃ： ０．
００５ｗｔチ以下、Ｎｌ： ９〜３５ｗｔ１．Ｃｒ ：
１５〜２６ｗｔ ％を含有し、さらにＭｏ ： ３
ｗｔ％以下、Ｃｕ ： ３ｗｔ ％以下。
Ｓｎ ： ０．０２ｗｔ％以下の１種または２種以上を
含有し、残部ｖｅ及び不可避的不純物からなる口 本願第４発明は、非金属介在物及び析出物が極めて少な
く、しかも高度の耐食性を有するクリーンルーム用鋼管
を提供するもので、その構成は次の通りである。
含有し、残部ｖｅ及び不可避的不純物からなる口 本願第４発明は、非金属介在物及び析出物が極めて少な
く、しかも高度の耐食性を有するクリーンルーム用鋼管
を提供するもので、その構成は次の通りである。
（４） Ｐ ： ０．０１０ｗｔ ％以下、 ８ ：
０．０１０ｗｔＳ以下、Ｓｉ ： ０．４ｗｔ ’１以
下、Ｍｎ 二〇、４ ｗｔ ｆ６以下、 Ａｌ：０．
００１０ｗｔ％以下、Ｃ：０．００５ｗｔ１以下、ｃ：
ｏ、ｏｏｓｗｔ％以下、Ｎ ： ０．００５ｗｔ％以下
、Ｎｉ ： ９〜３ ｓｗｔ ％、 Ｃｒ ： １５〜
２６ｗｔ ％を含有し、さらにＭｏ ： ３ｗｔ Ｓ以
下、Ｃｕ ： ３ ｗｔ Ｓ以下、Ｓｎ：０．０２ｗｔ
％以下の１種または２種以上を含有し、残部Ｆｅ及び不
可避的不純物からなる。
０．０１０ｗｔＳ以下、Ｓｉ ： ０．４ｗｔ ’１以
下、Ｍｎ 二〇、４ ｗｔ ｆ６以下、 Ａｌ：０．
００１０ｗｔ％以下、Ｃ：０．００５ｗｔ１以下、ｃ：
ｏ、ｏｏｓｗｔ％以下、Ｎ ： ０．００５ｗｔ％以下
、Ｎｉ ： ９〜３ ｓｗｔ ％、 Ｃｒ ： １５〜
２６ｗｔ ％を含有し、さらにＭｏ ： ３ｗｔ Ｓ以
下、Ｃｕ ： ３ ｗｔ Ｓ以下、Ｓｎ：０．０２ｗｔ
％以下の１種または２種以上を含有し、残部Ｆｅ及び不
可避的不純物からなる。
本願第５発明は、非金属介在物が極めて少なく、シかも
加工性に優れたクリーンルーム用鋼管を提供するもので
、その構成は次の通りである。
加工性に優れたクリーンルーム用鋼管を提供するもので
、その構成は次の通りである。
（５） Ｐ ： ０．０１０ｗｔ％以下、Ｓ：０．０１
０Ｗ１％以下、８１ ： ０．４ｗｔ Ｓ以下、 Ｍｎ
二〇、４ｗｔ Ｓ以下、Ａｌ：０．０１０ｗｔ％以下
、Ｃ： ０．００５ｗｔ％以下、Ｎｉ ： ９〜３５ｗ
ｔ ％、 Ｃｒ ： １５〜２６ｗｔ％を含有し、残
部Ｆｅ及び不可避的不純物からなり、且つ下記（ＩＡ）
式により求められるＮＢ値がＮＢ＞Ｏである。
０Ｗ１％以下、８１ ： ０．４ｗｔ Ｓ以下、 Ｍｎ
二〇、４ｗｔ Ｓ以下、Ａｌ：０．０１０ｗｔ％以下
、Ｃ： ０．００５ｗｔ％以下、Ｎｉ ： ９〜３５ｗ
ｔ ％、 Ｃｒ ： １５〜２６ｗｔ％を含有し、残
部Ｆｅ及び不可避的不純物からなり、且つ下記（ＩＡ）
式により求められるＮＢ値がＮＢ＞Ｏである。
Ｍｎ
ＮＢ＝Ｎｌ＋Ｔ＋３０Ｘ（Ｃ＋Ｎ）＋８．２−１．ＩＸ
（Ｃｒ−）−１，５ＸＳｉ）・・・・・・・・・・・・
・・・（ＩＡ）本願第６発明は、非金属介在物及び析出
物が極めて少なく、しかも加工性に優れたクリーンルー
ム用鋼管を提供するもので、その構成は次の通りである
。
（Ｃｒ−）−１，５ＸＳｉ）・・・・・・・・・・・・
・・・（ＩＡ）本願第６発明は、非金属介在物及び析出
物が極めて少なく、しかも加工性に優れたクリーンルー
ム用鋼管を提供するもので、その構成は次の通りである
。
（５） Ｐ ： ０．０１０ｗｔ９６以下、Ｓ：０．０
１０ｗｔ’１以下、８ｉ ： ０．４ｗｔＳ以下、 Ｍ
ｎ ： ０．４ｗｔ％以下、Ａｌ：ｏ、ｏｔｏｗｔｌ以
下、Ｃ：０．００５ｗｔ９６以下、Ｃ：ｏ、ｏｏｓｗｔ
ｎ以下、Ｎ：０．００５ＷｔＳ以下、Ｎｌ： ９〜３５
ｗｔ Ｓ、Ｃｒ ： １５〜２６ｗｔ ％を含有し。
１０ｗｔ’１以下、８ｉ ： ０．４ｗｔＳ以下、 Ｍ
ｎ ： ０．４ｗｔ％以下、Ａｌ：ｏ、ｏｔｏｗｔｌ以
下、Ｃ：０．００５ｗｔ９６以下、Ｃ：ｏ、ｏｏｓｗｔ
ｎ以下、Ｎ：０．００５ＷｔＳ以下、Ｎｌ： ９〜３５
ｗｔ Ｓ、Ｃｒ ： １５〜２６ｗｔ ％を含有し。
残部Ｆｅ及び不可避的不純物からなり、且つ上記（１人
）式により求められるＮＢ値がＮＢ＞０である。
）式により求められるＮＢ値がＮＢ＞０である。
本願第７発明は、非金属介在物が極めて少なく、シかも
高度の耐食性と加工性を有するクリーンルーム用鋼管を
