JPS63126522A - 気体流体の成分の分離方法 - Google Patents
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- JPS63126522A JPS63126522A JP62275903A JP27590387A JPS63126522A JP S63126522 A JPS63126522 A JP S63126522A JP 62275903 A JP62275903 A JP 62275903A JP 27590387 A JP27590387 A JP 27590387A JP S63126522 A JPS63126522 A JP S63126522A
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims description 248
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 102
- 239000012528 membrane Substances 0.000 claims description 125
- 239000012466 permeate Substances 0.000 claims description 66
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 64
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 62
- 239000000047 product Substances 0.000 claims description 56
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 55
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 51
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 43
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 35
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 33
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 29
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 26
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 26
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 22
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 22
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 20
- 238000011084 recovery Methods 0.000 claims description 20
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims description 12
- 239000012264 purified product Substances 0.000 claims description 7
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 claims description 4
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 claims description 4
- 238000003795 desorption Methods 0.000 claims description 3
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 238000004064 recycling Methods 0.000 claims 2
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 41
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 11
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 6
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 5
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 239000008246 gaseous mixture Substances 0.000 description 4
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001868 water Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 3
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 3
- JVFDADFMKQKAHW-UHFFFAOYSA-N C.[N] Chemical compound C.[N] JVFDADFMKQKAHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 2
- PXUQTDZNOHRWLI-OXUVVOBNSA-O malvidin 3-O-beta-D-glucoside Chemical compound COC1=C(O)C(OC)=CC(C=2C(=CC=3C(O)=CC(O)=CC=3[O+]=2)O[C@H]2[C@@H]([C@@H](O)[C@H](O)[C@@H](CO)O2)O)=C1 PXUQTDZNOHRWLI-OXUVVOBNSA-O 0.000 description 2
- 239000002808 molecular sieve Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- -1 polyphenyleneoxy Polymers 0.000 description 2
- URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N sodium aluminosilicate Chemical compound [Na+].[Al+3].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- VVTSZOCINPYFDP-UHFFFAOYSA-N [O].[Ar] Chemical compound [O].[Ar] VVTSZOCINPYFDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-YPZZEJLDSA-N carbane Chemical compound [10CH4] VNWKTOKETHGBQD-YPZZEJLDSA-N 0.000 description 1
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 150000004700 cobalt complex Chemical class 0.000 description 1
- 238000005056 compaction Methods 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000000502 dialysis Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003344 environmental pollutant Substances 0.000 description 1
- 239000012013 faujasite Substances 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 150000002371 helium Chemical class 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052680 mordenite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000069 nitrogen hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 231100000719 pollutant Toxicity 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 238000005057 refrigeration Methods 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/02—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography
- B01D53/04—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by adsorption, e.g. preparative gas chromatography with stationary adsorbents
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/22—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by diffusion
- B01D53/225—Multiple stage diffusion
- B01D53/226—Multiple stage diffusion in serial connexion
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- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/22—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols by diffusion
- B01D53/229—Integrated processes (Diffusion and at least one other process, e.g. adsorption, absorption)
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/02—Preparation of oxygen
- C01B13/0229—Purification or separation processes
- C01B13/0248—Physical processing only
- C01B13/0251—Physical processing only by making use of membranes
