JP3259079B2 - 加速度計 - Google Patents

加速度計

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JP3259079B2
JP3259079B2 JP30037293A JP30037293A JP3259079B2 JP 3259079 B2 JP3259079 B2 JP 3259079B2 JP 30037293 A JP30037293 A JP 30037293A JP 30037293 A JP30037293 A JP 30037293A JP 3259079 B2 JP3259079 B2 JP 3259079B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、加速度計、特にサーボ
型加速度計に関する。
【0002】
【従来の技術】図2及び図3に従来の加速度計の例を示
す。加速度計は、第1の基台又はフレーム10と第2の
基台又はフレーム12とを有し、第1のフレーム10の
係合部10eと第2のフレーム12の係合部12eとは
互いに係合し、それによって両フレーム10、12は接
続されている。
【0003】加速度計は、更に、第1のフレーム10の
取り付け部10aに押さえ板18を介して適当な締結具
例えばねじ等によって取り付けられた撓み継ぎ手20
と、斯かる撓み継ぎ手20の他端に装着された棒状の振
り子30と、斯かる振り子30に装着された円筒状の1
対のトルカコイル34A、34Bと、斯かるトルカコイ
ル34A、34Bより隔置されて各フレーム10、12
に装着された円板状の1対の永久磁石36A、36B及
び円筒状の1対のポールピース38A、38Bと、振り
子30の先端部にてそれより隔置された発光素子40A
及び受光素子40Bとからなる変位検出装置とを有す
る。
【0004】振り子30の先端部にてそれより隔置され
て1対のストッパ42A、42Bが配置されており、斯
かるストッパ42A、42Bによって振り子30の振幅
が制限される。ストッパ42A、42Bの外面に形成さ
れた雄ねじが第1及び第2のフレーム10、12に形成
された雌ねじに係合するように構成されており、ストッ
パ42A、42Bを回転させることによってストッパ4
2A、42Bは軸線方向に移動し、それによって振り子
30の振幅を調節することができる。
【0005】第1のフレーム10のフランジ部10bに
は基準面10cが設けられており、また図2に示す如く
孔10dが形成されている。斯かる基準面10cを被測
定物体の対応する基準面に装着し、孔10dに適当な締
結具例えばねじを挿入することによって、加速度計は被
測定物体に装着固定される。
【0006】第1のフレーム10のフランジ部10bに
は円筒状の端子ケース44が装着され、斯かる端子ケー
ス44には外部端子50A、50Bが取り付けられ、端
子ケース44に形成された開口部44aは蓋54によっ
て閉鎖されるように構成されている。尚、ストッパ42
A、42Bが配置されているねじ孔も外側より接着剤等
によってシールされている。
【0007】こうして加速度計の内部は密閉構造となっ
ており、従って、その内部の構成部を組み立てた後、開
口部44aを介して電気的な結線をなし、内部を真空に
し又は不活性ガスにて充填し、蓋54によって斯かる開
口部44aを閉鎖することによって、構成部品の品質を
長期に亘って保持し、加速度計の寿命を長くすることが
できる。
【0008】振り子30と振り子30に装着されたトル
カコイル34A、34Bと撓み継ぎ手20とは第1のフ
レーム10の取り付け部10aにて片持ち支持されてお
り、撓み継ぎ手20には適当な撓み部20aが形成さ
れ、それによって振り子30は斯かる撓み部20aを通
る回転軸線O−O周りに揺動することができる。撓み部
20aは、例えば図3に示すように、撓み継ぎ手20に
矩形の孔20eを形成しその両側の2本の支柱部に薄肉
部を形成するように構成してよい。
【0009】第1のフレーム10は電磁軟鉄よりなり、
第1のポールピース38Aから第1の永久磁石36Aを
介して第1のフレーム10まで磁気回路を形成するべく
ヨーク(リターンパス)として機能し、これらは第1の
トルカコイル34Aと共働して第1のトルカを提供す
る。第2のフレーム12は電磁軟鉄よりなり、第2のポ
