JPS63137464A - 半導体装置用リ−ドフレ−ム - Google Patents
半導体装置用リ−ドフレ−ムInfo
- Publication number
- JPS63137464A JPS63137464A JP28477886A JP28477886A JPS63137464A JP S63137464 A JPS63137464 A JP S63137464A JP 28477886 A JP28477886 A JP 28477886A JP 28477886 A JP28477886 A JP 28477886A JP S63137464 A JPS63137464 A JP S63137464A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lead
- resin
- lead frame
- frame
- semiconductor device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 34
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 19
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 19
- 239000010931 gold Substances 0.000 abstract description 5
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 4
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 abstract description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 abstract 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007306 functionalization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 230000009993 protective function Effects 0.000 description 1
- 238000007665 sagging Methods 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は樹脂モールドされて成る半導体装置用リードフ
レームに係シ、特に薄型パッケージに使用されるリード
フレームに関する。
レームに係シ、特に薄型パッケージに使用されるリード
フレームに関する。
従来のこの種の半導体装置用リードフレームは、第4図
に示す様に、半導体素子の搭載部1′、それを支える吊
シリード2′、半導体素子と金ワイヤーで結線されるイ
ンナリード3′が、後で樹脂封入される。そして、外部
電気回路と電気的コンタクトをとるアウターリード4、
及びこれらすべてを支える外部フレーム5から成るパタ
ーンが連続して形成されている。その断面は、第5図で
示すように、同一平面上にある。
に示す様に、半導体素子の搭載部1′、それを支える吊
シリード2′、半導体素子と金ワイヤーで結線されるイ
ンナリード3′が、後で樹脂封入される。そして、外部
電気回路と電気的コンタクトをとるアウターリード4、
及びこれらすべてを支える外部フレーム5から成るパタ
ーンが連続して形成されている。その断面は、第5図で
示すように、同一平面上にある。
前述した従来の半導体装置用リードフレームを用いて作
られた半導体装置を、リフロー等でプリント基板に実装
する場合、はんだ実装時に加わる熱ストレスのため、樹
脂にクラックが入る事故が発生している。
られた半導体装置を、リフロー等でプリント基板に実装
する場合、はんだ実装時に加わる熱ストレスのため、樹
脂にクラックが入る事故が発生している。
最近のように、半導体素子の多機能化による半導体素子
の大型化、実装密度を上げるための半導体パッケージの
小型化、薄型化が進み、この傾向が顕著になっている。
の大型化、実装密度を上げるための半導体パッケージの
小型化、薄型化が進み、この傾向が顕著になっている。
この樹脂り2ツクは、半導体パッケージの保護機能を阻
害し、水分及び不純物を半導体素子表面に達し易くさせ
、半導体素子的導通不良等の問題が発生している。
害し、水分及び不純物を半導体素子表面に達し易くさせ
、半導体素子的導通不良等の問題が発生している。
本発明の目的は、前記問題が解決され、樹脂クラックが
生じることのないようにした半導体装置用リードフレー
ムを提供することにある。
生じることのないようにした半導体装置用リードフレー
ムを提供することにある。
本発明の構成は、半導体の搭載部と、インナーリードと
、このインナーリードに続くアウターリードとを備え、
樹脂で封止される半導体装置用リードフレームにおいて
、前記樹脂で封止される前記搭載部分屯インナーリード
部分は、前記アウターリードより厚さが薄く形成され、
前記半導体素子が搭載されるがわと反対の主面において
、前記搭載部、インナーリード、アウターリードが同一
平面上になるように配置されていることを特徴とする。
、このインナーリードに続くアウターリードとを備え、
