WO2020059391A1 - ガラス板の製造方法 - Google Patents

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WO2020059391A1
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lubricant
glass plate
collector
glass
processing
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正人 熊川
康彦 板本
貴博 南
池田　昌彦
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日本電気硝子株式会社
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    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B32/00—Thermal after-treatment of glass products not provided for in groups C03B19/00, C03B25/00 - C03B31/00 or C03B37/00, e.g. crystallisation, eliminating gas inclusions or other impurities; Hot-pressing vitrified, non-porous, shaped glass products
    • C03B32/02—Thermal crystallisation, e.g. for crystallising glass bodies into glass-ceramic articles
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/02—Devices for withdrawing samples

Definitions

  • the present invention relates to a method for manufacturing a glass plate.
  • a glass plate is used for a flat panel display such as a liquid crystal display and an organic EL display.
  • a manufacturing process of the glass plate for example, the following method can be mentioned. That is, in a manufacturing process of a glass plate, first, a long glass ribbon is continuously formed (for example, see Patent Literature 1). As a molding method, a method using a down draw method represented by an overflow down draw method, a slot down draw method, and a redraw method, and a method using a float method are widely adopted.
  • the glass ribbon is cut in the width direction at predetermined lengths, and a glass plate is cut out from the glass ribbon (for example, see Patent Document 2).
  • a part of the manufacturing process of the glass plate used for the flat panel display is performed in a predetermined processing room such as a clean room in order to maintain the cleanness of the glass plate and improve the quality.
  • contaminants may be generated from various places such as an apparatus (for example, a transport apparatus) for performing processing on the glass sheet and an operator. If such contaminants are left undisturbed, the contaminants may adhere to the glass plate. In addition, some types of contaminants are difficult to remove by washing, which may cause deterioration in the quality of the glass plate.
  • An object of the present invention is to prevent the generation of contaminants in a processing chamber and improve the quality of a glass plate.
  • the present invention devised to solve the above-described problem is a method for manufacturing a glass sheet including a processing step of performing processing on a glass sheet using a processing apparatus in a processing chamber, wherein a collector is disposed in the processing chamber. And a trapping step of adhering and trapping contaminants in the processing chamber on the surface of the trapping body.
  • a process for removing the cause of the generation of the contaminant for example, wiping off the contaminant
  • the type of the contaminant can be specified by analyzing the contaminant attached to the trapping body, so that the cause of generation of the contaminant (occurrence location) can be more accurately estimated.
  • the collector is preferably a plate-like member made of an inorganic compound. In this way, when the pollutant attached to the collector contains an organic substance, the organic substance can be easily analyzed.
  • a lubricant as a contaminant in the analysis step.
  • Lubricant is difficult to remove by washing. Therefore, when the lubricant is contained in the contaminant, it is necessary to appropriately perform a process for removing the cause of the generation of the lubricant. Therefore, it is preferable that the lubricant be a detection target in the analysis step.
  • a supply step of supplying the lubricant to the processing apparatus, and a removing step of removing a part of the lubricant supplied to the processing apparatus, the collecting step and the analyzing step, after the supplying step Preferably, the removing step is performed according to the result of the analyzing step. If an excessive amount of lubricant is supplied, the lubricant is scattered and easily adheres to the glass plate.However, since a part of the lubricant supplied to the processing apparatus is removed according to the result of the analysis process, the lubricant is It can be prevented from adhering to the glass plate.
  • the removing step is executed when a lubricant having a predetermined size or more (for example, a diameter of 300 ⁇ m or more) is detected in the analyzing step.
  • the processing device includes a transport device, and the processing step includes a transport process of transporting the upper portion of the glass plate in a vertical position while holding the upper portion of the glass plate by the transport device.
  • a transport device for example, an LM guide included in the transport device
  • a lubricant may cause a lubricant as a contaminant.
  • the transport device since the transport device is located above the glass plate in the vertical position, if the lubricant of the transport device is excessive, it tends to adhere to the glass plate. Therefore, in the case of such a configuration, the invention of the present application, which can detect and appropriately remove a lubricant when it is excessive, is particularly useful.
  • the processing room may be a clean room. If the present invention is applied to the production of a glass sheet requiring a high degree of cleanliness, such as that required for processing in a clean room, the effect of improving the quality of the glass sheet becomes more remarkable.
  • the generation of contaminants in the processing chamber can be prevented, and the quality of the glass plate can be improved.
