JPS63120077A - ロボツト装填・装出用ラツピング及びポリシングマシン駆動方法 - Google Patents
ロボツト装填・装出用ラツピング及びポリシングマシン駆動方法Info
- Publication number
- JPS63120077A JPS63120077A JP61266389A JP26638986A JPS63120077A JP S63120077 A JPS63120077 A JP S63120077A JP 61266389 A JP61266389 A JP 61266389A JP 26638986 A JP26638986 A JP 26638986A JP S63120077 A JPS63120077 A JP S63120077A
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- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims description 6
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 4
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 abstract description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 6
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 1
- 230000002262 irrigation Effects 0.000 description 1
- 238000003973 irrigation Methods 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ)産業上の利用分野
■ ロボット操業用ラッピング又はボリシングマシン駆
動方法に関するもの。
動方法に関するもの。
■ 各種遊屋機栂の特定部停止位置探知方法に関するも
の。
の。
口)従来の技術
■ 手作業のためキャリヤは定点M度停止の必要がなく
キャリヤ停止は押釦によシ行ない停止位置ずれは手作業
であシ支障なし。
キャリヤ停止は押釦によシ行ない停止位置ずれは手作業
であシ支障なし。
■ キャリヤにワークを挿入して下定盤上を旋回中のワ
ーク位置ずれは再び手作業で修正している。
ーク位置ずれは再び手作業で修正している。
■ 上定盤下面に附着したワークは割れないよう苦労し
て手作業で剥離している。
て手作業で剥離している。
ハ)発明が解決しようとしている問題点■ 従来のラッ
ピング又はポリシングマシンは共にキャリヤ停止精度は
±80 rn/rn と悪いのでロボットとドツキン
グさセることは出来ない。
ピング又はポリシングマシンは共にキャリヤ停止精度は
±80 rn/rn と悪いのでロボットとドツキン
グさセることは出来ない。
■ 上定盤を開放し各ギヤと噛合いのまま、全キャリャ
内に順次ワークを装填する薄いワークはキャリヤ下面潜
入又は乗シ上げ等の位置ずれを防止しなければならない
。
内に順次ワークを装填する薄いワークはキャリヤ下面潜
入又は乗シ上げ等の位置ずれを防止しなければならない
。
■ 手動操業では上定盤下面の附着ワークは目視発見し
手作業剥離であるが、ロボットで附着箇所の発見と自動
剥離を併設すると非常にコスト高となる。
手作業剥離であるが、ロボットで附着箇所の発見と自動
剥離を併設すると非常にコスト高となる。
二)問題を解決するための手段
■ 既設マシンのギヤにはバックラッシユがあシ、汎用
モータ駆動が多くロボット停止定点に対し位置ずれが多
くエンコーダによシ演算探知管理しロボットでキャリヤ
の不同停止を補うソフト構成する。
モータ駆動が多くロボット停止定点に対し位置ずれが多
くエンコーダによシ演算探知管理しロボットでキャリヤ
の不同停止を補うソフト構成する。
■ キャリヤ、ワーク装填中はサンギヤ、下定盤、イン
ターナルギヤ等を同調回転させキャリヤの自転を止める
。
ターナルギヤ等を同調回転させキャリヤの自転を止める
。
■ 上定盤の流体補給ノズル群を予めキャリヤ展開位相
に合せ下定盤上のキャリヤ停止と略同時にノズル群をキ
ャリヤに重ねて停止させ全ワーク表面と接するノズルか
ら少量の液の次にエヤ切換加圧しながら上定盤を上昇さ
せてワーク附着を予防剥離する。
に合せ下定盤上のキャリヤ停止と略同時にノズル群をキ
ャリヤに重ねて停止させ全ワーク表面と接するノズルか
ら少量の液の次にエヤ切換加圧しながら上定盤を上昇さ
せてワーク附着を予防剥離する。
ホ)作用
■ エンコーダによるキャリヤ及びワーク孔位相の演算
探知管理によυ、キャリヤの不同停止士80 m/m
でもロボットで追跡し操業出来た。
探知管理によυ、キャリヤの不同停止士80 m/m
でもロボットで追跡し操業出来た。
■ サンギヤ、下定盤、インターナルギヤ等の駆動モー
タをインバータ、メカニカルクラッチ、サーボモータそ
の他で同調回転によシキャリャの自転停止させてワーク