樹脂で封止される半導体装置用リードフレームにおいて
、前記樹脂で封止される前記搭載部分屯インナーリード
部分は、前記アウターリードより厚さが薄く形成され、
前記半導体素子が搭載されるがわと反対の主面において
、前記搭載部、インナーリード、アウターリードが同一
平面上になるように配置されていることを特徴とする。
次に本発明について図面を参照して詳細に説明する。
第1図は本発明の第1の実施例の半導体装置用リードフ
レームを示す平面図である。四重において、本リードフ
レームは、樹脂で封止される部分6内の半導体素子の搭
載部1と、それを吊シ支える吊シリード2と、半導体素
子と金(Au)ワイヤーでコンタクトをとるインナーリ
ード3とは、エツチング法等でハーフエツチングにより
、肉厚を薄くしである。アウターリード4及びこれらを
支 。
レームを示す平面図である。四重において、本リードフ
レームは、樹脂で封止される部分6内の半導体素子の搭
載部1と、それを吊シ支える吊シリード2と、半導体素
子と金(Au)ワイヤーでコンタクトをとるインナーリ
ード3とは、エツチング法等でハーフエツチングにより
、肉厚を薄くしである。アウターリード4及びこれらを
支 。
える外部フレーム5は、一般の半導体装置用フレームと
同じ肉厚を有してよい。その断面図を、第2図に示す。
同じ肉厚を有してよい。その断面図を、第2図に示す。
第2図で、破線は、樹脂封入される部分6t−示すもの
である。
である。
第3図は本発明の第2の実施例リードフレームを示す断
面図である。同図において、インナーリード3′の先端
部に突起物7t−残し、エツチングして形成する。Au
線は、突起物7の傍にボンディングされ、Auワイヤー
のタレ防止になる。
面図である。同図において、インナーリード3′の先端
部に突起物7t−残し、エツチングして形成する。Au
線は、突起物7の傍にボンディングされ、Auワイヤー
のタレ防止になる。
第1表
第1表は、従来のもの(Nal )と、フラットパッケ
ージに半導体素子の厚さを小さくシ、改善を加えたもの
(N12 )と、さらに前記第1の本実施例のリードフ
レームを使用したもの(rl&L3)とを、HH(as
/ss)、72H処理を行い、その後はんだリフロー炉
に通し、外観を検査した試験結果を示す表である。用い
た半導体素子は、300μm位までしか裏面を削ること
ができない丸め、本発明のリードフレームを用いたとこ
ろ、り2ツク発生はなく、樹脂り2ツクを防止すること
ができた。
ージに半導体素子の厚さを小さくシ、改善を加えたもの
(N12 )と、さらに前記第1の本実施例のリードフ
レームを使用したもの(rl&L3)とを、HH(as
/ss)、72H処理を行い、その後はんだリフロー炉
に通し、外観を検査した試験結果を示す表である。用い
た半導体素子は、300μm位までしか裏面を削ること
ができない丸め、本発明のリードフレームを用いたとこ
ろ、り2ツク発生はなく、樹脂り2ツクを防止すること
ができた。
尚、アウターリードは、通常品と同じ板厚であるので、
強度的問題はない。
強度的問題はない。
以上説明したように、本発明によれば、樹脂封入内のリ
ードフレーム板厚を他部より薄くすることにより、はん
だ実装時に発生する樹脂クラックを減少させるという効
果が得られる。
ードフレーム板厚を他部より薄くすることにより、はん
だ実装時に発生する樹脂クラックを減少させるという効
果が得られる。
第1図は本発明の第1の実施例の半導体装置用リードフ
レームの平面図、第2図は第1図の17−ドフレームの
断面図、第3図は本発明の第2の実施例のリードフレー
ムの断面図、第4図は従来の半導体装置用リードフレー
ムの平面図、第5図は第4図の断面図である。 1.1′・・・・・・半導体素子搭載部、2,2′・・
・・・・吊りリード、3,3’・・・・・・インナーリ
ード、4・・・・・・アウターリード、5・・・・・・
半導体装置用リードフレームの外部フレーム、6・・・
・・・樹脂封止される外形部分、7・・・・・・インナ
ーリード先端の突起物。
レームの平面図、第2図は第1図の17−ドフレームの
断面図、第3図は本発明の第2の実施例のリードフレー
ムの断面図、第4図は従来の半導体装置用リードフレー
ムの平面図、第5図は第4図の断面図である。 1.1′・・・・・・半導体素子搭載部、2,2′・・
・・・・吊りリード、3,3’・・・・・・インナーリ
ード、4・・・・・・アウターリード、5・・・・・・
半導体装置用リードフレームの外部フレーム、6・・・
・・・樹脂封止される外形部分、7・・・・・・インナ
ーリード先端の突起物。
Claims (1)
- 半導体素子の搭載部と、インナーリードと、このインナ
ーリードに続くアウターリードとを備え、樹脂で封止さ
れる半導体装置用リードフレームにおいて、前記樹脂で
封止される前記搭載部分及び前記インナーリード部分は
、前記アウターリードより厚さが薄く形成され、前記半
導体素子が搭載される側と反対の主面において、前記搭
載部、前記インナーリード、前記アウターリードが同一
平面上になるように配置されていることを特徴とする半