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/02—Preparation of oxygen
- C01B13/0229—Purification or separation processes
- C01B13/0248—Physical processing only
- C01B13/0259—Physical processing only by adsorption on solids
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/04—Purification or separation of nitrogen
- C01B21/0405—Purification or separation processes
- C01B21/0433—Physical processing only
- C01B21/0438—Physical processing only by making use of membranes
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/04—Purification or separation of nitrogen
- C01B21/0405—Purification or separation processes
- C01B21/0433—Physical processing only
- C01B21/045—Physical processing only by adsorption in solids
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- C01B3/00—Hydrogen; Gaseous mixtures containing hydrogen; Separation of hydrogen from mixtures containing it; Purification of hydrogen
- C01B3/50—Separation of hydrogen or hydrogen containing gases from gaseous mixtures, e.g. purification
- C01B3/501—Separation of hydrogen or hydrogen containing gases from gaseous mixtures, e.g. purification by diffusion
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- C01B3/00—Hydrogen; Gaseous mixtures containing hydrogen; Separation of hydrogen from mixtures containing it; Purification of hydrogen
- C01B3/50—Separation of hydrogen or hydrogen containing gases from gaseous mixtures, e.g. purification
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- C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
- C07C7/00—Purification; Separation; Use of additives
- C07C7/144—Purification; Separation; Use of additives using membranes, e.g. selective permeation
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- B01D—SEPARATION
- B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
- B01D2253/10—Inorganic adsorbents
- B01D2253/106—Silica or silicates
- B01D2253/108—Zeolites
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- B01D2253/00—Adsorbents used in seperation treatment of gases and vapours
- B01D2253/10—Inorganic adsorbents
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- B01D2253/25—Coated, impregnated or composite adsorbents
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- B01D2256/00—Main component in the product gas stream after treatment
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- B01D2256/00—Main component in the product gas stream after treatment
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- B01D2256/00—Main component in the product gas stream after treatment
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- B01D2256/00—Main component in the product gas stream after treatment
- B01D2256/22—Carbon dioxide
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- B01D2256/00—Main component in the product gas stream after treatment
- B01D2256/24—Hydrocarbons
- B01D2256/245—Methane
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B01D—SEPARATION
- B01D2257/00—Components to be removed
- B01D2257/10—Single element gases other than halogens
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- B01D2257/504—Carbon dioxide
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- B01D2257/00—Components to be removed
- B01D2257/70—Organic compounds not provided for in groups B01D2257/00 - B01D2257/602
- B01D2257/702—Hydrocarbons
- B01D2257/7022—Aliphatic hydrocarbons
- B01D2257/7025—Methane
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- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
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- B01D53/047—Pressure swing adsorption
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- B01D53/047—Pressure swing adsorption
- B01D53/0476—Vacuum pressure swing adsorption
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B2203/00—Integrated processes for the production of hydrogen or synthesis gas
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- C01B2203/0465—Composition of the impurity
- C01B2203/047—Composition of the impurity the impurity being carbon monoxide
-
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- C01B2203/00—Integrated processes for the production of hydrogen or synthesis gas
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- C01B2203/0465—Composition of the impurity
- C01B2203/048—Composition of the impurity the impurity being an organic compound
-
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- C01B2210/00—Purification or separation of specific gases
- C01B2210/0043—Impurity removed
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、多成分気体流体からの成分の分離回収に関す
る。
る。
従来、所望の成分を90モル幅まで含有している供給流
体から高収率で高純度の流体生成物を生成するために工
夫された各方法では、多段層膜系または多床圧力スウィ
ング吸着(rF’8AJ)ユニットを必要とした。非常
に高純度の流体。
体から高収率で高純度の流体生成物を生成するために工
夫された各方法では、多段層膜系または多床圧力スウィ
ング吸着(rF’8AJ)ユニットを必要とした。非常
に高純度の流体。
すなわち99−以上のもの、を生成するための独立型(
s tand −alone )膜ユニットの使用は高
収率でこの高純度に達するには大きな膜面積と電力需要
量を必要とするので非効率であることが分った。他方、
PEAユニットは70モル幅以上の濃度で所望の気体を
含有している供給流体から高純度の流体を生成するのに
は非常に効率的であるが比較的低純度、すなわち7〇−
以下、の流体を処理して高収率で高純度の生成物をもた
らすKは非効率になることが判明した。
s tand −alone )膜ユニットの使用は高
収率でこの高純度に達するには大きな膜面積と電力需要
量を必要とするので非効率であることが分った。他方、
