JPS63135738A - ユニツト型空気清浄化装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、半導体ウェハ等の工作物をクリーンルーム
内の製造工程間で移送する工作物移送装置に設置される
ユニット型空気清浄化装置に関する。

「従来の技術」 一般に、半導体装置の製造工程、とりわけ半導体ウェハ
上に回路素子を形成する萌工程では塵埃は天敵であり、
作業雰囲気における清浄度がそのまま製品歩留まりに結
び付く。このため、この種の半導体装置の作・業界囲気
の高清浄化を図るために、内部を浮遊する塵埃数が一定
レベル以下であるように考慮されたクリーンルームが使
用されており、例えば第４図に示すクリーンルームが知
られている。

第４図において、符号にはクリーンルームであり、全体
を外隔壁Ｗによって外界と区画されている。そして、こ
のクリーンルームにの中央には廊下！が、またこの廊下
１と直交するように装置品領域２．２、・・・が設けら
れていると共に、これら装置品領域２．２、・・・間に
は、通路部領域３．３、・・・及び装置保全領域４．４
、・・・が、パネル５ａ、　５ａ、・・・及びバックパ
ネルｓｂ、　ｓｂ、・・・により区画されて交互に設け
られている。各装置部領域２には、前記半導体の製造工
程の一部分に対応する半導体製造装置７．７、・・・が
設置され、半導体ウェハが各装置部領域２で処理され、
順次次の装置部領域２へ移送されるに従って、その製造
工程も順次進行されるような溝成となっている。

廊下ｌの天井には、この廊下監に沿って、各装置部領域
２．２、・・・に前記半導体ウェハが格納された半導体
ウェハ用カセットを移送する移送装置６が設置されてい
る。また、装置部領域２の廊下１からの人口付近には、
各装置部領域２間での工程待ちをしている前記半導体ウ
ェハを一時的に貯蔵しておくストッカー８、及びこのス
トッカー８から移送装置６に半導体ウェハ用カセットを
供給するスタッカークレーン９が設けられている。

近年、塵埃の発生を極力抑制する目的で、半導体ウェハ
用カセットが収納された移送ボックスそのものを、圧縮
空気又は磁気により浮上させると共に、リニアモータに
よりこの移送ボックスを走行、停止させる移送装置ｉ！
２６が提案されている。しかし、この移送装置６を前記
クリーンルームに内全体に設置すると、設備費が嵩んで
、不経済であり、現状では、主にコスト面の理由から、
前記各装置部領域２．２、・・・を結ぶ軌道を配設する
と共に、この軌道上を走行するローラ付台車をリニアモ
ーターにより駆動するような移送装置６が、一般に選択
されている。

「発明が解決しようとする問題点」 ところで、前記従来の半導体ウェハ用カセット移送装置
６では、ローラ付台車が非−接触形のりニアモーターに
より駆動されるので、通常の回転モータと歯車減速機、
またはベルトとプーリーとによる減速機の組合せによる
駆動機構に見られるような駆動部からの発塵は皆無であ
るものの、前記ローラと軌道との間の走行に伴う転がり
摩擦等による塵埃の発生や、軸受ローラ一部からのグリ
ースの飛散が避けられず、これがクリーンルーム内に拡
散して清浄度を低下させ、製品の歩留まりを低下させる
一因となっていた。

この発明は、前記問題点に鑑みてなされたものであり、
半導体ウェハ等の工作物をクリーンルーム内の製造工程
間で移送する工作物移送装置に設置されて、この移送装
置から発生される塵埃を清浄化するユニット型空気清浄
化装置の提供を、その目的としている。

「問題点を解決するための手段」 前記問題点を解決するために、この発明は、クリーンル
ームで加工されるべき工作物をこのクリーンルーム内の
製造工程間で移送するために設けられ、前記各工程間を
結んで設けられた軌道と、前記工作物が収納された状態
で前記軌道に沿って前記各工程間を移動する移送手段と
からなる工作物移送装置に設置されるユニット型空気清
浄化装置を、ＨＥ　Ｐ　Ａフィルタ等の空気清浄フィル
タと、前記軌道と移送手段との接触面付近の空気を吸引
してこれを前記空気清浄フィルタに供給する吸気ポンプ
と、この吸気ポンプを駆動する駆動源とからなるものと
した。

「作用」 この発明では、吸気ポンプの吸気端を工作物移送装置の
発塵源である軌道と移送手段との接触部付近に連通させ
れば、この吸気ポンプの駆動により、塵埃はその発生と
ほぼ同時に、吸気ポンプにより吸入される。そして、こ
の吸入された塵埃は、空気清浄フィルタにより捕捉され
る。

「実施例」 以下、この発明の実施例について図面を参照して説明す
る。

第１図ないし第３図は、この発明の一実施例であるユニ
ット型空気清浄化装置が適用された移送装置を示す図で
ある。第１図ないし第３図において、符号２１は移送装
置全体を示し、この移送装置２１は、前述のクリーンル
ームに内の天井に設。