位置ずれを解消した。
タをインバータ、メカニカルクラッチ、サーボモータそ
の他で同調回転によシキャリャの自転停止させてワーク
位置ずれを解消した。
■ 上定盤を開放と加圧を連動上昇することでワークの
附着を解消することが出来た。
附着を解消することが出来た。
へ)!li!施例
ラッピング及びポリシングマシンの駆動系統ギヤは一般
に相当なバックラッシュがあシ駆動は汎用モータが殆ど
である。押釦によるキャリヤの不同停止は±99 mm
K達する、ロボットと連動操業するKは高価なサーボ
モータその他でワーク(財)装填、装出時キャリヤ■の
定点停止精度を良くするか、キャリヤ位置及びワーク孔
位相合せにサンギヤ■、下定盤■、インターナルギヤ■
の各モータ(至)(ハ)(至)をエンコーダによシキャ
リャ■及びワーク■孔位相を演算探知、管理でロボット
運動追跡ソフトを装備する必要がある。第1図のキャリ
ヤ■の停止ずれ角度C1キャリヤのワーク孔停止位相β
〔又はロボットヘッド旋回停止位置〕及びロボットY軸
円弧補間値Prをエンコーダーパルスによシ演算しロボ
ットに指令する。
に相当なバックラッシュがあシ駆動は汎用モータが殆ど
である。押釦によるキャリヤの不同停止は±99 mm
K達する、ロボットと連動操業するKは高価なサーボ
モータその他でワーク(財)装填、装出時キャリヤ■の
定点停止精度を良くするか、キャリヤ位置及びワーク孔
位相合せにサンギヤ■、下定盤■、インターナルギヤ■
の各モータ(至)(ハ)(至)をエンコーダによシキャ
リャ■及びワーク■孔位相を演算探知、管理でロボット
運動追跡ソフトを装備する必要がある。第1図のキャリ
ヤ■の停止ずれ角度C1キャリヤのワーク孔停止位相β
〔又はロボットヘッド旋回停止位置〕及びロボットY軸
円弧補間値Prをエンコーダーパルスによシ演算しロボ
ットに指令する。
尚エンコーダーに全面的に依存するときはインターナル
ギヤ■、下定盤■、サンギヤ■の各々に、1合計8台を
装備する。但変速機[相]装備方式では前述エンコーダ
ーは8台中特定の1箇所に装備すればよい。
ギヤ■、下定盤■、サンギヤ■の各々に、1合計8台を
装備する。但変速機[相]装備方式では前述エンコーダ
ーは8台中特定の1箇所に装備すればよい。
又ワーク装填中は上定盤θは上昇しワーク加圧がない上
に普段のキャリヤ■は公転と自転を行ない薄いキャリヤ
の自転により薄いワーク(財)は潜入と乗シ上げ易く、
全キャリヤに順次ワークを装填し最初のキャリヤが一周
した頃のワーク位置ずれの検知と位置ずれ修正機能をロ
ボットに義務づけると異常なコスト高となシ利用価値を
失うに至る。
に普段のキャリヤ■は公転と自転を行ない薄いキャリヤ
の自転により薄いワーク(財)は潜入と乗シ上げ易く、
全キャリヤに順次ワークを装填し最初のキャリヤが一周
した頃のワーク位置ずれの検知と位置ずれ修正機能をロ
ボットに義務づけると異常なコスト高となシ利用価値を
失うに至る。
又仮に全キャリヤ内ワークの正常確認を目視し補正管理
を必要とするロボット操業では付加価値は極端に低下す
る。実施例では装填、装出時のみサンギヤ■、下定盤■
、インターナルギヤ■等の各モータをインバータ制御、
又は第6図の如くサーボモータ@(ハ)(至)、或は変
速機[相]を第5図の如くクラッチ[相][相]方式、
その他で同調回転させ低コストで全キャリヤの自転を止
めてキャリヤ内ワークの位置ずれを防止して解決した。
を必要とするロボット操業では付加価値は極端に低下す
る。実施例では装填、装出時のみサンギヤ■、下定盤■
、インターナルギヤ■等の各モータをインバータ制御、
又は第6図の如くサーボモータ@(ハ)(至)、或は変
速機[相]を第5図の如くクラッチ[相][相]方式、
その他で同調回転させ低コストで全キャリヤの自転を止
めてキャリヤ内ワークの位置ずれを防止して解決した。
第5図はキャリヤ自転停止用変速機[相]とメカニカル
クラッチ方式装備図である。父上定盤[相]下面ワーク
附着を防止するため上定盤の流体補給ノズル翰群を下定
盤■上キャリヤ展開位相に合せて下定盤■上キャリヤ■
と略同時にキャリヤとノズル群と重ねて停止させ、先ず
ノズル(イ)に少量の液体(財)を注いだ直後エヤ翰加
圧に切換えることによυワークr2υ面に接するノズル
(ホ)は少量の液体■をピストン化わフに剥離用加圧し
、ワーク41面を外ルたノズル(1)からは瞬間少量の
液が蒲出し同時に加圧エヤが瞬時少量吐出する程度で支
障なく上定潅@の上昇迄連動し上昇と同時にエヤ加圧を
止める。以上の行程によ)簡単にワークの附着を予防分
離することが出来る。
クラッチ方式装備図である。父上定盤[相]下面ワーク
附着を防止するため上定盤の流体補給ノズル翰群を下定
盤■上キャリヤ展開位相に合せて下定盤■上キャリヤ■
と略同時にキャリヤとノズル群と重ねて停止させ、先ず
ノズル(イ)に少量の液体(財)を注いだ直後エヤ翰加
圧に切換えることによυワークr2υ面に接するノズル
(ホ)は少量の液体■をピストン化わフに剥離用加圧し
、ワーク41面を外ルたノズル(1)からは瞬間少量の
液が蒲出し同時に加圧エヤが瞬時少量吐出する程度で支
障なく上定潅@の上昇迄連動し上昇と同時にエヤ加圧を
