JPS631975A - 加速度センサ - Google Patents
加速度センサInfo
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- JPS631975A JPS631975A JP61144472A JP14447286A JPS631975A JP S631975 A JPS631975 A JP S631975A JP 61144472 A JP61144472 A JP 61144472A JP 14447286 A JP14447286 A JP 14447286A JP S631975 A JPS631975 A JP S631975A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P15/00—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/105—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by magnetically sensitive devices
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
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- Y10S73/01—Vibration
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明はカロ速度センサに関する。
従来の技術
自動車のサスペンションやその１ｍの機能部品袈１ｔｌ
ｌＪ ６１して、安全性、操縦性・安定性あるいは乗心
地性等を高める九めｆ、走行時における本体の上下・左
右・前後の方向の加速度を検出する所謂加速センサとし
ては、例えば特開昭５２−４９８７１号公報に示さ７”
Ｌｉｔものがある。この加速度センサは、ｉ体の上下・
左右・前後のうちのある一つの方向の加速度によって永
久磁石乞変位させ、この永久磁石の変位ｔホール素子と
してのホールＩＣの起可力の変化に変換てるようになっ
ている。
ｌＪ ６１して、安全性、操縦性・安定性あるいは乗心
地性等を高める九めｆ、走行時における本体の上下・左
右・前後の方向の加速度を検出する所謂加速センサとし
ては、例えば特開昭５２−４９８７１号公報に示さ７”
Ｌｉｔものがある。この加速度センサは、ｉ体の上下・
左右・前後のうちのある一つの方向の加速度によって永
久磁石乞変位させ、この永久磁石の変位ｔホール素子と
してのホールＩＣの起可力の変化に変換てるようになっ
ている。
発明がノ袢決しようとてる問題点
しかしながら、このような従来の加速度センサにありｃ
は、ホールＩＣに内蔵さｎた単体ホール菓子に作用′ｆ
ろ永久磁石の磁束の向きが一方向に設足さγしているの
で、永久（庭石のある一つの向きの変位、具体的には前
後方向のうちの前向きの変位または後向きの変位によっ
て、単体ホール素子に生じるホール起電力の向きが一つ
になっている。
は、ホールＩＣに内蔵さｎた単体ホール菓子に作用′ｆ
ろ永久磁石の磁束の向きが一方向に設足さγしているの
で、永久（庭石のある一つの向きの変位、具体的には前
後方向のうちの前向きの変位または後向きの変位によっ
て、単体ホール素子に生じるホール起電力の向きが一つ
になっている。
しかも、ホールエＣは温度依存性が強いために、加速度
センサの設置場所の雰囲気温度の変化によって、永久磁
石の同一変位に対しても起電力にばらつきを生じる。こ
の之め、雰囲気温度の変化に応じて起電カケ補正する必
要がある。しかし、この起電力の補正を行なう之めの補
正回路は、温度ｖ′ｒＩＬ気に変換てる温度センサとこ
ｎの出力を基準にホールＩＣの起電圧ｔ１１正する手段
とから構成されるので、回路構成が複雑になるばかりで
なく。
センサの設置場所の雰囲気温度の変化によって、永久磁
