JPS58106700A - 物理量測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、測定すべき物理量により制御される絞りを有
するセンナが２つの光導体を介してオプトエレクトロニ
ック送信装置およびオプトエレクトロニック受信装置と
接続されており、受信装置が光導体と光学的に接続され
た２つの受光ダイオードを有しかつ和および差形成のた
めのａＳＳ分を含んでおり、和形成のＩＩＩＫ生ず、る
電気的信号を出力する前記回路部分の−１の出力端は前
記回路部分り前に接続されている増＠器ユニツ１の制御
入力端と接続され、それにより調節ループが解放されて
おり、また差形成の−に生ずる別の電゛気的信号を出力
する前記回路部分の他方の出力端は指示装置に接続され
ている物理量測定装置に関する。

この種の公知の測定装置（Ｆイツ連邦共和−轡許出履企
告第２８４９１８６号会報）では、送信装置は光導体フ
ァイバを介して光を光結合個所に供給する単一の送光ダ
イオードを含んでおり、光は光結合便所からさらに光導
体を介してセンナに導かれている。センナから物理量に
応じて運動する鏡により光の一部分が光導体を介して再
び光結合個所に導かれ、そこから先はオプトエレクトロ
ニック受信装置の受光ダイオードに供給される。センナ
忙生給された光の他の部分は可動鏡の側を通り過ｒて別
の光導体内に到達し、この別の光導体を介してオプトエ
レクトロニック受信装置の別の受光ダイオード［９給さ
れる１画受光グイオートの彼に増＠饅ユニットが配置さ
れている。この増幅器ユニットは声部増幅器を後に接続
されたそれぞれ１つの増幅器から成る。ｖ４節増幅器の
出力は和および差形成のための回路部分に供給されてお
り。

そこで２つの電気的信号が形成されている。一方の１吏
的信号は受光ダイオードから生じた電り的信号の和に相
当し、この和を常に一定に保つように増幅器ユニットの
ｖＡ＃可能な増ｇ器を制御するのに利用される。和およ
び差形成のための別の電気的信号は受光ダイオードから
生じた電気的信号の差に相当し、従っ工物聯量に対する
尺度として用いられ、ｌＩＫ配置されている指示装置で
読取られ得る・オプトエレクトａ二−り送信装置の単一
の送光ダイオードは一定の電流を供給される。

本発明の目的は、送信装置とセンサとの間および受信装
皺とセンサとの間にそれぞれ２つの光導測定結果に影響
な生じないようＫした物理量測定装置を提供することで
ある。

この目的は、本発明によれば、冒１１１に記載した種類
の測定装置において、オブトエレタトｃ１ユ。

り送信装置が、それぞれ１つの光導体とＩＩ続されてお
り交互にパルス状に制御されて光を放出する２つの送光
ダイオードを含んでおり、受光ダイオードが光導体と光
結令畳素を介し℃、一方の受光ダイオードが送光ダイオ
ードから直接に発せられた光を、また他方の受光〆イオ
ードがセンサを通過した光を受けるように接続されてお
り、光導体がそれらのセンサ儒の端部でそれぞれ２つの
先導体端部に分岐しており、−万の光導体の・一方め先
導体端部は集光レンズ系とセンサ内の絞クリの運動によ
り開く光通過口とを介して他方の光導体の一方の先導体
端部と、また他方の光導体の他方の先導体端部は集光レ
ンズ系とセンサ内の絞りの運動により閉じる別の光通過
口とを介して一方の光導体の他方の先導体端部と光学的
Ｋｍ続されており。

−万の受光ダイオードは送光ダイオードの振幅調節のた
めの回路内−配置されており、また他方の受光ダイオー
ドは和および差形成のための回路部分の増幅器ユニット
の前に配置されていることにより達成される。