PEAユニットは70モル幅以上の濃度で所望の気体を
含有している供給流体から高純度の流体を生成するのに
は非常に効率的であるが比較的低純度、すなわち7〇−
以下、の流体を処理して高収率で高純度の生成物をもた
らすKは非効率になることが判明した。
米国特許第4,229,188号明細書は、水素と通常
は液体の炭化水素を含有している気体混合物からの水素
の回収方法を教示している。供給流体は選択吸着ユニッ
トに流し、まず該供給物を分離し、吸着ユニットからの
79−ジ流体を引き続いて膜分離器で処理して所望の成
分の追加量を回収する。この特許に開示されたプロセス
の仕様は、しかしながら、所望の成分が高濃度である供
給流体、すなわち所望の成分が70モル幅以上の濃度で
あるもの、にとって効率的な系であるにすぎない。
は液体の炭化水素を含有している気体混合物からの水素
の回収方法を教示している。供給流体は選択吸着ユニッ
トに流し、まず該供給物を分離し、吸着ユニットからの
79−ジ流体を引き続いて膜分離器で処理して所望の成
分の追加量を回収する。この特許に開示されたプロセス
の仕様は、しかしながら、所望の成分が高濃度である供
給流体、すなわち所望の成分が70モル幅以上の濃度で
あるもの、にとって効率的な系であるにすぎない。
米国特許第4.23&204号明細書は、軽質ガスとそ
の他の成分を含有している気体混合物から高純度かつ高
収率で軽質ガスを回収する方法を開示している。この気
体混合物をまず選択吸着ユニットに導入し、このユニッ
トは高純度の軽質ガスと該軽質ガスの少なくとも一部を
含有しているノセージされた気体を生成する。吸着ユニ
ットからのノクージされた気体は引き続いて軽質ガスに
対して選択透過性の膜ノ臂−ミエータ−に流して、パー
ミエータ−から向上した純度の軽質ガスからなる透過し
た気体を回収し、この透過した気体を選択吸着、z=ニ
ット循環させる。
の他の成分を含有している気体混合物から高純度かつ高
収率で軽質ガスを回収する方法を開示している。この気
体混合物をまず選択吸着ユニットに導入し、このユニッ
トは高純度の軽質ガスと該軽質ガスの少なくとも一部を
含有しているノセージされた気体を生成する。吸着ユニ
ットからのノクージされた気体は引き続いて軽質ガスに
対して選択透過性の膜ノ臂−ミエータ−に流して、パー
ミエータ−から向上した純度の軽質ガスからなる透過し
た気体を回収し、この透過した気体を選択吸着、z=ニ
ット循環させる。
米国特許第4,229.188号と同じく、このプロセ
スの系も所望の供給成分が比較的高濃度;すなわち70
モル−以上、である供給流体に適当であるにすぎない。
スの系も所望の供給成分が比較的高濃度;すなわち70
モル−以上、である供給流体に適当であるにすぎない。
米国特許第4,598.926号明細書は、約90モル
慢までの水素含有量をもつ高圧流体からの水素の回収方
法を開示している。供給流体は水素を選択的に透過可能
な透析膜を含有し【いる分離機に流す0分離機は気体流
体中に含有された不純物から所望の水素成分の大量分離
を達成するために使用される0分離された水素は減圧し
て回収し、減圧状での作動のために工夫された圧力スウ
ィング吸着系に流す。加えて、分離機からのオフガスは
供給気体流体゛よりも、本質的に高い圧力で回収され、
この流体の少々くとも一部はより低い圧力に減圧され、
−緒に供給する気体として圧力スウィング吸着系へ流し
所望の成分の収率を高める。
慢までの水素含有量をもつ高圧流体からの水素の回収方
法を開示している。供給流体は水素を選択的に透過可能
な透析膜を含有し【いる分離機に流す0分離機は気体流
体中に含有された不純物から所望の水素成分の大量分離
を達成するために使用される0分離された水素は減圧し
て回収し、減圧状での作動のために工夫された圧力スウ
ィング吸着系に流す。加えて、分離機からのオフガスは
供給気体流体゛よりも、本質的に高い圧力で回収され、
この流体の少々くとも一部はより低い圧力に減圧され、
−緒に供給する気体として圧力スウィング吸着系へ流し
所望の成分の収率を高める。
本発明は、半透過性膜を通しての異なった透過性をもつ
成分からなる多成分気体流体から高純度かつ高収率で所
望の成分を分離し、回収する方法である。
成分からなる多成分気体流体から高純度かつ高収率で所
望の成分を分離し、回収する方法である。
この方法は多成分供給気体を多数の膜分離ユニットに供
給して一以上の所望の成分からなる濃縮した気体流体を
生成させることからなる。
給して一以上の所望の成分からなる濃縮した気体流体を
生成させることからなる。
濃縮した流体は所望しない気体成分を選択的に吸着する
吸着剤を含有している吸着ユニットに供給されて95モ
ル幅あるいはそれ以上の濃度の所望の成分をもち得る流
体生成物を生成させる。吸着、zニラ)K吸着された気
体成分は引き続いて脱着され、循環させ膜分離ユニット
へ入ってくる供給気体流体と合体させる。ある場合には
、脱着した気体の一部は特定の成分を十分に濃縮してノ
e−ジまたは共生放物流体(co−product s
tream )として取り出してもよい。
吸着剤を含有している吸着ユニットに供給されて95モ
ル幅あるいはそれ以上の濃度の所望の成分をもち得る流
体生成物を生成させる。吸着、zニラ)K吸着された気
体成分は引き続いて脱着され、循環させ膜分離ユニット
へ入ってくる供給気体流体と合体させる。ある場合には
、脱着した気体の一部は特定の成分を十分に濃縮してノ
e−ジまたは共生放物流体(co−product s
tream )として取り出してもよい。
この方法は少なくとも一つの他の成分を含有している気
体混合物から一成分を回収するための効率約1手段を提
供する。膜ユニットと吸着ユニットとの間の相互作用は
互いの作動を高めあい、個別に作動されるいずれか一つ
のユニットによって達成できるものより大きな収率で高
純度の流体生成物を生成させるための効率的な方法を提
供する。
体混合物から一成分を回収するための効率約1手段を提
供する。膜ユニットと吸着ユニットとの間の相互作用は
互いの作動を高めあい、個別に作動されるいずれか一つ
のユニットによって達成できるものより大きな収率で高
純度の流体生成物を生成させるための効率的な方法を提
供する。
本発明は気体混合物から一以上の成分を回収する方法で
ある。この方法は半透膜をベースとしたユニットを吸着
ユニットとハイプリッP化することを含む。一つの主要
な成分の膜ユニットを通しての透過率が他の主要な成分
と異なる少なくとも二つの主要成分を含有している多成
分供給気体混合物を多数の膜分離ユニットに供給して所
望の成分が濃縮された気体流体を生成させる。供給気体
流体中の主要な一成分はその濃度が1容積慢を越えるも
の、典型的には4容積チを越えるものである。
ある。この方法は半透膜をベースとしたユニットを吸着
ユニットとハイプリッP化することを含む。一つの主要
な成分の膜ユニットを通しての透過率が他の主要な成分
と異なる少なくとも二つの主要成分を含有している多成
分供給気体混合物を多数の膜分離ユニットに供給して所
望の成分が濃縮された気体流体を生成させる。供給気体
流体中の主要な一成分はその濃度が1容積慢を越えるも
の、典型的には4容積チを越えるものである。
本発明に使用する膜ユニットは圧力差を膜の両側に維持
したときに供給気体混合物中の主要な一気体成分を他の
主要な各気体成分から分離するためのいくらかの選択性
をもついがなる膜デバイスでもよい、各々の漢ユニット
ハ単一の膜デバイスか、それとは別の垂直に々った(p
lumbed)、かつ最も効率的な方法で分離を達成す
べく作動されるいくつかの膜デバイス、例えば膜ユニッ
トの種々の段(stage)の間の内部循環流体をとも
なうカスケーP状膜から成っていてよい。典型的には、
膜デバイスはモデュールで製造し、6各は透過用の一定
の半透膜領域をもつ。この方法に使用できる最近入手可
能な半浸透膜材料はポリスルホン、酢酸セルロース、−
リイミP1ポリアミP、シリコーンがム、ポリフェニレ
ンオキシP等である。
したときに供給気体混合物中の主要な一気体成分を他の
主要な各気体成分から分離するためのいくらかの選択性
をもついがなる膜デバイスでもよい、各々の漢ユニット
ハ単一の膜デバイスか、それとは別の垂直に々った(p
lumbed)、かつ最も効率的な方法で分離を達成す
べく作動されるいくつかの膜デバイス、例えば膜ユニッ
トの種々の段(stage)の間の内部循環流体をとも
なうカスケーP状膜から成っていてよい。典型的には、
膜デバイスはモデュールで製造し、6各は透過用の一定
の半透膜領域をもつ。この方法に使用できる最近入手可
能な半浸透膜材料はポリスルホン、酢酸セルロース、−
リイミP1ポリアミP、シリコーンがム、ポリフェニレ
ンオキシP等である。
一以上の所望の成分が濃縮された膜分離ユニットから得
られた流体;すなわち濃縮流体、は所望しない成分を選
択的に吸着可能な吸着剤を含有する吸着ユニットKRさ
れ、これによって高濃度の所望成分をもつ流体生成物が
生成される。所望の成分の合計濃度が少なくとも95モ
ルチ、好ましくは99モル慢以上の流体生成物を得るこ
とができる。典型的な具体例では、流体生成物は供給物
を基準として少なくとも80モルチ、好ましくは少なく
とも90モルチの収率を示す。吸着ユニットは運動原理
Wli (kinet、1c−based)または平衡
原理型のもの(equilibrium−based)
であってよく、圧力スウィング、温度スウィング、真空
スウィングあるいはその他の適当な方法やこれらの組み
合わせとして作動されるものである。これらのユニット
に典型的に使用される吸着剤の例は分子ふるい、例えば
炭素分子ふるいおよびゼオライト系物質、例えばフォー
ジャサイトおよびモルデナイト族から得られるカチオン
交換したゼオライト物質である。
られた流体;すなわち濃縮流体、は所望しない成分を選
択的に吸着可能な吸着剤を含有する吸着ユニットKRさ
れ、これによって高濃度の所望成分をもつ流体生成物が
生成される。所望の成分の合計濃度が少なくとも95モ
ルチ、好ましくは99モル慢以上の流体生成物を得るこ
とができる。典型的な具体例では、流体生成物は供給物
を基準として少なくとも80モルチ、好ましくは少なく
とも90モルチの収率を示す。吸着ユニットは運動原理
Wli (kinet、1c−based)または平衡
原理型のもの(equilibrium−based)
であってよく、圧力スウィング、温度スウィング、真空
スウィングあるいはその他の適当な方法やこれらの組み
合わせとして作動されるものである。これらのユニット
に典型的に使用される吸着剤の例は分子ふるい、例えば
炭素分子ふるいおよびゼオライト系物質、例えばフォー
ジャサイトおよびモルデナイト族から得られるカチオン
交換したゼオライト物質である。
吸着という用語を本文で使用しているが、作動条件と気
体成分の全体如伺では、吸着またはその他の類似のタイ
プの精製ユニットを本発明の精神からはずれることなし
に代用してもよい。
体成分の全体如伺では、吸着またはその他の類似のタイ
プの精製ユニットを本発明の精神からはずれることなし
に代用してもよい。
吸着ユニットに吸着された所望しない成分は引き続いて
脱着させ、所望の成分の一部とともに膜分離ユニットへ
入ってくる供給気体混合物に循環させる。所望の成分の
一部は脱着ステップの後に続く吸着ユニット用の洗浄流
体として使用できる。洗浄流体は次に脱着した成分とと
もに循環し℃もよい。脱着サイクルの間のいくつかの時
点で所望しない成分の一以上の濃度を十分に高くしてこ
の流体の一部をこのプロセスからパージするか共生成物