止める。以上の行程によ)簡単にワークの附着を予防分
離することが出来る。
へ)発明の効果
バツクラツシユのあるラッピング又はポリシングマシン
キャリャの不同停止を問題とせず確実なロボット操業を
可能にし装填中のワーク位置ずれもなく上定盤下面ワー
クの剥離作業の必要もなくロボット効果を充分発揮し生
産性の向上を達成することが出来た。
キャリャの不同停止を問題とせず確実なロボット操業を
可能にし装填中のワーク位置ずれもなく上定盤下面ワー
クの剥離作業の必要もなくロボット効果を充分発揮し生
産性の向上を達成することが出来た。
第1図・・・キャリヤ不同停止演算探知概要説明図第2
図・・・キャリヤ内ワーク位置ずれ図下 第8図・・・サンギヤ、不定盤、インターナルギヤ単独
同調駆動及びエンコーダ駆動要領 図 第4図・・・下定盤上全キャリヤ展開図第5図・・・サ
ンギヤ、下定盤、インターナルギヤ同調旋回変速機クラ
ッチ方式駆動系統 図 第6図・・・サーボモータによる駆動系統図第7図・・
・ワーク加圧と上定盤上昇剥離説明図■・・・インター
ナルギヤ ■・・・下定盤■・・・サンギヤ
■・・・キャリヤ■・・・サンギヤ駆動軸 ■・・・
上定盤伝導軸■・・・昇降上定盤駆動軸 ■・・・ロボット旋回アーム ■・・・サンギヤ及びインターナルギヤ昇降モータ[相
]・・・上定盤モータ @@・・・スプロケット@
・・・変速機用モータ 0@・・・クラッチ[相]・
・・インターナルギヤ駆動スプロケット■・・・下定盤
駆動プーリ @・・・サンギヤ駆動スプロケット [相]・・・変速機 [株]・・・上定盤@
・・・ry−y @・・・ロボットヘッ
ド(ホ)・・・インターナルギヤ用モータ(財)・・・
下定盤用モータ (2)・・・サンギヤ用モータ(ホ
)・・・ノズル ■・・・液(ピストン作用
)@・・・加圧エヤ 翰・・・上定盤用モータ
C・・・キャリヤ停止ずれ角度 0・・・ロボットアーム旋回点 β・・・孔停止位相ずれ Pr・・・ロボットアームY軸円弧補間値Hr・・・ロ
ボット定点旋回半径 Rc・・・キャリヤ旋回中心径 X・・・キャリヤ停止心ずれ
図・・・キャリヤ内ワーク位置ずれ図下 第8図・・・サンギヤ、不定盤、インターナルギヤ単独
同調駆動及びエンコーダ駆動要領 図 第4図・・・下定盤上全キャリヤ展開図第5図・・・サ
ンギヤ、下定盤、インターナルギヤ同調旋回変速機クラ
ッチ方式駆動系統 図 第6図・・・サーボモータによる駆動系統図第7図・・
・ワーク加圧と上定盤上昇剥離説明図■・・・インター
ナルギヤ ■・・・下定盤■・・・サンギヤ
■・・・キャリヤ■・・・サンギヤ駆動軸 ■・・・
上定盤伝導軸■・・・昇降上定盤駆動軸 ■・・・ロボット旋回アーム ■・・・サンギヤ及びインターナルギヤ昇降モータ[相
]・・・上定盤モータ @@・・・スプロケット@
・・・変速機用モータ 0@・・・クラッチ[相]・
・・インターナルギヤ駆動スプロケット■・・・下定盤
駆動プーリ @・・・サンギヤ駆動スプロケット [相]・・・変速機 [株]・・・上定盤@
・・・ry−y @・・・ロボットヘッ
ド(ホ)・・・インターナルギヤ用モータ(財)・・・
下定盤用モータ (2)・・・サンギヤ用モータ(ホ
)・・・ノズル ■・・・液(ピストン作用
)@・・・加圧エヤ 翰・・・上定盤用モータ
C・・・キャリヤ停止ずれ角度 0・・・ロボットアーム旋回点 β・・・孔停止位相ずれ Pr・・・ロボットアームY軸円弧補間値Hr・・・ロ
ボット定点旋回半径 Rc・・・キャリヤ旋回中心径 X・・・キャリヤ停止心ずれ
Claims (1)
- ワークキャリヤを遊星ギヤ形式とするラッピング及ぴポ
リシングマシンに於いて、ワーク及びキャリヤをロボッ
ト装填、装出するためサンギヤ、下定盤、インターナル
ギヤをエンコーダにより、キャリヤの位置及びワーク孔
位相を演算探知管理し、装填、装出時ギヤ噛合いのまま
キャリヤ単位に連続装填中ワークの位置ずれを招くキャ
リヤ自転をサンギヤ、下定盤、インターナルギヤ等の同
期回転機能を併設して防止し、上定盤にキャリヤ展開位
相に合せて配備した流体噴射ノズル群を下定盤上の停止
定点でキャリヤ位相に重ね、同時停止出来るものとし、
上定盤ノズルからワーク面逆加圧上昇して附着を防止す
る等の特長を備えたロボット装填、装出用ラッピング及
びポリシングマシン駆動方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61266389A JPS63120077A (ja) | 1986-11-08 | 1986-11-08 | ロボツト装填・装出用ラツピング及びポリシングマシン駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61266389A JPS63120077A (ja) | 1986-11-08 | 1986-11-08 | ロボツト装填・装出用ラツピング及びポリシングマシン駆動方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63120077A true JPS63120077A (ja) | 1988-05-24 |
