JPS63149569A - 加速度計 - Google Patents

加速度計

Info

Publication number
JPS63149569A
JPS63149569A JP61296448A JP29644886A JPS63149569A JP S63149569 A JPS63149569 A JP S63149569A JP 61296448 A JP61296448 A JP 61296448A JP 29644886 A JP29644886 A JP 29644886A JP S63149569 A JPS63149569 A JP S63149569A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pendulum
coil
accelerometer
outer frame
sheet
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP61296448A
Other languages
English (en)
Inventor
Koichi Washisu
晃一 鷲巣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Priority to JP61296448A priority Critical patent/JPS63149569A/ja
Publication of JPS63149569A publication Critical patent/JPS63149569A/ja
Priority to US07/313,323 priority patent/US4869108A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/13Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position
    • G01P15/132Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position with electromagnetic counterbalancing means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Adjustment Of Camera Lenses (AREA)
  • Electromechanical Clocks (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の利用分野] 本発明は比較的低い周波数の振動を受ける機器の高精度
な振動検出に適したサーボ加速度計に関し、特には、カ
メラ等の機器に搭載されて、例えば手プレ振動を検出す
ることで像プレ防止を図るシステムに好適に利用できる
サーボ加速度計に関するものである。
[発明の背景] 既知のように、例えばIHzないしは1211zと低周
波数領域に分布しているカメラの振動のような非常に微
妙な振動を検出して像ブレの防止システムを構成させる
ような場合には、その検出を行なうために高精度な加速
度センサが必要であり、第3図はこのような目的に適し
た従来のサーボ加速度計の構造図を示している。
第3図において、101は外枠底部であり、この外枠底
部101とこれに一体固着される外枠蓋部105により
、剛性の小さい2枚の板状の支持バネ102の両端が支
持されていて、該支持バネ102によってコイル103
を取り付けた振り子104が揺動可能に吊り下げられて
いる。振り子104はそのバネ押え104a、104b
により上記支持バネ102を挾むことで該支持バネと一
体化される。なお支持バネ102の外枠による支持は、
上記外枠底部101及び外枠側部101aの振り子固定
部101c、101dと、外枠側部101aと蓋部10
5の振り子固定部101b、105aにその上端、下端
が挾まれることで外枠に固定されている。
上記コイル103.及び振り子104の上下には、これ
らと離隔されて蓋部105 としての磁気回路板と永久
磁石108a、106bが対向して配置されていて、磁
気回路板は上述の如く外枠の蓋体も兼ねている。永久磁
石106a、に06bは外枠101の底部に固定されて
いるtin気回路背板107上に取り付けられている。
また上記撮り子104の中央部には厚み方向に貫通した