石の同一変位に対しても起電力にばらつきを生じる。こ
の之め、雰囲気温度の変化に応じて起電カケ補正する必
要がある。しかし、この起電力の補正を行なう之めの補
正回路は、温度ｖ′ｒＩＬ気に変換てる温度センサとこ
ｎの出力を基準にホールＩＣの起電圧ｔ１１正する手段
とから構成されるので、回路構成が複雑になるばかりで
なく。
小形かつ軽量を望まｎる加速度センサ内に組込むことか
ら、加速度センサ自体が高価になる。
ら、加速度センサ自体が高価になる。
問題点を解決する九めの手段
このような問題点を解決でるために、この発明は、ケ・
−シングＶｃ揺動自在に支持した磁石と、この磁石の磁
束に応じて出力信号が変化する複数の磁気感応素子とン
備え、この複数の磁気感応素子ケ前記磁石の変位によっ
て〃いに逆向きの出力信号を発生する配列にし九構成に
しである。
−シングＶｃ揺動自在に支持した磁石と、この磁石の磁
束に応じて出力信号が変化する複数の磁気感応素子とン
備え、この複数の磁気感応素子ケ前記磁石の変位によっ
て〃いに逆向きの出力信号を発生する配列にし九構成に
しである。
作用
複数の磁気感応素子が磁石の変位によって互いに逆向き
の出力信号を生じるから、設置場所の雰囲気温度による
出力信号のばらつきケ互いに打消し什う作用をする。
の出力信号を生じるから、設置場所の雰囲気温度による
出力信号のばらつきケ互いに打消し什う作用をする。
実施例
以下、この発明の′実施例〉図面に基づいて詳述てろ。
第１〜７図において、１は合成樹脂のような非磁性材か
らなる筒状のケーシングであって、その内部には、２つ
の空間２．３が隔壁４によって図中左右に隔成さｎてい
る。この２つの空間２，３のうちの一方の空間２内には
、−個の永久磁石５が配置さｎｌこの永久磁石５は一方
の空間２０図中上下方向に配置されるリン青銅のような
非磁性材からなる板状の片持はり部材６の上部に固定さ
ｎており、その磁極Ｎ、８は片持はり部材６の板厚方向
（左右方向）両側方に位置さ−ｒ＋、″′Ｃいる。この
片持はり部材６の上部の板厚方向両側面それぞｎには、
非磁性材製のウェイト７．８が固定さｎｌこのウェイト
７．８は永久磁石３夕抱持して固定している。この片持
はり部材６の下端は一方の空間２の下部間ロケ密閉する
蓋体９の内面の左右方向略中夫部に固定さｎている。こ
の蓋体９の内面には、片持はり部材６の板厚方向両側に
おいて、左右障壁部１０．１１が配置・形成さｎている
。
らなる筒状のケーシングであって、その内部には、２つ
の空間２．３が隔壁４によって図中左右に隔成さｎてい
る。この２つの空間２，３のうちの一方の空間２内には
、−個の永久磁石５が配置さｎｌこの永久磁石５は一方
の空間２０図中上下方向に配置されるリン青銅のような
非磁性材からなる板状の片持はり部材６の上部に固定さ
ｎており、その磁極Ｎ、８は片持はり部材６の板厚方向
（左右方向）両側方に位置さ−ｒ＋、″′Ｃいる。この
片持はり部材６の上部の板厚方向両側面それぞｎには、
非磁性材製のウェイト７．８が固定さｎｌこのウェイト
７．８は永久磁石３夕抱持して固定している。この片持
はり部材６の下端は一方の空間２の下部間ロケ密閉する
蓋体９の内面の左右方向略中夫部に固定さｎている。こ
の蓋体９の内面には、片持はり部材６の板厚方向両側に
おいて、左右障壁部１０．１１が配置・形成さｎている
。
−方の空間２内にはダンパオイル１２が封入さｎている
。まｔ前記北方の空間３内には磁気感応素子としてのリ
ニアタイプの複数のホールＩＣｌ３゜１４と、この複数
のホールＩＣｌ３．１４の起電力を増１１！ｌｊる演算
増幅装置１５が格納配置されている。この複数のホール
ＩＣ！１３．１４各々は、一つの単体ホール菓子１６．
１７および図外の信号処理回路とが半導体結晶中に集積
さ几て構成さｎている。この０数のホールＩＣｌ３．１
４は、隔壁４の永久磁石５に近接配置さｎｐ部分に取付
けら八ていると共に、片持はり部材６０図中左右方向（