  • FIG. 2 is a schematic plan view showing a glass plate manufacturing apparatus for embodying a glass plate manufacturing method. It is a top view of the collector (glass piece with a metal film) provided with the enlarged view of X area.
  • the method for manufacturing a glass sheet according to the present embodiment includes a forming step performed in a forming zone (not shown), a first cutting step performed in a first cutting zone 1, It includes a second cutting step performed in the cutting zone 2, an inspection step performed in the inspection zone 3, and a packing step performed in the packing zone 4.
  • the first cutting zone 1, the second cutting zone 2, the inspection zone 3 and the packing zone 4 are provided in the processing chamber 5. That is, the first cutting step, the second cutting step, the inspection step, and the packing step are included in the processing step of processing the glass sheet G in the processing chamber 5.
  • the processing chamber 5 is a clean room, but is not limited to this.
  • the processing chamber 5 may be any as long as it forms a space that can block external contaminants to some extent.
  • a glass ribbon (not shown) in a vertical position is continuously formed by an overflow down draw method in a forming zone.
  • the forming zone is provided above the first cutting zone 1, and includes a first zone for forming a glass ribbon from molten glass, a second zone for gradually cooling (annealing) the glass ribbon, and a second zone for cooling the glass ribbon. And three zones in order from the top.
  • the forming method is not limited to the overflow downdraw method, but may be another downdraw method such as a slot downdraw method or a redraw method, or a float method.
  • the glass plate G is obtained by cutting the glass ribbon at a predetermined length in a vertical position.
  • a scribe line is formed in the width direction at a predetermined position of the glass ribbon, and then the glass ribbon is cut by applying a bending stress along the scribe line.
  • the method for cutting the glass ribbon is not limited to the cutting by bending stress, and may be, for example, laser cutting or laser cutting.
  • both ends in the width direction of the glass sheet G in the vertical position are cut in the vertical direction and removed.
  • a scribe line S is formed vertically at a predetermined position on the glass sheet G, and then the glass sheet G is cut by applying a bending stress along the scribe line S.
  • both ends in the width direction of the glass plate G to be removed include ear portions whose thickness is relatively larger than the center portion in the width direction.
  • the method of cutting the glass ribbon is not limited to cutting by bending stress, and may be, for example, laser cutting or laser cutting.
  • the inspection zone 3 inspects the glass sheet G in the vertical position for defects.
  • one or a plurality of sensors 6 measure uneven thickness of the glass sheet G, measure streaks (striae) of the glass sheet G, or detect defects included in the glass sheet G. (For example, bubbles, foreign substances, etc.), position (coordinates), and size are measured.
  • the inspection contents in the inspection zone 3 are not particularly limited, and can be appropriately changed.
  • a marking zone for performing a marking step may be provided downstream of the inspection zone 3. In the marking zone, for example, identification information associated with the inspection result of the inspection process or the like is attached to the glass plate G.
  • a plurality of glass plates G are stacked and packed on a pallet (not shown) arranged in the packing zone 4 with a protective sheet interposed therebetween.
  • the pallet may pack the glass plate G in a horizontal position (flat position), but in the present embodiment, the pallet packs the glass plate G in a vertical position.
  • a plurality of packing zones 4 in which pallets are arranged may be provided, and the glass plates G may be stacked on each pallet in each packing zone 4.
  • the glass plate G manufactured in the present embodiment is used for a flat panel display.
  • the glass sheet G is transported in a vertical position (preferably a vertical position) from the first cutting zone 1 to the packing zone 4.
  • the glass plate G is suspended with its upper part being held by the chuck mechanism 7 of the transfer device.
  • the suspended glass plate G is transported to the downstream side while being transferred between the plurality of chuck mechanisms 7.
  • the glass sheet G Is switched over.
  • the transfer zones 8 and 9 are also provided in the processing chamber 5.
  • the transfer device is included in a processing device for performing processing on the glass plate G, and includes a chuck mechanism 7 and an LM guide (not shown) for moving the chuck mechanism 7.
  • the transport device is not particularly limited, and may be a device that transports the glass plate G in a horizontal posture (preferably a horizontal posture) or an inclined posture using a conveyor or the like.
  • the method for manufacturing a glass plate according to the present embodiment further includes a collection step performed in the processing chamber 5 and an analysis step performed inside or outside the processing chamber 5.