提供するもので、その構成は次の通りである。
高度の耐食性と加工性を有するクリーンルーム用鋼管を
提供するもので、その構成は次の通りである。
（７） ｐ ： ｏ、ｏ １０ｗｔ ％以下、Ｓ：０．
０１０ｗｔ％以下。
０１０ｗｔ％以下。
Ｓｉ：０．４ｗｔ％以下、Ｎｐ ： ０．４ｗｔ％以下
、 Ａｌ：ｏ、ｏｌｏｗｔｌ以下、Ｃ：０．００５ｗｔ
％以下、Ｎｉ ： ９〜３５ｗｔｌ１６％ Ｃｒ： １
５〜２６ｗｔ％を含有し、さらにＭｏ：３ｗｔ１以下、
Ｃｕ：３ｗｔｑｂ以下、Ｓｌ ： ０．０２ｗｔ ％以
下の】８！または２種以上を含有し、残部Ｆｅ及び不可
避的不純物からなり、且つ下記（ＩＢ）式により求めら
れるＮＢ値がＮＢ ＞ Ｏである。
、 Ａｌ：ｏ、ｏｌｏｗｔｌ以下、Ｃ：０．００５ｗｔ
％以下、Ｎｉ ： ９〜３５ｗｔｌ１６％ Ｃｒ： １
５〜２６ｗｔ％を含有し、さらにＭｏ：３ｗｔ１以下、
Ｃｕ：３ｗｔｑｂ以下、Ｓｌ ： ０．０２ｗｔ ％以
下の】８！または２種以上を含有し、残部Ｆｅ及び不可
避的不純物からなり、且つ下記（ＩＢ）式により求めら
れるＮＢ値がＮＢ ＞ Ｏである。
Ｍｎ
ＮＢ＝Ｎｉ＋丁→３０Ｘ（Ｃ＋Ｎ）＋ＪＬ！ １．Ｉ
Ｘ（Ｃｒ十八へＯ＋１．５ＸＳｉ）・・・・・・・・・
・・・・・・・・・（ＩＢ）本願第７発明は、非金属介
在物及び析出物が極めて少なく、シかも高度の耐食性と
加工性を有するクリーンルーム用鋼管を提供するもので
、その構成は次の通りである。
Ｘ（Ｃｒ十八へＯ＋１．５ＸＳｉ）・・・・・・・・・
・・・・・・・・・（ＩＢ）本願第７発明は、非金属介
在物及び析出物が極めて少なく、シかも高度の耐食性と
加工性を有するクリーンルーム用鋼管を提供するもので
、その構成は次の通りである。
（８） Ｐ ： ０．０１ ｏｗｔ％以下、 Ｓ：０．
０１０ｗｔ１％以下。
０１０ｗｔ１％以下。
Ｓｉ ： ０．４ｗｔ ’Ａ以下、Ｍｎ ： ０．４
ｗｔ ％以下、Ａｌ：ｏ、ｏｘｏｗｔ＊以下、Ｃ：０．
００５ｗｔ１以下、ｃ：０．００５Ｗｔ＊以下、Ｎ：
０．００５ｗｔｎ以下、Ｎｉ：９〜３５ｗｔ ％ ｓ
Ｃｒ ： １５〜２６ ｗｔ ％を含有し、さらにＭｏ
： ３ ｗｔ ％以下、Ｃｕ：３ｗｔ％以下、Ｓｎ
： ０．０２ ｗｔ ９６以下の１ｍまたは２ｆＩ以上
を含有し、残部Ｆｅ及び不可避的不純物からなり、且つ
上記（ＩＢ）式により求めらるＮＢ値がＮＢ＞０である
口 以下１本、発明の構成を詳細に説明する。
ｗｔ ％以下、Ａｌ：ｏ、ｏｘｏｗｔ＊以下、Ｃ：０．
００５ｗｔ１以下、ｃ：０．００５Ｗｔ＊以下、Ｎ：
０．００５ｗｔｎ以下、Ｎｉ：９〜３５ｗｔ ％ ｓ
Ｃｒ ： １５〜２６ ｗｔ ％を含有し、さらにＭｏ
： ３ ｗｔ ％以下、Ｃｕ：３ｗｔ％以下、Ｓｎ
： ０．０２ ｗｔ ９６以下の１ｍまたは２ｆＩ以上
を含有し、残部Ｆｅ及び不可避的不純物からなり、且つ
上記（ＩＢ）式により求めらるＮＢ値がＮＢ＞０である
口 以下１本、発明の構成を詳細に説明する。
鋼中の介在物はパーティクルの発生に次のようにかかわ
っている。
っている。
■伸管時に管内面に散在する非金属介在物を起点として
細溝が生じ、パーティクルの吸着場所となる。
細溝が生じ、パーティクルの吸着場所となる。
■電解研磨により脱落してピンホールの原因となる。
■配管施工時に曲げ加工を行った際、電解研磨後も残さ
れた介在物と地鉄との界面に割れか生じたり、介在物自
体が割れたりし、これが脱落してパーティクルとなる。
れた介在物と地鉄との界面に割れか生じたり、介在物自
体が割れたりし、これが脱落してパーティクルとなる。
本発明はこのような点から、非金属介在物を制御すべく
その組成を規定した。すなわち、鋼中のｐ、 ｓ、０を
できる限り低くし、さらにＳＬ ｓ Ｍｎも最少限に抑
えることにより介在物の総数を減少させる。さらにＯに
関しては。
その組成を規定した。すなわち、鋼中のｐ、 ｓ、０を
できる限り低くし、さらにＳＬ ｓ Ｍｎも最少限に抑
えることにより介在物の総数を減少させる。さらにＯに
関しては。
鋼中の含有量を零にすることは不可能であるため、 Ｓ
ｉ、 Ｍｎ、 Ａｌの低減によってＣｒ、Ｆｅ糸の酸化
物の形にし、微細分散するようにし、これによって介在