ールピース38Bから第2の永久磁石36Bを介して第
2のフレーム12まで磁気回路を形成するべくヨーク
(リターンパス)として機能し、これらは第2のトルカ
コイル34Bと共働して第2のトルカを提供する。
【0010】ここで、図示のように、静止状態に於ける
振り子30の中心軸線に沿った方向をZ軸とし、Z軸に
垂直な方向即ち加速度計の中心軸線X−Xに沿った方向
をX軸とし、X軸及びZ軸の双方に直交する方向をY軸
とする。
【0011】円筒状のトルカコイル34A、34Bはそ
の中心軸線が加速度計の中心軸線X−Xと整合するよう
に振り子30に装着され、円筒状のポールピース38
A、38Bはその内部に配置されている。
【0012】加速度計の中心軸線X−Xに沿って加速度
が作用すると、振り子30は撓み部20aを通る回転軸
線O−O周りに回転し、その先端部は微小変位する。そ
れによって、発光素子40Aによって発光され受光素子
40Bによって受光される光量が変化し、振り子30の
先端の微小変位が検出される。
【0013】こうして変位検出装置によって検出された
微小変位を指示する信号は、トルカコイル34A、34
Bにフィードバックされ、微小変位が零になるようにト
ルカコイル34A、34Bに流れる電流が制御される。
斯かる電流即ち拘束電流は入力加速度に比例しているか
ら、この拘束電流を検出することによって入力加速度を
計測することができる。
【0014】図4を参照して加速度計の第2の従来例を
説明する。図4は第2の従来例の第1のトルカの部分の
詳細を示す。第2のトルカは第1のトルカと同様な構成
を有し、第1及び第2のトルカ以外の部分は図2及び図
3を参照して説明した加速度計の第1の従来例と同様な
構成を有する。尚、斯かる図4に示した加速度計の詳細
は本願出願人と同一の出願人による特願平1−1355
24号を参照されたい。
【0015】この第2の従来例は、加速度計のスケール
ファクタが温度によって変化することを防止するように
構成されている。永久磁石の起磁力は周囲の温度変化に
よって変動しそれによって入力加速度に対する検出加速
度の比、即ち、加速度計のスケールファクタが変動す
る。従って、周囲の温度が変化すると正確な加速度を検
出することができない欠点があった。
【0016】斯かる欠点を除去するためには、ポールピ
ース38Aと第1のフレーム10(壺形ヨーク)との間
の円周方向の間隙Gを通る磁束ΦG が周囲の温度が変化
に影響されずに常に一定であればよい。この例による
と、第1のトルカの中心軸線に沿って円形断面の整磁合
金製のスプール部材60Aが設けられている。即ち、第
1のフレーム10、永久磁石36A及びポールピース3
8Aに貫通孔を設け、斯かる貫通孔にスプール部材60
Aが挿入されている。
【0017】スプール部材60Aは中央の径が小さい磁
束補償部60bとその両側の径が大きい磁束導入部60
a、60cとを有し、内側の磁束導入部60aはポール
ピース38A内に配置され、中間の磁束補償部60bは
永久磁石36A内に配置され、外側の磁束導入部60c
は第1のフレーム10(壺形ヨーク)内に配置されてい
る。
【0018】図4の矢印によって示すように、永久磁石
36Aを通る磁束ΦM は第1のフレーム10(壺形ヨー
ク)を通る磁束ΦG とスプール部材60Aを通る磁束Φ
S とに分割される。磁束補償部60bの径と磁束導入部
60a、60cの径との比を所定の値にすれば、間隙G
を通る磁束ΦG は常に一定になる。
【0019】こうして、第1のトルカにスプール部材6
0Aを配置し、磁束補償部60bと磁束導入部60a、
60cの断面積の比を適当な値に設定することによっ
て、ポールピース38Aより間隙Gを通って第1のフレ
ーム10(壺形ヨーク)を通る磁束ΦG が一定となり、
温度変動によるスケールファクタ誤差が除去される。
【0020】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、斯かる
従来の加速度計では、ストッパ42A、42Bとスプー
ル部材60A、60Bとは別個の部材として構成されて
いたから、構造が複雑となり、製造工程が多くなる欠点
があった。
【0021】また従来の例では、スプール部材60A、
60Bはポールピース38A及び第1のフレーム10
(壺形ヨーク)又は第2のフレーム12(壺形ヨーク)