置されている。

この移送装置２１は、各半導体製造工程間を結んで設け
られた軌道２２と、半導体ウェハ２３を格納した半導体
ウェハ用カセット２４が収納された状態で、前記軌道２
２に沿って前記各製造工程間を移動するローラ付台車２
５とから概略槽成されている。

軌道２２は、前記クリーンルームの廊下の天井に沿って
配設され、両側端を４５°下方に折曲し、さらにこれを
９０°下刃に折り込んだ型材で、全体として横断面輪郭
略六角形に形成されている。

この軌１１１２２の上面には、その長さ方向に間隔を置
いて、リニアモーターの一次導体たるコイル２６．２６
、・・・が配設されている。

前記ローラ付台車２５には、底板２７が設けられている
と共に、この底板２７から下方に延在して前記軌道２２
を覆うカバー２８が設けられている。また、台車２５に
は、前記軌道２２の上側面２２ａ及び下側面２２ｂ上を
転動するローラ２９．２９が設けられており、これらロ
ーラ２９．２９は、前記カバー２８から延在する架台３
０により軸支されている。

一方、前記ローラ付台車２５の底板２７上には、図示さ
れないヒンジにより開閉自在に構成されたカバー３１が
設けられ、このカバー３１の内部が、前述の半導体ウェ
ハ用カセット２４を収納する半導体ウェハ用カセット収
納部とされている。また、底板２７上には、この発明の
一実施例であるユニット型空気清浄化装置（以下、単に
清浄化装置と称する）３２が着脱自在に載置されている
。

この清浄化装置３２は、不織布等微細な開口をＨする部
材３３により囲繞されたＨ　ＩＥ　Ｐ　Ａフィルタ３４
と、このＩＩ　ＥＰ　Ａフィルタ３４側に開口３５を有
する略箱体たる筐体３６と、この外箱３６内に収納され
て前記ＩＩ　Ｅ　Ｐ　Ａフィルタ３４に空気を供給する
吸気ポンプ３７と、この吸気ポンプ３７を駆動するバッ
テリーパック（駆動源）３８とで構成されている。そし
て、この吸気ポンプ３７の吸気端３７ａは、前記カバー
２８の内部に連通されている。

また、ローラ付台車２５には、前記軌道２２のコイル２
６に対向する位置に、リニアモーターの二次導体３９が
取り付けられ、これにより、前記軌道２２と台車２５と
の間に、コイル２６を固定子、二次導体３９を移動子と
するリニアモーターが構成されたことになる。

次に、以上のような構成を有するユニット型空気清浄化
装置３２の作用について説明する。

前述のような構成を有する移送装置２１により、半導体
ウェハ２３が格納された半導体ウェハ用カセット２４を
移送するには、予め、前記空気清浄化装置３２内の吸気
ポンプ３７を、バッテリーパック３８から供給される電
気により駆動することで、カバー２８内の空気を吸引す
る。この状態で、図示されない電源装置により、軌道２
２のコイル２６に電源を印加してローラ付台車２５を移
動させ、所定の製造工程の入口付近に設置されたスタッ
カークレーン（図示路）に到着した段階で、この台車２
５を停止させる。

次に、このスタッカークレーンにより、半導体ウェハ２
３．２３、・・・が格納された半導体ウェハ用カセット
２４を、カバー３１内に収納する。カセット２４収納作
業終了後、次の製造工程の入口付近に設置されたスタッ
カークレーンに到着した段階で、この台車２５を停止さ
せる。そして、このスタッカークレーンにより、台車２
５内の半導体ウェハ用カセット２４をこの台車２５から
降ろし、前記製造工程内に搬入する。以後、この作業を
繰り返して、各製造工程間での半導体ウェハ用カセット
２４の移送、ひいては半導体ウェハ２３そのものの移送
を行うのである。

ここで、前述のような移送装置２１においては、ローラ
付台車２５の駆動が無接触型のリニアモーターにより行
なわれるので、前述の如く、通常の回転モータと歯車減
速機、またはベルトとプーリーとによる減速機の組合せ
による駆動機構に見られるような駆動部からの発塵は皆
無であるものの、前記ローラ２９と軌道２２との間の走
行に伴う転がり摩擦等？こよる塵埃の発生や、軸受ロー
ラ一部からのグリースの、飛散が避けられず、これが故
に、ローラ付台車２５の走行に従って、ローラ２９付近
から塵埃が発生するおそれがある。しかし、前記カセッ
ト２４移送中は、吸気ポンプ３７の駆動により、カバー
２８に覆われた部分が常時防圧に維持されているので、
前記ローラ２９と軌道２２との間の摩擦等により発生す
る塵埃は、その発生とほぼ同時に、吸気ポンプ３７によ
り吸入される。