物が存在するとしても最終製品寸法で５ ｐｍ以上の介
在物をなくシ、介在物自体の割れを防止する。
ｉ、 Ｍｎ、 Ａｌの低減によってＣｒ、Ｆｅ糸の酸化
物の形にし、微細分散するようにし、これによって介在
物が存在するとしても最終製品寸法で５ ｐｍ以上の介
在物をなくシ、介在物自体の割れを防止する。
また、クリーンルーム内の配管は施工時に曲げ加工が施
される部分があり１通常の鋼管ｉこ冷間曲げ加工を行う
と塑性変形が生じ多数の微小クラックが生じる。このた
め本発明は。
される部分があり１通常の鋼管ｉこ冷間曲げ加工を行う
と塑性変形が生じ多数の微小クラックが生じる。このた
め本発明は。
Ｃ１Ｎを低減させることにより炭・窒化物が粒界に偏析
することを防止し、これによって粒界・粒内の強度差を
なくして延性を十分確保し、もってクラックの発生を防
止する・ざらに１本発明は耐食性を向上させるため。
することを防止し、これによって粒界・粒内の強度差を
なくして延性を十分確保し、もってクラックの発生を防
止する・ざらに１本発明は耐食性を向上させるため。
Ｍｏｂ Ｃｕ、ａｎの各元素を１種以上含有させ、また
熱間加工時における優れた加工性を得るため、成分相互
の関係を規制する。
熱間加工時における優れた加工性を得るため、成分相互
の関係を規制する。
次に１本発明鋼管の成分組成の限定理由を説明する・
Ｎ１はオーステナイト組織を安定化させる作用があり、
重要な元素である。Ｎｉの含有量が９ｗｔ％未満である
とδ−Ｆｅ量が増大し熱間加工性を阻害する。一方、下
記Ｃｒ量に対してＮｉを過剰に添加しても経済性の面で
不利となり。
重要な元素である。Ｎｉの含有量が９ｗｔ％未満である
とδ−Ｆｅ量が増大し熱間加工性を阻害する。一方、下
記Ｃｒ量に対してＮｉを過剰に添加しても経済性の面で
不利となり。
ａｓｗｔ饅がその添加量の限度となる。このためＮｉ量
は９〜３５ ｗｔチとする。
は９〜３５ ｗｔチとする。
Ｃｒは、耐食性を向上させるために必須の元素であり％
１５ｗｔ１未満の含有量では添加による効果が十分得
られない。しかし、２６ｗ１係を超えて添加するとオー
ステナイト単相を得る上での障害となる。このためＣｒ
量は１５〜２６ｗｔ％とする。
１５ｗｔ１未満の含有量では添加による効果が十分得
られない。しかし、２６ｗ１係を超えて添加するとオー
ステナイト単相を得る上での障害となる。このためＣｒ
量は１５〜２６ｗｔ％とする。
８１ ｓ Ｍｎはいずれも脱酸元素であるが、逆に鋼管
の清浄度を劣化させる。本発明では。
の清浄度を劣化させる。本発明では。
Ｓｉ 、 Ｍｎともに０．４ｗｔ１以下に規制し、介在
物を減少させ、且つ微細分散させる。
物を減少させ、且つ微細分散させる。
ｐ、ｓは不純物として清浄度を劣化させるため可能な限
り低いことが好ましく、このためそれぞれ０．０１０ｗ
ｔ５以下に規制される。
り低いことが好ましく、このためそれぞれ０．０１０ｗ
ｔ５以下に規制される。
０は凝固時に非金属介在物として鋼中に残留し、清浄度
を害するため可能な限り低いことが好ましく、このため
０．００５ ｗｔ ’ｌｒ以下ｔこ規制される。
を害するため可能な限り低いことが好ましく、このため
０．００５ ｗｔ ’ｌｒ以下ｔこ規制される。
虹は脱酸元素として有効であるが、必要以上の添加は介
在物の形状を大きくし、このため０．０１０ｗｔ ％以
下に規制される。
在物の形状を大きくし、このため０．０１０ｗｔ ％以
下に規制される。
Ｃ，Ｎは強度上昇に有効な元素であるが。
応力除去（熱）処理によって、或いは溶接熱影響部にお
いてＣｒ炭（窒）化物として粒界に偏析し、これによっ
て粒界の延性を弱め、曲げ加工時に粒界に割れを発生さ
せる原因を作る。このためＣ，Ｎともにｏ、ｏｏｓｗｔ
ｑ６以下に規制される。
いてＣｒ炭（窒）化物として粒界に偏析し、これによっ
て粒界の延性を弱め、曲げ加工時に粒界に割れを発生さ
せる原因を作る。このためＣ，Ｎともにｏ、ｏｏｓｗｔ
ｑ６以下に規制される。
Ｍｏは不動態を安定化して耐食性を向上させ、耐酸化性
、耐孔食性を改善する最も効果的な元素であるが、３ｗ
ｔ＊を超えて添加すると加工性を阻害し、Ｎｉの増量を
必要とするため３ｗｔ％以下の範囲で添加する。
、耐孔食性を改善する最も効果的な元素であるが、３ｗ