板厚方向）への几わみによる永久磁石６の矢印Ｘ方向ま
たは矢印Ｙ方向への変位によって互いに逆向きの起′１
カケ発生する配列になっていて、第６図に示すような出
力特性ケ持っている。つまり、複数のホールエＣ１３，
１４の単体ホール素子１６，１７そｎぞ几に素子電流を
逆向きに流しておき、片持はり部材６が左右方向の外力
Ｙ受げずに第５図に示すように直立している場合には。
。まｔ前記北方の空間３内には磁気感応素子としてのリ
ニアタイプの複数のホールＩＣｌ３゜１４と、この複数
のホールＩＣｌ３．１４の起電力を増１１！ｌｊる演算
増幅装置１５が格納配置されている。この複数のホール
ＩＣ！１３．１４各々は、一つの単体ホール菓子１６．
１７および図外の信号処理回路とが半導体結晶中に集積
さ几て構成さｎている。この０数のホールＩＣｌ３．１
４は、隔壁４の永久磁石５に近接配置さｎｐ部分に取付
けら八ていると共に、片持はり部材６０図中左右方向（
板厚方向）への几わみによる永久磁石６の矢印Ｘ方向ま
たは矢印Ｙ方向への変位によって互いに逆向きの起′１
カケ発生する配列になっていて、第６図に示すような出
力特性ケ持っている。つまり、複数のホールエＣ１３，
１４の単体ホール素子１６，１７そｎぞ几に素子電流を
逆向きに流しておき、片持はり部材６が左右方向の外力
Ｙ受げずに第５図に示すように直立している場合には。
永久磁石５の磁束Φが各単体ホール素子１６．１７のホ
ール効果ヶ生じる磁束作用方向に対して９０“ずｎてお
り、この状態が各単体ホール菓子１６゜１７に作用する
磁束密度１０１に設定さ扛ている。
ール効果ヶ生じる磁束作用方向に対して９０“ずｎてお
り、この状態が各単体ホール菓子１６゜１７に作用する
磁束密度１０１に設定さ扛ている。
この磁束密度１０′σ〕状態から片持はり部材６に左向
きσ〕外力がかかり、永久磁石５が第５図の実線位置か
ら父方向に移動して一点鎖線で示τ位Ｉｔ １Ａ１１に
変位てろと、複数のホールＩＣｌ３．１４＆）４１体ホ
ール素子１６．１７そｎぞ几に永久磁石５の磁束Φが下
向きにかかり（直交磁界が下向きにかかり）、複数のホ
ールＩａ１３，１４そｎぞｎからは、１３６図に磁束密
度１−１領域での符号ａ１ｇ＆！で示す逆向きσ〕出力
特性が得らｎるようになっている。こｎとを工逆に、前
記磁束密度１０１の状態から片持＆エリ部材６に右向き
の外力がかかり、永久磁石５が第５図σ）実線位置から
Ｙ方向ＶＣ移動して仮想線で示ｆ位貢側に変位すると、
複数のホールＴＯ１３，１４の単体ホール素子１ｆｌ、
１７をそｒしぞ７″ＬＶｒ永久磁石５０出束Φが上向き
にかかり（直交磁界か土向きにかかり）、複数のホール
ｒｃ１３゜１４そｎぞｎからは、第６図に磁束密度１＋
１領域での符号’ Ｉ ＋ ’ ｌで示−「逆向きの出
力特性が得ら几ろようになつ℃いろ。前記演算増幅装置
１５は、（１１方の（ｆｉｔ Ｈ，−Ｉｔ ｓ内の隔嗜
４と対向する側壁１ａに取付けらｎ−Ｃホール丁ＣＩ３
．１４と電気的に接続さｎている。つまり第７図に示す
よう（で、演算増幅装置１５は２つの演算増幅器１８．
１９を備え、第１段の演算増幅器１８の反転入力端一に
は、−方のホールＩＣ１３（第６図の符号ａ、で示す出
力特性を有する）の出力端および電源ｚＯに接続さｎた
可変抵抗器２１の可動接点２１２１そｎぞ几が接続され
ている。この第１段の演算増幅器１８の非反転入力端＋
はプルダウン抵抗Ｒ，Ｙ介して接地さｎでいろ、この第
１段の演算増幅器１８には抵抗Ｒ，によって負帰還がか
けらｎでいろと共に、その出力端は第２段の演算増幅器
１９の非反転入力端子に接続さｎている。この第２段の
演算増幅器１９０反転入力端一には、他方σ〕ホールＩ
Ｃ１４（第６図σ）符号ａ！で示す出力特性な有する）
の出力端およびプルダウン抵抗Ｒ８それぞ几が接続さｎ
ている。この第２段の演算増幅器１９には抵抗Ｒ４によ
って正帰還がかけらｎｌいる。したがって、この演算増
幅装置ｉ１５は可変抵抗器２１を調整操作−［ることに
よって、複数のホールＩＣｌ３．１４の起電力を入力と
