JPS63129078A - 非酸化物セラミツクスの接合方法 - Google Patents
非酸化物セラミツクスの接合方法Info
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- JPS63129078A JPS63129078A JP27091886A JP27091886A JPS63129078A JP S63129078 A JPS63129078 A JP S63129078A JP 27091886 A JP27091886 A JP 27091886A JP 27091886 A JP27091886 A JP 27091886A JP S63129078 A JPS63129078 A JP S63129078A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 19
- 229910052575 non-oxide ceramic Inorganic materials 0.000 title claims description 14
- 239000011225 non-oxide ceramic Substances 0.000 title claims description 14
- 239000000725 suspension Substances 0.000 claims description 26
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 20
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 12
- 239000011863 silicon-based powder Substances 0.000 claims description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 7
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 claims description 5
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 claims description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- 239000012752 auxiliary agent Substances 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000006060 molten glass Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013001 point bending Methods 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 silicon nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 239000004034 viscosity adjusting agent Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明はセラミックス部材間の接合に関し、特に非酸化
物セラミックスの接合方法に関するものである。
物セラミックスの接合方法に関するものである。
(従来の技術)
炭化珪素、窒化珪素の非酸化物系セラミックスは、高温
での強度、耐熱衝撃性、耐摩耗性、耐食性などの特性に
優れるため、耐熱、耐摩耗部品としての応用分野でその
使用が飛躍的に伸びている。
での強度、耐熱衝撃性、耐摩耗性、耐食性などの特性に
優れるため、耐熱、耐摩耗部品としての応用分野でその
使用が飛躍的に伸びている。
これらの部品は、ラジアントチューブ、高温送風機羽根
、溶湯ポンプ部品など大型複雑形状品が多(、一体成形
が困難でセラミックス部材同志の接合の必要性が高かっ
た。
、溶湯ポンプ部品など大型複雑形状品が多(、一体成形
が困難でセラミックス部材同志の接合の必要性が高かっ
た。
従来この様な目的に使用する接合技術としては、セラミ
ックス部材間に低融点酸化物を介在させ熱処理によりガ
ラス化して一体化させる技術と、金属化合物を介在させ
熱処理により溶融して一体化させる技術が公知であった
。
ックス部材間に低融点酸化物を介在させ熱処理によりガ
ラス化して一体化させる技術と、金属化合物を介在させ
熱処理により溶融して一体化させる技術が公知であった
。
(発明が解決しよすとる問題点)
しかしながら上述した接合方法では、非酸化物系セラミ
ックスはガラスや金属の溶融物により濡れ難いため充分
な強度が得られ難く、また例え常温での強度が得られた
としても、1000℃以上の高温では急激に接合強度が
低下する欠点があった。
ックスはガラスや金属の溶融物により濡れ難いため充分
な強度が得られ難く、また例え常温での強度が得られた
としても、1000℃以上の高温では急激に接合強度が
低下する欠点があった。
また、特殊な接合技術として、セラミックス部材間にな
にも介在させないか又は友素地を介在させて、ホットプ
レス、旧Pなどの装置を用いて高圧下で熱処理して一体
化させる技術も公知であるが、大型複雑形状品への適用