とし℃それを利用できるようKしてもよい。
脱着させ、所望の成分の一部とともに膜分離ユニットへ
入ってくる供給気体混合物に循環させる。所望の成分の
一部は脱着ステップの後に続く吸着ユニット用の洗浄流
体として使用できる。洗浄流体は次に脱着した成分とと
もに循環し℃もよい。脱着サイクルの間のいくつかの時
点で所望しない成分の一以上の濃度を十分に高くしてこ
の流体の一部をこのプロセスからパージするか共生成物
とし℃それを利用できるようKしてもよい。
02 、N 2− H2s Co 2 s H20等の
非常に低レベルの夾雑物質を除去するためのユニットや
系を各プロセス流体の任意のものの追加処理のために付
加できる。このような系は商業的に入手可能で、本発明
のハイブリッド系のどれにでも必要に応じて付加できる
。
非常に低レベルの夾雑物質を除去するためのユニットや
系を各プロセス流体の任意のものの追加処理のために付
加できる。このような系は商業的に入手可能で、本発明
のハイブリッド系のどれにでも必要に応じて付加できる
。
第1図は、本発明の一実施例を示すもので、供給気体混
合物のより透過しやすい成分は、分離され、精製された
生成物として回収される。
合物のより透過しやすい成分は、分離され、精製された
生成物として回収される。
所望の90モル慢までの成分、好ましくは20〜85モ
ル慢の成分を含有している気体供給混合物10は圧縮さ
れた循環流体95と混合され、合体された供給流体20
を作る。合体された供給流体20は第1の膜ユニット2
1に流され、第1の透過流体30と第1の不透過流体(
rejectstream) 40を形成する。第1の
膜ユニット21からの透過流体60は所望の成分が濃縮
され、最終の精製のための吸着ユニット23へ供給して
精製した流体生成物50を生成する。透過流体30の圧
力レベル次第では、流体は吸着ユニット23へ供給する
前に圧縮することもできる。
ル慢の成分を含有している気体供給混合物10は圧縮さ
れた循環流体95と混合され、合体された供給流体20
を作る。合体された供給流体20は第1の膜ユニット2
1に流され、第1の透過流体30と第1の不透過流体(
rejectstream) 40を形成する。第1の
膜ユニット21からの透過流体60は所望の成分が濃縮
され、最終の精製のための吸着ユニット23へ供給して
精製した流体生成物50を生成する。透過流体30の圧
力レベル次第では、流体は吸着ユニット23へ供給する
前に圧縮することもできる。
第1の膜ユニットからの第1の不透過流体40は第2の
膜ユニット22へ供給して第2の透過流体70と第2の
不透過流体80を生成する。
膜ユニット22へ供給して第2の透過流体70と第2の
不透過流体80を生成する。
第2の膜ユニット22からの第2の透過流体70中の所
望の成分の回収レベルはエコノミツクアナリシスによっ
て決定された所望の回収レベルまたは最適の回収レベル
いかんによって設定される。必要であれば、合計の回収
レベルが99幅以上(従来技術の系では一般に非常に達
成困難なレベル)になるようにこのステージにおける回
収レベルを非常に高く設定できる。第2の透過流体70
の圧力は吸着ユニット23からのパージ流体60のそれ
と等しいように通常は設定して、これらを混合して流体
90を形成し、圧縮機93で圧縮し、かつ圧縮した流体
95として供給気体混合物10に循環されうるようにさ
れる。この代りに、各流体を異なる圧力にし【圧縮機9
3の個々のステージに供給することもできる。第2の膜
ユニット22からの第2の不透過流体80は高圧流体と
し℃回収するか別個に膨張させてエネルギーを回収する
か他の操作のために利用するかのいずれか、あるいは単
に廃棄してもよい。濃度と組成次第で、脱着された各成
分の一部は流体共生成物52として吸着ユニット23か
ら必要に応じ【回収されてもよく、分流部分62は循環
される前に中間膜ユニット、例えばユニット22、を通
して必要に応じて流し℃もよい。このプロセス系に対ス
ルキー(Key)は所望の成分の収率を第1の膜ユニッ
トでは適度汝し4ル(60〜90慢、特に50〜80襲
)に、そして第2の膜ユニット22では50慢以上、好
ましくは80%以上に設定することである。
望の成分の回収レベルはエコノミツクアナリシスによっ
て決定された所望の回収レベルまたは最適の回収レベル
いかんによって設定される。必要であれば、合計の回収
レベルが99幅以上(従来技術の系では一般に非常に達
成困難なレベル)になるようにこのステージにおける回
収レベルを非常に高く設定できる。第2の透過流体70
の圧力は吸着ユニット23からのパージ流体60のそれ
と等しいように通常は設定して、これらを混合して流体
90を形成し、圧縮機93で圧縮し、かつ圧縮した流体
95として供給気体混合物10に循環されうるようにさ
れる。この代りに、各流体を異なる圧力にし【圧縮機9
3の個々のステージに供給することもできる。第2の膜
ユニット22からの第2の不透過流体80は高圧流体と
し℃回収するか別個に膨張させてエネルギーを回収する
か他の操作のために利用するかのいずれか、あるいは単
に廃棄してもよい。濃度と組成次第で、脱着された各成
分の一部は流体共生成物52として吸着ユニット23か
ら必要に応じ【回収されてもよく、分流部分62は循環
される前に中間膜ユニット、例えばユニット22、を通
して必要に応じて流し℃もよい。このプロセス系に対ス
ルキー(Key)は所望の成分の収率を第1の膜ユニッ
トでは適度汝し4ル(60〜90慢、特に50〜80襲
)に、そして第2の膜ユニット22では50慢以上、好
ましくは80%以上に設定することである。
このプロセス系を介して分離するのによく適合する特定
の気体混合物は、水素−一酸化炭素、水素−炭化水素、
ヘリウム−炭化水素、ヘリウム−炭化水素−窒素、およ
びメタン−窒素である。
の気体混合物は、水素−一酸化炭素、水素−炭化水素、
ヘリウム−炭化水素、ヘリウム−炭化水素−窒素、およ
びメタン−窒素である。
第2図は、一連の膜ユニット中で一以上のより透過しに
くい成分を不透過流体として富化し、この流体を吸着ユ
ニットで精製して精製した生成物として所望の成分を回
収するプロセス系を示す。この系と第1図に示すものと
の主要な差は吸着ユニット230を第2の膜エニン)
220からの不透過流体800を精製するために使用す
ることである。
くい成分を不透過流体として富化し、この流体を吸着ユ
ニットで精製して精製した生成物として所望の成分を回
収するプロセス系を示す。この系と第1図に示すものと
の主要な差は吸着ユニット230を第2の膜エニン)
220からの不透過流体800を精製するために使用す
ることである。
合計で90モル慢、好ましくは20〜85モル幅、の所
望の成分を含有している気体状供給混合物100は圧縮
された循環流体950と混合されて合体された供給流体
200を形成する。合体された供給流体200は第1の
膜ユニット210に流して第1の透過流体300と第1
の不透過流体400を形成する。流体生成物500に所
望される回収レベル次第でKよって第1の膜ユニット2
10は多段階膜エニン)K構成され得る。第1の透過流
体300はその後の使用のために集めるか単に廃棄され
る。第1の不透過流体400は第2の膜ユニット220
に流して第2の透過流体700と第2の不透過流体80
0を形成する。所望の各成分を富化した第2の不透過流
体800は所望しない各成分の吸着に対して選択性のあ
る吸着媒体を含有している吸着エニン) 230に流さ
れ、これによって所望の各成分を高濃度で有する精製さ
れた流体生成物500を形成する。
望の成分を含有している気体状供給混合物100は圧縮
された循環流体950と混合されて合体された供給流体
200を形成する。合体された供給流体200は第1の
膜ユニット210に流して第1の透過流体300と第1
の不透過流体400を形成する。流体生成物500に所
望される回収レベル次第でKよって第1の膜ユニット2
10は多段階膜エニン)K構成され得る。第1の透過流
体300はその後の使用のために集めるか単に廃棄され
る。第1の不透過流体400は第2の膜ユニット220
に流して第2の透過流体700と第2の不透過流体80
0を形成する。所望の各成分を富化した第2の不透過流
体800は所望しない各成分の吸着に対して選択性のあ
る吸着媒体を含有している吸着エニン) 230に流さ
れ、これによって所望の各成分を高濃度で有する精製さ
れた流体生成物500を形成する。
所望しない各成分は引き続いて吸着ユニット230から
流体600として脱着され、膜ユニット220からの第
2の透過流体700と混合されて(これらは通常同じ圧
力状態にある)流体900を形成する。流体900は圧
縮機930でほぼ供給圧力に圧縮されて圧縮された流体
950を形成し、流体950は引き続いて供給気体混合
物100と合体される。この代りに、流体600と70
0は異なった圧力にあってもよく、圧縮機9300個々
の段階に供給できる。濃度と組成次第で、脱着された各
成分の一部は流体弁生成物520として吸着ユニット2
30から必要に応じて回収してもよく、分流部分620
は循環する前に中間膜ユニット、例えばエニン)220
.を通して必要に応じて流してもよい。このプロセスの
系を使用する分離のために適合した気体混合物はアルゴ
ン−酸素、不活性ガス(窒素とアルゴン)−酸素、炭化
水素−二酸化炭素、アルゴン−NH3パージガス、およ
び窒素−メタンである。
流体600として脱着され、膜ユニット220からの第
2の透過流体700と混合されて(これらは通常同じ圧
力状態にある)流体900を形成する。流体900は圧
縮機930でほぼ供給圧力に圧縮されて圧縮された流体
950を形成し、流体950は引き続いて供給気体混合
物100と合体される。この代りに、流体600と70
0は異なった圧力にあってもよく、圧縮機9300個々
の段階に供給できる。濃度と組成次第で、脱着された各
成分の一部は流体弁生成物520として吸着ユニット2
30から必要に応じて回収してもよく、分流部分620
は循環する前に中間膜ユニット、例えばエニン)220
.を通して必要に応じて流してもよい。このプロセスの
系を使用する分離のために適合した気体混合物はアルゴ
ン−酸素、不活性ガス(窒素とアルゴン)−酸素、炭化
水素−二酸化炭素、アルゴン−NH3パージガス、およ
び窒素−メタンである。
本発明の各プロセス系の全てにおいて、気体混合物、処
理と生成物の圧力、および引き続いて合体されるいずれ
かの二つの流体の間の圧力差次第で、いずれかの各気体
流体の圧力を変えるためにオプションの圧縮機または膨
張機を使用してよい。第1図と第2図の圧縮機93と9
30は各々特定の実施例の単なる典型例にすぎず、他の
プロセス条件が変われば位置を変えるか除去しうるもの
である。
理と生成物の圧力、および引き続いて合体されるいずれ
かの二つの流体の間の圧力差次第で、いずれかの各気体
流体の圧力を変えるためにオプションの圧縮機または膨
張機を使用してよい。第1図と第2図の圧縮機93と9
30は各々特定の実施例の単なる典型例にすぎず、他の
プロセス条件が変われば位置を変えるか除去しうるもの
である。
下記に示す実施例は本発明をA体内に例証するために示
すだけで本発明の範囲を制限することを意味しない。
すだけで本発明の範囲を制限することを意味しない。
実施例 1
この実施例の目的は、58.2モルチのヘリウムを含有
している665 psiaの気体混合物から210μs
1aの精製されたヘリウム(999十モルS)流体を生
成させることである。供給気体流体の性質は下記の第1
表に記載する。
している665 psiaの気体混合物から210μs
