JPS63167276A - サ−ボ型加速度計 - Google Patents
サ−ボ型加速度計Info
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- JPS63167276A JPS63167276A JP61313583A JP31358386A JPS63167276A JP S63167276 A JPS63167276 A JP S63167276A JP 61313583 A JP61313583 A JP 61313583A JP 31358386 A JP31358386 A JP 31358386A JP S63167276 A JPS63167276 A JP S63167276A
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 26
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims abstract description 17
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000003302 ferromagnetic material Substances 0.000 description 3
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 101150067539 AMBP gene Proteins 0.000 description 1
- 235000018185 Betula X alpestris Nutrition 0.000 description 1
- 235000018212 Betula X uliginosa Nutrition 0.000 description 1
- 206010029216 Nervousness Diseases 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/13—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position
- G01P15/132—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position with electromagnetic counterbalancing means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はサーボ型加速度計に係り、加速度に応じた検出
信号をトルカ・コイルに流して振子のザーボを行なうサ
ーボ型加速度計に関する。
信号をトルカ・コイルに流して振子のザーボを行なうサ
ーボ型加速度計に関する。
従来の技術
従来より、特開昭５８−９０１１１号公報に記載の如く
、加速度に比例した振子の回動−位を検出し、その検出
電流をトルカ・コイルに流して成子を元の位首に戻し、
このときトルカ・コイルに流れる電流から加速度を求め
るサーボ型加速度計がある。
、加速度に比例した振子の回動−位を検出し、その検出
電流をトルカ・コイルに流して成子を元の位首に戻し、
このときトルカ・コイルに流れる電流から加速度を求め
るサーボ型加速度計がある。
発明が解決しようとする問題点
上記公報記載の従来のサーボ型加速度計は、−位検出装
置に夫々独立した２個の受光素子を使用している。この
Ｉごめ、２個の受光Ａ子犬々の受光感度、暗電流等の諸
特性の個体差が大きく、製造時に偏位検出装置の細かな
調整作業が必要である。
置に夫々独立した２個の受光素子を使用している。この
Ｉごめ、２個の受光Ａ子犬々の受光感度、暗電流等の諸
特性の個体差が大きく、製造時に偏位検出装置の細かな
調整作業が必要である。
また調整の結果、偏位検出装置全体のバランスが悪化し
、加速度検出特性が悪化する。また、受光素子（ま各個
体で温度変化に対する諸特性のバラツキがあるため、温
度変化に対して安定した加速度の検出特性が得られなと
いう問題点があった。
、加速度検出特性が悪化する。また、受光素子（ま各個
体で温度変化に対する諸特性のバラツキがあるため、温
度変化に対して安定した加速度の検出特性が得られなと
いう問題点があった。
また、従来の４ノ一ボ型加速度計のトルク発生装置つま
りトルカは円柱上のポールピースと、このポールピース
が挿通されるトルカコイルを有しており、小型化特に薄
型化が困難である。更に振子のバランスを取るために２
組のトルカが必要とされ、組立調整が困難であり、結果
として高価なものとなるという問題点があった。
りトルカは円柱上のポールピースと、このポールピース
が挿通されるトルカコイルを有しており、小型化特に薄