Family
ID=17430255
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61266389A Pending JPS63120077A (ja) | 1986-11-08 | 1986-11-08 | ロボツト装填・装出用ラツピング及びポリシングマシン駆動方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63120077A (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03264262A (ja) * | 1990-03-14 | 1991-11-25 | Kyushu Electron Metal Co Ltd | 両面精密研摩用ラップ盤 |
JPH04122449U (ja) * | 1991-04-15 | 1992-11-04 | 三菱アルミニウム株式会社 | 研磨機における被加工物の付着防止装置 |
US5174067A (en) * | 1990-10-19 | 1992-12-29 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Automatic wafer lapping apparatus |
US5197230A (en) * | 1989-07-31 | 1993-03-30 | Diskus Werke Frankfurt Am Main Aktiengesellschaft | Finish-machining machine |
WO1999056910A1 (en) * | 1998-05-01 | 1999-11-11 | Speedfam Corporation | Polishing apparatus |
JP2010179398A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Taiyo:Kk | 研磨装置 |
JP2011115873A (ja) * | 2009-12-01 | 2011-06-16 | Taiyo:Kk | 両面研磨装置 |
JP2012223852A (ja) * | 2011-04-19 | 2012-11-15 | Hamai Co Ltd | 両面研磨装置および研磨方法 |
CN111318770A (zh) * | 2020-04-14 | 2020-06-23 | 杭州刚合机械科技有限公司 | 一种齿轮自动整理打磨装置 |
-
1986
- 1986-11-08 JP JP61266389A patent/JPS63120077A/ja active Pending
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5197230A (en) * | 1989-07-31 | 1993-03-30 | Diskus Werke Frankfurt Am Main Aktiengesellschaft | Finish-machining machine |
JPH03264262A (ja) * | 1990-03-14 | 1991-11-25 | Kyushu Electron Metal Co Ltd | 両面精密研摩用ラップ盤 |
JPH0755448B2 (ja) * | 1990-03-14 | 1995-06-14 | 九州電子金属株式会社 | 両面精密研摩用ラップ盤 |
US5174067A (en) * | 1990-10-19 | 1992-12-29 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Automatic wafer lapping apparatus |
JPH04122449U (ja) * | 1991-04-15 | 1992-11-04 | 三菱アルミニウム株式会社 | 研磨機における被加工物の付着防止装置 |
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JP2010179398A (ja) * | 2009-02-04 | 2010-08-19 | Taiyo:Kk | 研磨装置 |
JP2011115873A (ja) * | 2009-12-01 | 2011-06-16 | Taiyo:Kk | 両面研磨装置 |
JP2012223852A (ja) * | 2011-04-19 | 2012-11-15 | Hamai Co Ltd | 両面研磨装置および研磨方法 |
CN111318770A (zh) * | 2020-04-14 | 2020-06-23 | 杭州刚合机械科技有限公司 | 一种齿轮自动整理打磨装置 |
CN111318770B (zh) * | 2020-04-14 | 2020-10-30 | 杭州刚合机械科技有限公司 | 一种齿轮自动整理打磨装置 |
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