1aの精製されたヘリウム(999十モルS)流体を生
成させることである。供給気体流体の性質は下記の第1
表に記載する。
第 1 表
供給速度=240 ボンrモル/時
圧 力 = 665 psia
温度=4五3℃(110?)
供給気体の組成
成 分 モル慢
ヘリウム 58,2
窒 素 40.5
メタン t3
第1図に図示したとおりの本発明に従った膜/ PSA
プロセスについて(ケース1)といくつかの先行技術の
膜/ PSAプロセスについ−((ケース2と3)プロ
セスの計算を行なった。
プロセスについて(ケース1)といくつかの先行技術の
膜/ PSAプロセスについ−((ケース2と3)プロ
セスの計算を行なった。
ケース 1
供給流体10ははじめに循環流体95と混合させて66
.6モル慢のヘリウム濃度をもつ混合された流体20を
形成させる。混合された流体20は次に第一の膜ユニッ
ト21に供給して第一の透過流体30と第一の不透過流
体40を形成させる。95慢のヘリウムを含有している
透過流体30は220 psiaで回収し、かつPEA
ユニット23へ供給して99モル幅以上の純度の精製
されたヘリウム流体生成物50を994モルモル慢率で
回収する。精製されたヘリウム流体生成物50は次に気
体状生成物として販売するか液化プロセスへ送るかする
。第一の膜ユニット21からの不透過流体40は入って
きたばかりの供給物10とほぼ同じ圧力にあり、第二の
膜ユニット22に供給されて追加の量のヘリウムを回収
する。第二の膜ユニット22におけるヘリウム回収レベ
ルは所望の合計ヘリウム収率によつ℃設定する。この膜
ステージからの透過流体70の圧力はPSAユニットか
ら脱着される所望しない各成分、すなわち窒素とメタン
、を含有しているパージ流体60と同じである。流体6
0と70は合体され、圧縮機93で供給物10の圧力に
圧縮され、循環されて合体された供給流体20を形成す
る。第2の膜ユニット22からの主に窒素とメタン成分
とからなる不透過流体80は直接膨張させてそのエネル
ギーを回収できるし、あるいはヘリウム液化領域へ送っ
て補給窒素の提供および/またはそのエネルギーの回収
を行う。
.6モル慢のヘリウム濃度をもつ混合された流体20を
形成させる。混合された流体20は次に第一の膜ユニッ
ト21に供給して第一の透過流体30と第一の不透過流
体40を形成させる。95慢のヘリウムを含有している
透過流体30は220 psiaで回収し、かつPEA
ユニット23へ供給して99モル幅以上の純度の精製
されたヘリウム流体生成物50を994モルモル慢率で
回収する。精製されたヘリウム流体生成物50は次に気
体状生成物として販売するか液化プロセスへ送るかする
。第一の膜ユニット21からの不透過流体40は入って
きたばかりの供給物10とほぼ同じ圧力にあり、第二の
膜ユニット22に供給されて追加の量のヘリウムを回収
する。第二の膜ユニット22におけるヘリウム回収レベ
ルは所望の合計ヘリウム収率によつ℃設定する。この膜
ステージからの透過流体70の圧力はPSAユニットか
ら脱着される所望しない各成分、すなわち窒素とメタン
、を含有しているパージ流体60と同じである。流体6
0と70は合体され、圧縮機93で供給物10の圧力に
圧縮され、循環されて合体された供給流体20を形成す
る。第2の膜ユニット22からの主に窒素とメタン成分
とからなる不透過流体80は直接膨張させてそのエネル
ギーを回収できるし、あるいはヘリウム液化領域へ送っ
て補給窒素の提供および/またはそのエネルギーの回収
を行う。
このプロセスのためのキーのプロセス流体の詳細を下記
の第2素に示す。
の第2素に示す。
回収された合計ヘリウム、消費された電力の比、および
このケースに要した膜面積の比の要約を下記の第3表に
示す。ヘリウムの収率は非常に高いけれども膜とPSA
ユニットの作動条件の改善は収率を更に増大できる。
このケースに要した膜面積の比の要約を下記の第3表に
示す。ヘリウムの収率は非常に高いけれども膜とPSA
ユニットの作動条件の改善は収率を更に増大できる。
ケース 2
このケースでは、膜ユニットは流体を吸着ユニットへ供
給する前に供給流体を所望のレベルのヘリウム純度に高
めるためにプレプロセッサ−として主に使用する。第1
表に記載した供給気体混合物は第一に膜ユニットで処理
してケース1において行なったのと同様に220 ps
iaで95憾のヘリウムを含有している透過流体をもた
らした。このヘリウムが富化された流体は次KPSAユ
ニットに送って210 psiaの圧力の精製されたヘ
リウム流体を生成する。この系はより少い膜面積と電力
を使用するけれども、下記の第3表にケース2として示
したとおりヘリウム収率がかなり低く不利である。
給する前に供給流体を所望のレベルのヘリウム純度に高
めるためにプレプロセッサ−として主に使用する。第1
表に記載した供給気体混合物は第一に膜ユニットで処理
してケース1において行なったのと同様に220 ps
iaで95憾のヘリウムを含有している透過流体をもた
らした。このヘリウムが富化された流体は次KPSAユ
ニットに送って210 psiaの圧力の精製されたヘ
リウム流体を生成する。この系はより少い膜面積と電力
を使用するけれども、下記の第3表にケース2として示
したとおりヘリウム収率がかなり低く不利である。
ケース 3
第一の膜ユニットを所望のレベルのヘリウムを供給流体
から回収するのに使用し、かつ第二の膜ユニットをPE
Aユニットに供給できるほどに十分に富化されたヘリウ
ム流体を生成するために使用する系で第1表の供給気体
混合物を処理した。
から回収するのに使用し、かつ第二の膜ユニットをPE
Aユニットに供給できるほどに十分に富化されたヘリウ
ム流体を生成するために使用する系で第1表の供給気体
混合物を処理した。
供給流体は第二の膜ユニットからのヘリウム富化流体と
まず混合される。この混合された流体は次に第一の膜ユ
ニットに供給される。このステージでのヘリウム回収レ
ベルは全体のヘリウム回収レベルがケース1と一致する
ようなものに設定される。第一の膜ユニットからの透過
流体は次K PEIAユニットからのノ々−ジ流体と混
合され、圧縮され、引き続いて第二の膜ユニットへ供給
される。第二の膜ユニットからの透過流体は220 p
aiaの圧力で回収され、P8Aユニットへ供給してヘ
リウム流体生成物を生成する。
まず混合される。この混合された流体は次に第一の膜ユ
ニットに供給される。このステージでのヘリウム回収レ
ベルは全体のヘリウム回収レベルがケース1と一致する
ようなものに設定される。第一の膜ユニットからの透過
流体は次K PEIAユニットからのノ々−ジ流体と混
合され、圧縮され、引き続いて第二の膜ユニットへ供給
される。第二の膜ユニットからの透過流体は220 p
aiaの圧力で回収され、P8Aユニットへ供給してヘ
リウム流体生成物を生成する。
概して、この系は第一の膜ユニット(これは多量の流体
を処理する)を非Xに高い収率レベルで作動させること
が必要とされる新規な着想とは異なる。第3表に示すよ
うに、この系(ケース3)は新規な提案された着想より
は大きな電力と膜面積を使用する。
を処理する)を非Xに高い収率レベルで作動させること
が必要とされる新規な着想とは異なる。第3表に示すよ
うに、この系(ケース3)は新規な提案された着想より
は大きな電力と膜面積を使用する。
第 3 表
ヘリウム収率(1) 99.4 4五5
994比電力 1.0 αO1,76 比面積 1.8 0.26 110 要約すると、実施例1は本発明のプロセス系(ケース1
)は精製された流体生成物を非常に大きな収率でもたら
し、かつ気体混合物を分離するためにこれまで使用され
たその他の各基と比較して非常に効率的でもあることを
明白に例証している。
994比電力 1.0 αO1,76 比面積 1.8 0.26 110 要約すると、実施例1は本発明のプロセス系(ケース1
)は精製された流体生成物を非常に大きな収率でもたら
し、かつ気体混合物を分離するためにこれまで使用され
たその他の各基と比較して非常に効率的でもあることを
明白に例証している。
実施例 2
下記の実施例は第2図に示した異体例を例証する。この
着想は精製ができ、吸着ユニットからの抽残流体として
回収できるところの所望の生成物が膜ユニットを通して
より透過しにくい成分である場合に魅力的なプロセス系
である。
着想は精製ができ、吸着ユニットからの抽残流体として
回収できるところの所望の生成物が膜ユニットを通して
より透過しにくい成分である場合に魅力的なプロセス系
である。
この具体例は所望の生成物が追加の圧縮なしで高圧流体
として回収できるという付加された利点をもつ。
として回収できるという付加された利点をもつ。
50%の酸素と50優のアルコ97を含有している気体
混合物から高純度のアルゴン流体を生成するために計算
を行なった。この実施例をシュミレートするために使用
した膜の特性は最近開発されつつある進歩した膜につい
てのものである。例えば、米国特許第4,584,35
9号は窒素、アルがン等の他の成分に比べて非常に高い
酸素の透過性を保有しているコバルト錯体ビニルポリマ
ー膜を教示している。このケースをシュミレートするた
めに使用するPEAユニットはアルゴンよりも酸素を優
先的に吸着するところの運動原理型の系である。しかし
ながら、この特定のPSAユニットはプロセス状態に所
望される特別な分離いかんにより平衡原理型のユニット
によって置換できる。
混合物から高純度のアルゴン流体を生成するために計算
を行なった。この実施例をシュミレートするために使用
した膜の特性は最近開発されつつある進歩した膜につい
てのものである。例えば、米国特許第4,584,35
9号は窒素、アルがン等の他の成分に比べて非常に高い
酸素の透過性を保有しているコバルト錯体ビニルポリマ
ー膜を教示している。このケースをシュミレートするた
めに使用するPEAユニットはアルゴンよりも酸素を優
先的に吸着するところの運動原理型の系である。しかし
ながら、この特定のPSAユニットはプロセス状態に所
望される特別な分離いかんにより平衡原理型のユニット
によって置換できる。
このプロセスで、52.1モル係のアルゴン濃度をもつ
流体200としく第一の膜ユニット210へ供給する前
に供給流体100は循環流体950とまず混合される。
流体200としく第一の膜ユニット210へ供給する前
に供給流体100は循環流体950とまず混合される。
第一の膜ユニット210からの透過流体300は約97
慢の酸素を含有しs 20 paiaの圧力で回収され
る。再度、供給ステージ膜ユニットにおける酸素収率は
酸素純度を高め、かつ透過流体300中のアルゴン損失
を少なくするために比較的低いレベル(〜50慢)に設
定される。不透過流体400は68.2モル慢のアルゴ
ン濃度をもち、かつ第二の膜エニツ) 220へ直接供
給されて高圧で97.5モル係のアルゴン濃度をもつア
ルゴン富化不透過流体800を生成し、かつ圧縮後に循
環されるアルゴンの乏しい透過流体700が回収される
。第二の膜ユニットにおける酸素回収レベルは第二の不
透過流体800について所望されるアルゴンの純度と収
率次第で変動できる。アルゴンが富化した第二の不透過
流体800は次にPSAユニットに供給されて、高圧の
100%に近い濃度の精製したアルゴン流体生成物50
0を生成する。PEAユニットからのノ9−ジ流体60
0は20 psiaの圧力にあり、かつ第二の膜ユニッ
トからの透過流体700と混合され、かつ供給物100
へ循環される。
慢の酸素を含有しs 20 paiaの圧力で回収され
る。再度、供給ステージ膜ユニットにおける酸素収率は
