JPS63133643A - クリ−ンル−ム内工作物移送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 この発明は、半導体ウェハ等の工作物をクリーンルーム
内の製造工程間で移送するためにこのクリーンルーム内
に設けられる、クリーンルーム内工作物移送装置に関す
る。

「従来の技術」 一般に、半導体装置の製造工程、とりわけ半導体ウェハ
（工作物）上に回路素子を形成する前工程では塵埃は天
敵であり、作業雰囲気における清浄度がそのまま製品歩
留まりに結び付く。このため、この種の半導体装置の作
業雰囲気の高清浄化を図るために、クリーンルームが使
用されており、例えば第９図に示すクリーンルームが知
られている。

第９図において、符号にはクリーンルームであり、全体
を外隔壁Ｗによって外界と区画されている。そして、こ
のクリーンルームにの中央には廊下１が、またこの廊下
ｌと直交するように装置部領域２．２、・・・が設けら
れていると共に、これら装置品領域２．２、・・・間に
は、通路部領域３．３、・・・及び装置保全領域４．４
、・・・が、パネル５８．５３、・・・及びバックパネ
ル５ｂ、５ｂ、・・・により区画されて交互に設けられ
ている。各装置品領域２には、前記半導体の製造工程の
一部分に対応する半導体製造装置７．７、・・・が設置
され、半導体ウェハが各装置品領域２で処理され、順次
次の装置品領域２へ移送されるに従って、その製造工程
ら順次進行されるような構成となっている。

廊下工の天井には、この廊下１に沿って、各装置品領域
２．２、・・・に前記半導体ウェハが格納された半導体
ウェハ用カセットを移送する移送装置６が設置されてい
る。また、装置品領域２の廊下Ｉかｂの入口付近には、
各装置部領域２間での工程涛ちをしている前記半導体ウ
ェハを一時的に貯蔵しておくストッカー８、及びこのス
トッカー８から移送装置６に半導体ウェハ用カセットを
供給するスタッカークレーン９が設けられている。

近年、塵埃の発生を極力抑制する目的で、半導体ウェハ
用カセットが収納された移送ボックスそのものを、圧縮
空気又は磁気により浮上させると共に、リニアモータに
よりこの移送ボックスを走行、停止さ仕る移送装置６か
提案されている。しかし、この移送装置６を前記クリー
ンルーム■（内金体に設置すると、設備費が嵩んで、不
経済であり、現状では、主にコスト面の理由から、而記
各装置部領域２．２、・・・を桔ぶ軌道を配設すると共
に、この軌道上を走行するローラ付台車をリニアモータ
ーにより駆動するような移送装置６が、一般に選択され
ている。

「発明が解決しようとする問題点」 ところで、前記従来の半導体ウェハ用カセット移送装置
６では、ローラ付台車が非接触形のリニアモーターによ
り駆動されるので、通常の回転モータと歯車減速機、ま
たはベルトとプーリーとによる減速機の組合せによる駆
動機構に見られるような駆動部からの発塵は皆無である
ものの、前記ローラと軌道との間の走行に伴う転がり摩
擦等による塵埃の発生や、軸受ローラ一部からのグリー
スの飛散が避けられず、これがクリーンルーム内に拡散
して清浄度を低下させ、製品の歩留まりを低下させる一
因となっていた。

この発明は、半導体ウェハ等の工作物をローラ付台車を
用いて製造工程間で移送する際に、発生した塵埃を速や
かに清浄化することで、クリーンルーム内の清浄度を向
上させることの可能な、クリーンルーム内工作物移送装
置を如何にして実現ずろかを問題にしている。