ｔ＊を超えて添加すると加工性を阻害し、Ｎｉの増量を
必要とするため３ｗｔ％以下の範囲で添加する。
ＣｕとＳｎは耐食性に有効であるが、Ｃｕ：３ｗｔ ｆ
６、Ｓｎ ： Ｏｌｏ ２ ｗｔ ％をそれぞれ超えて
添加してもその添加量に見合う効果が期待できず、この
ためＣｕは３ ｗｔ ’ｌｒ以下、 Ｓｎは０．０２ｗ
ｔ％以下の各範囲で添加する。
６、Ｓｎ ： Ｏｌｏ ２ ｗｔ ％をそれぞれ超えて
添加してもその添加量に見合う効果が期待できず、この
ためＣｕは３ ｗｔ ’ｌｒ以下、 Ｓｎは０．０２ｗ
ｔ％以下の各範囲で添加する。
本発明では以上のような各成分組成の規制に加え、良好
な熱間加工性を得るため下式（ＭＯを添加する場合は（
ＩＢ）式）により求められるＮＢ値を規制する。
な熱間加工性を得るため下式（ＭＯを添加する場合は（
ＩＢ）式）により求められるＮＢ値を規制する。
Ｍｎ
ＮＢ ＝ Ｎｉ＋Ｔ ＋３０ （Ｃ＋Ｎ）ｌ−８，２−
１，ＩＸ （Ｃｒ＋１．５ Ｘ ８１ ） −・・・・
・・・・・・・・・・（ＩＡ） Ｍｎ ＮＢ＝Ｎｉ−１丁＋３０ （Ｃ＋Ｎ）＋８．２−１１Ｘ
（Ｃｒ＋Ｍｏ ＋１５ ＸＳ ｉ）・・・・・・・・
・・・・・・・（ＩＢ）鋼管は上記組成の鋼を１０５０
℃以上に加熱して熱間押出することにより作られるが、
この際組成をＮＢ＞Ｏの条件を満すよう規制しておくこ
とにより良好な熱間加工性が得られ、熱押時の管内外面
での傷発生が抑えられる。
１，ＩＸ （Ｃｒ＋１．５ Ｘ ８１ ） −・・・・
・・・・・・・・・・（ＩＡ） Ｍｎ ＮＢ＝Ｎｉ−１丁＋３０ （Ｃ＋Ｎ）＋８．２−１１Ｘ
（Ｃｒ＋Ｍｏ ＋１５ ＸＳ ｉ）・・・・・・・・
・・・・・・・（ＩＢ）鋼管は上記組成の鋼を１０５０
℃以上に加熱して熱間押出することにより作られるが、
この際組成をＮＢ＞Ｏの条件を満すよう規制しておくこ
とにより良好な熱間加工性が得られ、熱押時の管内外面
での傷発生が抑えられる。
本発明の鋼管は、通常、ビレットを熱間押出後芯引き等
の加工を行い、しかる後内面研磨（電解研磨等）を行う
ことにより製造されるＯ 〔実施例〕 第１表に示す組成の鋼を躊製した後、造塊−分塊により
ビレットとし、熱間押出により製管した。その後、冷間
圧延および冷間伸管により外径３４．０ｍ、肉厚３．ｏ
、の管とし、内外面を研削、さらにパフ研磨により外径
３３．５箇、肉厚λ５■の管とした。その後、冷間圧延
および冷間伸管番こより外径９．５３■、肉厚１．０箇
とし、固溶化処理を施した後、最後に内面を電解研磨加
工した。
の加工を行い、しかる後内面研磨（電解研磨等）を行う
ことにより製造されるＯ 〔実施例〕 第１表に示す組成の鋼を躊製した後、造塊−分塊により
ビレットとし、熱間押出により製管した。その後、冷間
圧延および冷間伸管により外径３４．０ｍ、肉厚３．ｏ
、の管とし、内外面を研削、さらにパフ研磨により外径
３３．５箇、肉厚λ５■の管とした。その後、冷間圧延
および冷間伸管番こより外径９．５３■、肉厚１．０箇
とし、固溶化処理を施した後、最後に内面を電解研磨加
工した。
このようにして得られた各供試材について介在物評価、
析出物評価、表面性状評価及び加工性評価を行った。こ
れらのうち介在物評価は１通常行われているＪＩＳ Ｇ
Ｏ５５５ｒ鋼の非金属介在物の顕微鏡試験方法」ととも
に、４００倍の顕微鏡によって１０−の面積について実
際に球状介在物と線状介在物とを大きさごとにカウント
し、１１７を当たりの個数で平均するカウント法によっ
て行った。析出物評価は１粒界・粒内の強度差として評
価を試みた。即ち、各供試材から内面を含む弧状引張試
験片を採取し、２０％の冷間引張加工を与えた後、電子
顕微鏡に゛Ｃ内表面の粒界割れを調べた０表面性状評価
は、′ｊ＆終冷間伸管にて生じた介在物起点の割れが最
終電解研磨加工により除去できている程度のものか否か
によって評価した。加工性評価は熱間押出時の外内面の
傷の発生具合によって評価した。それらの結果を第２表
に示す。これによれば１本発明例は比較例に較べて介在
物が明らかに少なく、また粗大な介在物も存在していな
い。
析出物評価、表面性状評価及び加工性評価を行った。こ
れらのうち介在物評価は１通常行われているＪＩＳ Ｇ
