JPS5890175A - 加速度計 - Google Patents

加速度計

Info

Publication number
JPS5890175A
JPS5890175A JP18892581A JP18892581A JPS5890175A JP S5890175 A JPS5890175 A JP S5890175A JP 18892581 A JP18892581 A JP 18892581A JP 18892581 A JP18892581 A JP 18892581A JP S5890175 A JPS5890175 A JP S5890175A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pendulum
light
frame
emitting element
fixed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP18892581A
Other languages
English (en)
Inventor
Michio Fukano
深野 道雄
Shigeru Nakamura
茂 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tokyo Keiki Inc
Original Assignee
Tokyo Keiki Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tokyo Keiki Co Ltd filed Critical Tokyo Keiki Co Ltd
Priority to JP18892581A priority Critical patent/JPS5890175A/ja
Publication of JPS5890175A publication Critical patent/JPS5890175A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/093Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by photoelectric pick-up

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、加速度計に関するものである。
従来、小型高精度の加速変針用の偏位検出装置は、偏位
を静電容量の変化として検出する形式のものが多く用い
られてきたが、この形式の偏位検出装置は励磁用の発振
器等が必要であり電気回路が複雑になるとい5欠点を有
している。
一方、光を素子を用いた従来の偏位検出装置は、発光素
子及び受光素子を対向して配置する透過型、発光素子及
び受光素子を反射板に対し同一側に配置する反射型が在
るが、共に、発光素子1個、受光素子1個を使用bt<
成なので、これでは、発光量の変化によって零点が変動
するどい5欠点を有し、又透過型の偏位検出装置におい
て受光素子72個とし、その差動出力を検出することK
より上記零点が変動するという欠点を除去した偏位検出
装置は在るが、これでは、零点l!I4整がむづかしい
という欠点を有している。
又、受光素子からの出力信号は、通常、微少電流の為、
前置増巾器等の増巾器が不可欠であり、受光素子と増巾
器が離れると極端<ta妨害に弱くなる欠点を有する。
従って、本発明の主目的は、発光素子と受光素子とを有
し、光導波路としてオプチカルファイバーを用い、透磁
妨害に強くかつ単純な構造により零点調整が容易にでき
る偏位検出装置を用いた加速度計を提供するにある。
本発明の特徴とするところは、継手と、該継手の一端が
固定される基台と、上記継手の他端に固定された振子と
、上記基台から振子に対してトルクを発生させるトルカ
と上記基台と上記振子との相対偏位を光電的に検出する
ための発光素子、2個の受’x素子及び上記振子にとり
つけられた遮光部を有する偏位検出装置と、上記偏位検
出装置の出力を増巾し、上記トルカにフィードバンクす
る為の電気回路部とを有する加速度計において、上記発
光素子及び受光素子を上記電気回路部に接続すると共に
、一端を上記発光素子に、他端を上記振子にとりつけら
れた遮光部に対向する上記基台の所定位置に固定された
1本の第1のオプチカルファイバーと、一端を上記2個
の受光素子に他端を上記振子にとつつけられた遮光部に
対向し且つ上記第1のオプチカルファイバーが固定され
た所定位置と反対側の上記基台の所定位置に固定された
2本の第2のオプチカルファイバーとからなる偏位検出
装置を有する加速Jy針に在る。
以下、」二連の特徴を有する本発明の一例を、図面を参
照して説明しよう。
第1図及び第2図は本発明による加速度計の一具体例の
断面図及び一部を除いた正面図である。
同図に於て(1)は加速度を検出する棒状の振子で、こ
れは薄肉部(2)即ち可接部を有する継手、即ちヒンジ
(3)を介して後述の第一の基台又はフレームに支持さ
れている。この振子+11は、ヒンジ(3)の薄肉部(
2)を支点として、第1図の紙面と平行な方向X−Xの
みに回動できる。ヒンジ(3)の一端は、第一の基台、