が困難である欠点があった。
にも介在させないか又は友素地を介在させて、ホットプ
レス、旧Pなどの装置を用いて高圧下で熱処理して一体
化させる技術も公知であるが、大型複雑形状品への適用
が困難である欠点があった。
本発明の目的は上述した問題点を解消して、高温強度が
高(かつ大型複雑形状品への適用が可能な非酸化物セラ
ミックスの接合方法を提供しようとするものである。
高(かつ大型複雑形状品への適用が可能な非酸化物セラ
ミックスの接合方法を提供しようとするものである。
(問題点を解決するための手段)
本発明の非酸化物セラミックスの接合方法は、接合すべ
きシリコンの非酸化物セラミックス部材間に、粘度5ポ
イズ以下に調整した金属シリコン粉末の懸濁液を流し込
んだ後、これを窒素雰囲気中、前記金属シリコンが窒化
する温度で焼成することを特徴とするものである。
きシリコンの非酸化物セラミックス部材間に、粘度5ポ
イズ以下に調整した金属シリコン粉末の懸濁液を流し込
んだ後、これを窒素雰囲気中、前記金属シリコンが窒化
する温度で焼成することを特徴とするものである。
(作 用)
上述した構成において、接合すべき部材間に所定粘度の
金属シリコン粉末の懸濁液を流し込み、窒化して接合す
ることにより、高い高温強度を有する大型複雑形状品を
得ることができる。
金属シリコン粉末の懸濁液を流し込み、窒化して接合す
ることにより、高い高温強度を有する大型複雑形状品を
得ることができる。
ここで、非酸化性セラミックス部材とは、α−5iC1
β−5iC% α−5i3N4、β−3i3N4、Si
2ON2、金属シリコンなどよりなる未焼成の成形品又
は焼成品を意味する。焼成品とは常圧焼結晶、反応焼結
晶、ホットプレス品又はIIIP品等を示し、高密度化
する前段階である中間温度焼成品をも含む。また、金属
シリコン粉末とは粒度0.1〜150μm、平均粒径1
〜30μlであり、接合すべきセラミックス部材の両者
と反応し、両者を強固に接合する作用を有する粉末を意
味する。粒度が0.1〜150μmであると好ましいの
は、粒度が粗いとスラリー中での粒子が沈降しシリコン
と水とが分離するとともに、粒子間に空隙が残り結合強
度が低下するためである。なお、0.1 μm以下のも
のは、接合部の乾燥時に微細のクラックが入り易く強度
低下の原因になる。また粉砕に時間がかかりコストアッ
プするため好ましくない。
β−5iC% α−5i3N4、β−3i3N4、Si
2ON2、金属シリコンなどよりなる未焼成の成形品又
は焼成品を意味する。焼成品とは常圧焼結晶、反応焼結
晶、ホットプレス品又はIIIP品等を示し、高密度化
する前段階である中間温度焼成品をも含む。また、金属
シリコン粉末とは粒度0.1〜150μm、平均粒径1
〜30μlであり、接合すべきセラミックス部材の両者
と反応し、両者を強固に接合する作用を有する粉末を意
味する。粒度が0.1〜150μmであると好ましいの
は、粒度が粗いとスラリー中での粒子が沈降しシリコン
と水とが分離するとともに、粒子間に空隙が残り結合強
度が低下するためである。なお、0.1 μm以下のも
のは、接合部の乾燥時に微細のクラックが入り易く強度
低下の原因になる。また粉砕に時間がかかりコストアッ
プするため好ましくない。
焼成雰囲気を窒素圧1気圧で、常温から金属シリコンが
溶融しない温度(約1400℃)の間で少くとも金属シ
リコンを窒化させることにより、接合強度にすぐれたも
のが得られる。
溶融しない温度(約1400℃)の間で少くとも金属シ
リコンを窒化させることにより、接合強度にすぐれたも
のが得られる。
懸濁液としては、金属シリコン粉末100重量部に窒化
助剤0.5〜5.0重量部、Ih020〜70重量部と
解膠剤0.1〜0.5重量部を加えて、5〜20時間ボ
時間ボルトミル拌機で混合した液を使用すると好適であ
る。懸濁液を部材間に流し込む方法としては、直接懸濁
液を流し込む方法、ハケで懸濁液を塗布する方法および
噴霧器で懸濁液を吹きつける方法があるが、部材間の空
隙部をな(すためには直接懸濁液を流し込む方法が好ま
しい。またこの場合、焼成品より未焼成品の方が吸水性
が良いので、未焼成品を接合する場合には、接合面に水
を塗布して表面に水の膜を作ってやることが好ましい。
助剤0.5〜5.0重量部、Ih020〜70重量部と
解膠剤0.1〜0.5重量部を加えて、5〜20時間ボ
時間ボルトミル拌機で混合した液を使用すると好適であ
る。懸濁液を部材間に流し込む方法としては、直接懸濁
液を流し込む方法、ハケで懸濁液を塗布する方法および
噴霧器で懸濁液を吹きつける方法があるが、部材間の空
隙部をな(すためには直接懸濁液を流し込む方法が好ま
しい。またこの場合、焼成品より未焼成品の方が吸水性
が良いので、未焼成品を接合する場合には、接合面に水
を塗布して表面に水の膜を作ってやることが好ましい。
懸濁液の粘度を5ポイズ以下としたのは、5ポイズ以上
の場合はセラミックスの接合部材が吸水性が高いので接
合面と懸濁液との濡れ性が悪化し、空隙部が発生して強
度が低下するためである。なお、懸濁液の粘度は、焼成
品では0.3〜5ポイズ、未焼成品では0.5ポイズ以
下が好ましい。
の場合はセラミックスの接合部材が吸水性が高いので接
合面と懸濁液との濡れ性が悪化し、空隙部が発生して強
度が低下するためである。なお、懸濁液の粘度は、焼成
品では0.3〜5ポイズ、未焼成品では0.5ポイズ以
下が好ましい。