「問題点を解決するための手段」 この発明は、クリーンルームで加工されるべき工作物を
このクリーンルーム内の製造工程間で移送するために設
けられ、前記各工程間を結んで設゛けられた軌道と、前
記工作物が収納された状態で前記軌道に沿って前記各工
程間を移動する移送手段とからなる工作物移送装置にお
いて、前記移送手段を、前記軌道と係合する複数個の転
動体と、前記工作物を収納する工作物収納部と、空気清
浄ユニットとで構成し、この空気清浄ユニットを、ＨＥ
　Ｐ　Ａフィルタ等の空気清浄フィルタと吸気ポンプと
から構成すると共に、前記転動体に、前記軌道との係合
部を残してその全体を覆うカバーを設け、かつ、このカ
バーを、ホースを介して前記空気清浄ユニットの吸気ポ
ンプに連通させたようなりリーンルーム内工作物移送装
置を構成して、前記問題点を解決している。

「作用」 この発明では、移送装置の台車のローラに、軌道との係
合部を残してその全体を覆うカバーを取り付けると共に
、この台車に、吸気ポンプ及び■４ＥＰＡフィルタ等の
空気清浄フィルタを備えた空気清浄ユニットを設け、こ
れら吸気ポンプ及びカバーをホースにより連通させたの
で、吸気ポンプの駆動により、前記ローラのカバーに覆
われた部分が常時除圧に維持されると共に、ローラ部か
ら発生される塵埃やグリースの飛沫等が含まれた空気は
吸気ポンプにより吸入され、前記空気清浄フィルタによ
り清浄化される。

「実施例」 以下、この発明の実施例について図面を参照して説明す
る。

第１図ないし第３図は、この発明の一実施例であるゲリ
ーンルーム内工作物移送装置を示す図である。第１図な
いし第３図において、符号ＩＯは移送装置全体を示し、
この移送装置１０は、前記従来の移送装置６と同様に、
第９図に示すようなりリーンルームに内の廊下ｌ天井に
設置されている。

この移送装置ｌＯは、各装置部領域２．２、・・・すな
わち各半導体製造工程間を結んで設けられた軌道１１と
、半導体ウェハ（工作物）１２を格納した半導体ウェハ
用カセット１３が収納された状態で、前記軌道ｌ！に沿
って前記各装置部領域２．２、・・・間を移動する。ロ
ーラ付台車（移送手段）１４とから概略構成されている
。

軌道１１は、前記クリーンルームにの廊下ｌの天井に沿
って配設され、ステンレス製の帯鋼の両側端を４５°下
方に折曲し、さらにこれを９０゜下方に折り込んで、全
体として横断面輪郭略六角形に形成されている。この軌
道１１の上面には、その長さ方向に間隔を置いて、リニ
アモーターの一次導体たるコイル１５、！５、・・・が
配設されている。

前記ローラ付台車１４には、底板Ｉ６が役けられている
と共に、この底板１６から下方に延在して前記軌道１１
を覆う台車カバー１７が設けられている。また、台車１
４には、前記軌道１１の上側面１１ａ及び下側面ＩＬｂ
上を転動するローラ１８．１８が設けられており、これ
らローラ１８．１８は、前記台車カバー１７から延在す
る架台！９により軸支されている。

このローラ１８について、第４図及び第６図を参照して
更に詳細に説明すれば、ローラ１８には、前記軌道１１
との接触部を残してその全体を覆うカバー２０が設けら
れている。このカバー２０は、径、厚さ共に前記ローラ
１８よりやや大きな外形円板状の中空体の端部を、その
厚さ方向に切り欠いてなるものであり、カバ一本体２１
と押え仮２２とに分割されて構成されている。カバ一本
体２１の側面には、このカバ一本体２Ｉの内部に連通ず
る吸気管２３が取り付けられている。また、ローラ１８
には、その回転中心に回転軸２４が一方向に突設され、
この回転軸２４の先端にはねじ部２５が刻設されている
。一方、前記カバ一本体２１には、この回転軸２４に対
応する貫通孔２６が穿設されている。そして、前記カバ
ー２０内にローラ１８が収納され、かつ、その回転軸２
４が前記貫通孔２６を通って外方に突出されることで、
このカバー２０がローラ１８に取り付けられたこととな
る。さらに、前記ローラ１８の回転軸２４にはベアリン
グ（図示略）が嵌入され、さらにこのベアリングを介し
て回転軸２４が前記架台１９に取り付けられることで、
前記カバー２０及びローラ１８が架台１９に軸支された
状態で固定される。