即チフレーム(4)のヒンジ数句台部(5)にヒンジ押
え板(6)により取り付けられている。又、振子(1)
には、円筒状のトルカコイル(7) 、 (7’)が、
ヒンジ(3)の薄肉部(2)の回動軸O−0軸に対して
垂直に取り付けられている。円板状の永久磁石(8)及
び円筒状ノポールピース(9)が、トルカコイル(7)
に、接触スることなくその内部に挿入されるように第一
のフレーム(4)に接着により取り付けられている。こ
の第一のフレーム(4)は、電磁軟鉄で成形されている
ため、永久磁石(8)により、ポールピース(9)との
間で磁気回路を構成し、ヨーク(リターンパス)の役目
をしており、上記トルカコイル(力と共に一方のトルカ
を構成する。この第一のフレーム(4]には、本発明の
主要部であり、振子tllの偏位な検出する後述の偏位
慣用装置が取り付けられる。
この偏位検出装置は、1個の発光素子と、2個の受光素
子と、両者間に配置した振子に取り付けられた又は振子
の一部より成る遮光部と、図示せずも増巾器等の電気回
路とより成る。この電気回路は、第1図に示す電磁シー
ルドの施されたケースQl内に配置される。一方、第3
図に示す如く、1個の発光素子(13及び2個の受光素
子αυ、 (11’)は、夫々ケースQCI上に固定さ
れ且つその内部の電気回路に接続されている。オプチカ
ルファイバー(11−1)。
(ii−gの各一端を、受光素子0υ、 (11’) 
K夫々結合し、それ等の他端を、後述の如く、振子(1
)の遮光部に対向させる。オプチカルファイバー(12
−1)の一端を、発光素子aのに結合し、その他端を振
子(11の遮光部に対向させる。
一方、第1及び第2図に示す第二の基台又はフレームa
3は、第一のフレーム(4)と同じ電磁軟鉄で成形され
、これに、永久磁石α4を介して、ポールピース05が
固定され、それ等間に磁気回路が構成され、ヨークの役
目を持つ。第一のフレーム(4)の嵌合部OQに第二の
フレームa(至)の嵌合部(I7)を挿入し、両者を一
体化する。
第一のフレーム(4)及び第二のフレームαJには、振
子(1)の動作範囲を制限するストッパα枠及び(19
が夫々挿入され、これ等をネジ等によりそれぞれ回転し
、振子(1)の動作範囲を自由に調整することが可能で
ある。
上述してきた構成部品により、すでに加速度計としての
機能が実現されている。これら構成部品を、ケース(イ
)に複数のネジQυで固定し、ケース(イ)と一体化す
ると共に、特性名板兼蓋@をケース(イ)に接着し、ケ
ース■内を気密保持できるようKする。
偏位検出装置等よりの電気信号や、トルカコイル(7)
 、 (7’) Kフィードバンク電流を供給するため
のリード線(図示せず)等の外部端子(ハ)を、端子ケ
ース04)にそれぞれ気密構造に接着すると共に、それ
等の一端がケース(至)の内部に在る如く、端子ケース
(2養をケース(2LK気密に接着する。
端子ケース(24)の中央の開口部(ハ)を介して内部
の装置の電気系の結線等を行い、ケース(イ)の内部を
真空又は不活性気体(例えばヘリウムガス)等を充填し
ながら蓋(ホ)を開口部(ハ)K接着し、ケース(イ)
の内部を気密状態に保持し部品の劣化を防止し、長期間
に亘り性能を安定に保持する。
上述の構成による加速度計において、ケース(イ)の中
心軸X−X軸方向に加速度が作用すると、振子(1)は
ヒンジ(3)の薄肉部(2)を支点として微少偏位し、
発光素子(121よりオプチカルファイバー(12−1
)を通り、振子(1)の遮光部て辿弊又し1分割され、
オプチカルファイバー(11−1)、(11’−1)を
通り偏位検出装置の受光素子(11)及び(11’)に
入射する光が変化するので、これ等より偏位に対応した
電気信号が得られる。この電気信号に比例した電流をト
ルカコイル(7) 、 (7’)にフィードバックし、
これにより、振子(1)を受光素子aυ及び(11’)
の電気信号出力が零になるよ5IC拘束する。この電気
信号、即ち拘束電流は、加速度に比例しているため、こ
の電流を計測することKより、入力加速度を知ることが
できるものである。
m3図に示す如く、オプチカルファイバー(11−1)
(11−1)及び(12−1)用のホルダ(財)及び(
ハ)には、開孔(27−1)、(27−2)及び(28
−1)が夫々設けられ、夫々一端が発光及び受光素子H
及び(1υ、 (11)K結合したオプチカルファイバ
ー(12−1)及び(11−1)、(11’−1)の他
端が振子(1)に面するように夫々開孔(28−1)及
び(27−1)、(27−2)内に挿入固定される。
ホルダ(5)及び(ハ)は第1図及び第2図に示した第
一のフレーム(4)に設けた開孔(イ)、(至)に固定
される。
ホルダ弼の中心軸線をR−几で示す。一方、発光素子側
のオプチカルファイバー(12−1)を挿入する開孔(
28−1)の中心線s−sは、上記軸1iR−Rに対し
平行且つ第2図に於ては上方にCだけ偏心して設けであ
る。従って、発光素子側のオプチカルファイバー(12
−1)と一体化されたホルダ(ハ)を軸線1(、−Rを
中心に微少回転させることにより、第3図X−X方向に
微少量移動させることが可能となる。
第3図に示す如く、振子(1)の中心(01)が、発光
素子Q2側のオプチカルファイバー(12−1)の中心