Ｏ５５５ｒ鋼の非金属介在物の顕微鏡試験方法」ととも
に、４００倍の顕微鏡によって１０−の面積について実
際に球状介在物と線状介在物とを大きさごとにカウント
し、１１７を当たりの個数で平均するカウント法によっ
て行った。析出物評価は１粒界・粒内の強度差として評
価を試みた。即ち、各供試材から内面を含む弧状引張試
験片を採取し、２０％の冷間引張加工を与えた後、電子
顕微鏡に゛Ｃ内表面の粒界割れを調べた０表面性状評価
は、′ｊ＆終冷間伸管にて生じた介在物起点の割れが最
終電解研磨加工により除去できている程度のものか否か
によって評価した。加工性評価は熱間押出時の外内面の
傷の発生具合によって評価した。それらの結果を第２表
に示す。これによれば１本発明例は比較例に較べて介在
物が明らかに少なく、また粗大な介在物も存在していな
い。
そしてこれにより表面性状も良好になっている。また粒
界への析出物も少ないため１粒界・粒内の強度差がなく
、比較例ｍｌ、３，４．６にみられた粒界割れは本発明
例には全く認められなかった。一方、ＮＢ値が良好であ
る本発明側部４．６．８．１３．１５，１６．１９及び
比較側部６は、熱間押出管の表置は非常に滑らかであり
、良好な加工性を示すが、逆にＮＢ値かマイナスの本発
明例Ｈａ １．３．５． 比較例磁１．２．４は熱間
押出時の加工性低下を示しなお参考までに、第３図とし
て示した写真のような介在物を起点とする細溝や介在物
と地鉄との界面の割れにより生じるデッドゾーンの体積
Ｖは、 ■＝−・πｒ３ 但し、ａ：定 数 π：円周率 ｒ：介在物 により求められる。
界への析出物も少ないため１粒界・粒内の強度差がなく
、比較例ｍｌ、３，４．６にみられた粒界割れは本発明
例には全く認められなかった。一方、ＮＢ値が良好であ
る本発明側部４．６．８．１３．１５，１６．１９及び
比較側部６は、熱間押出管の表置は非常に滑らかであり
、良好な加工性を示すが、逆にＮＢ値かマイナスの本発
明例Ｈａ １．３．５． 比較例磁１．２．４は熱間
押出時の加工性低下を示しなお参考までに、第３図とし
て示した写真のような介在物を起点とする細溝や介在物
と地鉄との界面の割れにより生じるデッドゾーンの体積
Ｖは、 ■＝−・πｒ３ 但し、ａ：定 数 π：円周率 ｒ：介在物 により求められる。
第３図は、介在物（１）とこれを起点として生じた細溝
（２）を模式的に示すものであるが、例えば３μｍの介
在物（１）が原因となって介在物の略３倍長程度の細溝
（２）ができたとすると、■＝（π×（８）３中２１．
２μｒｎ３の体積のデッドゾーンが存在することになる
。
（２）を模式的に示すものであるが、例えば３μｍの介
在物（１）が原因となって介在物の略３倍長程度の細溝
（２）ができたとすると、■＝（π×（８）３中２１．
２μｒｎ３の体積のデッドゾーンが存在することになる
。
一方、介在物に地鉄との界面の割れから発生するパーテ
ィクルは、第４図の写真（パイープの電解研摩面の電子
顕微鏡拡大写真であり、介在物が存在している電解研摩
面に冷間曲げ加工を与えた場合の介在物と地鉄との界面
の割れを示したもの）にみられる５μｍの介在物の周辺
に生じた凹み中の粒子と同程度と考えれば最大で０．５
μｍ程度となる。
ィクルは、第４図の写真（パイープの電解研摩面の電子
顕微鏡拡大写真であり、介在物が存在している電解研摩
面に冷間曲げ加工を与えた場合の介在物と地鉄との界面
の割れを示したもの）にみられる５μｍの介在物の周辺
に生じた凹み中の粒子と同程度と考えれば最大で０．５
μｍ程度となる。
以上述べた本発明のクリーンルーム用鋼管によれば、非
金属介在物、さらには析出物が極端に少なく、このため
、配管した場合にパーティクルの発生がほとんどなく。
金属介在物、さらには析出物が極端に少なく、このため
、配管した場合にパーティクルの発生がほとんどなく。
またパーティクル生成の原因となるようなデッドゾーン
もほとんど存在しない高清浄、高平滑の管内面を確保す
ることができる。
もほとんど存在しない高清浄、高平滑の管内面を確保す
ることができる。
さらに、このような利点に加え、高耐食性。
優れた熱間加工性をも確保することができるー
第１図及び第２図はそれぞれ介在物を原因とするパーテ