  • the collector 11 is disposed in the processing chamber 5, and the contaminants in the processing chamber 5 are attached to the surface of the collector 11 and collected.
  • a collection method for example, a method (a sedimentation test) in which a contaminant that has naturally settled on the surface of the collection body 11 by leaving the collection body 11 in the processing chamber 5 for about 24 hours to one week is used. No.
  • the collector 11 by arranging the collector 11 on an airflow generated by a fan or the like, the contaminants may be sprayed and adhered to the collector 11 together with the airflow.
  • the collector 11 is made of a rectangular glass piece with a metal film.
  • the metal film may be formed, for example, on a glass piece by vapor deposition or sputtering, and may be made of platinum, gold, chromium, aluminum, or the like.
  • IR infrared spectroscopy
  • FTIR Fourier transform infrared spectroscopy
  • the collector 11 may be a member made of an inorganic substance other than glass, or may be a flexible sheet-like member other than a plate-like member.
  • a plate-like member is preferable from the viewpoint of easily analyzing the attached contaminants.
  • the collector 11 is preferably a clean material subjected to a degreasing treatment such as heating. Further, from the viewpoint of improving the analysis accuracy by analysis for reading a signal reflected from a contaminant such as an infrared spectrometer, the collector 11 preferably has a reflectance of 85% or more.
  • the area of the surface of the collector 11 to which contaminants can be attached is preferably, for example, 100 to 10,000 mm 2 , and more preferably 1,000 to 5,000 mm 2 .
  • the collecting body 11 is disposed in a container 12 such as a petri dish.
  • the lid (not shown) of the container 12 can be closed while the collecting body 11 is housed inside. That is, by removing the lid when it is necessary to attach the contaminants and closing the lid when there is no need to attach the contaminants, unnecessary dirt such as dust is collected on the collector 11 accommodated in the container 12. Adhesion can be prevented. Information such as the position where the collector 11 is arranged is described on the lid.
  • the collectors 11 are arranged in the first delivery zone 8 and the second delivery zone 9, respectively. In these delivery zones 8 and 9, since the transport direction of the glass plate G is changed to a substantially right angle, many LM guides of the transport device are arranged.
  • an LM guide extending in a first direction and an LM guide extending in a second direction substantially orthogonal to the first direction are arranged. Therefore, in these delivery zones 8 and 9, a lubricant as a contaminant is easily generated from the LM guide.
  • the arrangement position of the collector 11 is not particularly limited.
  • the collector 11 that has passed through the collection step is collected, and the contaminants attached to the surface of the collector 11 are analyzed.
  • the analysis method the above-described microscope, infrared spectroscopy, or the like can be employed. Further, laser Raman spectroscopy, time-of-flight secondary ion mass spectrometry, TOF-SIMS, or the like may be employed.
  • the type of contaminant lubricant (grease), protein, paint, epoxy resin, polyurethane, etc.
  • the cause of the generation of the pollutant can be accurately estimated.
  • the analysis step may be omitted.
  • a bluish white circular substance 13 can be determined as a lubricant.
  • the location of the substance 13 is specified by marking or the like, and that a detailed analysis such as infrared spectroscopy is further performed.
  • the analysis results of the analysis step in a database.
  • the analysis result of the analysis process can be shared between two or more different places (for example, between a domestic business place and an overseas business place).
  • the method for manufacturing a glass sheet according to the present embodiment further includes a supply step performed in the processing chamber 5 and a removal step performed in the processing chamber 5.
  • a lubricant is supplied to a necessary portion of the processing apparatus (for example, a sliding portion such as an LM guide of the transfer apparatus).
  • the lubricant may be supplied by, for example, application, spraying, press fitting, or the like.
  • the supply step is performed, for example, at the time of periodic inspection of a manufacturing apparatus.
  • the collecting step and the analyzing step are performed after the supplying step.
  • the removing step a part of the lubricant supplied to the processing apparatus is removed.
  • the transportation of the glass sheet G is temporarily stopped.
  • the removing step is performed according to the result of the analyzing step. That is, the removing step is executed when a lubricant having a size equal to or larger than the determination threshold is detected from the collector 11 in the analyzing step.