セラミック部材間の断面形状を三角形状、台形形状とす
ると、シリコンの懸濁液を流し込み易くなるとともに流
し込み時に巻き込んだエアーを抜は易くし、接合部に気
泡が残留することによる欠陥をなくすることができる。
ると、シリコンの懸濁液を流し込み易くなるとともに流
し込み時に巻き込んだエアーを抜は易くし、接合部に気
泡が残留することによる欠陥をなくすることができる。
また、流し込んだ後セラミックス部材と金属シリコン粉
末懸濁液との接触面積を大きくして、接合部断面積当り
にかかる力を緩和することもできる。この場合、断面の
三角形及び台形の接合部材間の角度としては、両方に切
り込みを入れる場合には15°〜120°、また一方に
のみ切込みを入れる場合には、156〜60゜の場合に
最も効果を発揮する。
末懸濁液との接触面積を大きくして、接合部断面積当り
にかかる力を緩和することもできる。この場合、断面の
三角形及び台形の接合部材間の角度としては、両方に切
り込みを入れる場合には15°〜120°、また一方に
のみ切込みを入れる場合には、156〜60゜の場合に
最も効果を発揮する。
(実施例)
以下、実際の例について説明する。
まず、接合すべき非酸化性セラミックス材料として、S
iCの焼成品および未焼成品、5isN4の焼成品およ
び未焼成品、Siの焼成品および未焼成品を準備した。
iCの焼成品および未焼成品、5isN4の焼成品およ
び未焼成品、Siの焼成品および未焼成品を準備した。
次に、金属シリコン粉末100重量部に対してフン化カ
ルシウム1.5重量部、HzO52,0重量部およびモ
ノエタノールアミン0.3重量部を10時間ポットミル
で混合して、粘度を更に水分添加により調節した5ポイ
ズ以下の本発明用の懸濁液と5ポイズ以上の比較例用の
懸濁液とを準備した。接合すべき板状またはセラミック
ス部材を動かないように固定してその後、得られた懸濁
液を部材間の角度を60°に切り込んだセラミックス部
材間に直接流し込み、20分間そのまま放置して接合体
を得た。すなわち、第1図(a)、 (b)に示すよう
な接合すべき板状または円筒状のセラミックス部材A、
B間に懸濁液を流し込んで断面三角形状の中間部材Cを
形成した実施例および比較例、第2図に示す接合すべき
板状のセラミックス部材Aと円筒状のセラミックス部材
Bとの間に懸濁液を流し込んで断面が三角形状の中間部
材Cを形成した実施例および比較例、第3図(a)、
(b)に示すような接合すべき板状または円筒状のセラ
ミックス部材A、 8間に懸濁液を流し込んで断面台形
形状の中間部材Cを形成した実施例および比較例を得た
。
ルシウム1.5重量部、HzO52,0重量部およびモ
ノエタノールアミン0.3重量部を10時間ポットミル
で混合して、粘度を更に水分添加により調節した5ポイ
ズ以下の本発明用の懸濁液と5ポイズ以上の比較例用の
懸濁液とを準備した。接合すべき板状またはセラミック
ス部材を動かないように固定してその後、得られた懸濁
液を部材間の角度を60°に切り込んだセラミックス部
材間に直接流し込み、20分間そのまま放置して接合体
を得た。すなわち、第1図(a)、 (b)に示すよう
な接合すべき板状または円筒状のセラミックス部材A、
B間に懸濁液を流し込んで断面三角形状の中間部材Cを
形成した実施例および比較例、第2図に示す接合すべき
板状のセラミックス部材Aと円筒状のセラミックス部材
Bとの間に懸濁液を流し込んで断面が三角形状の中間部
材Cを形成した実施例および比較例、第3図(a)、
(b)に示すような接合すべき板状または円筒状のセラ
ミックス部材A、 8間に懸濁液を流し込んで断面台形
形状の中間部材Cを形成した実施例および比較例を得た
。
得られた焼成品および未焼成品の接合体に対し0℃から
1000℃迄を50℃/hr、1000〜1400℃迄
を3℃/hrで昇温、さらに1400℃で30時間保持
焼成して試験片を得た。この試験片から、接合部が中央
に来るようにしたJIS R1601に基くサンプルを
作成し1300℃で4点曲げ抗折試験を実施して、高温
強度を測定した。結果を第1表に示す。
1000℃迄を50℃/hr、1000〜1400℃迄
を3℃/hrで昇温、さらに1400℃で30時間保持
焼成して試験片を得た。この試験片から、接合部が中央
に来るようにしたJIS R1601に基くサンプルを
作成し1300℃で4点曲げ抗折試験を実施して、高温
強度を測定した。結果を第1表に示す。
第1表の結果から、本発明の所定粘度の懸濁液を使用し
た接合体は高温で高い曲げ強さを示すことがわかった。
た接合体は高温で高い曲げ強さを示すことがわかった。
本発明は上述した実施例にのみ限定されるものではなく
、幾多の変形、変更が可能である。例えば上述した実施
例における懸濁液としては窒化助剤としてフッ化カルシ
ウムを使用した例を示したが、他の助剤を使うことも可
能である。また粘性の調整剤として必要に応じてメトロ
ース、マクセロン、PVA等をさらに添加することもで
きる。
、幾多の変形、変更が可能である。例えば上述した実施
例における懸濁液としては窒化助剤としてフッ化カルシ
ウムを使用した例を示したが、他の助剤を使うことも可
能である。また粘性の調整剤として必要に応じてメトロ
ース、マクセロン、PVA等をさらに添加することもで
きる。
(発明の効果)
以上詳細に説明したところから明らかなように、本発明
の非酸化物セラミックスの接合方法によれば、接合すべ