ィクル発生状況を示したものである。第３図はパーティ
クルとこれに起因して形成された細溝とを模式的に示し
たものである、第４図はパイプの電解研摩面の電子顕微
鏡拡大写真である。 特許出願人 日本鋼管株式会社 発 明 者 遠 山 見間
服 部 圭 肋間
久 保 邦 彦同
坂 １） 直 起代理人弁理士
吉 原 省 三同 同 苫米地 正
敏 同 弁護士 吉 原 弘 子弟１図 第２図 ＠ ３ 図 ｊ亡 鉄
ィクル発生状況を示したものである。第３図はパーティ
クルとこれに起因して形成された細溝とを模式的に示し
たものである、第４図はパイプの電解研摩面の電子顕微
鏡拡大写真である。 特許出願人 日本鋼管株式会社 発 明 者 遠 山 見間
服 部 圭 肋間
久 保 邦 彦同
坂 １） 直 起代理人弁理士
吉 原 省 三同 同 苫米地 正
敏 同 弁護士 吉 原 弘 子弟１図 第２図 ＠ ３ 図 ｊ亡 鉄
Claims (5)
- （１）Ｐ：０．０１０ｗｔ％以下、Ｓ：０．００１０ｗ
ｔ％以下、Ｓｉ：０．４ｗｔ％以下、Ｍｎ：０．４ｗｔ
％以下、Ａｌ：０．０１０ｗｔ％以下、Ｏ：０．００５
ｗｔ％以下、Ｎｉ：９〜３５ｗｔ％、Ｃｒ：１５〜２６
ｗｔ％を含有し、残部Ｆｅ及び不可避的不純物からなる
クリーンルーム用鋼管。 - （２）Ｐ：０．０１０ｗｔ％以下、Ｓ：０．０１０ｗｔ
％以下、Ｓｉ：０．４ｗｔ％以下、Ｍｎ：０．４ｗｔ％
以下、Ａｌ：０．０１０ｗｔ％以下、Ｏ：０．００５ｗ
ｔ％以下、Ｃ：０．００５ｗｔ％以下、Ｎ：０．００５
ｗｔ％以下、Ｎｉ：９〜３５ｗｔ％、Ｃｒ：１５〜２６
ｗｔ％を含有し、残部Ｆｅ及び不可避的不純物からなる
クリーンルーム用鋼管。 - （３）Ｐ：０．０１０ｗｔ％以下、Ｓ：０．０１０ｗｔ
％以下、Ｓｉ：０．４ｗｔ％以下、Ｍｎ：０．４ｗｔ％
以下、Ａｌ：０．０１０ｗｔ％以下、Ｏ：０．００５ｗ
ｔ％以下、Ｎｉ：９〜３５ｗｔ％、Ｃｒ：１５〜２６ｗ
ｔ％を含有し、さらにＭｏ：３ｗｔ％以下、Ｃｕ：３ｗ
ｔ％以下、Ｓｎ：０．０２ｗｔ％以下の１種または２種
以上を含有し、残部Ｆｅ及び不可避的不純物からなるク
リーンルーム用鋼管。 - （４）Ｐ：０．０１０ｗｔ％以下、Ｓ：０．０１０ｗｔ
％以下、Ｓｉ：０．４ｗｔ％以下、Ｍｎ：０．４ｗｔ％
以下、Ａｌ：０．０１０ｗｔ％以下、Ｏ：０．００５ｗ
ｔ％以下、Ｃ：０．００５ｗｔ％以下、Ｎ：０．００５
ｗｔ％以下、Ｎｉ：９〜３５ｗｔ％、Ｃｒ：１５〜２６
ｗｔ％を含有し、さらにＭｏ：３ｗｔ％以下、Ｃｕ：３
ｗｔ％以下、Ｓｎ：０．０２ｗｔ％以下の１種または２
種以上を含有し、残部Ｆｅ及び不可避的不純物からなる
クリーンルーム用鋼管。 - （５）Ｐ：０．０１０ｗｔ％以下、Ｓ：０．０１０ｗｔ
％以下、Ｓｉ：０．４ｗｔ％以下、Ｍｎ：０．４ｗｔ％
以下、Ａｌ：０．０１０ｗｔ％以下、Ｏ：０．００５ｗ
ｔ％以下、Ｎｉ：９〜３５ｗｔ％、Ｃｒ：１５〜２６ｗ
ｔ％を含有し、残部Ｆｅ及び不可避的不純物からなり、
且つ下式により求められるＮＢ値がＮＢ＞０であるクリ
ーンルーム用鋼管。 ＮＢ＝Ｎｉ＋Ｍｎ／２＋３０×（Ｃ＋Ｎ）＋８．２−１
．１×（Ｃｒ＋１．５×Ｓｉ）（６）Ｐ：０．０１０ｗ
ｔ％以下、Ｓ：０．０１０ｗｔ％以下、Ｓｉ：０．４ｗ
ｔ％以下、Ｍｎ：０．４ｗｔ％以下、Ａｌ：０．０１０
ｗｔ％以下、Ｏ：０．００５ｗｔ％以下、Ｃ：０．００
５ｗｔ％以下、Ｎ：０．００５ｗｔ％以下、Ｎｉ：９〜
３５ｗｔ％、Ｃｒ：１５〜２６ｗｔ％を含有し、残部Ｆ
ｅ及び不可避的不純物からなり、且つ下式により求めら
れるＮＢ値がＮＢ＞０であるクリーンルーム用鋼管。 ＮＢ＝Ｎｉ＋Ｍｎ／２＋３０×（Ｃ＋Ｎ）＋８．２−１
．１×（Ｃｒ＋１．５×Ｓｉ）（７）Ｐ：０．０１０ｗ
ｔ％以下、Ｓ：０．０１０ｗｔ％以下、Ｓｉ：０．４ｗ
ｔ％以下、Ｍｎ：０．４ｗｔ％以下、Ａｌ：０．０１０
ｗｔ％以下、Ｏ：０．００５ｗｔ％以下、Ｎｉ：９〜３
５ｗｔ％、Ｃｒ：１５〜２６ｗｔ％を含有し、さらにＭ
ｏ：３ｗｔ％以下、Ｃｕ：３ｗｔ％以下、Ｓｎ：０．０
２ｗｔ％以下の１種または２種以上を含有し、残部Ｆｅ
及び不可避的不純物からなり、且つ下式により求められ
るＮＢ値がＮＢ＞０であるクリーンルーム用鋼管。 ＮＢ＝Ｎｉ＋Ｍｎ／２＋３０×（Ｃ＋Ｎ）＋８．２−１