  • the production of the glass sheet G is started while the glass sheet G is transported by the transport device in a state where the collector 11 is disposed in the processing chamber 5. Thereby, a collection step is performed. Then, after a necessary time (for example, 72 hours) of the collecting step has elapsed, the collecting body 11 is collected, and the analyzing step is performed. As a result, when a lubricant having a size equal to or larger than the determination threshold value (for example, a diameter of 300 ⁇ m) is detected from the collector 11, the lubricant of the processing apparatus (mainly, the LM guide of the transport apparatus) is removed as a removing step. Wipe off part.
  • the determination threshold value for example, a diameter of 300 ⁇ m
  • the transfer device may cause the generation of lubricant as a contaminant.
  • the transfer device when the transfer device is transported in the vertical position while holding the upper portion of the glass plate G, since the transfer device is located above the glass plate G, if the lubricant of the transfer device is excessive, the lubricant may drop from the transfer device. To adhere to the glass plate G. Therefore, in such a configuration, the ability to detect and remove excess lubricant at an early stage is very useful for manufacturing a high quality glass plate G.
  • the lubricant removal step is performed when the lubricant having the determination threshold or more is detected as the contaminant in the analysis step.
  • a removal step may be performed according to the type of the detected contaminant. In this case, it is preferable to set a determination threshold for each type of contaminant.

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Abstract

処理室５内で処理装置を用いてガラス板Ｇに処理を施す処理工程を含むガラス板の製造方法であって、処理室５内に捕集体１１を配置し、処理室５内の汚染物質を捕集体１１の表面に付着させて捕集する捕集工程を備えている。

Description

ガラス板の製造方法
　本発明は、ガラス板の製造方法に関する。
　周知のように、液晶ディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイには、ガラス板が使用される。