大発明による測定装置の主な利点は、両光導体のＩｉ！
！ｌｌで伝送等性が変化しても測定結果に影噂を生じな
いことである。この利点は、なかんずく、大発明による
測定装置では、それぞれ送光ダイオードから送り出され
た同一周波数の光が両党導体を通じて伝送されること−
により得られている。加えて、センサのＩＩＷ囲に設け
られている特殊な光案内部がそれぞれ光を送り出す送光
ダイオードからそれぞれ集光レンズ系を介して与えられ
る光に対して°光整流Ｂ”を形成するので１本発明によ
る測定装置ではいわば２つの逆並列接続された°光＠ｗ
ｒｅｎ”が絞りの運動の際にそれぞれ反対方向に変化す
る光通過口と光学的に直列に接続されて−・る。その際
、両送光ダイオードに対する振幅調節の結果として１両
送光ダイ、オードが常に同一強度の光を送り出すことが
保証されている。他方の受光ダイオ−Ｆの後忙配置され
ている回路は、両党導体を介して到来する光パルスに相
当する電気的信号の差とこれらの電気的信号の和との比
を形成するととＫより、測定すぺ舞物！量の正確な尺度
である電気的信号を指示装置ｊＫ与える役割をする。

大発明による一１定銭債の１つの有利な実施態様では、
他方の受光ダイオ−）′忙別の受光ダイオードが追加さ
れており、他方の受光ダイオードは一方の光導体と、ま
た別の受光ダイオードは他方の光導体と光学的に接続さ
れており、他方の受光ダイオードおよび別の受光ダイオ
ードは送光ダイオードのパルス状制御に応じて駆動され
る電子的切換装置を介して増幅器ユニットの入力端と接
続されている。本ｖＰ、Ｉｊ！１１１ｍよる測定装置の
この実施一様の特別な利点は、先導体端部ならび忙すべ
ての不均質および結合個所に起因する光反射も補償され
るので、特に高精度の測定結果が得られるとと寸ある。

この鳩舎、他方の受光ダイオードおよび別の受光ダイオ
ードとして互いに同一の特性を有するものが選ばれてい
ることは特に有利である。さらに１両受光ダイオードが
互いに同一の淵度に保たれること、すなわち互いに熱的
に結合していることは有利である。

場合によっては、−万の受光ダイオードとして他方の受
光ダイオードおよび引１の受光ダイオードと同一の特性
を有す、るものが選ばれていること、また−万の受光ダ
イオードが他方の受光ダイオードおよび別の受光ダイオ
ードと熱的に結合して（・ることも有利である。

本発Ｗ！Ｆ４による測定装置において、送光ダイオード
が制御パルス発生器に接続されており、和および差形成
のための回路部分が３つの位相感度を有する整Ｉ！１ｌ
ＥＩｉ＋を含んでｋす、またこれらの整流器の制御入力
端が制御パルス発生器と接続されていることは有利であ
る。

さらに、本発明によるＩＩＩ定懺置装おいて、絞りが物
理量に応じて運動可能なプリズム上に保持されており、
また先導体端部のプリズムの１つの面（斜辺）と向かい
合っていることは有利である。

このような取付は方は、たとえば場所的な環内で光導体
婦部が絞りの両側には配置され得ない場合に轡虻有利で
ある。

さらに１本発明による一定装置において、プリズムと先
導体端部との間に、直径上で互いに向かい舎う光不透過
性範囲を有する別の絞りが空間的に固定ｔで配りされで
おり、また可動絞りの運動範囲内に両光通過口が位置し
ていることは有利である。それ忙より、絞りの運動が正
確な並列運動ではない場合にも、光通端口の互いに反対
方向の変更がはｒｔ等しく行なわれる。

本発明による一定装置は、物理量により絞りを運動させ
ることさえ可欽であれば、あらゆる−声量の検出に利用
することができる。

大発明忙よる一定装置の蒔に有利な応用例は圧力または
差圧の一定であり、この場合、内部−空間を境いする２
つの隔離ダイアフラムを介して測定ばねに抗して圧力ま
たは差圧に応じて変位せしめられる結合棒がプリズムを
保持しており、また内部空間がプリズムの範囲で外方を
、先導体端部が外部から導入されている耐圧ガラス筒に
より密閉されていることは有利である。すなわち、との
よ５Ｋして、本発明の測定装置によれば、たとえば強い
ガンマ線、高い温度、高いＩＩＩＥ、　８発の危険のあ
る雰囲気または強い電磁界などによる悪条件下の場所で
も圧力または差圧の測定を支障なく行なうことができる
。すなわち、測定場所にはセンサと両光導体の一部分と
が配置されるだけであり、電子部品を有する送信および
受信装置は上記のような悪条件下でも支障を生じない光
導体を介して条件の良い場所に配置され得る。