酸素純度を高め、かつ透過流体300中のアルゴン損失
を少なくするために比較的低いレベル(〜50慢)に設
定される。不透過流体400は68.2モル慢のアルゴ
ン濃度をもち、かつ第二の膜エニツ) 220へ直接供
給されて高圧で97.5モル係のアルゴン濃度をもつア
ルゴン富化不透過流体800を生成し、かつ圧縮後に循
環されるアルゴンの乏しい透過流体700が回収される
。第二の膜ユニットにおける酸素回収レベルは第二の不
透過流体800について所望されるアルゴンの純度と収
率次第で変動できる。アルゴンが富化した第二の不透過
流体800は次にPSAユニットに供給されて、高圧の
100%に近い濃度の精製したアルゴン流体生成物50
0を生成する。PEAユニットからのノ9−ジ流体60
0は20 psiaの圧力にあり、かつ第二の膜ユニッ
トからの透過流体700と混合され、かつ供給物100
へ循環される。
供給流体とこのプロセス系のためのその他のキープロセ
ス流体の詳細を下記の第4表に示す。
ス流体の詳細を下記の第4表に示す。
これらの計算は、膜ユニットからの全ての透過流体とP
SAユニットからのノ臂−ジ流体が20paiaの圧力
に維持され、かつPEAユニットにおけるアルゴンの収
率が50噂に設定されるという仮定に基づいて行なった
。
SAユニットからのノ臂−ジ流体が20paiaの圧力
に維持され、かつPEAユニットにおけるアルゴンの収
率が50噂に設定されるという仮定に基づいて行なった
。
上の第4表に示したデータは上記の実施例2で遂行した
プロセス系が約100−の純度をもつアルがン流体生成
物の回収をもたらすことを示す。合計のアルゴン収率も
非常に高い。なぜならこの系から失なわれる唯一のアル
ゴンはアルゴンの損失を最小に保持するように調整され
ている第一の膜ユニットからの透過物に含有されている
ものであるからである。
プロセス系が約100−の純度をもつアルがン流体生成
物の回収をもたらすことを示す。合計のアルゴン収率も
非常に高い。なぜならこの系から失なわれる唯一のアル
ゴンはアルゴンの損失を最小に保持するように調整され
ている第一の膜ユニットからの透過物に含有されている
ものであるからである。
実施例 3
第二の特定のプロセス系を第2図に図示した全体的な系
に従って遂行した。この系では、第一の膜ユニット21
0からの透過流体300はさらに別個の膜ユニット(図
示せず)で処理してより透過しやすい成分の純度を高め
るようKし、こうして所望のより透過しにくい成分の収
率を高める。
に従って遂行した。この系では、第一の膜ユニット21
0からの透過流体300はさらに別個の膜ユニット(図
示せず)で処理してより透過しやすい成分の純度を高め
るようKし、こうして所望のより透過しにくい成分の収
率を高める。
メタン55慢、二酸化炭素41チ、および窒素、酸素、
水蒸気を含有している残部混合物とを含有している気体
混合物から高純度のメタン流体500を生成させるため
に計算を行なった。
水蒸気を含有している残部混合物とを含有している気体
混合物から高純度のメタン流体500を生成させるため
に計算を行なった。
この気体組成物は埋立場(landfill)気体の典
型的なものである。最近入手できる膜の特性がこのプロ
セスをシュミレートするために使用され、かつ使用され
た吸着ユニットは二酸化炭素をメタンよりも優先的に吸
着する運動原理型または平衡原理截システムなどのPS
Aユニットであった。
型的なものである。最近入手できる膜の特性がこのプロ
セスをシュミレートするために使用され、かつ使用され
た吸着ユニットは二酸化炭素をメタンよりも優先的に吸
着する運動原理型または平衡原理截システムなどのPS
Aユニットであった。
このプロセスでは、供給流体100はまずPSAユニッ
トからのA−ジした流体と混合し、混合された流体を約
100 psiaの中間の圧力に圧縮する。圧縮後、こ
の混合流体を次に第二の膜分離ユニット220からの透
過流体と混合する。結果として生じる流体は次に約77
5 psiaの供給圧力に圧縮し、供給流体200とし
て第一の膜二ニット210に流した。第一の膜二二ツ)
210からの透過流体300は約93蝿の二酸化炭素
を含有し、約105 psiaの圧力である。供給ステ
ージ膜ユニットでの二酸化炭素収率は二酸化炭素純度を
高めるために比較的低レベル(50%)に設定される。
トからのA−ジした流体と混合し、混合された流体を約
100 psiaの中間の圧力に圧縮する。圧縮後、こ
の混合流体を次に第二の膜分離ユニット220からの透
過流体と混合する。結果として生じる流体は次に約77
5 psiaの供給圧力に圧縮し、供給流体200とし
て第一の膜二ニット210に流した。第一の膜二二ツ)
210からの透過流体300は約93蝿の二酸化炭素
を含有し、約105 psiaの圧力である。供給ステ
ージ膜ユニットでの二酸化炭素収率は二酸化炭素純度を
高めるために比較的低レベル(50%)に設定される。
しかしながら、この流体はなお約6慢のメタンを含有し
ており、これはもし回収されなければ約10チのメタン
がプロセス全体で失なわれることを意味する。そのため
透過流体300は追加的な膜ユニット(図示せず)に送
り、そこでさらに二酸化炭素の精製またはメタンのさら
なる回収を達成する。この追加的な膜ユニットからの結
果として生じた精製した流体は98.5チの二酸化炭素
とわずか0.7 esのメタンを含有する。この追加的
々膜ユニットから生成した不透過流体は89俤の二酸化
炭素と10俤のメタンを含有し、第一の膜ユニット21
0へ入っていく供給気体へ約100 psiaの圧力で
循環される。
ており、これはもし回収されなければ約10チのメタン
がプロセス全体で失なわれることを意味する。そのため
透過流体300は追加的な膜ユニット(図示せず)に送
り、そこでさらに二酸化炭素の精製またはメタンのさら
なる回収を達成する。この追加的な膜ユニットからの結
果として生じた精製した流体は98.5チの二酸化炭素
とわずか0.7 esのメタンを含有する。この追加的
々膜ユニットから生成した不透過流体は89俤の二酸化
炭素と10俤のメタンを含有し、第一の膜ユニット21
0へ入っていく供給気体へ約100 psiaの圧力で
循環される。
第一の膜ユニット210からの不透過流体400はメタ
ン濃度が51慢で、第二の膜ユニット220へ直接供給
して高圧のメタン濃度80%のメタン富化した不透過流
体800と約100 psiaの圧力のメタンの乏しい
透過流体700を生成する。
ン濃度が51慢で、第二の膜ユニット220へ直接供給
して高圧のメタン濃度80%のメタン富化した不透過流
体800と約100 psiaの圧力のメタンの乏しい
透過流体700を生成する。
第二の膜ユニット220からのメタン富化した不透過流
体800は引き続いてPSAユニット230へ供給して
高圧の約98幅あるいはそれ以上の濃度の精製したメタ
ン流体500を生成する。
体800は引き続いてPSAユニット230へ供給して
高圧の約98幅あるいはそれ以上の濃度の精製したメタ
ン流体500を生成する。
PSA二二ツ) 230 K吸着されたガス、すなわち
、二酸化炭素、は精製した二酸化炭素共生成物流体とし
て回収できるし、別のやり方としては脱着されたガス混
合物600全部を循環して供給流体100に混合できる
。
、二酸化炭素、は精製した二酸化炭素共生成物流体とし
て回収できるし、別のやり方としては脱着されたガス混
合物600全部を循環して供給流体100に混合できる
。
この実施例のための供給流体およびその他のキープロセ
ス流体の詳細を下記の第5表に示す。
ス流体の詳細を下記の第5表に示す。
これらの計算値はPSAユニットにおける70%のメタ
ン収率に基いた。
ン収率に基いた。
qコ ト、 C%4 a
Q −上の第5表に示したデータは実施例3で遂行
されているプロセスが約98%の純度と99−以上の収
率をもつメタン流体生成物の回収をもたらすことを示し
ている。
Q −上の第5表に示したデータは実施例3で遂行
されているプロセスが約98%の純度と99−以上の収
率をもつメタン流体生成物の回収をもたらすことを示し
ている。
実施例 4
アンモニアパージした気体からのアルゴンの回収のため
に第2図に図示した全体的な系に従ってプロセスをシュ
ミレートした。供給流体100を形成するアンモニアパ
ージ気体は約62慢の水素、20%の窒素、11チのメ
タン、および71のアルゴンからなる組成をもち、約2
000 psiaの圧力下で約65℃(95下)の温度
である。この流体は公知の技術による、例えば吸収など
による、パージした気体からのアンモニアの除去後アン
モニアプラントから得られる。
に第2図に図示した全体的な系に従ってプロセスをシュ
ミレートした。供給流体100を形成するアンモニアパ
ージ気体は約62慢の水素、20%の窒素、11チのメ
タン、および71のアルゴンからなる組成をもち、約2
000 psiaの圧力下で約65℃(95下)の温度
である。この流体は公知の技術による、例えば吸収など
による、パージした気体からのアンモニアの除去後アン
モニアプラントから得られる。
供給流体100は循環された流体950と合体されて7
0%のH2と8.7チのArを含有して−る合体された
供給物200となり、第一の膜ユニット210へ供給さ
れる。第一の膜ユニット210からの透過流体300は
97.54の水素を含有し、アンモニアプラントへ戻さ
れる。このプロセスからの水素の収率は高い、すなわち
約98%である。
0%のH2と8.7チのArを含有して−る合体された
供給物200となり、第一の膜ユニット210へ供給さ
れる。第一の膜ユニット210からの透過流体300は
97.54の水素を含有し、アンモニアプラントへ戻さ
れる。このプロセスからの水素の収率は高い、すなわち
約98%である。
膜ユニット210からの非透過性流体400は第二の膜
ユニット220への供給物を形成し、分離されて5慢の
H2と24.91のArを含有している不透過流体80
0をもたらす。この流体中の水素の濃度は吸着ユニット
230からの流体生成物500中のアルゴンと水素の相
対量を決定する。より少い水素濃度はよりアルがン濃度
の高い流体500を生成させ、かくしてさらに精製する
必要性を小さくするがユニット220の膜面積は増大し
なければならず、膜ユニット220からの透過流体は循
環用に増大するであろう。どんな所定の応用に対しても
、詳細なエコノミツクアナリシスが吸着ユニット230
へ送給する流体800中の水素とアルゴンの最適の組み
合わせを指示する。
ユニット220への供給物を形成し、分離されて5慢の
H2と24.91のArを含有している不透過流体80
0をもたらす。この流体中の水素の濃度は吸着ユニット
230からの流体生成物500中のアルゴンと水素の相
対量を決定する。より少い水素濃度はよりアルがン濃度
の高い流体500を生成させ、かくしてさらに精製する
必要性を小さくするがユニット220の膜面積は増大し
なければならず、膜ユニット220からの透過流体は循
環用に増大するであろう。どんな所定の応用に対しても
、詳細なエコノミツクアナリシスが吸着ユニット230
へ送給する流体800中の水素とアルゴンの最適の組み
合わせを指示する。
今ここの分析では、それは5 % H2であるように任
意に選択した。3.9esのアルゴンを含有している膜
ユニット220からの透過流体700は第一の膜ユニッ
ト210へ循環させる。この供給流体への循環戻しの存
在は本件のプロセスを高いアルゴン収率で実施されるよ
うにする。
意に選択した。3.9esのアルゴンを含有している膜
ユニット220からの透過流体700は第一の膜ユニッ
