JPS6217164B2 - - Google Patents

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JPS6217164B2
JPS6217164B2 JP18892381A JP18892381A JPS6217164B2 JP S6217164 B2 JPS6217164 B2 JP S6217164B2 JP 18892381 A JP18892381 A JP 18892381A JP 18892381 A JP18892381 A JP 18892381A JP S6217164 B2 JPS6217164 B2 JP S6217164B2
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JP
Japan
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light
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receiving elements
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Application number
JP18892381A
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English (en)
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JPS5890111A (ja
Inventor
Shigeru Nakamura
Takeshi Hojo
Michio Fukano
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Tokyo Keiki Inc
Original Assignee
Tokyo Keiki Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPS5890111A publication Critical patent/JPS5890111A/ja
Publication of JPS6217164B2 publication Critical patent/JPS6217164B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は発光素子と受光素子とを用いる偏位検
出装置、特に小型、高精度の加速度計用の偏位検
出装置に関する。
従来、小型、高精度の加速度計用の偏位検出装
置は、偏位を静電容量の変化として検出する形式
のものが多く用いられてきたが、この形式の偏位
検出装置は、励磁用の発振器等が必要であり、電
気回路が複雑になるという欠点を有している。
一方、光電素子を用いた従来の偏位検出装置
は、発光素子及び受光素子を対向して配置する透
過型、受光素子及び受光素子を反射板に対し、同
一側に配置する反射型が在るが、共に、発光素子
1個、受光素子1個の構成であるので、これは発
光量の変化によつて零点が変動するという欠点を
有する。又、透過型の偏位検出装置において受光
素子を2個とし、その差動出力を検出することに
より上記零点が変動するという欠点を除去した偏
位検出装置もあるが、これは、零点調整がむづか
しいという欠点を有している。
従つて、本発明の主目的は、受光素子を2個発
光素子を1個用いた透過型の構成に於て、単純な
構造により零点調整が容易にできる偏位検出装置
を提供するにある。
本発明の要旨とするところは、基台と移動体と
の相対的偏位を電気的に検出すべく上記基台に取
付けた発光素子、受光素子および上記移動体にと
りつけた遮光部を有する偏位検出装置において、
上記基台の上記遮光部と対向する位置に上記移動
体の可動方向と直角方向に開孔部が設けられると
共に、その軸と平行且つ偏心した位置に設けられ
た発光素子を固定するための開孔を有し、上記基
台に設けた開孔部に挿入固定される円柱状ランプ
ホルダーとよりなり、該円柱状ランプホルダーを
前記基台に設けた上記開孔部内に挿入し、これを
回転させることにより偏位検出装置のゼロ調整を
行うようになした偏位検出装置にある。
更に、本発明の要旨は、基台と移動体との相対
的偏位を電気的に検出すべく上記基台に取付けた
1個の発光素子、2個の受光素子および上記移動
体にとりつけた遮光部を有する偏位検出装置にお
いて、上記基台の上記遮光部と対向する位置に上
記移動体の可動方向と直角方向に開孔部が設けら
れると共に、その軸と平行かつ上記移動体の可動
方向に沿つて互に離れた位置に上記2個の受光素
子用の開孔を有し、上記基台に設けた開孔部に挿
入固定される円柱状受光素子用ホルダーとよりな
り、該円柱状受光素子ホルダーを上記基台に設け
た開孔部内に挿入し、これを回転させることによ
り偏位検出装置のゲイン調整を行うようになした
偏位検出装置に在る。
以下、図面を参照して、本発明の偏位検出装置
の一例を加速度計に適用した場合を例に挙げ説明
しよう。
第1図は、本発明の一例が適用された加速度計
の断面図、第2図はその一部を断面とする正面図
である。この例では、加速度を検出する移動体と
しての棒状の振子1の一端は薄肉部、即ち可撓部
2を有するヒンジ3の一端により支持されてい
る。この振子1は、ヒンジ3の薄肉部2を支点と
して、第1図の紙面と平行なX―X′方向のみに