てろ差動増幅回路に構成さ几ている。
きσ〕外力がかかり、永久磁石５が第５図の実線位置か
ら父方向に移動して一点鎖線で示τ位Ｉｔ １Ａ１１に
変位てろと、複数のホールＩＣｌ３．１４＆）４１体ホ
ール素子１６．１７そｎぞ几に永久磁石５の磁束Φが下
向きにかかり（直交磁界が下向きにかかり）、複数のホ
ールＩａ１３，１４そｎぞｎからは、１３６図に磁束密
度１−１領域での符号ａ１ｇ＆！で示す逆向きσ〕出力
特性が得らｎるようになっている。こｎとを工逆に、前
記磁束密度１０１の状態から片持＆エリ部材６に右向き
の外力がかかり、永久磁石５が第５図σ）実線位置から
Ｙ方向ＶＣ移動して仮想線で示ｆ位貢側に変位すると、
複数のホールＴＯ１３，１４の単体ホール素子１ｆｌ、
１７をそｒしぞ７″ＬＶｒ永久磁石５０出束Φが上向き
にかかり（直交磁界か土向きにかかり）、複数のホール
ｒｃ１３゜１４そｎぞｎからは、第６図に磁束密度１＋
１領域での符号’ Ｉ ＋ ’ ｌで示−「逆向きの出
力特性が得ら几ろようになつ℃いろ。前記演算増幅装置
１５は、（１１方の（ｆｉｔ Ｈ，−Ｉｔ ｓ内の隔嗜
４と対向する側壁１ａに取付けらｎ−Ｃホール丁ＣＩ３
．１４と電気的に接続さｎている。つまり第７図に示す
よう（で、演算増幅装置１５は２つの演算増幅器１８．
１９を備え、第１段の演算増幅器１８の反転入力端一に
は、−方のホールＩＣ１３（第６図の符号ａ、で示す出
力特性を有する）の出力端および電源ｚＯに接続さｎた
可変抵抗器２１の可動接点２１２１そｎぞ几が接続され
ている。この第１段の演算増幅器１８の非反転入力端＋
はプルダウン抵抗Ｒ，Ｙ介して接地さｎでいろ、この第
１段の演算増幅器１８には抵抗Ｒ，によって負帰還がか
けらｎでいろと共に、その出力端は第２段の演算増幅器
１９の非反転入力端子に接続さｎている。この第２段の
演算増幅器１９０反転入力端一には、他方σ〕ホールＩ
Ｃ１４（第６図σ）符号ａ！で示す出力特性な有する）
の出力端およびプルダウン抵抗Ｒ８それぞ几が接続さｎ
ている。この第２段の演算増幅器１９には抵抗Ｒ４によ
って正帰還がかけらｎｌいる。したがって、この演算増
幅装置ｉ１５は可変抵抗器２１を調整操作−［ることに
よって、複数のホールＩＣｌ３．１４の起電力を入力と
てろ差動増幅回路に構成さ几ている。
ま几、ＭＩＴｉ己ケーシング１における一０ｉＩｌ壁１
ｂの一方の空間２と対応でる部分には透視窓２２が投げ
らｒしている。この透視窓２２に−は透明又は半透明な
覆蓋２３が嵌殺状態で組付けらｎている。このケーシン
グ１グ） −［１壁１ｂの透視窓２２０周縁ｍＫは、水
準目盛２４．２Ｆｌが投げらｎている。
ｂの一方の空間２と対応でる部分には透視窓２２が投げ
らｒしている。この透視窓２２に−は透明又は半透明な
覆蓋２３が嵌殺状態で組付けらｎている。このケーシン
グ１グ） −［１壁１ｂの透視窓２２０周縁ｍＫは、水
準目盛２４．２Ｆｌが投げらｎている。
他方、９聞２内ＩＣは、ダンパオイル１２の熱膨張によ
って一万〇）空１１１２が破壊さｒしるの？防止でるた
めに気泡ｚ６が封じ込めらｎｌおり、加速度センサを設
置するときに気泡２６の位ｍＶ、上記水準目盛２４ま九
は２５に位置合わせることによって、加速度センサの加
速度検出方向と、実加速度入力方向との位置合せを行う
所謂水準器２７になっている。このケーシング１の一９
１１１壁１ｂにおける他方の空間３と対応する部分には
、加速度センサの出力、つまりホールＩＣｌ３．１４の
磁束密度ＩＱＩ状態での演算増幅装置１５の出力がＩ□
ｌのときに点灯する調整用の表示灯２８が設げらｎてい
る。
って一万〇）空１１１２が破壊さｒしるの？防止でるた
めに気泡ｚ６が封じ込めらｎｌおり、加速度センサを設
置するときに気泡２６の位ｍＶ、上記水準目盛２４ま九
は２５に位置合わせることによって、加速度センサの加
速度検出方向と、実加速度入力方向との位置合せを行う
所謂水準器２７になっている。このケーシング１の一９