以下、図面により本−発明による測定装置の実施例を説
明する。

第１図には本発明による測定装置の１つの実施例が示さ
れており、送信装置ｌｌは１つの制御パルス発生ａ４に
接続された一方の送光ダイオード２および他方−の送光
ダイ、オード３を含んでいる。両送光ダイオード２およ
び３は制御パルス発生■４により交互に制御されて、矢
印５および６の方向に光導体７および８に交互に次々と
光パルスを送゛り出す。

光導体７はセンサ９の付近で２つの先導体端部１０およ
び１１　Ｋ分岐している０両光導体端部１０および１１
は光結舎個所臣で互いに接続されている。−万の先導体
端部ｌＯとセンサ９との間には集光レンズ系１３が設け
られている。光伝送路は他方の光導体８を介しても構成
されており、この光導体８も光結合個所１４で一方の光
導体端部謁および他方の光導体ｍ　＠　１６　Ｋ分岐し
ている。一方の先導体端部１５とセンサ９との間にはも
う１つの集光レンズ系１７が設けられている。

集光レンズ系１３は一力の光導体７の一方の先導体端部
１０から出る光パルス１８の焦点を他方の光導体８の他
方の光導体の端面１Ｂ　Ｋ結ばせる役餉をする。同様に
、集光レンス系１７は他方の光導体８の一方の光導体端
ｓ１５から出る光パルス２ｏを一方の光導体７の他方の
先導体端部１１の端面２１に結ばせる役割をする・ センサ９の範Ｉ！ｌＫこのような光案内部を配置すると
とにより、送光〆イオード２から送り出された光かは埋
専ら一方の光導体７の一方の先導体端部１Ｇ、センサ９
および他方の光導体８の他方の先導体端部１６のみを経
て案内されるように、また送光ダイオード３から送り出
された光が他方の光導体８の一方の先導体端部１５、セ
ンサ９および一方の光導体７の他方の先導体端部１１の
みを経て案内されるよう圧することがで赦る。すなわち
、他方の光導体側１１からプリズム２２および集光レン
ズ系１７を経℃光導体端部１５に至る光伝送路は、後で
算５図および第６図により一層詳細に説明するように、
ｌｉｌ！止方向に使用される１光整流器“のように作用
する。同じことが、、他方の先導体端部１６から一方の
先導体端部１０　Ｋ　！る光伝送路にもあてはまる。

センサ９は測定すべき書埋量により図示されていない仕
方で紙面に対して垂直な方向に動かされ得るプリズムｎ
−を含んでいる。このプリズム上に絞り田が位置してお
り、従°って紋り器はプリズム四と−＃＃に、すなわち
物理量の大針さに応じ℃動かされる。プリズムの前、た
とえばガラス板５のて取付けられており、この絞り怒は
第２図に示されているように１つの直径の両ＩＩＫ光不
透ｉ性範囲２７ｊｉｌよびツを有する。これらの光不透
過性範囲２７および謔の各々は光通過口２９および園を
設けられており、可動絞り田の両路端位置では光通過Ω
９もしくは光通過口（資）が閉じられている。第２１１
１１には可動絞り幻が零位置で示されており、との零位
置では両光通過口２９オよび（９）を通過する光は互い
に等量である。

受信装置３１は、追加されている光導体３３およびあと
光学的に結合された一方の受光ダイオードｎを含んでい
る。これらの追加光導体おおよび諷は光結合個所３５ｍ
よび蕊を介して、それぞれ送光ダイオード２および３か
ら発せられた光の一部分を直！ＩＫ−万の受光ダイオー
ド濃に供給する。従って、この受光ダイ：・オード−は
、それぞれ送光ダイオード２および３から送り出された
光パルスの強度に相当する強度を有する光パルスを受け
る。受光ダイオード蕊から発せられた電気的信号は増幅
０荀で増幅され、接続Ｓ羽を経て制御パルス発生ｔＩＩ
４に供給される。制御パルス発生器４は供給された電気
的信号に応じて送光ダイオード２または３を制御する。