に形成された孔に圧入等によって固定されていた。即
ち、スプール部材60A、60Bの内側の磁束導入部6
0aはポールピース38Aの孔に圧入され、外側の磁束
導入部60cは第1のフレーム10又は第2のフレーム
12の孔に圧入されていた。
【0022】従って、従来の加速度計では永久磁石36
A、36B、ポールピース38A、38B、フレーム1
0、12(壺形ヨーク)及びスプール部材60A、60
Bを含むトルカを製造し組み立てる作業が困難であっ
た。
【0023】本発明は、斯かる点に鑑み、周囲の温度変
化によってスケールファクタが変動することがなく常に
正確な加速度を検出することが可能であり、且つ構造が
簡単な加速度計を提供することを目的とする。
【0024】
【課題を解決するための手段】本発明によると、基台1
0、12と、第1の端部が基台10、12に装着された
可撓継手20と、可撓継手20の第2の端部に取り付け
られた振り子30と、振り子30に入力された加速度に
比例したトルクを発生させるトルカと、基台10、12
と振り子30との間の相対的変位を検出する変位検出装
置40A、40Bとを有する加速度計において、トルカ
は壺形ヨーク10、12と壺形ヨーク10、12の凹部
に配置された永久磁石36A、36Bとポールピース3
8A、38Bと整磁合金製のスプール部材60A、60
Bとを有し、スプール部材60A、60Bは壺形ヨーク
10、12、永久磁石36A、36B及びポールピース
38A、38Bを貫通して延在し、温度変化に起因した
スケールファクタの変動がないような形状に形成され、
且つその内端は振り子30の振幅を制限するストッパと
して機能するように構成されている。
【0025】本発明によると、加速度計において、スプ
ール部材60A、60Bは永久磁石36A、36Bを貫
通して延在し断面が小さい磁束補償部60bと磁束補償
部60bの両側に配置され壺形ヨーク10、12及ポー
ルピース38A、38Bを貫通して延在し断面が大きい
磁束導入部60a、60cとを有する。
【0026】本発明によると、加速度計において、スプ
ール部材60A、60Bの磁束導入部に形成された雄ね
じは各々上記壺形ヨーク10、12及ポールピース38
A、38Bに形成された雌ねじに係合する。
【0027】本発明によると、加速度計において、スプ
ール部材60A、60Bの外端部はナット62A、62
Bによって壺形ヨーク10、12の外端面に固定され、
それによってスプール部材60A、60Bは引っ張り力
によって支持されるように構成されている。
【0028】
【作用】本発明によると、周囲の温度変化に起因する誤
差を除去するために設けたスプール部材60A、60B
は同時に振り子30の振幅を制限するためのストッパと
して機能する。
【0029】
【実施例】以下に図1を参照して本発明の実施例につい
て説明する。尚、図1において、図2〜図4の対応する
部分には同一の参照符号を付してその詳細な説明は省略
する。
【0030】本例の加速度計は中心軸線X−Xに整合し
て配置されたスプール部材60A、60Bを有し、斯か
るスプール部材60A、60Bは円形断面の整磁合金よ
りなる。尚、スプール部材60A、60Bを中心軸線X
−Xより偏倚させて配置してもよい。
【0031】スプール部材60A、60Bは内側の磁束
導入部60aと外側の磁束導入部60cと斯かる2つの
磁束導入部60a、60cの間に配置された磁束補償部
60bとを有する。磁束補償部60bの断面積は小さ
く、磁束導入部60a、60cの断面積は大きい。
【0032】スプール部材60A、60Bの内側の磁束
導入部60aはそれぞれポールピース38A、38B内
に配置され、磁束補償部60bはそれぞれ永久磁石36
A、36B内に配置され、外側の磁束導入部60cはそ
れぞれ第1及び第2のフレーム10、12内に配置され
ている。
【0033】本例によると、スプール部材60A、60
Bは磁束導入部60a、60bに形成されたねじによっ
て装着されている。内側の磁束導入部60aの円周外面
に形成された雄ねじはそれぞれポールピース38A、3
8Bの孔に形成された雌ねじに係合し、外側の磁束導入
部60cの円周外面に形成された雄ねじはそれぞれ第1
及び第2のフレーム10、12の孔に形成された雌ねじ
に係合している。磁束補償部60bの円周外面と永久磁