型化が困難である。更に振子のバランスを取るために２
組のトルカが必要とされ、組立調整が困難であり、結果
として高価なものとなるという問題点があった。
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、調整が
簡単で湿度変化に対して安定した検出特性のり−ボ型加
速度計を提供することを目的とする。
簡単で湿度変化に対して安定した検出特性のり−ボ型加
速度計を提供することを目的とする。
問題点を解決するだめの手段
本発明において、偏位検出装置は、−素子上に複数の受
光部が分割形成された受光素子と、受光素子にｍ開封面
して設けられた発光素子と、振子に取付けられて受光素
子と発光素子との間に配設され、発光素子より受光素子
への光を遮光又は透光する光路規制部材と、受光素子の
複数の受光部で得られた信号を比較して検出信号を生成
づる回路とにＪ二り構成されている。
光部が分割形成された受光素子と、受光素子にｍ開封面
して設けられた発光素子と、振子に取付けられて受光素
子と発光素子との間に配設され、発光素子より受光素子
への光を遮光又は透光する光路規制部材と、受光素子の
複数の受光部で得られた信号を比較して検出信号を生成
づる回路とにＪ二り構成されている。
作用
本発明にａ３いては、−索子上に複数の受光部が分割形
成されているので、複数の受光部の受光感度、Ｏｎ電流
等の諸特性にほとんど差がなく、かつこれらの諸特性の
温度変化に対するバラツーＶがない。
成されているので、複数の受光部の受光感度、Ｏｎ電流
等の諸特性にほとんど差がなく、かつこれらの諸特性の
温度変化に対するバラツーＶがない。
実施例
第１図（Ａ＞、（Ｂ）、（Ｃ）は本弁明のサーボ型加速
度計の一実施例の一部除去平面図、底面図、断面図人々
を示Ｊ。
度計の一実施例の一部除去平面図、底面図、断面図人々
を示Ｊ。
第１図（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）においｒ、ｉ。
は振子である。この嵌子１０に固定された回動軸１１は
フレーム１２．１３夫々の軸受１４，１５夫々に回動自
在に支持されている。振子１０の］・部には光路規制部
材としての遮光ビン１６が固定されており、振子１０は
遮光ビン１６がフレーム１２に固定されたストッパ１７
．１８夫々に当接する範囲で回動を規制されている。
フレーム１２．１３夫々の軸受１４，１５夫々に回動自
在に支持されている。振子１０の］・部には光路規制部
材としての遮光ビン１６が固定されており、振子１０は
遮光ビン１６がフレーム１２に固定されたストッパ１７
．１８夫々に当接する範囲で回動を規制されている。
フレーム１２と１３とは支柱（図示せず）により互いに
固定されており、フレーム１２には受光素子２０が固定
され、フレーム１３には上記受光素子２０と対向して発
光素子２１が固定されている。この受光素子２０と発光
素子２１との間に遮光ビン１６が配設されている。受光
Ｊ１２０は受光部２０ａと２０ｂとに二分割されている
。振子１０が静止した状態で遮光ビン１６は上記受光部
２０ａ、２０ｂの境界線上に位置するようバランスを取
って振子１０にリンク状のトルカ・コイルが固定されて
いる。
固定されており、フレーム１２には受光素子２０が固定
され、フレーム１３には上記受光素子２０と対向して発
光素子２１が固定されている。この受光素子２０と発光
素子２１との間に遮光ビン１６が配設されている。受光
Ｊ１２０は受光部２０ａと２０ｂとに二分割されている
。振子１０が静止した状態で遮光ビン１６は上記受光部
２０ａ、２０ｂの境界線上に位置するようバランスを取
って振子１０にリンク状のトルカ・コイルが固定されて
いる。
強磁性体であるフレーム１２上には永久磁石２２．２３
夫々がＳ極を当接さゼて固定されている。永久磁石２２
．２３夫々のＮ極には強磁性体を板状に形成したヨーク
２４が架設固定されている。このヨーク２４は振子１０
に固定されたリング状のトルカ・コイル２５の中心孔を
非接触状態で挿通しており、永久磁石２２．２３間では
磁力線がヨーク２４よりフレーム１２に向かう。上記の
永久磁石２２．２３、フレーム１２、ヨーク２４よりな
る磁気回路とトルカ・コイル２５とにＪ、リトルり発’
、Ｉ Ｋ Ｅ即ちトルカが構成されている。
夫々がＳ極を当接さゼて固定されている。永久磁石２２
．２３夫々のＮ極には強磁性体を板状に形成したヨーク
２４が架設固定されている。このヨーク２４は振子１０
に固定されたリング状のトルカ・コイル２５の中心孔を
非接触状態で挿通しており、永久磁石２２．２３間では
磁力線がヨーク２４よりフレーム１２に向かう。上記の
永久磁石２２．２３、フレーム１２、ヨーク２４よりな
る磁気回路とトルカ・コイル２５とにＪ、リトルり発’
