JPS63151044A - ペレツトボンデイング用コレツト - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はペレットボンディングに用いるメンデイング装
置のペレット吸着コレットに関するものである。

〔従来の技術〕

ＩＣ、ＬＳ　Ｉ等の半導体装置の組立工程においては、
回路を組み込んだペレットをリードフレーム等のペレッ
ト取付面に固定する、所謂ペレットボンディング工程が
ある。このペレットメンディング工程では、ペレットに
損傷を与えることなく正常な向きを以ってペレットを所
定位置に正確に取り付ける必要がある。この為、従来ペ
レットボンディング用コレット（以後、コレットと略称
する）を用いて、ペレットの吸着、保持を行い、ペレッ
ト取付面に位置決めするようにしている。

以下、第５図に基き従来のコレットについて説明する。

第５図（ａ）において、フレット１１の長方形状の底面
１２には、水平方向に対し所定の角度（傾斜角）をなす
斜面１３を有する溝部１４が、長辺方向に沿って設けら
れている。またこの溝部１４の底部１５からは、ペレッ
ト吸着用の吸気孔１６が所定数穿たれている。

上記構造を有するコレット１１を用いる場合、第５図（
ｂ）に示す如くペレット１７は吸気孔１６を介して吸着
され、相対する２辺が上記２つの斜面１３と密接するこ
とにより保持される（％開昭５９−１８８１３０号公報
、％開昭５９−１８８１３４号公報、特開昭６０−７７
４３９号公報及び特開昭６０−９４８３９号公報参照）
。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、以上述べた従来のコレット１１において
は、溝部１４の両斜面１３とも単一の傾斜角を以って形
成されている為、ペレット吸着の際、第６図に示す如く
ペレット１７が傾いて吸着され易かった。

この為、ペレット１７のボンディング位置がずれたり、
またこの傾いた吸着状態によってペレットメンディング
時にペレット１７が破損したシ、更にペレット表面を画
像認識によってがンデイングするペレットボンダーでは
画像認識不良が生じボンディング装置が停止したり、異
常なボンディングを行うこととなり、この結果ボンディ
ング不良が多発し易いという問題があつ九。

従って１本発明は以上述べた傾いたペレット吸着状態に
起因して生ずる問題を解消し、高安定性のペレットボン
ディングを実現したペレットメンディジグ用コレットを
提供することを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明に係るベレットボンディング用コレットは、底面
の平行２辺に沿って、その内方から両サイド方向に緩勾
配の第１の斜面と急勾配の第２の斜面とを平行して有す
る溝部を形成すると共に、この第１及び第２の斜面で形
成する稜線間の距離をペレットの主面が収まる寸法に設
定したものである。

〔作用〕

本発明は、以上のように構成し九ので、吸気孔から空気
を吸い上げてペレットを吸着する場合、緩勾配の第１の
斜面と急勾配の第２の斜面とで形成する稜線間尺ペレッ
トの相対する２辺が密着し、これてよシ（レットは略水
平に且つ確実に保持される。

また一時的にペレットが傾いて密着されても、１辺は緩
勾配の第１の斜面に、また他の１辺は急勾配の第２の斜
面に接しているので保持状態が不安定となり両辺ともス
ライドし、この結果相対する２辺とも稜線位置に収まり
ペレットの吸着位置の補正が容易に行われる。

〔実施例〕

以下、第１図ないし第３図に基き本発明の一実施例を、
また第４図に基き他の実施例を詳細に説明する。なお、
第５図及び第６図との同一または相当個所には同一符号
を付しである。

第１図（ａ）は、本発明に係るペレットの相対する２辺
でペレットを保持する形式のコレットの要部断面図であ
る。

同図において、溝部１４の両斜面１３は、コレット１１
の中心に近い第１の斜面１３＆と、中心から離れた第２
の斜面１３ｂとに夫々分割されている。ここで、図示の
ように第１の斜面１３ａの傾斜角をａ１第２の斜面１３
ｂの傾斜角をｂとした場合、ａ（ｂとなるようにする。

また、第１及び第２の斜面１３ａ、１３ｂ間に形成され
る稜線１３ｃの間隔（図示のｃ）Ｆｉ、ペレットがコレ
ット１１に吸着される時のペレット主面の外寸幅と同で
あるか、または少し広いようにして構成する。

第１図（ｂ）は第１図（ａ）の底面図であり、溝部１４
の底部１５からはペレット吸着用の吸気孔１６が所定数
穿たれている。

次に第２図に基き、上記構成のコレット１１を用いた場
合のペレット吸着過程について説明する。

第２図（ａ）は、ペレット配列治具等のペレット台１８
上に配列されたペレット１７にコレット１１を接近させ
、吸気孔１６を介してペレット１７を吸引している様子
を示している。そして一旦吸着されると、第２図（ｂ）
の如く、ペレット１７は第１及び第２の斜面１３ａ、１
３ｂ間に形成される２本の稜線１３Ｃ１またはその近傍
にて相対する２辺が密接され、これにより十分保持され
る。