１１１壁１ｂにおける他方の空間３と対応する部分には
、加速度センサの出力、つまりホールＩＣｌ３．１４の
磁束密度ＩＱＩ状態での演算増幅装置１５の出力がＩ□
ｌのときに点灯する調整用の表示灯２８が設げらｎてい
る。
以上の実施例構造によルば、皿体の上下・左右・前後の
うちのある一つの方向の加速度によって、片持はり部材
６がＸ方向の向きとＹ方向の向きとに念わむように、ケ
ーシング１を車体の所定部分に、水準目盛２４．２５と
気泡２６とからなる水重器２７によってケーシングの水
平を採りながら取付ける。−方、ホールＩＣ！１３ 、
１４と演算増幅装［１５とに通電し、図外の操作杆によ
って可変抵抗器２１の可動接点２１ａを摺動操作して、
表示灯２８を点灯させるように、加速度センサの出力−
１１’ａｌｌＡ整を行なう、すると、自動車の加速。
うちのある一つの方向の加速度によって、片持はり部材
６がＸ方向の向きとＹ方向の向きとに念わむように、ケ
ーシング１を車体の所定部分に、水準目盛２４．２５と
気泡２６とからなる水重器２７によってケーシングの水
平を採りながら取付ける。−方、ホールＩＣ！１３ 、
１４と演算増幅装［１５とに通電し、図外の操作杆によ
って可変抵抗器２１の可動接点２１ａを摺動操作して、
表示灯２８を点灯させるように、加速度センサの出力−
１１’ａｌｌＡ整を行なう、すると、自動車の加速。
制ｍ、上下揺動あるいは左右方向への傾き等によって加
速度が生じｔ場合、この加速度が片持はり部材６に作用
し工、該片持はり部材６の上部（自由端部）が蓋体９と
の連接部分Ｚ中心として九わみ、永久磁石５がＸ方向ま
たはＹ方向に変位し、直交磁界が永久磁石５からホール
ＩＣｌ３．１４の単体ホール素子１６ 、１７＆Ｃ作用
して、該ホールｒｃ１３，１４の起電力に基づいて演算
増幅装＠ｉｓの出力１１１１１Ｓａに所要の電気出力が
得らｎるのである、この際、第６図に仮想線で示す高温
時の特性あるいは点線で示す低温時の特性から明らかな
ように、加速度センサの設置場所の雰囲気温度の変化に
よつτ、ホールＩＣｌ３．１４の起電力は、永久磁石５
の同一変位、即ち同一の磁束密度Ｂ、に対してもその値
がＥｌ、 Ｐ 、（高温時）、”’ ｔ ＊ Ｅ４ （
低温時）とばらつく。しかしながら、この起電力Ｅ、〜
Ｅ４のばらつきは、複数のホールＩＣｌ３．１４が互い
に逆向きの出力特性になっているので、この複数のホー
ルＩＣｌ３，１４の出力を差動増幅する増演増幅装［１
５の出力端からは、前記温度変化に伴なう誤差の除去さ
几之真の電気出力が取り出せろ。ま念、−方の空間２内
にはダンパオイル１２が封入さｎているので、瞬間的な
加速度の変化に関しては、ダンパオイル１２が片持はり
部材６のたわみへの減衰力として作用するので、加速度
センサの応答性が安定する。しかもウェイト７．８によ
って片持はり部材６のたわみ瞳が適正に調整さｎている
。
速度が生じｔ場合、この加速度が片持はり部材６に作用
し工、該片持はり部材６の上部（自由端部）が蓋体９と
の連接部分Ｚ中心として九わみ、永久磁石５がＸ方向ま
たはＹ方向に変位し、直交磁界が永久磁石５からホール
ＩＣｌ３．１４の単体ホール素子１６ 、１７＆Ｃ作用
して、該ホールｒｃ１３，１４の起電力に基づいて演算
増幅装＠ｉｓの出力１１１１１Ｓａに所要の電気出力が
得らｎるのである、この際、第６図に仮想線で示す高温
時の特性あるいは点線で示す低温時の特性から明らかな
ように、加速度センサの設置場所の雰囲気温度の変化に
よつτ、ホールＩＣｌ３．１４の起電力は、永久磁石５
の同一変位、即ち同一の磁束密度Ｂ、に対してもその値
がＥｌ、 Ｐ 、（高温時）、”’ ｔ ＊ Ｅ４ （
低温時）とばらつく。しかしながら、この起電力Ｅ、〜
Ｅ４のばらつきは、複数のホールＩＣｌ３．１４が互い
に逆向きの出力特性になっているので、この複数のホー
ルＩＣｌ３，１４の出力を差動増幅する増演増幅装［１
５の出力端からは、前記温度変化に伴なう誤差の除去さ