、Ｉ Ｋ Ｅ即ちトルカが構成されている。
次に第２図を用いて説明するに、発光素子２１は電源端
子３０．３１間に抵抗Ｒ１を介して接続されて発光づ”
る。受光素子２０の受光部２０ａ。
子３０．３１間に抵抗Ｒ１を介して接続されて発光づ”
る。受光素子２０の受光部２０ａ。
２０ｂ大々は上記発光素子２１よりの光を光電変換し、
受光部２０ａ、２０ｂ失々の出力電圧ｔよ抵抗Ｒ２，Ｒ
３と共に差動増幅器を構成する演算増幅蔦（以下［オペ
アンプ１という）３２で差〃Ｊ増幅されることにより比
較され、ここで検出信号が生成される。上記の遮光ビン
１６．受光素子２嬬発光素子２１、オペアンプ３２で偏
位検出装置が構成されている。
受光部２０ａ、２０ｂ失々の出力電圧ｔよ抵抗Ｒ２，Ｒ
３と共に差動増幅器を構成する演算増幅蔦（以下［オペ
アンプ１という）３２で差〃Ｊ増幅されることにより比
較され、ここで検出信号が生成される。上記の遮光ビン
１６．受光素子２嬬発光素子２１、オペアンプ３２で偏
位検出装置が構成されている。
この検出信号の電流はトルカ・コイル２５から抵抗Ｒ４
に流れる。抵抗Ｒ４は電流／電圧変換を行なうもので、
ここで電圧形態とされた検出信号ｔよ端子３３ａ、３３
ｂ問より出力される。
に流れる。抵抗Ｒ４は電流／電圧変換を行なうもので、
ここで電圧形態とされた検出信号ｔよ端子３３ａ、３３
ｂ問より出力される。
ここで、矢印Ａ＋ （又はＡ２）方向に正の加速度が
加わると、遮光ビン１６は矢印Ｂ＋ （又ｔ、Ｌ［３
２）方向に加速度の大きさに応じて偏位し、受丸部２０
ｂ（又は２０ａ）の受光量が人となって上記遮光ピン１
６の偏位量に応じた値の検出信号が生成される。この−
位検出信号がトルカ・コイル２５を流れることによって
振子１０には遮光ピン１６を元に戻す方向に駆動される
。これと共に、上記偏位に応じｔこレベル叩ら加速度に
応じたレベルの検出信号が端子３３ａ、３３ｂ間より検
出される。
加わると、遮光ビン１６は矢印Ｂ＋ （又ｔ、Ｌ［３
２）方向に加速度の大きさに応じて偏位し、受丸部２０
ｂ（又は２０ａ）の受光量が人となって上記遮光ピン１
６の偏位量に応じた値の検出信号が生成される。この−
位検出信号がトルカ・コイル２５を流れることによって
振子１０には遮光ピン１６を元に戻す方向に駆動される
。これと共に、上記偏位に応じｔこレベル叩ら加速度に
応じたレベルの検出信号が端子３３ａ、３３ｂ間より検
出される。
このように、受光部２０ａ、２０ｂに二分割された単一
の受光素子２０を使用しているため、受光部２０ａ、２
０ｂの受光感度、１１８電流等の諸特竹の差が、ＩＦ常
に小さく、バランス調整を簡単に行なうことができ、加
速度の有無を知るだけの用途等においてはバランス調整
の必要もない。また受光部２０ａ、２０ｂの温度変化に
対する諸特性が同一であるため、温肛変化に対して安定
した加速度の検出特性を得ることができる。
の受光素子２０を使用しているため、受光部２０ａ、２
０ｂの受光感度、１１８電流等の諸特竹の差が、ＩＦ常
に小さく、バランス調整を簡単に行なうことができ、加
速度の有無を知るだけの用途等においてはバランス調整
の必要もない。また受光部２０ａ、２０ｂの温度変化に
対する諸特性が同一であるため、温肛変化に対して安定
した加速度の検出特性を得ることができる。
更にトルク発生ｖ装置が単一で、その磁気回路は板状の
ヨーク２４、磁石２２．２３及びフレーム１２で構成さ
れているため、小型化かつ薄型化が可能とイｇるぼかり
か、部品点数が少なく、トルク発生回路のバランス調整
が簡単で組立ｆ′ｌ業性が向上して安価となると共に、
信頼性も向上する。
ヨーク２４、磁石２２．２３及びフレーム１２で構成さ
れているため、小型化かつ薄型化が可能とイｇるぼかり
か、部品点数が少なく、トルク発生回路のバランス調整
が簡単で組立ｆ′ｌ業性が向上して安価となると共に、
信頼性も向上する。
第３図は本発明のｔナーボ型加速度計の変形例の一部除
去平面図を示す。ｆＬη図中、第１図と同一部分に４１
１問−符ｇを付す。第３図において、振子４０の下部に
ｔよ遮光ピンの代りにスリット４１が光路規制部材とし
て設けられており、このスリン１へ４１を通って発光素
子２１より光が受光素子２０に入）１する。受光糸子２
０は第１図示のものとｔよ逆に受光部２０ａが右方で受
光部２０ｂが左方となるようフレーム１２に取付けられ
ている。
去平面図を示す。ｆＬη図中、第１図と同一部分に４１
１問−符ｇを付す。第３図において、振子４０の下部に
ｔよ遮光ピンの代りにスリット４１が光路規制部材とし
て設けられており、このスリン１へ４１を通って発光素
子２１より光が受光素子２０に入）１する。受光糸子２
０は第１図示のものとｔよ逆に受光部２０ａが右方で受
光部２０ｂが左方となるようフレーム１２に取付けられ
ている。