．１×（Ｃｒ＋Ｍｏ＋１．５×Ｓｉ）（８）Ｐ：０．０
１０ｗｔ％以下、Ｓ：０．０１０ｗｔ％以下、Ｓｉ：０
．４ｗｔ％以下、Ｍｎ：０．４ｗｔ％以下、Ａｌ：０．
０１０ｗｔ％以下、Ｏ：０．００５ｗｔ％以下、Ｃ：０
．００５ｗｔ％以下、Ｎ：０．００５ｗｔ％以下、Ｎｉ
：９〜３５ｗｔ％、Ｃｒ：１５〜２６ｗｔ％を含有し、
さらにＭｏ：３ｗｔ％以下、Ｃｕ：３ｗｔ％以下、Ｓｎ
：０．０２ｗｔ％以下の１種または２種以上を含有し、
残部Ｆｅ及び不可避的不純物からなり、且つ下式により
求められるＮＢ値がＮＢ＞０であるクリーンルーム用鋼
管。 ＮＢ＝Ｎｉ＋Ｍｎ／２＋３０×（Ｃ＋Ｎ）＋８．２−１
．１×（Ｃｒ＋Ｍｏ＋１．５×Ｓｉ）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30791786A JPS63161145A (ja) | 1986-12-25 | 1986-12-25 | クリ−ンル−ム用鋼管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30791786A JPS63161145A (ja) | 1986-12-25 | 1986-12-25 | クリ−ンル−ム用鋼管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63161145A true JPS63161145A (ja) | 1988-07-04 |
| JPH0577742B2 JPH0577742B2 (ja) | 1993-10-27 |
Family
ID=17974721
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30791786A Granted JPS63161145A (ja) | 1986-12-25 | 1986-12-25 | クリ−ンル−ム用鋼管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63161145A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01316439A (ja) * | 1987-11-10 | 1989-12-21 | Nkk Corp | 極高真空機器用ステンレス鋼 |
| JPH0331451A (ja) * | 1989-06-29 | 1991-02-12 | Toshiro Yamashina | 極高真空機器用ステンレス鋼 |
| JPH0331452A (ja) * | 1989-06-29 | 1991-02-12 | Nkk Corp | クリーンルーム用鋼管 |
| JPH05264000A (ja) * | 1991-11-14 | 1993-10-12 | L'air Liquide | 超高純度窒素の分配設備及びその使用方法 |
| WO1995011321A1 (fr) * | 1993-10-20 | 1995-04-27 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Acier inoxydable pour gaz haute purete |
| WO1995015406A1 (fr) * | 1993-11-30 | 1995-06-08 | Tadahiro Ohmi | Canalisation d'amenee de gaz ultra-pur et d'eau pure, systeme et equipement pour la mise en ×uvre du procede |
| US5944917A (en) * | 1996-05-29 | 1999-08-31 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Stainless steel for ozone added water and manufacturing method thereof |