こうして追加光導体おおよび３４、受光ダイオード３２
および増Ｓ器ｒを通じて制御パルス発ヰ器４により、送
光ダイオード２および３から常に一定に保たれた強度の
光パルスを送り出すようＫｍ節が行なわれる。

受信１１１は補助光導体栃および４１と光学的に結合さ
れた他方の受光ダイオードおを含んでいる。

補助光導体４０ｊｄよび４１は光結合個所４２およびＯ
を介して光導体７および８と接続されて一層る。光結含
側１２および葛は、矢印祠および柘の方向に進行する光
パルスのみをそれぞれ補助光導体梱および４１を介して
他方の受光ダイオード３９に供給するように構成されて
いる。

これらの光パルスにより他方の受光メイオード齢で生じ
た電気的信号は増幅器ユｓ−ｖ　）　４６　Ｋ供給され
る。この増幅器手エツ）４６の後に、和および差形成の
ための回路部分４フが接続されている。この回路部分４
７内には３つの位相感度を有する整流０槌、４９および
（資）が配置されており、それらの入力端は共通に増幅
器ニー＝　？　）　４６の出力端と接続されて−リ、ま
たそれらのＭ御入力端は制御パルス発生器４のもう１つ
の制御出力端に接続されている。

位相感度を有゛する整流器は図１ｉ　”　Ｅｌｅｋｔｒ
ｉｓｃｌｅＭ８　　　　　”、１９７６年、第１３０目
記載されているような構成であってよい。位相感度を有
する＊ｇｉｓ４８の出力端には、たとえば送光グイオー
Ｆ２から発せられ一方の光通過Ω９を通過した九ノ（ル
スの強度に比例する電ｆｉＪｓが生ずる。位相感度を有
する！ＩｔＩｔ器４９０出力端には、他方の送光ダイオ
ード３かも発せられ他方の光通過０園を通過した光パル
スの強度に比例する電流Ｊ２が生ずる。位相感度を有す
る整流器間の出力１１′１１には、電流（コが生ずる。

これらの整流器の出力電流抵抗５１．５２゜５３および
祠から成る和お゛よび差形成回路を静てｎ路部分ｂ７の
出力端一および謁から取出される。すなわち、−万の出
力端Ｅｔ５には和Ｊ１＋ＪｌＩＣ相当する電気的信号が
生じ、他方の出力端５６には！！Ｊｌ−Ｊ！に相当する
電気的信号が生ずる。この出力Ｄｓ５６に増幅ｓｓｙを
介して指示装置簡が接続されている。

指示装置謁の指示は、測定すべ群物１１ｔに対する尺度
である。なぜならば、同略部分４７の出力端５５からの
出力信号が増幅器４６の制御入力妙に戻され、それ虻よ
り和Ｊ１＋、ｒｌを一定に保つように円節が行なわれて
いるからである。

ｌＥ３図に示されている受信＊ｔｓｏは、他フ１の受光
ダイオード於の罎かにもう１つの受光ダイオード６１が
設けられており、受光ダイオード３９は補助光導体補の
みと、また受光ダイオード６１は補助光導体４１のみと
光学的に給金されている点で謝１図による受信装置と相
違している。１Ｉｌｌ受光ダイオード刃および６１け１
つの電子式切換装置６２と接続されており、この切換装
置は第３図には示されていない送４＃懐置の制御パルス
発生器により端子６３を介して駆動される。切換麹漬６
２の後に増幅器ユニ、ト栃、和および差廖成のための回
路部分４７．増幅器５７ｊ＃よび指示俵置錦が順に１１
！！続されている。

これらの１！素４６　、４７　、８７および錦は先に第
１図で説明したものと同様である。

次に、第１１’ｌないし１３図による一定装置の作動の
仕方を説明する。制御パルス発生−４により制御されて
、送光ダイオード２および３け［４８２１Ｋ示されてい
るように交互に党パルスな！！する。