スリット108が設けられており、このスリット108
の上方の磁気回路板を兼ねる外枠の蓋部105には赤外
発光ダイオード等の投光器109が配置され、スリット
108の下方の磁気回路背板107上にはPSD等(P
o5ition 5ensitiveDiode)の光
電式の変位測定器110が配置されている。115,1
16は振り子104の振れ幅を制限するためのストッパ
であり、この振れ幅制限手段であるストッパによって支
持バネ102に必要以上に大きなねじれ力が作用しない
ようにさせている。
以上の構成において、いま加速度aがS3図の外枠に対
し矢印で示すように働いたとすると、振り子104は相
対的に加速度aと反対の方向に傾き、この振れ角はスリ
ット108を介する投光器109からのビームの変位測
定器110上の位置により検出できる。
ところで、上記永久磁石106aからの6n束は永久磁
石106a−コイル103−磁気回路板(105)−コ
イル103→永久磁石106bに、他方永久磁石106
bからの磁束は永久磁石106b−磁気回路背板107
−永久磁石106aを通り全体として閉6n気回路を形
成しており、コイル103に対し垂直な方向の磁束を形
成するようになっている。そしてコイル103に制御電
流を流すことにより、フレミングの法則によって振り子
104を上記加速度aの振れ方向に沿って両側に動かす
ことが出来るように設けられている。
第4図は上記構成の加速度計に用いられる加速度検出回
路の構成−例を示したものであり、この回路は、上記変
位検出器110からの出力を増幅する変位検出増幅器i
llと、このフィードバック回路を安定な回路系とする
ための補償回路112と、上記変位検出増幅器111か
らの増幅された出力を更に電流増幅してコイル103に
通電するトランジスタ回路113 と、コイル103と
が直列的に接続されてなっている。そして本例において
は、上記コイル103に通電がなされた場合に外部加速
度aによる振り子の振れ方向とは反対方向に力が発生す
るように、コイル103の巻線方向及び永久磁石108
a、106bの極性が設定されている。
以上の構成のサーボ加速度計の作動原理を説明すると、
いま上記構成の加速度計に外部から加速度aが加わった
とすると、振り子104は慣性力により外枠に対して相
対的に反対方向に振れ、従って振り子104に設けられ
ているスリット108が第4図のし方向に移動する。こ
のために投光器109から変位検出器110に入射する
光束の中心が変位し、変位検出器+10からその変位量
に比例した出力が発生する。
その出力は、第4図の回路により上述の如くを変位検出
増幅器111で増幅し、更にトランジスタ回路113に
より電流増幅してコイル103に通電する。
以上のように、コイル103に制御電流の通電があると
振り子104には外部加速度aのし方向とは逆の方向で
あるR方向への力が発生し、変位検出器110に入射す
る光束が上記外部加速度aの加わらない時の初期位置に
戻るように、制御電流が調整して発生される。
なおこの際、コイル103を流れる制御電流の値は振り
子104に加わる力に比例しており、更に振り子104
に加わる力は振り子を原点に戻す力、つまり外部加速度
aの大きさに比例しているから、抵抗114を通して電
流を電圧■として読取ることにより、例えばカメラの像
プレ防止システム等に必要な制御情報としての加速度a
の大きさを求めることができる。
ところで、以上の構成をなすサーボ加速度計により、目
的とする加速度の検出を高精度に行なうことができるこ
とになるのであるか、反面において上記の加速度計はそ
の構造上の問題から組立て精度が厳しく求められ、組立
ての効率化が図ることが難しいという問題があった。
例えば第5図に示すように、コイル103と振り子10
4の取付は関係において、一般に該コイルはエナメル線
等による巻線として形成されるものであるために個々の
製品毎の寸法バラツキは比較的大ぎく、したがってこの
コイルか組付けられる振り子の組付は部(例えば嵌合圧
の凹部、開口等)は、上記バラツキによる寸法の最大の
ものも組付は可能であるように十分大きくして設けてお
くことが必要になる。しかしそうすることにより、小さ
めのものについては正確な姿勢で取付けることが難しく
なって、コイルが振り子に対し斜めに組付けされてしま
う結果となるのである。
そしてこのようなコイルの斜め取f」けか生ずれば、加
速度計による検出精度を損なう結果となる。