　ガラス板の製造工程としては、例えば、次のような方法が挙げられる。すなわち、ガラス板の製造工程では、まず、長尺なガラスリボンを連続的に成形する（例えば、特許文献１を参照）。成形方法としては、オーバーフローダウンドロー法、スロットダウンドロー法、リドロー法に代表されるダウンドロー法を利用した手法や、フロート法を利用した手法が広く採用されている。
　次に、ガラスリボンを所定の長さ毎に幅方向に切断し、ガラスリボンからガラス板を切り出す（例えば、特許文献２を参照）。
　その後、例えば、切り出されたガラス板の幅方向両端部を更に切断したり（例えば、特許文献３を参照）、欠陥検査を実施したりするなどの各種工程（例えば、特許文献４を参照）を経て、最終的に製品となるガラス板が製造される。
特開２０１４－１２２１２４号公報 特開２０１４－００５１７０号公報 特開２０１４－０２４７２０号公報 特開２０１８－１１２４１１号公報
　フラットパネルディスプレイに用いられるガラス板の製造工程の一部は、ガラス板の清浄性を維持して品質向上を図るために、クリーンルームなどの所定の処理室内で実施される。
　しかしながら、ガラス板の製造工程において、ガラス板に処理を施すための装置（例えば、搬送装置）や作業者などの種々の場所から汚染物質が発生し得る。このような汚染物質の発生を放置すると、汚染物質がガラス板に付着するおそれがある。しかも、汚染物質の種類によっては洗浄で除去しにくいものもあり、ガラス板の品質低下を招くおそれがある。
　そこで、処理室内の汚染物質の発生を防止することが望まれるが、汚染物質の発生原因として推定される場所が多岐に亘るため、十分な対策が実施されていないのが実情である。
　本発明は、処理室内の汚染物質の発生を防止し、ガラス板の品質向上を図ることを課題とする。
　上記の課題を解決するために創案された本発明は、処理室内で処理装置を用いてガラス板に処理を施す処理工程を含むガラス板の製造方法であって、処理室内に捕集体を配置し、処理室内の汚染物質を捕集体の表面に付着させて捕集する捕集工程を備えていることを特徴とする。このような構成によれば、捕集体に付着した汚染物質を観察することで、汚染物質の発生原因（発生場所）を推定できる。したがって、汚染物質の発生原因を除去するための処理（例えば、汚染物質の拭き取り作業など）を適切に実施しやすくなり、処理室内の汚染物質の発生を防止できる。
　上記の構成において、捕集工程を経た捕集体に付着した汚染物質を分析する分析工程をさらに備えることが好ましい。このようにすれば、捕集体に付着した汚染物質を分析することで、汚染物質の種類が特定できるため、汚染物質の発生原因（発生場所）をより正確に推定できる。
　上記の構成において、捕集体は、無機化合物からなる板状部材であることが好ましい。このようにすれば、捕集体に付着した汚染物質に有機物が含まれる場合に、その有機物を分析しやすくなる。
　上記の構成において、分析工程で、汚染物質として潤滑剤を検出することが好ましい。潤滑剤は洗浄で除去しにくい。そのため、潤滑剤が汚染物質に含まれている場合には、潤滑剤の発生原因を除去するための処理を適切に実施する必要がある。したがって、分析工程で潤滑剤を検出対象とすることが好ましい。
　上記の構成において、処理装置に潤滑剤を供給する供給工程と、処理装置に供給された潤滑剤の一部を除去する除去工程と、を備え、捕集工程および分析工程は、供給工程の後に実行され、除去工程は、分析工程の結果に応じて実行されることが好ましい。潤滑剤を過剰に供給すると、潤滑剤が飛散してガラス板に付着しやすくなるが、分析工程の結果に応じて処理装置に供給された潤滑剤の一部が除去されるため、潤滑剤がガラス板に付着するのを防止できる。ここで、例えば、除去工程は、分析工程で所定の大きさ以上（例えば、直径が３００μｍ以上）の潤滑剤が検出された場合に実行する。
　上記の構成において、処理装置は、搬送装置を備え、処理工程は、搬送装置によって、縦姿勢のガラス板の上部を保持しながら搬送する搬送工程を備え、供給工程では、搬送装置に潤滑剤を供給してもよい。すなわち、搬送装置（例えば、搬送装置に含まれるＬＭガイドなど）は、汚染物質としての潤滑剤の発生原因となり得る。しかも、搬送装置は、縦姿勢のガラス板の上方に位置するため、搬送装置の潤滑剤が過剰であると、ガラス板に付着しやすくなる。したがって、このような構成に対して、潤滑剤が過剰な場合にそれを検出して適切に除去できる本願発明は特に有用となる。
　上記の構成において、処理室は、クリーンルームであってもよい。クリーンルームで処理されるような高い清浄度が要求されるガラス板の製造に本発明を適用すれば、ガラス板の品質向上を図るという効果がより顕著となる。
　本発明によれば、処理室内の汚染物質の発生を防止し、ガラス板の品質向上を図ることができる。