送光ダイオード２の光パルス−■１け矢印５の方向に光
導体）内を進行し、−万の光導体側１０、集光レンズ系
１３および一方の光通過口２９ｖｅてプリズム２２ｉｋ
通過した後に他方の光導体８の他方の先導体端部１６内
に到達する。光パルス１１の光のうち光結合儒所１２か
ら他方の先導体端部４およびセンサ９を経て他方の光導
体８の一方の光導体１１　！ｌ’ｌ　Ｉｓ　Ｋ到達する
光は、この光に対する上記光伝送路の阻止作用により無
視され得る。この阻止作用は、上α：光導体端部１１に
おける開口角、β：先光導体端１５における開口角）に
ろじて減弱されていることに帰せられる。

この事１１！を以下に第５図および第６図により一層詳
細に説明する。

第５図に示されている１光整流器”は光導体部分７０、
集光レンズ系７１およびもう１つの光導体部分７２から
成る。−万の光導体部分７０は開口角αを有し、他方の
光導体部分πは開口＾βを有する。

両党導体部分７０および花は集光レンズ系から同一の間
隔ａを有する。従って、矢印７３の方向に送ら部分７０
に入る。

一方の光導体部分１の前には集光レンズを、また他方の
光導体部分πの前には散光レンズを配置することにより
、同種の光導体を用いて、異なるドロ角を得ることがで
きる。

ＩＩｌ、６図には、１光整流器”　のもう１つの実施例
が示されている。この場合、一方の光導体部分７４け他
方の光導体部分乃の直径ｄ２と比較して小さい！杼ｄｔ
を有する。一方の光導体部分７４は集光レンズ７６から
間隔すをおいて終端し、他方の光導体部分７５は集光レ
ンズ７６から間隔ＣＶおいて終端している。これらの直
径および間隔が ＱＩ　　　　　Ｄ に選定されていれば、矢印Ｈの方向に進行する光□は、
両党導体部分内の光流が郷大であるとい５前提条件のも
とく、比の滅弱を受ける。

さらに、第５図および＃Ｉ６図の実施例を組み会わせて
光整流器を構成することも可能である。

な釦、一方の光導体部分７０または７４は第ｉｌｌ中の
一方の光導体７の一方の先導体端部１１または他方の光
導体８の一方の先導体端部Ｉｓ　Ｋ　８当し、また他方
の光導体部分７２または７５は第１図中の他方の光導体
８の他方の先導体端部１６および一方の光導体７の他方
の先導体端部１１に相当する。

他方の光導体８および補助光導体４１を経て受光メイオ
ード胎または６１　Ｋ到達するのは、光通過口四の開口
度、従ってまた物理量に対する尺度である強度を有する
光パルスのみである′つその後に他方の送光ダイオード
３から光パルスＩ２が矢印６の方向に他方の光導体８内
に送られると、先導体端部ｔ、集光レンズ系１７および
センサ９を経て先導体７内Ｋ１１ｌ達するのは、光通過
口の有効開口度に相当する強変を有する光の皐である。

この光は補助光導体４０を経て分岐され、受光ダイオー
ド３９に丸夫られる。従って、受光ダイオード３ｇまた
は６１からそれぞれ発せられる電気的信号の大針さはセ
ンサ９の光通過口３ｇおよび美のそのつどの有効開口度
に相当する。しかし、これらの電気的信号は中だ光導体
７および８の範囲の光伝送特性の変化により影響されて
いる。

これらの影響は、比 、ＴＩ　−、Ｔ意 Ｊ１＋２１ を形成することにより消去される。受信義ｆ１３１また
はθ内で和Ｊ１＋Ｊ！は一定に調節されているので、出
力信号は差Ｊ、−，Ｔ、のみに関係している。この信号
は、光導体７および８の範囲の光伝送特性の変化に無関
係に物理量に対する尺度である。

第７図には、差圧測定装置（資）への本発明による装置
の応用例が示されて％、する。差圧測定装置（資）は、
中央貫通礼法を設けられた中央ブーツク８１を含んでい
る。中央プルツク勾の両ＩＩＩＩＫそれぞれ１つの隅離
ダイアフラム＆ｌおよび斜が取付けられている。