また、振り子104のコイル103に通電するための配
線は該振り子の振れ動作に支障することのないようして
設ける必要があって、このために上記従来構成の加速度
計にあっては、支持バネ102付近に設けた不図示のタ
ーミナルを介してコイルと上記第4図の回路との接続を
与える構成を採用するのが通常的となっているが、この
ような構成では、組立て作業も繁雑となり、またコイル
とターミナル間の配線あるいは接続部のハンダ等が大き
くなると、永久磁石106a、106b 、磁気回路板
としての蓋部105等との干渉を招く虞れがあるという
問題もあった。
更にまた上記構成の加速度計における別の問題として、
上述のストッパを用いて形成さえているように、振り子
の変位が必要以上に大きくならないように適当な振れ幅
制限手段を設けるのが通常であるが、上記第3図で示し
た例の如く外枠101にストッパ115,116を設け
る方式では、該ストッパを外枠部材に一体に形成させて
おくには該外枠が複雑な形状をなしていることからその
ような部品の製造に問題を招くことになり、また当該ス
トッパは磁界を乱さないように非磁性体を用いて形成す
ることが望まれるのであるが、外枠には磁気回路形成の
ために磁性体を用いるケースが多いことからすれば、こ
れらを外枠と一体の部品として形成させることか実質的
に難しい。したがって上記ストッパは結局のところ別部
品として準備しこれを外枠に取付けるという面倒な工程
を採用しなければならないという問題もあた。
[発明の目的] 本発明の目的は、上記した構造の加速度泪において、従
来時間のかかフていた組立て作業の短縮化を図り、また
作業の容易化の実現に有効な加速度計を提供するところ
にある。
また本発明の他の目的は、振り子運動に対してのコイル
の組付は姿勢の精度が十分高く得られる構造の加速度計
を提供するところにある。
さらにまた本発明の別の目的は、振り子の振れ動作制限
を与えるための構造をできるだけ簡素化して、部品点数
の削減、低コスト化の実現に優れた高精度な加速度計を
提供せんとするところにある。
[発明の概要] 而して上記した目的を実現するためになされた本発明よ
りなる加速度計の特徴は、コイルを有する振り子と、該
振り子を磁界中で振り子運動可能に支持する振り子支持
手段と、上記コイルに電気的に接続されていて、振り子
の振り子運動を検出しながらその振り子運動を抑制する
ように該コイルに制御電流を流す制御回路とを備え、該
制御電流の値を上記振り子に作用した加速度の情報とす
るようにした加速度計において、上記コイルは振り子を
構成するシート部材に予めプリントして形成させたとい
う構造をなすところにある。
上記構成において、振り子とコイルの一体化したシート
は、例えばポリエステル、ポリイミド等の材料を用いて
打ち抜き等の手法により形成させることができ、該シー
ト部材は平面状の形態を維持するに十分な剛性を有する
ものとして設けられる。このようなシート部材にコイル
を予めプリント形成させておくには、例えば既知の写真
的手法を用いてシート部材の表面にコイル状の銅線をメ
ッキするなどの方法を採用することができる。
[発明の実施例] 以下本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明す
る。
第1図(a)は、本発明により形成された加速度計の振
り子構成概要−例を示したりのであり、上記第3図に示
した加速度計の振り子に代えて使用されるものである。
この図は本例の振り子を示し、中央開口4eを有する概
ね矩形状に裁断して形成された振り千木体部4の表面及
び裏面にコイル部3がプリントされて一体化されてなり
ている。
そして本例の該シート状の振り子の揺動先端部には、外
部加速度を受けて慣性揺動をするための重り4a、4b
が一対の位置決めピン4c、4cによりカシメ固定され
ていると共に、スリット8を有するスリット用シート8
aも該位置決めピン4c、4cによって同時にカシメ固
定されてなっている。このような構成により、スリット
8のシート状の振り千木体部4に対する位置関係は予め
正確な位置精度を確保して与えることが可能となる。
上記したシート状の振り千木体部4の中央間口4e、及
びスリット8を通して第3図における投光器9からの光
が変位検出器110に届くのは、上記第3図の例の場合
と同じである。
次にかかる構成の振り子の支持バネ2との組付き関係に
つき説明する。この支持バネ2は上記第3図で示した支
持バネ102と同じものである。