一方、前記ローラ付台車１４の底板１６上には、図示さ
れないヒンジにより開閉自在に構成されたダストカバー
３１が設けられ、このダストカバー３１の内部が、前述
の半導体ウェハ用カセット１３を収納する半導体ウェハ
用カセット収納部（工作物収納部）３２とされている。

また、底板１６上には、空気清浄ユニット３３が着脱自
在に載置されていると共に、この空気清浄ユニット３３
を駆動するバッテリーパック３４６着脱自在に取り付け
られている。

この空気清浄ユニット３３は、外箱３６と、この外箱３
６内に収納された吸気ポンプ３７及び■（ＥＰＡフィル
タ３８とで構成されている。前記外箱３６のうち、吸気
ポンプ３７の位置する側と反対側の側壁は開口され、こ
れがＨＥＩ’Ａフィルダ３８からの排気口３５とされて
いる。そして、この吸気ポンプ３７の吸気端は、ホース
３つを介して、前記カバー２０の吸気管２３に連通され
ている。従って、この吸気ポンプ３７が駆動されること
によって、ローラ１８のカバー２０により覆われた部分
は、周囲より防圧に維持されることになる。

また、ローラ付台車Ｉ４には、前記軌道１１のコイル１
５に対向する位置に、リニアモーターの二次導体４０が
取り付けられ、これにより、前記軌道１１と台車１４と
の間に、コイル１５を固定子、二次導体４０を移動子と
するリニアモーターが＋１カ成されたことになる。

次に・この発明の一実施例であるクリーンル−ム内工作
物移送装置ｌＯにより、半導体ウェハ１２が格納された
半導体ウェハ用カセットＩ３を移送する方法について説
明する。

まず、予め、前記空気清浄ユニット３３内の吸気ポンプ
３７を、バッテリーバック３４から供給される電気によ
り駆動することで、前記ホース３９を介してカバー２０
内の空気を吸引する。この状態で、図示されない電源装
置により、軌道１１のコイル１５に電源を印加してロー
ラ付台車Ｉ４を移動させ、所定の装置部領域２の入口付
近に設置されたスタッカークレーン９の位置に到着した
段階で、この台車１４を停止させる。

次に、このスタッカークレーン９により、半導体ウェハ
１２．１２、・・・が格納された半導体ウェハ用カセッ
ト１３を、ダストカバー３１内のカセット収納部３２に
収納する。カセット１３収納作業終了後、次の製造工程
に相当する装置部領域２の入口付近に設置されたスタッ
カークレーン９上方に到若した段階で、この台車１・１
を停止させる。

そして、このスタッカークレーン９により、台車１４内
の半導体ウェハ用カセット１３をこの台車！４から降ろ
し、而記装置部領域２内に搬入する。

以後、この作業を繰り返して、各装置部領域２．２、・
・・間での半導体ウェハ用カセッ）＋３の移送、ひいて
は半導体ウェハＩ２そのものの移送を行うのである。

ここで、前記カセット１３移送中は、吸気ポンプ３７の
駆動により、ローラ１８のカバー２０に覆われた部分が
常時防圧に維持されているので、このローラ１８と軌道
１１との間の摩擦等により発生ずる塵埃や、ローラ軸受
部から飛散するグリースの飛沫等は、その発生とほぼ同
時に、吸気ポンプ３７により吸入される。そして、この
吸入された塵埃は、空気清浄ユニット３３内のＨＥ　Ｐ
　Ａフィルタ３８により捕捉され、従って、排気口３５
からは清浄化された空気のみが排出されることになる。

よって、この移送装置１０によれば、発生した塵埃を速
やかに清浄化することができ、よってクリーンルームに
内の清浄度を向上させることが可能となる。

なお、この発明のクリーンルーム内工作物移送装置は、
前記実施例に限定されることなく、種々の変形例が可能
である。−例として、第５図にしめすように、カバー２
０に設けられる吸入萱２３の数を、１つのカバー２０あ
たり２本、あるいはそれ以上として、吸入効率の向上を
図っても良い。