また、フレーム１２上の一辺に永久磁石４２がＳ極を当
接させて固定されている。永久磁石４２のＮ樺である上
面には、板状の強磁性体をＵ字状に成形したヨーク４３
が載置固定されている。このヨーク４３はフレーム１２
から離間しており、かつトルカ・コイル２５の中心孔を
非接触状態で挿通している。
接させて固定されている。永久磁石４２のＮ樺である上
面には、板状の強磁性体をＵ字状に成形したヨーク４３
が載置固定されている。このヨーク４３はフレーム１２
から離間しており、かつトルカ・コイル２５の中心孔を
非接触状態で挿通している。
この変形例においては永久ＩｔｉＬが１個で済み、更に
部品点数が減少する。
部品点数が減少する。
発明の効果
上述の如く、本発明のり一ボ型加速度計によれば、偏位
検出装置のバランス調整が穫めて簡単になり結果的に安
価とすることができ、かつ温度変化に対して安定した加
速度の検出特性とすることができる。
検出装置のバランス調整が穫めて簡単になり結果的に安
価とすることができ、かつ温度変化に対して安定した加
速度の検出特性とすることができる。
第１図は本発明の４ノ一ボ型加速度計の一実施例の一部
除去平面図、底面図、断面図、第２図は第１図示の加速
度ｔ１の一実施例の回路図、第３図は第１図示の加速度
計の変形例の一部除去平面図Ｃある。 １０・・・成子、１１・・・回動軸、１２．１３・・・
フレーム、１６・・・遮光ピン、２０・・・受光素子、
２１・・・発光素子、２２．２３．４２・・・永久磁石
、２４゜４３・・・ヨーク、２５・・・トルカ・」イル
、３２・・・演算増幅器（オペアンプ）、４１・・・ス
リット。 ＋Ａｌ 第１図 ” ｔｃ＋ Ａ ２ 第３区 ｌフ 手続補正書 イ 昭和６２年１２月２９日
除去平面図、底面図、断面図、第２図は第１図示の加速
度ｔ１の一実施例の回路図、第３図は第１図示の加速度
計の変形例の一部除去平面図Ｃある。 １０・・・成子、１１・・・回動軸、１２．１３・・・
フレーム、１６・・・遮光ピン、２０・・・受光素子、
２１・・・発光素子、２２．２３．４２・・・永久磁石
、２４゜４３・・・ヨーク、２５・・・トルカ・」イル
、３２・・・演算増幅器（オペアンプ）、４１・・・ス
リット。 ＋Ａｌ 第１図 ” ｔｃ＋ Ａ ２ 第３区 ｌフ 手続補正書 イ 昭和６２年１２月２９日
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 加速度に応じた振子の偏位を偏位検出装置で検出し、得
られた検出信号をトルク発生装置のトルカ・コイルに供
給して該振子を元に戻す方向に駆動し、該検出信号の値
で加速度を表わすサーボ型加速度計において、 一素子上に複数の受光部が分割形成された受光素子と、 該受光素子に離間対向して設けられた発光素子と、 該振子に取付けられて該受光素子と発光素子との間に配
設され、該発光素子より該受光素子への光を遮光又は透
光する光路規制部材と、 該受光素子の複数の受光部で得られた信号を比較して検
出信号を生成する回路とにより、該偏位検出装置を構成
したことを特徴とするサーボ型加速度計。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61313583A JPS63167276A (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 | サ−ボ型加速度計 |
| US07/135,112 US4856333A (en) | 1986-12-27 | 1987-12-18 | Servo type accelerometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61313583A JPS63167276A (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 | サ−ボ型加速度計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63167276A true JPS63167276A (ja) | 1988-07-11 |
Family
ID=18043059
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61313583A Pending JPS63167276A (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 | サ−ボ型加速度計 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4856333A (ja) |