本例の振り子は、第1図(b)に示したように外枠(図
示せず)に固定支持されて垂直方向に延設されている支
持バネ2に対し、挾持ブラケット16がそのバネ挾持部
16a、16bにより挾持する形式で固定されると共に
、この挟持ブラケット16のバネ挾持部16aj6 b
とは略直fZ+をな才1辰り子支持部16cに切欠き1
6dを設けて、該切欠に’16dが上記シート状振り千
木体部4の揺動根元部に設けられた切欠き4a部分に組
合いされて、接着剤により接着固定されることで形成さ
れてなっている。
また本例の振り子においては、振り千木体部4の揺動根
元部付近にまで至るようにコイル部3の引出し線4f、
43がプリントされている。
すなわち上記振り千木体部4の表面と裏面にプリントさ
れたコイル部は、中央間口4eを通し一連に結線されて
いて、かつその表面側のコイル部の最外周に位置するコ
イルの端部は上記引出し線4fに連なり、また裏面側の
コイル部の最外周に位置するコイル部の端部は公知のス
ルーホール技術により上記引出し線4gに連なるように
結線されている。
以上によって形成されている本例の振り子は、振り千木
体部4を挟持ブラケット16によって支持バネ16に固
定させることかでき、しかも従来のようなコイル部と外
部電気回路への結線のためのターミナルを用いることな
く、上記コイル部からの引出し線4f、4gを利用して
外部電気回路との結線を簡易に行なうことができるとい
う効果が得られる利点がある。また振り千木体部にコイ
ル部及びスリットを予め精度よく位置決めして形成させ
ておくことかできるため、加速度計組立て後の検出加速
度の方向と、振り子の揺動方向を高精度に一致させるこ
とにも効果があるという利点が得られる。
なお、上記した本例においては、振り千木体部4にその
揺動方向両側の縁部に突起17a、17bを形成させて
あり、この突起+7a、17bによって外枠との間で揺
動限界を定めるようにしておくことで、従来の例におい
”C説明した外枠へのストッパ115,116を省略で
きるという効果も得られている。
第2図は本発明の他の実施例を示したものであり、この
例においては、振り千木体部4′にスリット形成用の部
材を固定させることに代えて、該振り千木体部に中央開
口を形成させることなくスリット8′を直接形成させて
いると共に、振り千木体部4の揺動先端部に固定する重
りをビス18.19を用いて構成させたーという特徴を
有している。
このような構成によれば、上記第1図の例に比べてその
組立て作業性の簡易化、部品点数の削減が一層図られる
という効果が得られる。
[発明の効果] 以上述べたように、本発明よりなる加速度計は、振り子
とコイルを一体にプリントとしたシートとして用いるこ
とにより、従来時間のかかっていた組立て作業を短縮化
させると共に、作業の容易化を実現させ、更に振り子運
動に対してのコイルの組付は姿勢の精度か十分高く得ろ
れる効果がある。
また上記シートに振り子の振れ幅制限用の耳を設けてお
くことにより、従来外枠に形成させていたストッパを廃
止することを可能となし、部品点数の削減、低コスト化
の実現に(里ワた効果を有するという特徴がある。
【図面の簡単な説明】
第1図(a) 、 (b)は本発明よりなる加速度計の
振り子の構造−例を示した図、第2図は本発明よりなる
他の実施例の振り子の単品を示した図である。 図面第3図は本発明が適用される加速度計の従来構成の
一例を展開図で示した図、第4図はサーボ加速度計の回
路の一例を示した図で、第5図は従来の振り子部分の構
成を部品を展開して示した図である。 2.102:支持バネ  3:コイル部4.4′:シー
ト状の振り千木体部 4a、 4b:重り 4c:位置決めピン 4d:切欠き     4e:中央間口4f、4g:引
出し線 8.8′:、スリット 8aミニスリット材17a、1
7b:突起 18.19: (重り用の)ビス 101;外枠底部   101a :外枠側部101b
、101c、101d:振り子固定部104:振り子 
    104a、104b:バネ押え104c :振
り子コイル組込み部 105:蓋部      105a :振り子固定部1
06a、106b:永久6n石 107:1iii気回路背板  108・スリット10
9: :投光器    11O:変位検出器111:変
位検出増幅器 112・補償回路113・トランジスタ
回路 114:抵抗       115.l16+ストツパ
、。) 第1図 (b) C 第2図 第43

