JPH04145331A - 振動計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、振動計、特に産業機械等の振動計測に適用し
うる振動計に関する。

〔従来の技術〕

従来の技術としては、例えば特開昭５７−１３３２５号
公報に示されているように、磁石とホール素子による振
動計がある。

第２図は従来の振動計の一例を示す構成図である。永久
磁石７は板バネ２によって弾性的に支持され振子を構成
している。一対のホール素子８−ａ、８−ｂは、永久磁
石７との相対距離が差動的に変化するように筺体１に配
置、固定されている。

ホール素子８−ａ、８−ｂに制御電流源９から一定の電
流ｄ、ｅを流す、ここで、筺体１に振動が加えられると
、振子の運動による永久磁石７とホール素子８−ａ、８
−ｂの相対位・１変化量Ｘに対応し、ホール素子８−ａ
、８−ｂに加わる磁界の強度が差動的に変化して、各ホ
ール素子８−ａ、８−ｂの出力電圧ｆ、ｇが変化する。

差動アンプ６は出力電圧ｆ、ｇを差動的に処理し、差動
出力信号Ｃを出力する。電流ｄ、ｅは一定であるため、
差動出力信号Ｃはホール素子８−ａ、８−ｂの相対位置
変化量Ｘに比例し、これにより筺体１に加えられた振動
の計測ができる。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来の振動計は、一対のホール素子の永久磁石
との相対距離変化で振動を検出するため、強磁場内では
磁気の影響を受けて誤差を生じるという欠点があった。

〔課題を解決するための手段〕

本発明の振動計は、筺体内にあって板バネで左右方向に
弾性的に変位可能なよう支持された振子と、前記振子の
上面に固定され垂直方向にレーザ光を照射するレーザ光
照射器と、静止状態の際に該レーザ光が中心にくるよう
に且つ水平方向に配置され前記筺体に固定された一次元
光位置検出器と、前記一次元光位置検出器からの出力を
差動的に処理する差動アンプとを含んで構成される。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について、図面を参照して説明す
る。

第１図は本発明の一実施例を示す構成図である。

第１図に示す振動計は、筺体１の内部下面に１端を固定
された板バネ２と、板バネ２の他端に固定された振子３
と、振子３の上面に固定され、垂直方向にレーザ光を照
射するレーザ照射器としてのレーザダイオード（以下Ｌ
Ｄ）４と、系が静止状態の際にこのレーザ光が中心に受
光されるように、且つ、レーザ光位置の検出方向が左右
方向になるように筺体内部上面に固定された一次元ＰＳ
Ｄ　（光位置検出器）５と、一次元ＰＳＤ５の出力信号
ａ、ｂを受けてこの信号を差動的に処理し、差動出力信
号Ｃを出力する差動アンプ６とを含んで構成される。

筺体１に左右方向の振動が加えられると、振子３が振動
し一次元ＰＳＤ５の受光位置が変化する。このとき、一
次元ＰＳＤ５からの出力信号ａ、ｂを差動アンプ６で処
理した差動出力信号Ｃは一次元ＰＳＤ５での受光位置の
中心からの変化量に比例するため、これにより筺体１に
加えられた振動の計測ができる。

〔発明の効果〕

本発明の振動計は、一対のホール素子の永久磁石との相
対距離変化で振動を検出する代りに、一次元ＰＳＤの受
光位置の変化で振動を検出するため、強磁場内でも正確
な振動の計測ができる、という効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の示す構成図、第２図は従来
の一例を示す構成図である。 １・・・・・・筺体、２・・・・・・板バネ、３・・・
・・・振子、４・・・・・・ＬＤ、５・・・・・・一次
元ＰＳＤ、６・・・・・・差動アンプ、７・・・・・・
永久磁石、８−ａ、８−ｂ８・・・・・・ホール素子、
９・・・・・・制御電流源、ａ、ｂ・・・・・・一次元
ＰＳＤ出力信号、Ｃ・・・・・・差動アンプ出力信号、
ｄ、ｅ・・・・・・一定電流、ｆ、ｇ・・・・・・ホー
ル素子出力電圧。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 筺体内にあって板バネで左右方向に弾性的に変位可能な
   よう支持された振子と、前記振子の上面に固定され垂直
   方向にレーザ光を照射するレーザ光照射器と、静止状態
   の際に該レーザ光が中心にくるように且つ水平方向に配
   置され前記筺体に固定された一次元光位置検出器と、前
   記一次元光位置検出器からの出力を差動的に処理する差
   動アンプとを含むことを特徴とする振動計。