几之真の電気出力が取り出せろ。ま念、−方の空間２内
にはダンパオイル１２が封入さｎているので、瞬間的な
加速度の変化に関しては、ダンパオイル１２が片持はり
部材６のたわみへの減衰力として作用するので、加速度
センサの応答性が安定する。しかもウェイト７．８によ
って片持はり部材６のたわみ瞳が適正に調整さｎている
。
ま友前記実施例においてはケーシング１に付ｌた水準目
盛２４．２５と一方の空間２内に封じ込めらｎる気泡２
６とからなる水準器２７を例示したものを図示して説明
したけれども、第１図に仮想線で示すように、透明容器
２９内に気泡３０が形成さｎるように液体ヶ封入してな
る水準器３１！ケーシング１の外周面に取付けても同様
の効果がある。
盛２４．２５と一方の空間２内に封じ込めらｎる気泡２
６とからなる水準器２７を例示したものを図示して説明
したけれども、第１図に仮想線で示すように、透明容器
２９内に気泡３０が形成さｎるように液体ヶ封入してな
る水準器３１！ケーシング１の外周面に取付けても同様
の効果がある。
さらに１ａ合により′Ｃは、図示は省略するが、ホール
素子は単体ホール素子だけで構成することもできる。こ
の場合にはホールＩＣの信号処理回路！４ は演算増幅装置内に組付けてもよい、また、他の磁気感
応素子例えば、磁気抵抗素子等を用いることもで鎗ろ。
素子は単体ホール素子だけで構成することもできる。こ
の場合にはホールＩＣの信号処理回路！４ は演算増幅装置内に組付けてもよい、また、他の磁気感
応素子例えば、磁気抵抗素子等を用いることもで鎗ろ。
発明の効果
以上のように本発明によｎば、複数の磁気感応素子を磁
石の変位によって互いに逆向きの出力信号！発生でる配
列にしであるので、雰囲気温度の変化によって、磁石の
同一変位に対する出力信号のばらつきを、〃いに打消し
合うことができる。
石の変位によって互いに逆向きの出力信号！発生でる配
列にしであるので、雰囲気温度の変化によって、磁石の
同一変位に対する出力信号のばらつきを、〃いに打消し
合うことができる。
この結果、温度依存在の強い磁気感応素子Ｙ便うことに
よって生じる温度センサとこ几の出力を基準に侮気惑応
菓子の出力信号を修正てる手段とからなる回路構成の複
雑な出力信号の補旧回路ｔ′４１略てることができる。
よって生じる温度センサとこ几の出力を基準に侮気惑応
菓子の出力信号を修正てる手段とからなる回路構成の複
雑な出力信号の補旧回路ｔ′４１略てることができる。
したがって加速度センサを安価に提供できる新規な効果
がある。
がある。
第１図はこの発明の一実施例を示″ｆ全体斜視図、第２
図は第１図のｌｌ−１線に沿う断面図、第３図は＠２図
の■−■線に沿う断面図、第４図レエ第２図σ）Ｎ−’
Ｎ線に沿う断面図、第５図はこの発明の作用説明図、第
６図はホールｒｃの磁束密度と起電力との関係を示す出
力特性図、第７図はホールＩＣと演′纂増幅器との電気
回路図である。 １・・・ケーシング、５・・・永久磁石（磁石）、１３
゜Ｉ４・・・ホールＩＣ（磁気感応素子）、１６ 、１
７・・・単体ホール素子（磁気感応素子）。 外２名 第６図 砿ｆ？、乞 夏 （Ｇｕｓｓ ） 第７図
図は第１図のｌｌ−１線に沿う断面図、第３図は＠２図
の■−■線に沿う断面図、第４図レエ第２図σ）Ｎ−’
Ｎ線に沿う断面図、第５図はこの発明の作用説明図、第
６図はホールｒｃの磁束密度と起電力との関係を示す出
力特性図、第７図はホールＩＣと演′纂増幅器との電気
回路図である。 １・・・ケーシング、５・・・永久磁石（磁石）、１３
゜Ｉ４・・・ホールＩＣ（磁気感応素子）、１６ 、１
７・・・単体ホール素子（磁気感応素子）。 外２名 第６図 砿ｆ？、乞 夏 （Ｇｕｓｓ ） 第７図
Claims (1)
- ケーシングに揺動自在に支持した磁石と、この磁石の
磁束に応じて出力信号が変化する複数の磁気感応素子と
、を備え、この複数の磁気感応素子を前記磁石の変位に
よつて互いに逆向きの出力信号を発生する配列にしたこ