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. コイルを担持する振り子と、該振り子を磁界中で振り子
    運動可能に支持する振り子支持手段と、上記コイルに電
    気的に接続されていて、振り子の振り子運動を検出しな
    がらその振り子運動を抑制するように該コイルに制御電
    流を流す制御回路とを備え、該制御電流の値を上記振り
    子に作用した加速度の情報に利用するようにした加速度
    計において、上記コイルは振り子を構成するシート部材
    上に予めプリントして形成されていることを特徴とする
    加速度計。
JP61296448A 1986-12-12 1986-12-12 加速度計 Pending JPS63149569A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61296448A JPS63149569A (ja) 1986-12-12 1986-12-12 加速度計
US07/313,323 US4869108A (en) 1986-12-12 1989-02-21 Accelerometer system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP61296448A JPS63149569A (ja) 1986-12-12 1986-12-12 加速度計

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS63149569A true JPS63149569A (ja) 1988-06-22

Family

ID=17833675

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP61296448A Pending JPS63149569A (ja) 1986-12-12 1986-12-12 加速度計

Country Status (2)

Country Link
US (1) US4869108A (ja)
JP (1) JPS63149569A (ja)

Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0566452A (ja) * 1991-09-10 1993-03-19 Canon Inc 防振機能付カメラ
US5774266A (en) * 1992-04-06 1998-06-30 Canon Kabushiki Kaisha Image stabilizing device
JP3170522B2 (ja) * 1992-06-30 2001-05-28 キヤノン株式会社 像ぶれ補正装置
US6047133A (en) * 1993-03-26 2000-04-04 Canon Kabushiki Kaisha Image blur prevention apparatus
DE69529793T2 (de) * 1994-10-11 2003-10-23 Fujikura Ltd Servo-Beschleunigungsmessaufnehmer
US6035131A (en) * 1995-07-21 2000-03-07 Canon Kabushiki Kaisha Image blur prevention apparatus and a contact portion for contacting fixed portions of a movable optical member for an image blur prevention apparatus which prevents image blur by moving the movable optical member
US5835799A (en) * 1996-07-10 1998-11-10 Canon Kabushiki Kaisha Image blur prevention apparatus
US5974269A (en) * 1996-11-07 1999-10-26 Canon Kabushiki Kaisha Image blur preventing apparatus
US6704501B1 (en) 1997-02-18 2004-03-09 Canon Kabushiki Kaisha Image blur prevention apparatus
US6738198B2 (en) 1998-01-29 2004-05-18 Canon Kabushiki Kaisha Optical-element holding mechanism, image-shake correcting device and optical apparatus
US6263161B1 (en) 1998-08-31 2001-07-17 Canon Kabushiki Kaisha Image blur prevention apparatus
US6272289B1 (en) 1998-09-14 2001-08-07 Canon Kabushiki Kaisha Camera
US6393215B1 (en) 1998-12-24 2002-05-21 Canon Kabushiki Kaisha Control apparatus for image blur correction
CN101208630B (zh) * 2005-06-27 2011-12-14 松下电器产业株式会社 可互换镜头、照相机主体、照相机系统及其控制方法
JP4789614B2 (ja) 2005-12-26 2011-10-12 キヤノン株式会社 防振制御装置およびその制御方法
JP5500957B2 (ja) * 2009-11-26 2014-05-21 キヤノン株式会社 磁気式力覚センサ

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4315433A (en) * 1980-03-19 1982-02-16 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Polymer film accelerometer
JPS5890174A (ja) * 1981-11-25 1983-05-28 Tokyo Keiki Co Ltd 加速度計
FR2560997B1 (fr) * 1984-03-06 1987-06-05 Sfena Capteur accelerometrique a structure pendulaire plane

Also Published As

Publication number Publication date
US4869108A (en) 1989-09-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS63149569A (ja) 加速度計
US9810918B2 (en) Resonance prevention method in optical unit with shake correction function and optical unit with shake correction function
US20100091120A1 (en) Optical unit with shake correcting function
US4996545A (en) Apparatus for correcting blurred image of camera using angular acceleration sensor and angular acceleration sensor
JP2010156814A (ja) 振れ補正機能付き光学ユニット、および振れ補正機能付き光学ユニットの製造方法
US5495762A (en) Pendulum acceleration sensor
JP2687242B2 (ja) サーボ加速度計
JP3588941B2 (ja) 電子天びん
JP3316584B2 (ja) 加速度計
JPS605902B2 (ja) 角加速度の変化率を感知する装置
JPH011918A (ja) サ−ボ角加速度計
JP3818399B2 (ja) 超小型加速度センサ
JPH04363669A (ja) 加速度センサ
JPS5890174A (ja) 加速度計
JP2000035549A (ja) 光学的走査装置
JP2549408Y2 (ja) サーボ加速度計
JPH1151968A (ja) 振動センサ
JP3429054B2 (ja) 振り子式加速度センサ
CN210742589U (zh) 光学部件驱动装置、照相机装置以及电子设备
JPH02183217A (ja) レンズ鏡筒
JPH08170970A (ja) サーボ式加速度計及びサーボ式加速度計に用いる振子の製造取付け方法
JP2579615Y2 (ja) 板ばねの保持構造
JPS63117267A (ja) 加速度計
JPH08226933A (ja) サーボ式加速度計
JPS6217164B2 (ja)