回動できる。ヒンジ3の他端は、第1の基台、即
ちフレーム4のヒンジ取付台部5に、ヒンジ押え
板6により取付けられている。又、振子1には、
2個の円筒状のトルカ―コイル7,7′がX―
X′方向に沿つて取付けられている。円板状の永
久磁石8及び円筒状のポールピース9が、トルカ
―コイル7′に接触することなくその内部に挿入
されるように第1のフレーム4に接着により取付
けられている。この第1のフレーム4は、電磁軟
鉄で成形されているため、永久磁石8により、ポ
ールピース9との間で、磁気回路を構成し、ヨー
ク(リターンパス)の役目をすると同時にトルカ
―コイル7′と共に振子1を駆動する一方のトル
カを構成する。第1のフレーム4は、開孔10及
び11を有し、そこに、本発明の主要部で振子1
の偏位を検出する2個の受光素子12及び12′
と、発光素子13とからなる偏位検出装置がとり
つけられる。
第2の基台、即ちフレーム14は、第1のフレ
ーム4と同じ電磁軟鉄で成形され、それに固定さ
れた永久磁石15及びこれに固着したポールピー
ス16との間で、磁気回路を構成し、ヨークに供
する。ここで、磁石15及びポールピース16
は、トルカ―コイル7に接触することなくその内
部に挿入され、第2のフレーム14に接着されて
いる。
又、第1のフレーム4に設けた嵌合部17に、
第2のフレーム14に設けた嵌合部18を挿入
し、両者を一体化する。
第1のフレーム4及び第2のフレーム14に
は、振子1の動作範囲を制限するストツパ19及
び20が設けられており、これ等をネジ等により
回転し、それぞれの制限範囲を自由に調整するこ
とが可能である。
上述した構成部品は、すでに加速度計としての
機能を備えており、これらを、ケース21に、複
数のネジ22等で固定し、ケース21と一体化す
ると共に、特性名板兼蓋23をケース21に接着
し、ケース21内を気密保持できるようにする。
偏位検出器を構成する受光素子12,12′等
よりの電気信号や、トルカ―コイル7,7′にフ
イードバツク電流を供給するためのリード線(図
示せず)用の外部端子24を、端子ケース25に
それぞれ気密構造に接着すると共に、それ等の一
端がケース21の内部に在る如く、端子ケース2
5をケース21に気密に接着する。
端子ケース25の中央の開口部26を介して、
装置の内部の電気系の結線等を行い、ケース21
の内部を真空又は不活性気体(例えばヘリウムガ
ス)等を充填しながら、蓋27を開口部26に接
着し、ケース21の内部を気密状態に保持し、部
品の劣化等を防止し、長期間に亘り性能を安定に
保持する。
上述の構成による加速度計において、ケース2
1の中心軸X―X′軸方向に加速度が作用する
と、振子1は、ヒンジ3の薄肉部2を支点として
微少偏位し、発光素子13よりの光が振子1で一
部遮光され、偏位検出器の受光素子12及び1
2′に入射する光が変化するので、これ等より偏
位に対応した電気信号が得られる。この偏位に比
例した電気信号をトルカ―コイル7,7′にフイ
ードバツクし、これにより、振子1を、受光素子
12及び12′の電気信号が零になるよう拘束す
る。この電気信号、即ち拘束電流は、加速度に比
例しているため、この電流を計測することによ
り、入力加速度を知ることができるものである。
第3図は本発明の偏位検出装置の一例の主要部
を示す斜視図で、これを参照して本発明の一例を
詳細に説明する。
発光素子13は、円柱状のランプホルダー28
の開孔28―1に挿入、固定され、ランプホルダ
ー28は、第1図及び第2図に示した第1のフレ
ーム4に設けた開孔10に挿入固定される。ラン
プホルダー28の中心軸線をR―Rで示す。一
方、発光素子13を挿入する開孔28―1の中心
軸線又は発光素子21の光軸S―Sはランプホル
ダー28の軸線R―Rに対して、平行、且つこの
例では上方にεだけ偏心して設けてある。従つ
て、発光素子13と一体化されたランプホルダー
28を、そのスリ割28―2を利用して、軸線R
―Rを中心に回転させることにより、発光素子1
3の光軸S―Sを、同図X―X′方向即ち振子1
の軸線に対して直角な振子1の振動方向に、微小
量移動させることが可能となる。
一方、2個の受光素子12及び12′は、円柱
状のホルダー29にX―X′方向に離間して設け
た開孔29―1及び29―2の中に夫々挿入固定
された後、ホルダー29を第1のフレーム4の開
孔11に挿入固定する。従つて、遮光部として機
能する振子1の遊端部を介して、発光及び受光素
子13及び12,12′が対向する。
発光及び受光素子13及び12,12′と振子
1との関係を示す第4図の如く、振子1の中心
O1が、発光素子13の光軸と受光素子12,1
2′の光軸の中央を結ぶ中心線O―O′に一致した
位置にある場合、発光素子13から出た光束B
は、遮光部として作用する両者間の振子1の遊端
部により分割され、2個の受光素子12,12′
の受光面の全面より少くないが略半分の面に等し
く照射され、受光素子12,12′より導出した
差動出力端子A,A′に現われる電圧は、ゼロで
ある。即ち、第4図に示す状態は、振子1の零位
置である。
然し乍ら、振子1が第4図の位置より、同図に
おいて、例えば加速度が作用し、X方向に偏位し
た場合、受光素子12′に当る光量が、受光素子
12に当る光量よりも多くなり、差動出力端子
A,A′間には、振子1の偏位に対応した電圧が
発生する。
ところで、通常、振子1の零位置は、上述のよ
うに発光素子13及び受光素子12,12′の中
心線O―O′上にあるとは限らず、又、受光素子