また、第７図ないし第８図に示すように、台車カバー１
７を台車１４下部全体に延在させると共に、この台車カ
バー１７により台車１４前後方の開口部をも覆い、これ
を前述のカバー２０の代わりとした構成であっても良い
。さらに、前記空気清浄ユニット３３を駆動する手段も
、前述の如くバッテリーパック３４に限定されることな
く、太陽電池を設けたり、前記ローラ１８の回転力を利
用してジェ氷レータ（発電機）により発電するような手
段を用いても良い。

「発明の効果」 以上詳細に説明したように、この発明によれば、移送装
置の台車のローラに、軌道との係合部を残してその全体
を覆うカバーを取り付けると共に、この台車に、吸気ポ
ンプ及びＨＥＰ　Ａフィルタ等の空気清浄フィルタから
なる空気清浄ユニットを設け、この吸気ポンプにより前
記カバー内の空気を吸入するようなりリーンルーム内工
作物移送装置を構成したので、前記ローラのカバーに覆
われた部分が常時防圧に維持され、従って、このローラ
と軌道との間の摩擦等により発生ずる塵埃や、ローラ軸
受部から飛散するグリースの飛沫等は、その発生とほぼ
同時に、前記カバーから室内に拡散することなく吸気ポ
ンプにより吸入される。そして、この吸入された塵埃は
、空気清浄ユニット内の空気清浄フィルタにより捕捉さ
れ、従って、塵埃を含む空気がこの空気清浄ユニットに
より清浄化される。よって、この発明によれば、発生し
た塵埃等を速やかに清浄化することができ、よってクリ
ーンルーム内の清浄度を向上させることの可能な、クリ
ーンルーム内工作物移送装置を実現することができる。

【図面の簡単な説明】 第１図ないし第３図は、この発明の一実施例であるクリ
ーンルーム内工作物移送装置を示す図であって、第１図
はその正面図、第２図は第１図のｎ−ｎ’線に沿う矢視
図、第３図は側面図、第４図はローラ及びカバーの軌道
との位置関係を示す模式図、第５図は同他の例を示す模
式図、第６図はローラ及びカバーの組立図、第７図ない
し第８図はこの発明の変形実施例たるクリーンルーム内
工作物移送装置を示す図であって、第７図はその正面図
、第８図は同側面図、第９図はクリーンルームを示す平
面図である。 Ｉ（・・・・・・クリーンルーム、ＩＯ・・・・・・ク
リーンルーム内工作物移送装置、１１・・・・・・軌道
、１２・・・・・・半導体ウェハ（工作物）、Ｉ４・・
・・・・ローラ付台車（移送手段）、１８・・・・・・
ローラ（転動体）、２０・・・・・・カバー、３２・・
・・・・半導体ウェハ用カセット収納部（工作物収納部
）、３３・・・・・・空気清浄ユニット、３７・・・・
・・吸気ポンプ、３８・・・・・・Ｉ−Ｉ　Ｅ　Ｐ　Ａ
フィルタ（空気清浄フィルタ　）、３つ・・・・・・ホ
ース。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　クリーンルームで加工されるべき工作物をこのクリー
   ンルーム内の製造工程間で移送するために設けられ、前
   記各工程間を結んで設けられた軌道と、前記工作物が収
   納された状態で前記軌道に沿って前記各工程間を移動す
   る移送手段とからなる工作物移送装置であって、この移
   送手段は、前記軌道と係合する複数個の転動体と、前記
   工作物を収納する工作物収納部と、空気清浄ユニットと
   からなり、この空気清浄ユニットは、ＨＥＰＡフィルタ
   等の空気清浄フィルタと吸気ポンプとから構成されてい
   ると共に、前記転動体には、前記軌道との係合部を残し
   てその全体を覆うカバーが設けられ、かつ、このカバー
   は、ホースを介して前記空気清浄ユニットの吸気ポンプ
   に連通されていることを特徴とするクリーンルーム内工
   作物移送装置。