次いで第３図に基き、ペレット１７がコレット１１に傾
いて吸着され九場合の吸着位置の補正過程について説明
する。

まず第３図（ａ）に示すように、ペレット１７が傾いて
吸着されると１辺は緩勾配の第１の斜面１３ａに、また
他の１辺は急勾配の第２の斜面１３ｂに接している為、
保持状態が不安定となシ相対する２辺ともスライドして
ペレット１７は矢印人の方向に回転し、２辺とも容積？
ｆｌＡ　１３　ｃの位置に収まるようになる。この結果
、ペレット１７は吸着位置が補正され、第３図（ｂ）の
如く正常な状態で吸着されることとなる。

ここで他の実施例として、ペレット表面の画像認識によ
ｔ）−ａｅンデイングを行うペレットボンダーに使用さ
れるコレットについて説明する。

周知のように、ペレット１７をコレット１１に吸着した
後、ペレット表面の７４ターンを画像認識することによ
りボンディング位置を補正するようにすると、ぺＶット
取付面に対し位置と傾きを高積度に保つことができる。

この場合、ペレット吸着時にて、ペレット１７の表面が
コレット１１にマスクされることなく、一部露出してい
ることが必要とある。

これを実現する為に、本実施例では第４図に示す如くペ
レット１７の相対する密接用の２辺の長さより、コレッ
ト１１の稜線１３ｃの長さが短くなるように構成しな。

同図において、１７ａ、１７ｂはコレット１７の樅面露
出部である。

この実施例によるコレット１１をポンディング装置に装
着してペレットポンデイングヲ行った所、結果は非常に
良好で、傾き状態でのペレット吸着は十分回避され、こ
れによシペレット１７の傾きに起因する画像取り込み不
良を解消することができた。

〔発明の効果〕

以上、詳細に説明したように、本発明によればコレット
底面の溝部の斜面を、内方から両サイド方向に連続した
緩勾配の第１の斜面と急勾配の第２の斜面とで構成する
ようにしている。この為、ペレットを真空吸着する場合
、ペレットの相対する２辺は第１及び第２の斜面とで形
成する各稜線に密接し、これによりペレットを略水平に
且つ確実に保持できる。またペレットが傾いて保持され
ても、ペレット表面に対し無接触で容易く吸着位置を補
正できる。

従って、ペレットの保持性が向上され、ペレットボンデ
ィング時のペレットの損４Ｌ　ｚンテイング位置のずれ
、更に画像認識を用いるペレットボンダーでの画像認識
不良等を十分低減でき、ゲンデイング不良を抑制するこ
とができるという効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一笑施例の説明図、第２図はペレット
吸着過程の説明図、第３図はペレット吸着位置の補正過
程の説明図、第４図は本発明の他の実施例の説明図、第
５図は従来例の説明図、第６図は従来例の欠点の説明図
である。 １１・・・コレット、１２・・・底面、１３・・・斜面
、１３ａ・・・第１の斜面、１３ｂ・・・第２の斜面、
１３ｃ・・・稜線、１４・・・溝部、１５・・・底部、
１６・・・吸気孔、１７・・・ペレット。 １６；吸気Ｊし 本」ト１５Ｆｌの一実１乞伊１の言岨唱ｌ第１図 １３ｂ；第Ｚ／１乗制可！３Ｃ；殺恨に　　！？パレッ
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”Ｍ　ｌ１ｆｌ第２図 りりべ゛レット ベレットワし鴨イ立ｊ【の孝訂正ザ１１！ハ割ｔａｈ筺
〕第３図 −Ｎ１！　　に

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）ペレットの主面の相対する２辺を、底面に形成さ
   れた溝部の両斜面に密接させて上記ペレットを吸着保持
   する形式のペレットボンディング用コレットにおいて、 上記斜面を上記底面の内方から両サイドへ向けて緩勾配
   の第１の斜面と急勾配の第２の斜面とで平行に構成する
   と共に、この第１及び第２の斜面とで形成する稜線間の
   距離を上記ペレットの主面が収まる寸法に設定したこと
   を特徴とするペレットポンチインク用コレット。
2. （２）上記ペレットが密接する方向の外寸が、上記ペレ
   ットの相対する２辺の寸法を下回るよう構成したことを
   特徴とする特許請求の範囲第１項記載のペレットボンデ
   ィング用コレット。