導体装置用リードフレーム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28477886A JPS63137464A (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | 半導体装置用リ−ドフレ−ム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP28477886A JPS63137464A (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | 半導体装置用リ−ドフレ−ム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63137464A true JPS63137464A (ja) | 1988-06-09 |
Family
ID=17682890
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP28477886A Pending JPS63137464A (ja) | 1986-11-28 | 1986-11-28 | 半導体装置用リ−ドフレ−ム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63137464A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03283647A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-13 | Mitsui High Tec Inc | リードフレームおよびその製造方法 |
US5521429A (en) * | 1993-11-25 | 1996-05-28 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Surface-mount flat package semiconductor device |
DE10144468A1 (de) * | 2001-09-10 | 2003-04-03 | Infineon Technologies Ag | Elektronisches Bauteil mit auf der Unterseite verteilten Außenkontakten |
-
1986
- 1986-11-28 JP JP28477886A patent/JPS63137464A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03283647A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-13 | Mitsui High Tec Inc | リードフレームおよびその製造方法 |
US5521429A (en) * | 1993-11-25 | 1996-05-28 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Surface-mount flat package semiconductor device |
DE10144468A1 (de) * | 2001-09-10 | 2003-04-03 | Infineon Technologies Ag | Elektronisches Bauteil mit auf der Unterseite verteilten Außenkontakten |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPH11150213A (ja) | 半導体装置 | |
JPS63137464A (ja) | 半導体装置用リ−ドフレ−ム | |
JPH01187841A (ja) | 半導体装置 | |
JPS62296528A (ja) | 樹脂封止型半導体装置 | |
JPH0456143A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JPH01209751A (ja) | リードフレーム | |
JPS63248155A (ja) | 半導体装置 | |
JPH06132444A (ja) | 半導体装置 | |
JPH0526761Y2 (ja) | ||
JPH01179351A (ja) | 樹脂封止型半導体装置の製造方法 | |
JPH0422159A (ja) | 半導体集積回路装置およびその製造方法 | |
JPH05218271A (ja) | Icパッケージ | |
JPS6060743A (ja) | リ−ドフレ−ム | |
JPH01255259A (ja) | 樹脂封止型半導体装置 | |
JPH04188657A (ja) | 半導体装置用パッケージ | |
JPH0738032A (ja) | パッケージ型半導体部品の構造 | |
JPH01173747A (ja) | 樹脂封止形半導体装置 | |
JPH02100356A (ja) | 半導体リードフレーム | |
JPS6386461A (ja) | 樹脂封止半導体装置 | |
JPH02156662A (ja) | 樹脂封止型半導体装置 | |
JPH0311754A (ja) | 半導体装置 | |
JPH04134853A (ja) | 半導体装置用リードフレーム | |
JPH01227462A (ja) | リードフレーム | |
JPH0382067A (ja) | 樹脂封止型半導体装置 | |
JPS6340353A (ja) | 樹脂封止半導体装置 |