ガラス板の製造方法を体現するためのガラス板の製造装置を示す概略平面図である。 Ｘ領域の拡大図を備えた捕集体（金属膜付きガラス片）の平面図である。
　以下、本発明に係る実施形態を添付図面に基づいて説明する。
　図１に示すように、本実施形態に係るガラス板の製造方法は、成形ゾーン（図示省略）で実施される成形工程と、第一切断ゾーン１で実施される第一切断工程と、第二切断ゾーン２で実施される第二切断工程と、検査ゾーン３で実施される検査工程と、梱包ゾーン４で実施される梱包工程と、を備えている。第一切断ゾーン１、第二切断ゾーン２、検査ゾーン３および梱包ゾーン４は、処理室５内に設けられている。すなわち、第一切断工程、第二切断工程、検査工程および梱包工程が、処理室５内でガラス板Ｇに処理を施す処理工程に含まれる。なお、本実施形態では、処理室５はクリーンルームであるが、これに限定されない。処理室５は、外部からの汚染物質をある程度遮断できる空間を区画形成するものであればよい。
　成形工程では、成形ゾーンにおいて、オーバーフローダウンドロー法によって縦姿勢のガラスリボン（図示省略）を連続成形する。成形ゾーンは、第一切断ゾーン１の上方に設けられており、溶融ガラスからガラスリボンを成形する第一ゾーンと、ガラスリボンを徐冷（アニール）する第二ゾーンと、ガラスリボンを冷却する第三ゾーンと、を上方から順に備えている。なお、成形方法は、オーバーフローダウンドロー法に限定されるものではなく、例えば、スロットダウンドロー法やリドロー法などの他のダウンドロー法や、フロート法などであってもよい。
　第一切断工程では、第一切断ゾーン１において、ガラスリボンを縦姿勢のまま所定長さで切断することでガラス板Ｇを得る。第一切断工程では、ガラスリボンの所定位置で幅方向にスクライブ線を形成した後、そのスクライブ線に沿って曲げ応力を作用させて割断する。なお、ガラスリボンの切断方法は、曲げ応力による割断に限定されるものではなく、例えば、レーザー割断やレーザー溶断などであってもよい。
　第二切断工程では、第二切断ゾーン２において、縦姿勢のガラス板Ｇの幅方向両端部を上下方向に切断して除去する。第二切断ゾーン２では、ガラス板Ｇの所定位置で上下方向にスクライブ線Ｓを形成した後、スクライブ線Ｓに沿って曲げ応力を作用させてガラス板Ｇを割断する。なお、除去されるガラス板Ｇの幅方向両端部には、幅方向中央部よりも相対的に厚さが大きくなる耳部が含まれる場合がある。また、ガラスリボンの切断方法は、曲げ応力による割断に限定されるものではなく、例えば、レーザー割断やレーザー溶断などであってもよい。
　検査工程では、検査ゾーン３において、縦姿勢のガラス板Ｇの欠陥などを検査する。本実施形態では、検査ゾーン３では、一又は複数のセンサ６で、ガラス板Ｇの偏肉を測定したり、ガラス板Ｇの筋（脈理）を測定したり、ガラス板Ｇに含まれる欠陥の種類（例えば、泡、異物など）、位置（座標）、大きさを測定したりする。なお、検査ゾーン３における検査内容は、特に限定されるものではなく、適宜変更することができる。また、検査ゾーン３の下流側に、マーキング工程を実施するためのマーキングゾーンを設けてもよい。マーキングゾーンでは、例えば、ガラス板Ｇに対して検査工程の検査結果などと紐付けられた識別情報が付される。
　梱包工程では、梱包ゾーン４に配置されたパレット（図示省略）に、複数枚のガラス板Ｇを各相互間に保護シートを介在させて積層して梱包する。パレットは、ガラス板Ｇを横姿勢（平置き姿勢）で梱包するものであってもよいが、本実施形態では、ガラス板Ｇを縦姿勢で梱包するものである。なお、パレットが配置された梱包ゾーン４を複数設け、各梱包ゾーン４の各パレットにガラス板Ｇを積み分けるようにしてもよい。なお、本実施形態で製造されたガラス板Ｇは、フラットパネルディスプレイに使用される。
　本実施形態では、第一切断ゾーン１から梱包ゾーン４へ至るまでの間、ガラス板Ｇは縦姿勢（好ましくは鉛直姿勢）で搬送される。この間、ガラス板Ｇは、搬送装置のチャック機構７によって上部が保持された状態で吊り下げられる。吊り下げられたガラス板Ｇは、複数のチャック機構７の間で受け渡されながら下流側に搬送される。具体的には、例えば、第一切断ゾーン１と第二切断ゾーン２との間の第一受渡ゾーン８、および検査ゾーン３と梱包ゾーン４との間の第二受渡ゾーン９において、ガラス板Ｇを搬送するチャック機構７が切り替わる。なお、受渡ゾーン８，９も処理室５内に設けられている。
　ここで、搬送装置は、ガラス板Ｇに処理を施すための処理装置に含まれるものであり、チャック機構７と、チャック機構７を移動させるためのＬＭガイド（図示省略）と、を備えている。なお、搬送装置は、特に限定されるものではなく、コンベアなどでガラス板Ｇを横姿勢（好ましくは水平姿勢）や傾斜姿勢で搬送するものであってもよい。