間隔離ダイアフラムおおよびＵは相い異なる高圧を与え
られるので、間隔離ダイア７うふと給金されている結合
棒δは差圧に応じて測定ばね欅郭の力に抗して変位せし
められる。給金棒郭の変位に伴い、第１図および１ｌＥ
Ｚ図で詳細忙説甲したような構造で棒釘上に取付けられ
ているセンサのプリズム羽も変位する。センサが配置さ
れている内部空間は耐圧ガラス筒８９により密閉されて
おり、このガラス筒に第１！ｌｉ！ｌ中の光導体−７お
よび８の先導体端部に相当する光導体匍が通されている
。

【図面の簡単な説明】

４１図は本発明による測−装置の１つのＩＩ！施−を示
す図、第２図は填１図の測定装置におけるセンサの１つ
の実施例の平面図、第３図は本発明による測定装置のも
う１つの実施例や受信装置の部分を示す図％第４図は速
信装置の送光ダイオードの作動の仕方の説明図、第１ｓ
ｌ！！ｌは０光整流器１０１つのＩＩ！施例な示す図、
第６図は１光整流器“のもう１つの実施例を示す図、第
７図は本発明を応用した差圧一定装置を示す図である。 １・・・辺信装置、２．３・・・送光〆イオード、４・
・・制御パルス発生器、７．８・・・光導体、９・・・
センサ、１０　、１１・・・先導体端部、１２・・・光
結合個所、１３・・・集光レンズ系、１４・・・光結合
個所、ｔｓ　、　ｔｃ＋・・・先導体端部、１７・・・
集光レンズ系、ｎ・・・プリズム、ｎ・・・絞り。 怒・・・ガラス板、妬・・・絞り、２７．２８・・・光
不透過性範囲、２９．３０・・・光通過口、ｎ・・・受
信装置、３２・・・受光ダイオード、（，３４・・・追
加光導体、ア、３６・・・光結合個所、訂・・・増幅器
、３９・・・受光ダイオード、菊、４１・・・補助光導
体、社、４３・・・光結合個所、柘・・・増幅器二二、
ト、４７・・・和および差形成回路部分、４８〜５０・
・・整流器、５７・・・増幅器、腿・・・指示装置、６
１・・・受光ダイオード、６２・・・切換装置、８０・
・・差圧測定装置、８１・・・中央ブロック、８２・・
・中央貫通孔１ｇ３，８４・・・隔離〆イア７ラム、田
・・・結合棒、易・・・測定ばね棒、８７・・・棒、銘
・・・プリズム、的・・・ガラス筒、曽・・・光導体。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ｌ）測定すべき物卑量により制御される絞りを有するセ
   ンサが２つの光導体を介してオプトエレクトロニ、り送
   信装置およびオプトエレクト−ニック受信装置と接続さ
   れており、受、１膚置が光導体と光学的ＫＩＩ続された
   ２つの受光ダイオードを有しかつ和および差形成のため
   の回路部分を含んでおり、和形成の際に生ずる電気的信
   号を出力する前記回路部分の一方の出力端は前記回路部
   分の前に接続されている増幅器ユニットの制御入力端と
   接続され、それにより調節ループが形成されており、ま
   た差形成のｌ［Ｋ生ずる別の電気的信号を出力する前記
   回路部分の他方の出力端は指示装置に接続されている物
   春景測定装置において、オブトエレク）ｇ二Ｖり送信装
   置１１）が、それぞれ１つの光導体（７，１１）と接続
   されており交互にパルス状に制御されて光を放出する２
   つの送光ダイオード（２，３）を含んでおり、受光ダイ
   オード（３２，３９）が光導体（７，８１と光結合要素
   （３５、３６；　４２　、４３１を介して、一方の受光
   ダイオード（３２）が送光ダイオード（ｉ３）から１接
   に発せられた光を、また他方の受光ダイオード（３９）
   がセンナ（９）を通過した光を受けるように１１１＃さ
   れており、光導体（７゜８）がそれらのセンサ（９）側
   の端部でそれぞれ２つの先導体端部に分岐しており、一
   方の光導体（７）ンサ（９）内の絞り（２３）の運動に
   より開く光通過口（２９）とｔ介して他方の光導体（８
   ）の−万の先導体端部（１６）と、また他方の光導体（
   ８）の他方の先導体端部（１５）は集光レンズ系（１７