き部材間に所定粘度の金属シリコン粉末の懸濁液を流し
込み窒化して接合しているため、高い高温強度を達成で
きるとともに、その接合上使用する装置等の制約を受け
ないため大型複雑形状品を接合により得ることができる
。
の非酸化物セラミックスの接合方法によれば、接合すべ
き部材間に所定粘度の金属シリコン粉末の懸濁液を流し
込み窒化して接合しているため、高い高温強度を達成で
きるとともに、その接合上使用する装置等の制約を受け
ないため大型複雑形状品を接合により得ることができる
。
第1図(a)、 (bl、第2図、第3図(al、 (
blは、それぞれ本発明の接合方法の一例を説明するた
めの線図である。 特許出願人 日本碍子株式会社 第1図 (0−) (b) 第2図
blは、それぞれ本発明の接合方法の一例を説明するた
めの線図である。 特許出願人 日本碍子株式会社 第1図 (0−) (b) 第2図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、接合すべきシリコンの非酸化物セラミックス部材間
に、粘度5ポイズ以下に調整した金属シリコン粉末の懸
濁液を流し込んだ後、これを窒素雰囲気中、前記金属シ
リコンが窒化する温度で焼成することを特徴とする非酸
化物セラミックスの接合方法。 2、セラミックス部材が未焼成の成形品である特許請求
の範囲第1項記載の非酸化物セラミックスの接合方法。 3、セラミックス部材が焼成品である特許請求の範囲第
1項記載の非酸化物セラミックスの接合方法。 4、セラミックス部材間の断面形状が三角形状である特
許請求の範囲第1項記載の非酸化物セラミックスの接合
方法。 5、セラミックス部材間の断面形状が台形形状である特
許請求の範囲第1項記載の非酸化物セラミックスの接合
方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27091886A JPS63129078A (ja) | 1986-11-15 | 1986-11-15 | 非酸化物セラミツクスの接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP27091886A JPS63129078A (ja) | 1986-11-15 | 1986-11-15 | 非酸化物セラミツクスの接合方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63129078A true JPS63129078A (ja) | 1988-06-01 |
Family
ID=17492804
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP27091886A Pending JPS63129078A (ja) | 1986-11-15 | 1986-11-15 | 非酸化物セラミツクスの接合方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63129078A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002068852A (ja) * | 2000-08-28 | 2002-03-08 | Techno Quartz Kk | シリコン部材の接合方法およびその接合体 |
JP2008184352A (ja) * | 2007-01-29 | 2008-08-14 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | セラミック接合体及びその製造方法 |
US8337648B2 (en) * | 2001-12-03 | 2012-12-25 | F.M. Technologies, Inc. | Ceramic joining |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5879880A (ja) * | 1981-11-02 | 1983-05-13 | 大同特殊鋼株式会社 | 接合方法 |
-
1986
- 1986-11-15 JP JP27091886A patent/JPS63129078A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5879880A (ja) * | 1981-11-02 | 1983-05-13 | 大同特殊鋼株式会社 | 接合方法 |
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JP2002068852A (ja) * | 2000-08-28 | 2002-03-08 | Techno Quartz Kk | シリコン部材の接合方法およびその接合体 |
US8337648B2 (en) * | 2001-12-03 | 2012-12-25 | F.M. Technologies, Inc. | Ceramic joining |
JP2008184352A (ja) * | 2007-01-29 | 2008-08-14 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | セラミック接合体及びその製造方法 |
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