とを特徴とする加速度センサ。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61144472A JPS631975A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | 加速度センサ |
| US07/063,263 US4870864A (en) | 1986-06-20 | 1987-06-17 | Accelerometer |
| DE8787108798T DE3781472T2 (de) | 1986-06-20 | 1987-06-19 | Beschleunigungsmesser. |
| EP87108798A EP0251069B1 (en) | 1986-06-20 | 1987-06-19 | Accelerometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61144472A JPS631975A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | 加速度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS631975A true JPS631975A (ja) | 1988-01-06 |
Family
ID=15363085
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61144472A Pending JPS631975A (ja) | 1986-06-20 | 1986-06-20 | 加速度センサ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4870864A (ja) |
| EP (1) | EP0251069B1 (ja) |
| JP (1) | JPS631975A (ja) |
| DE (1) | DE3781472T2 (ja) |
Cited By (2)
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| JPH0195667U (ja) * | 1987-12-18 | 1989-06-23 | ||
| US5897096A (en) * | 1996-05-27 | 1999-04-27 | Denso Corporation | Solenoid valve apparatus |
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-
1986
- 1986-06-20 JP JP61144472A patent/JPS631975A/ja active Pending
-
1987
- 1987-06-17 US US07/063,263 patent/US4870864A/en not_active Expired - Fee Related
- 1987-06-19 EP EP87108798A patent/EP0251069B1/en not_active Expired
- 1987-06-19 DE DE8787108798T patent/DE3781472T2/de not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3781472D1 (de) | 1992-10-08 |
| EP0251069B1 (en) | 1992-09-02 |
| DE3781472T2 (de) | 1993-02-04 |
| EP0251069A1 (en) | 1988-01-07 |
| US4870864A (en) | 1989-10-03 |
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