ト210へ循環させる。この供給流体への循環戻しの存
在は本件のプロセスを高いアルゴン収率で実施されるよ
うにする。
第二の膜ユニット220からの不透過流体800は24
.91のアルゴンを含有し、アルコ9ンと水素に相対的
に窒素とメタンを吸着できる吸着ユニットに送る。吸着
プロセスからのN2とCH4の収率は?ClIc、アル
コ9ンのそれは50%になるようにした。その結果とし
て、吸着プロセスは83.31のアルがンと16.7c
sのH2を含有している生成物流体500を生成するの
み々らず6S、9%のN2と35.1%のC’H4を含
有している共生成物流体520をも生成する。ノ臂−ノ
された流体600も吸着ユニットから回収されて第一の
膜ユニット210への循環流体950の一部を形成する
。この循環流体は全プロセスを通しての合計のアルゴン
収率を高いレベル、すなわち約861に保持する。
.91のアルゴンを含有し、アルコ9ンと水素に相対的
に窒素とメタンを吸着できる吸着ユニットに送る。吸着
プロセスからのN2とCH4の収率は?ClIc、アル
コ9ンのそれは50%になるようにした。その結果とし
て、吸着プロセスは83.31のアルがンと16.7c
sのH2を含有している生成物流体500を生成するの
み々らず6S、9%のN2と35.1%のC’H4を含
有している共生成物流体520をも生成する。ノ臂−ノ
された流体600も吸着ユニットから回収されて第一の
膜ユニット210への循環流体950の一部を形成する
。この循環流体は全プロセスを通しての合計のアルゴン
収率を高いレベル、すなわち約861に保持する。
アルがン生成物、つまり流体500、は公知のプロセス
あるいはいくつかのプロセスの組み合わせによって回収
できるいくらかの水素を含有している。例えば、アルゴ
ンは超低温工学手段により凝縮できるし、水素は酸化に
より除去でき、酸化後形成された水を凝縮および/また
は吸着でき、あるいは追加的な膜ユニットを用いて水素
を除去できる。
あるいはいくつかのプロセスの組み合わせによって回収
できるいくらかの水素を含有している。例えば、アルゴ
ンは超低温工学手段により凝縮できるし、水素は酸化に
より除去でき、酸化後形成された水を凝縮および/また
は吸着でき、あるいは追加的な膜ユニットを用いて水素
を除去できる。
通常は、アルゴンは超低温手段によってアンモニアパー
ジした気体から回収される。このような超低温システム
は低温分離ユニットの操作のための付随的な冷凍システ
ムを必要とし、複雑で経費がかかる。その上、超低温プ
ラントは迅速なターンダウンに順応性がなく、供給気体
変動とプラントの安定性に関連する問題にぶつかる。こ
れは超低温ユニットはアンモニアプラントの操業上の変
動を受けやすく、逆の場合はそうでないという事実によ
る。イサルスキ−(Isalaki) W、Hの「ノセ
ージしたガスの回収の25年」窒素、101,152
(1984)を参照のこと。吸着ユニットを後続させた
膜ユニットからなる本発明のプロセス系は供給のターン
ダウンにより順応性があり、従前の方法よりも操作しや
すい。
ジした気体から回収される。このような超低温システム
は低温分離ユニットの操作のための付随的な冷凍システ
ムを必要とし、複雑で経費がかかる。その上、超低温プ
ラントは迅速なターンダウンに順応性がなく、供給気体
変動とプラントの安定性に関連する問題にぶつかる。こ
れは超低温ユニットはアンモニアプラントの操業上の変
動を受けやすく、逆の場合はそうでないという事実によ
る。イサルスキ−(Isalaki) W、Hの「ノセ
ージしたガスの回収の25年」窒素、101,152
(1984)を参照のこと。吸着ユニットを後続させた
膜ユニットからなる本発明のプロセス系は供給のターン
ダウンにより順応性があり、従前の方法よりも操作しや
すい。
上記したプロセスのシュミレーションから得られたキー
プロセス流体の詳細を下記の第6表に記載する。
プロセス流体の詳細を下記の第6表に記載する。
止揚の第6表に示した結果から分るとおり、アルがンリ
ッチの流体生成物を本発明のプロセスから得ることがで
きる。流体生成物は2つの異なった成分からなるけれど
も、概してこのことは問題ではない。なぜなら、結果と
して得られた二つの成分は簡単に分離されうるかあるい
は一緒に使用してもよく、窒素とメタンの除去という本
当の問題は本発明のプロセスによって解消される。
ッチの流体生成物を本発明のプロセスから得ることがで
きる。流体生成物は2つの異なった成分からなるけれど
も、概してこのことは問題ではない。なぜなら、結果と
して得られた二つの成分は簡単に分離されうるかあるい
は一緒に使用してもよく、窒素とメタンの除去という本
当の問題は本発明のプロセスによって解消される。
実施例 5
空気からの995幅の不活性ガス(窒素とアルコ9ン)
の分離と回収のために第2図に図示したとおりのプロセ
ス系をシュミレートした。この系は上述の実施例2に示
したケースとほとんど同一であり、相違点は供給気体混
合物が空気であり、酸素以外の主要成分がアルがンの代
りに窒素であることである。との系は最近入手可能な膜
を表す膜特性と運動原理型PSA系を使用する空気分離
のために開発された。
の分離と回収のために第2図に図示したとおりのプロセ
ス系をシュミレートした。この系は上述の実施例2に示
したケースとほとんど同一であり、相違点は供給気体混
合物が空気であり、酸素以外の主要成分がアルがンの代
りに窒素であることである。との系は最近入手可能な膜
を表す膜特性と運動原理型PSA系を使用する空気分離
のために開発された。
このプロセス系の一つの特別々利点は独立型ユニットで
の〜21慢の酸素に対してPEAユニットを〜2−10
%の酸素を吸着するために使用し、これによってPSA
ユニットの不活性ガス収率と生産性を向上させることで
ある。このプロセス系のもう一つの利点は空気中に含有
されている汚染物質、例えばCO2,H2O等のほとん
どは膜ユニットによって除去されることである。
の〜21慢の酸素に対してPEAユニットを〜2−10
%の酸素を吸着するために使用し、これによってPSA
ユニットの不活性ガス収率と生産性を向上させることで
ある。このプロセス系のもう一つの利点は空気中に含有
されている汚染物質、例えばCO2,H2O等のほとん
どは膜ユニットによって除去されることである。
これは典型的な吸着剤がo2よりもCO2とH2Oをよ
り吸着するので吸着ユニットの作動を向上させる。
り吸着するので吸着ユニットの作動を向上させる。
この応用にとって、供給気体に関連した主要な価値はそ
れを圧縮するために使用される電力であるので、追加的
な柔軟性をサイクルに加えて、もし、膜エニツ) 22
0からの第二の透過流体700の酸素純度が空気のそれ
より大きいときは、脱着した流体600と合体され供給
気体に循環される代りにそれを第一の透過流体300と
混合して酸素富化した流体として回収されてもよいよう
にする。これはこの特別な応用にとってなし得る。なぜ
なら、生成物の収率はあまり関心事ではなく、不活性気
体生成物(流体500)の純度が最も重要なパラメータ
ーであるからである。
れを圧縮するために使用される電力であるので、追加的
な柔軟性をサイクルに加えて、もし、膜エニツ) 22
0からの第二の透過流体700の酸素純度が空気のそれ
より大きいときは、脱着した流体600と合体され供給
気体に循環される代りにそれを第一の透過流体300と
混合して酸素富化した流体として回収されてもよいよう
にする。これはこの特別な応用にとってなし得る。なぜ
なら、生成物の収率はあまり関心事ではなく、不活性気
体生成物(流体500)の純度が最も重要なパラメータ
ーであるからである。
この実施例のためのキープロセス流体の詳細を下記の第
7表に示す。これらの結果は第2図に図示したプロセス
系は不活性気体(すなわち窒素とアルコ97)を高純度
、すなわち995モルモルで供給空気から回収するのに
適することを明瞭に示している。第一の膜ユニット21
0からの第一の透過流体300も酸素富化された流体、
すなわち39モモルの酸素として回収できる。
7表に示す。これらの結果は第2図に図示したプロセス
系は不活性気体(すなわち窒素とアルコ97)を高純度
、すなわち995モルモルで供給空気から回収するのに
適することを明瞭に示している。第一の膜ユニット21
0からの第一の透過流体300も酸素富化された流体、
すなわち39モモルの酸素として回収できる。
このプロセス系は独立型プロセスとして使用された場合
の運動原理型吸着ユニットまたは膜ユニットのいずれよ
りも少い消費電力で2倍はどの量の生成物を回収できる
。
の運動原理型吸着ユニットまたは膜ユニットのいずれよ
りも少い消費電力で2倍はどの量の生成物を回収できる
。
気体分離プロセスで、生成気体が高い価値をもつ場合は
、非常に高い純度と収率がしばしば望まれる。本発明は
少なくとも一つの他の成分を含有している気体混合物か
ら高い収率(80+幡)で精製した生成物(99−14
)を効率的に回収できるプロセス系を提供する。本発明
の方法は膜および吸着ユニットの好ましい特性を利用し
、それらの不完全さを少なくする。
、非常に高い純度と収率がしばしば望まれる。本発明は
少なくとも一つの他の成分を含有している気体混合物か
ら高い収率(80+幡)で精製した生成物(99−14
)を効率的に回収できるプロセス系を提供する。本発明
の方法は膜および吸着ユニットの好ましい特性を利用し
、それらの不完全さを少なくする。
独立型膜ユニットは比較的により小さい規模での大量分
離には非常に効率的であると一般に考えられるが、しか
しながら、これらのシステムは非常に高い収率(〉90
%)で高純度生成物(>9996)を生成するのKは、
実行不可能ではないが、一般に効率的でない。高い収率
および/または純度を得るために膜ユニットをカスクー
Pで使用する場合は、中間の圧縮がしばしば必要とされ
、比較的大量のエネルギーと膜面積が必要である。
離には非常に効率的であると一般に考えられるが、しか
しながら、これらのシステムは非常に高い収率(〉90
%)で高純度生成物(>9996)を生成するのKは、
実行不可能ではないが、一般に効率的でない。高い収率
および/または純度を得るために膜ユニットをカスクー
Pで使用する場合は、中間の圧縮がしばしば必要とされ
、比較的大量のエネルギーと膜面積が必要である。
他方、独立型吸着ユニットは精製した気体渡体の生成に
非常に効率的であるが、これらは供給流体の純度が比較
的高い、例えば70e4%ことを必要とする。これらの
ユニットの性能は比較的収率が低く不利であり、この収
率はもし供給物の圧力が非常に高い場合はさらに低下さ
せられる。
非常に効率的であるが、これらは供給流体の純度が比較
的高い、例えば70e4%ことを必要とする。これらの
ユニットの性能は比較的収率が低く不利であり、この収
率はもし供給物の圧力が非常に高い場合はさらに低下さ
せられる。
本発明は高収率で精製した流体生成物をもたらすのみな
らず電力の消費が少なく、および/またはプロセスの実
質的な単純化、設備投資の低減、および向上した経済的
意義を結果としてもたらす。本発明の多くの異体例は精
製した生成物の成分以外の成分に富んだ第二の流体生成
物の回収をもたらす。
らず電力の消費が少なく、および/またはプロセスの実
質的な単純化、設備投資の低減、および向上した経済的
意義を結果としてもたらす。本発明の多くの異体例は精
製した生成物の成分以外の成分に富んだ第二の流体生成
物の回収をもたらす。
第1図は所望の生成物が供給気体混合物のより透過しや
すい成分であるところの本発明の一実施例の系統図であ
り、第2図は所望の生成物が供給気体混合物のより透過