及び受光素子aυ、 (11’)側のオプチカルファイ
バー (11−1)、(11’−1)の中央を結ぶ中心
線o−oに一致した位置にある場合(零位置)、発光素
子α4側のオプチカルファイバー(12−1)から出た
光束(B)は、振子(1)の遊端部の遮光部により分割
され、2個の受光素子側のオプチカルファイバー(11
−1)。
(11’−1)’の各開口面の全面より少ないが略半面
に等しく照射され、受光素子(ll) 、 (11’)
にオプチカルファイバー(11−1)、(11’−1)
を介して伝達される。
この時、受光素子([υ、 (11’)の差動出力電流
は零であるが、振子(1)即ちその遮光部が同図X方向
に偏位した場合、受光素子(11’)のオプチカルファ
イバー(11−1)に当る光量が受光素子(1υのオプ
チカルファイバー(11−1) K当る光量よりも多く
なり、図示せずも受光素子(1υ、 (11’)より導
出した差動出力端子には、上記振子(13の偏位に対応
した光電流が発生するので、これを検出することにより
、振子(110偏位を検出することができる。
振子(1)の偏位量と差動出力の関係には、オプチカル
ファイバー(12−1)から出る光束(13)の拡り具
合と、受光素子用のオプチカルファイバー(11−1)
(11−1)への光束の入射可能角度が影響するが、オ
プチカルファイバーの開口数を適当に選定することによ
り、所望の特性を得ることは容易である。
所で通常振子(1)の零位置は、上述のように発光素子
側のオプチカルファイバー(12−1)及び受光素子側
のオプチカルファイバー(11−1) 、(11’−1
)間の中心線O−0上にあるとは限らず、又、受光素子
αυ、 (11’)の特性のバラツキ等により振子(1
)に調整することが重要な要素となるが、本発明におい
ては、ホルダ(ハ)を軸線1’L−Rを中心に微少角回
転することのみKより、零位f調整を実施することが可
能となる。即ち、本発明の特徴の第1は上述の如く、光
路にオプチカルファイバーを採用することにより、発光
素子及び受光素子を遮光部に直接対向させないで、これ
等を電磁シールドの施されたケース内に配設した電気回
路に直接接続し、検出信号が電磁妨害を受けないように
すると共に、発光及び受光素子の形状、サイズ等の選択
の自由度と、それ等の配置の自由度が増大したことであ
る。
本発明の特徴の第2は、発光素子側のオプチカルファイ
バーをホルダの中心軸線に対して偏心して取り付けると
いう単純な構造、構成とこれを回転すると6練と時間と
を要する偏位検出装置の零位m調整を簡単且つ短時間に
行うことを可能としたことである。
本発明の特徴の第3は、適尚な開口数のオプチカルファ
イバーを選定することKより、装置の精度や発光及び受
光素子の特性に応じて自由に調整感度を選定することが
できる点である。
尚、上述は本発明の一例を図示し、記載したが、本発明
の精神を逸脱することはなく、多くの変化変形が当該業
者により可能なことは、明らかであろう。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による加速度計の一例の断面図、第2図
はその一部を除いた正面図、第3図は本発明の一例の主
要部の一部を断面とする拡大図である。 図に於て(1)は振子、(3)はヒンジ、(4)は第一
の7(11−1)、(11−1)、(12−1)はオプ
チカルファイバー、a3は第二のフレーム、OS、0罎
はストツパ、231は外部端子、(27) 、 c樟は
ホルダ、(27−1)、(27−2)。 (28−1)は開孔、翰、 C31は開孔を夫々示す。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 継手と、該継手の一端が固定される基台と、上記継手の
    他端に固定された振子と、上記基台から振子に対してト
    ルクを発生させるトルカと、上記基台と上記振子との相
    対偏位を光電的に検出するための発光素子、2個の受光
    素子及び上記振子にとりつけられた遮光部を有する偏位
    検出装置と、上記偏位検出装置の出力を増巾し上記トル
    カにフィードバンクする為の電気回路部とを有する加速
    度計において、上記発光素子及び受光素子を上記電気回
    路部に接続すると共に、一端を上記発光素子K、他端を
    上記振子にとりつけられた遮光部に対向する上記基台の
    所定位置に固定された1本の第1のオプチカルファイバ
    ーと、一端を上記2個の受光素子に他端を上記振子にと
    りつけられた遮光部に対向し且つ上記第1のオプチカル
    ファイバーが固定された所定位置と反対側の上記基台の
    所定位置に固定された2本の第2のオプチカル7アイパ
    ーとからなる偏位検出装置を有することを特徴とする加
    速度計。
JP18892581A 1981-11-25 1981-11-25 加速度計 Pending JPS5890175A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18892581A JPS5890175A (ja) 1981-11-25 1981-11-25 加速度計