そして、この吸入された塵埃は、ＨＥＰＡフィルタ３４
により捕捉され、従って、前記清浄化装置３２からは、
清浄化された空気のみが排出されることになる。よって
、この清浄化装置ａ３２を用いれば、発生した塵埃を速
やかに清浄化することができ、よってクリーンルーム内
の清浄度の低下を防止することが可能となる。

また、従来、クリーンルーム内全体に気流を発生させて
、設備機器や移送装置から発生し、室内に拡散してしま
った塵埃を系外に排出するのと異なり、各発塵源毎の規
模に応じ、発塵源をカバーで覆い、塵埃を拡散させずに
前記吸気ポンプ３７で吸引し、ＨＥＰ　Ａフィルタ３４
で浄化すれば良いので、清浄化装置１２そのものの合理
的な配置が可能となると共に、クリーンルーム内を浮遊
する塵埃が紘少することに伴い、このクリーンルーム内
に気流を発生させ今装置の規模を小型化することが可能
となる。さらに、前記バッテリーパック３８充電、Ｉ−
Ｉ　Ｅ　Ｐ　Ａフィルタ３４交換等、そのメンテナンス
も、ユニット化された清浄化装置■２そのものを交換す
れば良いので、手間がかからず、コスト的にを利な清浄
化装置ｉ！２１２である。

すなわち、以上説明した清浄化装置３２は、発生した塵
埃を吸引する吸気ポンプ３７と、吸引された塵埃を捕捉
して空気を清浄化する［Ｉ　Ｅ　Ｐ　Ａフィルタ３４と
、前記吸気ポンプ３７を駆動するバッテリーパック３８
とが一体にユニット化されて構成されているので、この
清浄化装置３２を発塵源に付設するだけで、速やかにこ
の発塵源の清浄化を図ることができる。従って、このＷ
ｔ浄化装ｇ１ｔ２は、前記移送装置にその適用範囲が限
定されることなく、いずれの設備機器、移送装置等にも
設置可能な、非常に汎用性に富んだ清浄化装置である。

なお、この発明のユニット型空気清浄化装置１２は、前
記実施例に限定されない。−例として、前記吸気ポンプ
！７を駆動する駆動源は、バッテリーパックＩ８に限定
されず、−例として、太陽電池や、機器や装置の回転源
を利用した全７Ｉｔ機等であっても良い。また、前記Ｈ
Ｅ　Ｐ　Ａフィルタ３４に代えて、ＵＬＰＡフィルタ等
の高性能空気清浄フィルタを用いても良いこと（ネ勿論
である。

「発明の効果」 以上詳細に説明したように、この発明によれば、半導体
ウニ八等の工作物移送装置に設置されるユニット型空気
清浄化装置を、ＨＥ　Ｐ　Ａフィルタ等の空気清浄フィ
ルタと、軌道と移送手段との接触面付近の空気を吸引し
てこれを前記空気清浄フィルタに供給する吸気ポンプと
、この吸気ポンプを・　駆動する駆動源とからなるもの
としたので、この空気清浄化装置を作動させれば、軌道
と移送手段との接触部から発生する塵埃は、その発生と
ほぼ同時に吸気ポンプにより吸入されると共に、空気清
浄フィルタにより捕捉され、これにより、移送装置全体
の清浄化を速やかに図ることができる。

従って、この発明によれば、半導体ウェハ等の工作物を
クリーンルーム内の製造工程間で移送する工作物移送装
置に設置されて、この移送装置から発生される塵埃を清
浄化するユニット型空気清浄化装置を実現することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図は、この発明の一実施例であるユニ
ット型空気清浄化装置が適用された半導体ウニへ用カセ
ット！’）送装置を示す図であって、第１図は正面図、
第２図は第１図の■−■′線に沿う矢視図、第３図は側
面図、第４図はクリーンルームを示す平面図である。 Ｋ・・・・・・クリーンルーム、２１・・・・・・クリ
ーンルーム内工作物移送装置、２２・・・・・・軌道、
２３・・・・・・半導体ウェハ（工作物）、２４・・・
・・・ローラ付台車（移送手段）、３２・・・・・・ユ
ニット型空気清浄化装置、３４・・・・・・ＨＥ　Ｐ　
Ａフィルタ（空気清浄フィルタ　）、３７・・・・・・
吸気ポンプ、３８・・・・・・バッテリーパック（駆動
源）。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. クリーンルームで加工されるべき工作物をこのクリーン
   ルーム内の製造工程間で移送するために設けられて、前
   記各工程間を結んで設けられた軌道と、前記工作物が収
   納された状態で前記軌道に沿って前記各工程間を移動す
   る移送手段とからなる工作物移送装置に設置されるユニ
   ット型空気清浄化装置であって、ＨＥＰＡフィルタ等の
   空気清浄フィルタと、前記軌道と移送手段との接触面付
   近の空気を吸引してこれを前記空気清浄フィルタに供給
   する吸気ポンプと、この吸気ポンプを駆動する駆動源と
   が一体にユニット化されてなるユニット型空気清浄化装
   置。