　本実施形態に係るガラス板の製造方法は、処理室５内で実施される捕集工程と、処理室５内または外で実施される分析工程と、を更に備えている。
　捕集工程では、処理室５内に捕集体１１を配置し、処理室５内の汚染物質を捕集体１１の表面に付着させて捕集する。捕集方法としては、例えば、捕集体１１を処理室５内に２４時間～１週間程度の間放置することで、捕集体１１の表面に自然沈降した汚染物質を付着させる方法（沈降テスト）が挙げられる。あるいは、ファン等で発生させた気流上に捕集体１１を配置することにより、気流と共に汚染物質を捕集体１１に吹き付けて付着させてもよい。
　捕集体１１は、金属膜付きの矩形状のガラス片からなる。金属膜は、例えば、ガラス片に蒸着やスパッタなどにより成膜すればよく、白金や金、クロム、アルミニウムなどで構成すればよい。このようにすれば、付着した汚染物質をマイクロマニュピレーター等で採取して載せ替えることなく、顕微鏡や、フーリエ変換赤外分光法赤外分光法（ＦＴＩＲ）といった赤外分光法（ＩＲ）による汚染物質の分析が可能になる。また、光を透過しないので、付着した汚染物質を顕微鏡で確認しやすくなる。なお、捕集体１１は、ガラス片に限定されるものではなく、汚染物質を捕集できるものであればよい。例えば、ガラス以外の無機物質からなる部材であってもよく、板状以外の可撓性を有するシート状部材であってもよい。付着した汚染物質の分析が容易に行う観点では、板状部材が好ましい。また、汚染物質の検出を容易にする観点から、捕集体１１は、加熱などの脱脂処理を施した清浄なものであることが好ましい。さらに、赤外分光分析装置などの汚染物質から反射された信号を読み取る分析で分析精度の向上を図る観点から、捕集体１１は、反射率が８５％以上であることが好ましい。
　捕集体１１のうち、汚染物質を付着可能な表面の面積は、例えば、１００～１０，０００ｍｍ２であることが好ましく、１，０００～５，０００ｍｍ２であることが好ましい。
　捕集体１１は、シャーレなどの容器１２内に配置されている。容器１２は、捕集体１１を内部に収容した状態で、蓋（図示省略）を閉じることが可能になっている。すなわち、汚染物質を付着させる必要があるときに蓋を外し、汚染物質を付着させる必要がないときに蓋を閉じることにより、容器１２内に収容された捕集体１１に埃などの不要な汚れが付着するのを防止できる。蓋には、例えば、捕集体１１を配置した位置などの情報が記載される。本実施形態では、捕集体１１は、第一受渡ゾーン８および第二受渡ゾーン９にそれぞれ配置されている。これらの受渡ゾーン８，９では、ガラス板Ｇの搬送方向が略直角に変更されるため、搬送装置のＬＭガイドが多数配置されている。具体的には、例えば、第一方向に延びるＬＭガイドと、第一方向と略直交する第二方向に延びるＬＭガイドとが配置される。したがって、これらの受渡ゾーン８，９では、ＬＭガイドから汚染物質としての潤滑剤が発生しやすい。なお、捕集体１１の配置位置は特に限定されない。
　分析工程では、捕集工程を経た捕集体１１を回収し、捕集体１１の表面に付着された汚染物質を分析する。分析方法としては、上述の顕微鏡や赤外分光法などを採用し得る。また、レーザーラマン分光法や飛行時間型二次イオン質量分析法、ＴＯＦ－ＳＩＭＳなどを採用してもよい。分析工程では、汚染物質の種類（潤滑剤（グリス）、たんぱく質、ペンキ、エポキシ樹脂、ポリウレタンなど）を特定すると共に、その大きさを測定する。このようによれば、汚染物質の種類が特定できるため、汚染物質の発生原因を正確に推定できる。したがって、特定された汚染物質の発生原因の除去処理を適切に実施しやすくなり、処理室５内の汚染物質の発生を防止できる。なお、分析工程は、省略してもよい。また、捕集体１１を回収する際、ガラス板Ｇの搬送を一時的に停止することが好ましい。
　ここで、潤滑剤はガラス板Ｇに付着すると、洗浄により除去しにくいため、分析工程では、潤滑剤の有無を検出することが好ましい。なお、顕微鏡で分析する場合、図２に示すように、例えば、捕集体１１の表面に付着した汚染物質（沈降物）のうち、青白く光る丸状の物質１３を潤滑剤と判定できる。この場合、物質１３の場所をマーキングなどで特定すると共に、赤外分光法などの詳細な分析を更に実施することが好ましい。
　分析工程の分析結果は、データベースに保存することが好ましい。このようにすれば、データベースに保存された複数の分析結果に基づいて、汚染物質の発生原因の傾向分析や、汚染物質の発生を低減できるガラス板Ｇの製造条件の最適化などを行うことができる。また、異なる二箇所以上の場所の間（例えば、国内事業場と海外事業場の間など）で、分析工程の分析結果を共有することもできる。