| US6027792A (en) * | 1995-10-03 | 2000-02-22 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | Coating film excellent in resistance to halogen-containing gas corrosion and halogen-containing plasma corrosion, laminated structure coated with the same, and method for producing the same |
| JP2007277711A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-10-25 | Furukawa Battery Co Ltd:The | 給鉛管 |
| JP2011515571A (ja) * | 2007-12-18 | 2011-05-19 | ポスコ | 高真空及び高純度ガス配管用のオーステナイト系ステンレス鋼 |
| JP2016199782A (ja) * | 2015-04-08 | 2016-12-01 | 新日鐵住金株式会社 | オーステナイト系ステンレス鋼 |
-
1986
- 1986-12-25 JP JP30791786A patent/JPS63161145A/ja active Granted
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01316439A (ja) * | 1987-11-10 | 1989-12-21 | Nkk Corp | 極高真空機器用ステンレス鋼 |
| JPH0331451A (ja) * | 1989-06-29 | 1991-02-12 | Toshiro Yamashina | 極高真空機器用ステンレス鋼 |
| JPH0331452A (ja) * | 1989-06-29 | 1991-02-12 | Nkk Corp | クリーンルーム用鋼管 |
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| WO1995011321A1 (fr) * | 1993-10-20 | 1995-04-27 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Acier inoxydable pour gaz haute purete |
| US5830408A (en) * | 1993-10-20 | 1998-11-03 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Stainless steel for high-purity gases |
| WO1995015406A1 (fr) * | 1993-11-30 | 1995-06-08 | Tadahiro Ohmi | Canalisation d'amenee de gaz ultra-pur et d'eau pure, systeme et equipement pour la mise en ×uvre du procede |
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| JP2007277711A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-10-25 | Furukawa Battery Co Ltd:The | 給鉛管 |
| JP2011515571A (ja) * | 2007-12-18 | 2011-05-19 | ポスコ | 高真空及び高純度ガス配管用のオーステナイト系ステンレス鋼 |
| JP2016199782A (ja) * | 2015-04-08 | 2016-12-01 | 新日鐵住金株式会社 | オーステナイト系ステンレス鋼 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0577742B2 (ja) | 1993-10-27 |
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