しにくい成分であるところの本発明の一実施例の系統図
である。 特許出願人 エア・プロダクツ・アンド・ケミカルズ
・インコーホレイテッド 外2名
すい成分であるところの本発明の一実施例の系統図であ
り、第2図は所望の生成物が供給気体混合物のより透過
しにくい成分であるところの本発明の一実施例の系統図
である。 特許出願人 エア・プロダクツ・アンド・ケミカルズ
・インコーホレイテッド 外2名
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)(a)供給気体流体を多数の膜分離ユニットに流し
て所望の成分が濃縮された流体を生成 させ、 (b)該流体中に存在する所望しない気体状成分を選択
的に吸着する吸着剤を含有してい る吸着ユニットに該濃縮された流体を流し て所望の成分がさらに濃縮された流体生成 物を生成させ、 (c)該吸着剤から気体状の成分を脱着させ、そして (d)該脱着された気体状成分を膜分離ユニットへ入っ
てくる供給気体流体に循環させる、ことを特徴とする多
成分の供給気体流体から所望の成分を回収する方法。 2)脱着された気体状成分の少なくとも一部を共生成物
として回収する特許請求の範囲第1項記載の方法。 3)所望の成分がとり尽くされた流体も多数の膜分離ユ
ニットによって生成される特許請求の範囲第1項に記載
の方法。 4)脱着された気体状成分の少なくとも一部が供給気体
に循環される前に中間の膜ユニットを通して流される特
許請求の範囲第1項に記載の方法。 5)吸着ユニットを圧力スウイング、真空スウイング、
温度スウイングまたはこれらの組み合わせとして作動さ
せる特許請求の範囲第1項に記載の方法。 6)吸着された成分が脱着された後で吸着ユニットを所
望の成分の一部で洗浄する特許請求の範囲第1項に記載
の方法。 7)吸着ユニットを洗浄するのに使用した所望の成分の
該一部を脱着された成分と一緒に供給流体へ循環する特
許請求の範囲第6項に記載の方法。 8)(a)多成分供給気体混合物を第一の膜分離ユニッ
トに流して第一の透過流体と第一の不 透過流体を生成させ、 (b)該透過流体中に存在するより透過しにくい成分を
選択的に吸着する吸着剤を含有し ている吸着ユニットに該第一の透過流体を 流し、これによって精製した流体生成物を 生成させ、 (c)該吸着剤からより透過しにくい成分を脱着させ、 (d)該脱着された成分を第一の膜分離ユニットへ入っ
てくる供給気体流体に循環させ、 (e)該第一の不透過流体を第二の膜分離ユニットに流
して第二の透過流体と第二の不透 過流体を生成させ、そして (f)該第二の透過流体を供給気体流体に循環させる前
に該脱着された成分と合体させる、ことを特徴とする多
成分供給気体混合物のより透過性の成分をより透過しに
くい成分と分離し、引き続いてより透過性の成分を精製
した生成物として回収する方法。 9)該脱着された成分の少なくとも一部を共生成物とし
て回収する特許請求の範囲第8項に記載の方法。 10)該脱着された気体状成分の少なくとも一部を供給
気体に循環する前に中間の膜ユニットを通して流す特許
請求の範囲第8項に記載の方法。 11)該多成分供給気体混合物がより透過しやすい成分
としてヘリウムを、より透過しにくい成分として窒素と
炭化水素を含有している特許請求の範囲第8項に記載の
方法。 12)該多成分供給気体混合物がより透過しやすい成分
として水素を、より透過しにくい成分として一酸化炭素
と炭化水素を含有している特許請求の範囲第8項に記載
の方法。 13)該吸着ユニットを圧力スウイング、真空スウイン
グ、温度スウイングまたはこれらの組み合わせとして作
動させる特許請求の範囲第8項に記載の方法。 14)第二の不透過流体を第二の生成物として集める特
許請求の範囲第8項に記載の方法。 15)該供給気体混合物が20〜85モル%の間の濃度
のより透過しやすい成分をもつ特許請求の範囲第8項に
記載の方法。 16)合体された脱着された成分と第二の透過流体を供
給気体流体と合体させる前に供給気体圧力に圧縮する特
許請求の範囲第8項に記載の方法。 17)精製した流体生成物が99モル%以上の濃度のよ
り透過しやすい成分をもつ特許請求の範囲第8項に記載
の方法。 18)(a)多成分供給気体混合物を第一の膜分離ユニ
ットに流して第一の透過流体と第一の不 透過流体を生成させ、 (b)該第一の不透過流体を第二の膜分離ユニットに流
して第二の透過流体と第二の不透 過流体を生成させ、 (c)該不透過流体中に存在するより透過しやすい成分
を選択的に吸着する吸着剤を含有 している吸着ユニットに該第二の不透過流 体を流し、これによって精製された流体生 成物を生成させ、 (d)より透過しやすい成分を該吸着剤から脱着させ、
そして (e)該脱着された成分を第一の膜分離ユニットへ入っ
てくる供給気体流体に循環させる、ことを特徴とする多
成分供給気体混合物のより透過しにくい成分をより透過
しやすい成分と分離し、引き続いて該より透過しにくい
成分を精製された生成物として回収する方法。 19)脱着された成分の少なくとも一部を共生成物とし
て回収する特許請求の範囲第18項に記載の方法。 20)該脱着された気体状成分の少なくとも一部を供給
気体に循環させる前に中間の膜ユニットに流す特許請求
の範囲第18項に記載の方法。 21)該精製された流体生成物が99モル%以上の濃度
のより透過しにくい成分をもつ特許請求の範囲第18項
に記載の方法。 22)該第二の透過流体を供給気体流体に循環させる前
に吸着ユニットからの脱着成分と合体させる特許請求の
範囲第18項に記載の方法。 23)精製した流体生成物の成分以外の成分を富化した
第二の流体生成物として該第一透過流体が集められる特
許請求の範囲第18項に記載の方法。 24)該第二の透過流体を第一の透過流体と合体させ、
合体された透過流体として集められる特許請求の範囲第
23項に記載の方法。 25)供給気体混合物がより透過しにくい成分としての
アルゴンとより透過しやすい成分としての酸素とからな
る特許請求の範囲第18項に記載の方法。 26)精製された流体生成物が1またはそれ以上の炭化
水素からなる特許請求の範囲第18項に記載の方法。 27)該吸着ユニットを圧力スウイング、真空スウイン
グ、温度スウイングまたはこれらの組み合わせとして作
動させる特許請求の範囲第18項に記載の方法。 28)(a)空気流を膜分離ユニットに流して酸素を富
化した透過流体と不透過流体を生成させ、(b)酸素に
対して選択的な吸着剤を含有している吸着ユニットに該
不透過流体を流し、 これによって精製された窒素流体生成物を 生成させ、そして (c)吸着剤から酸素を脱着し、これを分離機へ入って
くる空気流体に戻す、 ことを特徴とする空気から窒素を分離し、引き続いて精
製された生成物として窒素を回収する方法。 29)該不透過流体を吸着ユニットに流す前に第二の膜
によってさらに分離させ、これによって第二の酸素富化
流体と不透過流体を生成させ、不透過流体は次に吸着ユ
ニットへ流す特許請求の範囲第28項に記載の方法。 30)両方の酸素富化透過流体を合体させ、第二の生成
物として集める特許請求の範囲第29項に記載の方法。 31)酸素を脱着させた後窒素生成物の一部で吸着ユニ
ットを洗浄する特許請求の範囲第28項に記載の方法。 32)精製された不活性流体生成物として該精製された
窒素をアルゴンと一緒に回収する特許請求の範囲第28
項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US926,695 | 1986-11-03 | ||
US06/926,695 US4701187A (en) | 1986-11-03 | 1986-11-03 | Process for separating components of a gas stream |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63126522A true JPS63126522A (ja) | 1988-05-30 |
JP2664169B2 JP2664169B2 (ja) | 1997-10-15 |
Family
ID=25453574
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62275903A Expired - Lifetime JP2664169B2 (ja) | 1986-11-03 | 1987-11-02 | 気体流体の成分の分離方法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4701187A (ja) |
EP (1) | EP0266745A3 (ja) |
JP (1) | JP2664169B2 (ja) |
KR (1) | KR920007855B1 (ja) |
AU (1) | AU575755B2 (ja) |
BR (1) | BR8705906A (ja) |
CA (1) | CA1340001C (ja) |
MX (1) | MX163428B (ja) |
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JP2004538336A (ja) * | 1999-04-01 | 2004-12-24 | バーゼル、ポリオレフィン、ゲゼルシャフト、ミット、ベシュレンクテル、ハフツング | ポリオレフィンプラントからオレフィンの単離方法 |
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JP2013521114A (ja) * | 2010-03-05 | 2013-06-10 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 酸素分離膜 |
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JP2013521114A (ja) * | 2010-03-05 | 2013-06-10 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 酸素分離膜 |
JP2015091918A (ja) * | 2013-10-03 | 2015-05-14 | Jfeエンジニアリング株式会社 | 窒素分離装置及び方法 |
JP2019072658A (ja) * | 2017-10-13 | 2019-05-16 | 宇部興産株式会社 | ヘリウム富化ガスの製造方法及びガス分離システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP0266745A3 (en) | 1989-04-19 |
BR8705906A (pt) | 1988-06-14 |
AU8057487A (en) | 1988-05-26 |
CA1340001C (en) | 1998-08-18 |
KR880005958A (ko) | 1988-07-21 |
US4701187A (en) | 1987-10-20 |
AU575755B2 (en) | 1988-08-04 |
EP0266745A2 (en) | 1988-05-11 |
JP2664169B2 (ja) | 1997-10-15 |
MX163428B (es) | 1992-05-12 |
KR920007855B1 (ko) | 1992-09-18 |
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