石36A、36Bの孔の内面との間には間隙が形成され
ている。
【0034】従って、スプール部材60A、60Bを回
転させることによってスプール部材60A、60Bは中
心軸線X−Xに沿って前進し又は後退する。即ち、スプ
ール部材60A、60Bの内端を中心軸線X−Xに沿っ
て前進させ又は後退させるためには、スプール部材60
A、60Bをねじに沿って回転させればよい。
【0035】本例によれば、スプール部材60A、60
Bの内端は振り子30の振幅を制限するためのストッパ
として機能する。従って、スプール部材60A、60B
の内端はポールピース38A、38Bの内面より突出し
ている。スプール部材60A、60Bを回転させて中心
軸線X−Xに沿って移動させることによって、振り子3
0の振幅が調節される。
【0036】好ましくは、スプール部材60A、60B
の外側の磁束導入部60cの外端部はそれぞれ第1及び
第2のフレーム10、12の外端面より突出して延在し
ており、斯かる磁束導入部60cの突出部にはナット6
2A、62Bが装着されている。
【0037】ナット62A、62Bを締め付けることに
よって、スプール部材60A、60Bには引っ張り応力
が発生し、スプール部材60A、60Bの磁束導入部6
0a、60cはそれぞれポールピース38A及び第1の
フレーム10にねじ部にて完全に密着する。それによっ
て、ねじ面を通る磁気抵抗の小さな磁路を形成すること
ができる。
【0038】更に、スプール部材60A、60Bの内端
の位置を自由に調節することができ、調節されたスプー
ル部材60A、60Bをナット62A、62Bによって
固定することができる。
【0039】次に、本例の加速度計において、周囲の温
度変化に起因する誤差を除去する機能を説明する。本例
によると、周囲の温度変化に起因する誤差を除去するた
めに、スプール部材60A、60Bの磁束導入部60
a、60cと磁束補償部60bとの断面積の比が所定の
値に設定される。
【0040】従来の例と同様に、図4を参照して第1の
トルカについて説明する。永久磁石36Aによって発生
する磁束ΦM は第1のフレーム10(壺形ヨーク)を通
る磁束ΦG とスプール部材60Aを通る磁束ΦS とに分
割されるから、それぞれの磁路の断面積をAM 、AG
S 、磁束密度をBM 、BG 、BS とすれば、次の式が
成り立つ。
【0041】
【数1】ΦM =ΦG +ΦSM M =AG G +AS S
【0042】間隙Gを通る磁束ΦG の磁束密度BG が温
度Tに依らず一定であるという条件は次のようになる。
【0043】
【数2】∂BG /∂T=0
【0044】各磁路の断面積AM 、AG 、AS は温度T
に依らず一定であると仮定すると次の式が得られる。
【0045】
【数3】AM (∂BM /∂T)=AS (∂BS /∂T)
【0046】磁束密度BM 、BS の温度係数αM 、αS
は次の式によって表される。
【0047】
【数4】αM =(1/BM0)(∂BM /∂T) αS =(1/BS0)(∂BS /∂T)
【0048】BM0、BS0は動作状態における磁束密度で
ある。
【0049】数3の式と数4の式より次の式が求められ
る。
【数5】AS =AM (αM M0/αS S0
【0050】スプール部材60Aを通る磁路の断面積を
S は磁束補償部60bの断面積である。斯かる断面積
S は数5の式によって求められる。こうして、第1の
トルカにスプール部材60Aを配置し、磁束補償部60
bの断面積を磁束導入部60a、60cの断面積に対し
て適当な値に設定することによって、ポールピース38
Aより間隙Gを通って第1のフレーム10(壺形ヨー
ク)を通る磁束ΦG が一定となり、温度変動によるスケ
ールファクタ誤差が除去される。
【0051】以上本発明の実施例について詳細に説明し
てきたが、本発明は上述の実施例に限ることなく本発明
の要旨を逸脱することなく他の種々の構成が採り得るこ
とは当業者にとって容易に理解されよう。
【0052】
【発明の効果】本発明の加速度計では、スプール部材6
0A、60Bは振り子30の振幅を制限するストッパと
して機能するから、振り子30のストッパを別個に設け
る必要がない利点がある。
【0053】本発明の加速度計では、スプール部材60
A、60Bの円周外面に形成された雄ねじはポールピー
ス38A、38B及び第1及び第2のフレーム10、1