| JP (1) | JPS63167276A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02249974A (ja) * | 1989-03-24 | 1990-10-05 | Rion Co Ltd | 振動測定装置 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB9007483D0 (en) * | 1990-04-03 | 1990-05-30 | Kellett Michael A | Servo accelerometer and control systems therefor |
| DE69529793T2 (de) * | 1994-10-11 | 2003-10-23 | Fujikura Ltd | Servo-Beschleunigungsmessaufnehmer |
| JP2010175453A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | サーボ加速度計 |
| JP6895299B2 (ja) * | 2017-04-07 | 2021-06-30 | 株式会社荏原製作所 | コイル一体型ヨークおよびその製造方法 |
| US10900993B2 (en) | 2019-01-25 | 2021-01-26 | Mechoptix, Inc. | Single axis accelerometer with inertial threshold |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6166166A (ja) * | 1984-08-31 | 1986-04-04 | ノースロツプ・コーポレーシヨン | 加速度計 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2995935A (en) * | 1948-11-01 | 1961-08-15 | North American Aviation Inc | Accelerometer |
| US2947176A (en) * | 1957-10-04 | 1960-08-02 | Gen Electric | Accelerometers |
| US3897690A (en) * | 1973-01-15 | 1975-08-05 | Systron Donner Corp | Miniature inertial grade high shock and vibration capability accelerometer and method with axis alignment and stability features |
| JPS5890111A (ja) * | 1981-11-25 | 1983-05-28 | Tokyo Keiki Co Ltd | 偏位検出装置 |
| US4507965A (en) * | 1982-09-24 | 1985-04-02 | Columbia Research Laboratories | Detector for determining both forces on and positions of a host device |
| US4649748A (en) * | 1984-03-30 | 1987-03-17 | Kabushikikaisha Tokyo Keiki | Accelerometer |
-
1986
- 1986-12-27 JP JP61313583A patent/JPS63167276A/ja active Pending
-
1987
- 1987-12-18 US US07/135,112 patent/US4856333A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6166166A (ja) * | 1984-08-31 | 1986-04-04 | ノースロツプ・コーポレーシヨン | 加速度計 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02249974A (ja) * | 1989-03-24 | 1990-10-05 | Rion Co Ltd | 振動測定装置 |
| JPH0692980B2 (ja) * | 1989-03-24 | 1994-11-16 | リオン株式会社 | 振動測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4856333A (en) | 1989-08-15 |
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