   ）とセンサ（９）内の絞り（２３）の運動により閉じる
   別の光通過口（３０）とを介して一方の光導体（７）の
   他方の先導体端部（１１）と光学的に接続されており、
   −万の受光ダイオード（３２）は送光ダイオード（２，
   ３）の機１１１１１１１節のための回路内に配置されて
   おり、また他方の受光ダイオード（３９）は和および差
   形成のための回路部分（４７）の増幅ｓ：Ｌニツ）　（
   ４６＞の前に配置されていることを特徴とする物理量測
   定＃冑。 ２、特許請求の範囲第１項記載の物理量測定装置ＫＭい
   て、他方の受光ダイオード（３９）　Ｋ別の受光ダイオ
   ード（６１）が追加されており、他方の受光ダイオ−）
   ’　ｒ３９）は一方の光導体（７）と、また別の受光ダ
   イオード（・１）は他方の光導体（８）と光学的に接続
   されで封り、他方の受光ダイオード（３９）および別の
   受光ダイオード（６１）は送光ダイオード（２゜３）の
   パルス状制御ＶＣ悪じ℃駆動される電子的切換装置（鯰
   ）を介して増幅器ユニツ）　（４６）の入力端と１！！
   続されていることを特徴とする物理量測定装置。 ３）特許請求の範囲第１項または第２項記載の物瑯貴測
   ９ｉ！鋏ｔに釦いて、送光ダイオード（２，３）が制御
   パルス発生器（４）Ｋ接続されており、和および差形成
   のための回路部分（４７）が３つの位相感度を有する喪
   流！５（４Ｓ、４９．５０）を含んでおり、またこれら
   の整流９１）　（４８，４９，５０）の制御入力端が制
   御パルス発生ＩＩ（４）と！！続されていることを特徴
   とする物理量測定装置。 ４）＊許請求の範囲第１項ないし第３項のいずれかに記
   載の物理量測定装置において、絞り（２３）が物理量に
   応じて運動可能なプリズム（２２）上に保持されており
   、また先導体端部（ｔｏ　、　１１０５．１６）のプリ
   ズム（２２）の１つの面と向かい合っていることを特徴
   とする物理量一定装置。 ５）特許請求の範ｌｆｆ１男４項記戦の物理量測定装置
   において、プリズム（２２）と先導体端部（ｔｏ　、　
   １１　ｇ　１５゜１６）との聞に、直通上を互い虻向か
   い合う光不透過性範１！１（２７，２８）を有する別の
   絞り（拠）が空間的忙固定して配置されており、また可
   動絞り（２３）の運動範囲内に両光違過口（２９、３０
   ）が位置し℃いろことを特徴とする物理量測定装置。 ６）特許請求の範囲第１項ないし第５項のいずれかに記
   載の物理量測定装置において１両先導体の−１の先導体
   端部が他方の先導体端部よりも小さな開口角を有するこ
   と１％徹とする物理量測定装置。 ７）４？許晴求の範囲第１項記載の物理量測定装置にお
   いて、光導体のすべての先導体端部が光学的に同一に構
   成されており、−万の先導体端部の前にはそれぞれ１つ
   の集光レンズが、また−万の先導体端部の前にはそれぞ
   れ１つの散光レンズが配置され℃いることを特徴とする
   物理量測定装置。 ８）特許請求の範囲第１項ないし第５項のいずれかに記
   載の物理量測定装置において、両党導体の−１の先導体
   端部が他方の先導体端部よりも小さい直径を有し、かつ
   他方の先導体端部よりも短い間隔をおいてそれぞれの集
   光レンズ系の前虻配置されていることを特命とする物理
   量測定ｌＩＩ責。 ９）特許請求の範１１１ｉ１４項ないし第８項のいずれ
   か忙記載の物理量測定装置において、圧力または差圧の
   測定用として、内部空間を境いする２つの隔離ダイアフ
   ラムを介して測定ばね（８６）Ｋ抗して圧力または差圧
   に応じて変位せしめられる結合棒（８６１がプリズム（
   ８Ｂ）を保持しており、また内部空。 間がプリズム（ＩＩ）の範囲で外方を、先導体端部が外
   部から導入されている耐圧ガラス筒（８９）　ｖｃより
   密閉されていることを特徴とする物理量測定順Ｌ