2の孔に形成された雌ねじに係合しているから、スプー
ル部材60A、60Bを容易に装着することができる利
点がある。
【0054】本発明の加速度計では、スプール部材60
A、60Bの円周外面に形成された雄ねじはポールピー
ス38A、38B及び第1及び第2のフレーム10、1
2の孔に形成された雌ねじに係合しているから、振り子
30のストッパとして機能するスプール部材60A、6
0Bの内端の位置を容易に変化させることができる利点
がある。
【0055】本発明の加速度計では、スプール部材60
A、60Bの外端部はナットによって第1及び第2のフ
レーム10、12の外面に固定されているから、スプー
ル部材60A、60Bを所定の位置に強固に固定して支
持することができる利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の加速度計の例を示す断面図である。
【図2】従来の加速度計の例を示す断面図である。
【図3】従来の加速度計の例の内部を示す平面図であ
る。
【図4】従来の加速度計の一部を示す図である。
【符号の説明】
10 基台(フレーム) 10a 取り付け部 10b フランジ部 10c 基準面 10d 孔 10e 係合部 12 基台(フレーム) 12e 係合部 18 押さえ板 20 撓み継ぎ手 20a 撓み部 20b 固定部 20d 装着部 20e 孔 30 振り子 34A、34B トルカコイル 36A、36B 永久磁石 38A、38B ポールピース 40A 発光素子 40B 受光素子 42A、42B ストッパ 44 端子ケース 44a 開口部 50A、50B 外部端子 54 蓋 60A、60B スプール部材 60a、60c 磁束導入部 60b 磁束補償部 62A、62B ナット
フロントページの続き (56)参考文献 特開 平3−2570(JP,A) 特開 昭60−205371(JP,A) 特開 平4−264265(JP,A) 特開 昭47−10040(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G01P 15/13 G01P 15/11 G01P 21/00

Claims (4)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基台と、第1の端部が上記基台に装着さ
    れた可撓継手と、上記可撓継手の第2の端部に取り付け
    られた振り子と、上記振り子に入力された加速度に比例
    したトルクを発生させるトルカと、上記基台と上記振り
    子との間の相対的変位を検出する変位検出装置とを有す
    る加速度計において、 上記トルカは壺形ヨークと該壺形ヨークの凹部に配置さ
    れた永久磁石とポールピースと整磁合金製のスプール部
    材とを有し、 該スプール部材は上記壺形ヨーク、上記永久磁石及び上
    記ポールピースを貫通して延在し、温度変化に起因した
    スケールファクタの変動がないような形状に形成され、
    且つその内端は上記振り子の振幅を制限するストッパと
    して機能するように構成されていることを特徴とする加
    速度計。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の加速度計において、上記
    スプール部材は上記永久磁石を貫通して延在し断面が小
    さい磁束補償部と該磁束補償部の両側に配置され上記壺
    形ヨーク及上記ポールピースを貫通して延在し断面が大
    きい磁束導入部とを有することを特徴とする加速度計。
  3. 【請求項3】 請求項2記載の加速度計において、上記
    スプール部材の磁束導入部に形成された雄ねじは各々上
    記壺形ヨーク及上記ポールピースに形成された雌ねじに
    係合するように構成されていることを特徴とする加速度
    計。
  4. 【請求項4】 請求項1、2又は3記載の加速度計にお
    いて、上記スプール部材の外端部はナットによって上記
    壺形ヨークの外端面に固定され、それによって上記スプ
    ール部材は引っ張り力によって支持されるように構成さ
    れていることを特徴とする加速度計。
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