12,12′の特性のバラツキ等により振子1に
加速度が加わらない状態でも、出力端子A,
A′間には、出力電圧が生じてしまうので、装置
の調整段階において、これをゼロに調整すること
が重要な要素となる。
本発明においては、ランプホルダー28を、上
述の如く、微小角回転し得るようになしたことに
より、即ち、第5図に示す如く、ランプホルダー
28を軸線R―Rを中心に矢印a方向に回動し、
その発光素子13を振子1の零位置に応じて左右
に移動させて、偏位検出装置の零位置調整を実施
することが可能である。
即ち、本発明の特徴の第1は、上述の如く円柱
状のランプホルダー28に発光素子13を偏心し
て取付けるという単純な構造とランプホルダー2
8をその中心軸線R―Rを中心に回動するという
簡単な手順とにより、従来に於て熟練と時間とを
要する偏位検出装置の零位置調整を、簡単、且つ
短時間に行い得るようになしたことに在る。
本発明の特徴の第2は、ランプホルダー28の
外径と偏心量εとを適当に選定することにより、
装置の精度や素子の特性に応じて自由に調整感度
を選定することができるようになした点にある。
本発明の特徴の第3は、2個の受光素子12,
12′も円柱状ホルダー29に取付け、第1のフ
レーム4の開孔11に挿入固定するようになした
ことにより、上記円柱状ホルダー29を、例えば
第3図に示すスリ割29―3を利用して回転させ
ることにより、偏位検出装置のゲインを調整でき
る点にある。
通常この種の加速度計においては、小型化IC
化した帰還増巾器を一体化して組み込むことが行
われ、且つそのループゲインを最適化する為の可
変抵抗器を必要とするが、本発明の構造によれ
ば、信頼性の低い可変抵抗器の使用を必要とせ
ず、この為、一層の小型化、高信頼度化を達成す
ることが可能となる。
尚、上述は、本発明を加速度計に適用した場合
を例に挙げ、説明したが、本発明は加速度計への
適用に限定する必要はなく、例えば回転体の零又
は基準位置検出装置、帰還機能を持たない廉価な
機器の如き零調整を必要とするものに適用して効
果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の偏位検出装置の一例を適用し
た加速度計の断面図、第2図はその一部を断面と
する正面図、第3図は第1及び第2図に示した本
発明の偏位検出装置の拡大斜視図、第4図及び第
5図はその動作説明用の略線図である。 図に於て、1は移動体又は振子、2はヒンジ、
3は薄肉部、4及び14はフレーム、7及び7′
はトルカ―コイル、12及び12′は受光素子、
13は発光素子、19及び20はストツパ、28
及び29はホルダー、28―1,29―1及び2
9―2は開孔、Bは光束を夫々示す。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 基台と移動体との相対的偏位を電気的に検出
    すべく上記基台に取付けた1個の発光素子および
    上記移動体にとりつけた遮光部を介して上記1個
    の発光素子に対向する如く上記移動体の可動方向
    に互に離間して上記基台に取付けた2個の受光素
    子を有する偏位検出装置において、上記基台の上
    記遮光部と対向する位置に上記移動体の可動方向
    と直角方向に開孔部が設けられると共に、該開孔
    部内に回動自在に挿入される上記1個の発光素子
    が挿入固定される開孔を有する円柱状ランプホル
    ダーとを有し、上記開孔の中心軸を上記円柱状ラ
    ンプホルダーの中心軸に関し、上記2個の受光素
    子の配列方向に直角な方向に偏位せしめてなる偏
    位検出装置。 2 基台と移動体との相対的偏位を電気的に検出
    すべく上記基台に取付けた1個の発光素子、2個
    の受光素子および上記移動体にとりつけた遮光部
    を有する偏位検出装置において、上記基台の上記
    遮光部と対向する位置に上記移動体の可動方向と
    直角方向に開孔部が設けられると共に、該開孔部
    内へ回転自在に挿入される円柱状受光素子用ホル
    ダーとを有し、該円柱状受光素子用ホルダーにそ
    の中心軸と平行かつ上記移動体の可動方向に沿つ
    て互に離れた位置に夫々上記2個の受光素子用の
    2個の開孔を設け、上記円柱状受光素子用ホルダ
    ーを上記基台に設けた開孔部内に回転可能に挿入
    せしめてなる偏位検出装置。
JP18892381A 1981-11-25 1981-11-25 偏位検出装置 Granted JPS5890111A (ja)

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JPS6231223A (ja) * 1985-08-02 1987-02-10 Fanuc Ltd 光学式エンコ−ダ
JPS63167276A (ja) * 1986-12-27 1988-07-11 Jeco Co Ltd サ−ボ型加速度計
JPH01141359A (ja) * 1987-11-27 1989-06-02 Agency Of Ind Science & Technol 光学式偏位検出装置

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JPS5890111A (ja) 1983-05-28

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