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18892581A JPS5890175A (ja) 1981-11-25 1981-11-25 加速度計

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5890175A true JPS5890175A (ja) 1983-05-28

Family

ID=16232278

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18892581A Pending JPS5890175A (ja) 1981-11-25 1981-11-25 加速度計

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5890175A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6187362U (ja) * 1984-11-14 1986-06-07
JPS6187363U (ja) * 1984-11-14 1986-06-07
CN102141575A (zh) * 2011-01-04 2011-08-03 中国地质大学(武汉) 差分式红外位移传感伺服加速度计
CN113640544A (zh) * 2021-07-13 2021-11-12 西安航天精密机电研究所 动圈可切换式加速度计及其逻辑门切换开关的切换方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5238218U (ja) * 1975-09-01 1977-03-17

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5238218U (ja) * 1975-09-01 1977-03-17

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6187362U (ja) * 1984-11-14 1986-06-07
JPS6187363U (ja) * 1984-11-14 1986-06-07
CN102141575A (zh) * 2011-01-04 2011-08-03 中国地质大学(武汉) 差分式红外位移传感伺服加速度计
CN113640544A (zh) * 2021-07-13 2021-11-12 西安航天精密机电研究所 动圈可切换式加速度计及其逻辑门切换开关的切换方法
CN113640544B (zh) * 2021-07-13 2023-07-18 西安航天精密机电研究所 动圈可切换式加速度计及其逻辑门切换开关的切换方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107091950B (zh) 基于光学传感原理集成了温度传感的反射式电流和磁场传感器
JPS6313133B2 (ja)
US20110304322A1 (en) Compact Paramagnetic Oxygen Sensor
US3617131A (en) System for detection of minute inclination
JPH0658258B2 (ja) 弦振動検出装置
US5119024A (en) Optical device for sensing magnetic inductions
US4649748A (en) Accelerometer
US4872348A (en) Signal added vibration transducer
US4185239A (en) Super sharp and stable, extremely low power and minimal size optical null detector
JP2789218B2 (ja) 加速度計
JPS5890175A (ja) 加速度計
JPH10239158A (ja) 放射温度計
EP0048116A1 (en) Moving coil loudspeaker
JPS6217164B2 (ja)
JPH0431335B2 (ja)
JPS5890174A (ja) 加速度計
CN109142787A (zh) 一种非金属挠性整体摆
JPS58106700A (ja) 物理量測定装置
JPS63167276A (ja) サ−ボ型加速度計
JPS63271125A (ja) 振動検出装置
GB1111145A (en) Improvements in or relating to indicating and/or measuring devices
JPS62233770A (ja) 加速度計
JPH0473753B2 (ja)
JPS5850900A (ja) マイクロホン
RU1812463C (ru) Волоконно-оптический датчик давлени