　本実施形態に係るガラス板の製造方法は、処理室５内で実施される供給工程と、処理室５内で実施される除去工程と、を更に備えている。
　供給工程では、処理装置の必要箇所（例えば、搬送装置のＬＭガイドなどの摺動部）に潤滑剤を供給する。潤滑剤の供給は、例えば塗布や噴霧、圧入等によって行えばよい。潤滑剤を供給する際、ガラス板Ｇの搬送は一時的に停止することが好ましい。供給工程は、例えば、製造装置の定期検査時などに実施される。捕集工程および分析工程は、供給工程の後に実行される。
　除去工程では、処理装置に供給された潤滑剤の一部を除去する。潤滑剤を除去する際、ガラス板Ｇの搬送は一時的に停止することが好ましい。除去工程は、分析工程の結果に応じて実行される。すなわち、除去工程は、分析工程で、捕集体１１から判定しきい値以上の大きさの潤滑剤が検出された場合に実行される。
　詳細には、供給工程の後に、処理室５内に捕集体１１を配置した状態で、搬送装置でガラス板Ｇを搬送しながらガラス板Ｇの製造を開始する。これにより、捕集工程を実施する。そして、捕集工程の必要時間（例えば、７２時間）が経過した後に捕集体１１を回収し、分析工程を実施する。その結果、捕集体１１から判定しきい値（例えば、直径３００μｍ）以上の大きさの潤滑剤が検出された場合には、除去工程として処理装置（主に搬送装置のＬＭガイド）の潤滑剤の一部を拭き取る。一方、捕集体１１から汚染して所定の大きさ以上の潤滑剤が検出されなかった場合には、そのままガラス板Ｇの製造を継続する。このようにすれば、過剰な潤滑剤を早期に検出して除去できるため、ガラス板Ｇに潤滑剤が付着するのを防止できる。
　ここで、搬送装置は、汚染物質としての潤滑剤の発生原因となり得る。しかも、ガラス板Ｇの上部を保持しながら縦姿勢で搬送する場合、搬送装置はガラス板Ｇの上方に位置するため、搬送装置の潤滑剤が過剰であると、搬送装置から潤滑剤が落下してガラス板Ｇに付着しやすくなる。したがって、このような構成において、過剰な潤滑剤を早期に検出して除去できることは、高品質のガラス板Ｇを製造する上で非常に有用となる。
　なお、本発明は上記の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、更に種々なる形態で実施し得る。
　上記の実施形態では、分析工程で判定しきい値以上の潤滑剤が汚染物質として検出された場合に、潤滑剤の除去工程を実施する場合を説明したが、分析工程で潤滑剤以外の汚染物質（例えば、たんぱく質、ペンキ、エポキシ樹脂、ポリウレタンなど）が検出された場合も、検出された汚染物質の種類に応じた除去工程を実行してもよい。この場合、汚染物質の種類ごとに、判定しきい値を設定することが好ましい。
１　　　第一切断ゾーン
２　　　第二切断ゾーン
３　　　検査ゾーン
４　　　梱包ゾーン
５　　　処理室
７　　　チャック機構
８　　　第一受渡ゾーン
９　　　第二受渡ゾーン
１１　　捕集体
１２　　容器
１３　　汚染物質（潤滑剤）
Ｇ　　　ガラス板
Ｓ　　　スクライブ線
 

Claims (7)

  1. 　処理室内で処理装置を用いてガラス板に処理を施す処理工程を含むガラス板の製造方法であって、
    　前記処理室内に捕集体を配置し、前記処理室内の汚染物質を前記捕集体の表面に付着させて捕集する捕集工程を備えていることを特徴とするガラス板の製造方法。
  2. 　前記捕集工程を経た前記捕集体に付着した前記汚染物質を分析する分析工程をさらに備えていることを特徴とする請求項１に記載のガラス板の製造方法。
  3. 　前記捕集体が、無機化合物からなる板状部材であることを特徴とする請求項２に記載のガラス板の製造方法。
  4. 　前記分析工程で、前記汚染物質として潤滑剤を検出することを特徴とする請求項２又は３に記載のガラス板の製造方法。
  5. 　前記処理装置に潤滑剤を供給する供給工程と、
    　前記処理装置に供給された前記潤滑剤の一部を除去する除去工程と、を備え、
    　前記捕集工程および前記分析工程は、前記供給工程の後に実行され、
    　前記除去工程は、前記分析工程の結果に応じて実行されることを特徴とする請求項４に記載のガラス板の製造方法。
  6. 　前記処理装置は、搬送装置を備え、
    　前記処理工程は、前記搬送装置によって、縦姿勢の前記ガラス板の上部を保持しながら搬送する搬送工程を備え、
    　前記供給工程では、前記搬送装置に潤滑剤を供給することを特徴とする請求項５に記載のガラス板の製造方法。
  7. 　前記処理室が、クリーンルームであることを特徴とする請求項１～６のいずれか１項に記載のガラス板の製造方法。
     
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