JPS63113682A - 実装基板検査装置 - Google Patents

実装基板検査装置

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JPS63113682A
JPS63113682A JP61256995A JP25699586A JPS63113682A JP S63113682 A JPS63113682 A JP S63113682A JP 61256995 A JP61256995 A JP 61256995A JP 25699586 A JP25699586 A JP 25699586A JP S63113682 A JPS63113682 A JP S63113682A
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Teruhisa Yotsuya
輝久 四ツ谷
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、部品の種類を自動的に判別するようにした実
装基板検査装置に関する。
(従来の技術) マウンタ等を用いて作成された実装基板を検査する実装
基板検査装置としては、従来、第12図に示すものが知
られている。
この図に示す実装基板検査装置は、部品1bが実装され
た被検査実装基板2bや検査基準となる基準実装基板2
aを搬像するTVカメラ3と、このTVカメラ3によっ
て得られた前記基準実装基板2aの画像(基準画像)を
記憶する記憶部4と、この記憶部4に記憶されている基
準画像と前記TVカメラ3から供給される前記被検査実
装基板2bの画像(被検査画像)とを比較して前記被検
査実装基板2b上に部品1bが全て有るかどうか、また
これらの部品1bが位置ずれ等を起こしていないかどう
かを判定する判定回路5と、この判定回路5の判定結果
を表示する表示器6とを協えて構成されている。
(発明が解決しようとする問題点) ところでこのような従来の実装基板検査装置は、基準実
装基板2a上にある部品1aの位置と、被検査プリント
基板2b上にある部品1bの位置とを単純に比較し、こ
れらの位置がずれているときに、マウント不良と判定す
るようにしていたので、第13図に示す如(、被検査実
装基板2b上にある部品1bが正規の位置7(基準実装
基板2aの部品1aによって示される部品位置)からず
れているとき、第14図に示す如くこの部品1bの電極
とランド9bとが電気的に接続し得る範囲内にあっても
、マウント不良と判定してしまう。
そこで、部品1bの正規の位置に基づいて、第13図に
示す如く許容できる範囲(許容範囲)8を決め、この許
容範囲8に入っていれば、正常にマウントされていると
判定するようにすることも考えられるが、この場合、部
品1bがトランジスタのように3つの電極を有するもの
と、抵抗やコンデンサのように2つの電極を持つものと
では、その許容範囲8が異なるので、各部品1bの種類
に応じて各部品1b毎に許容範囲8を入力しなければな
らない。しかしこれでは、この許容範囲8に関するデー
タを入力するだけでも、大変な手間と、労力とが必要に
なる。
本発明は上記問題点に鑑み、各部品の種類を自動的に判
別することができ、これによって各部品に対して最適な
位置ずれ許容σを自動的に設定することができる実装基
板検査装置を提供することを目的としている。
(問題点を解決するための手段) 上記の問題点を解決するために本発明による実装基板検
査装置は、基板を搬像する撮像部と、予め入力された部
品の位置・形状データに基づいて前記搬像部によって1
7られた画像からランド存在可能範囲内の画像を切り出
す画像切出し部と、この画像切出し部によって切り出さ
れた画像からランドを抽出してランドデータを作成覆゛
るランド抽出部と、このランド抽出部によって得られた
ランドデータと予め入力された部品の位置・形状データ
とに基づいて部品の種類を判定する判定部とを備えたこ
とを特徴としている。
(実施例) 第1図は本発明による実装基板検査装置の一実施例を示
すブロック図である。
この図に示す実装基板検査装置は、X−Yテーブル部2
0と、照明部21と、搬像部22と、処理部23とを備
えており、ティーチング用の基板24を用いて入力され
た部品の位置・形状データに基づいて、未実装基板25
を搬像して得られた画像からランド情報を抽出した後、
このランド情報と部品の前記位置、形状データとに基づ
いて部品の種類を自動的に判別する。そして、この部品
の種類に応じて部品の検査データファイルを作成し、こ
の検査データファイルに基づいて、被検査実¥2基板2
6を検査する。
照明部21は、前記処理部23からの制御信号に基づい
てオン/オフ制御(または、調光制御11)されるリン
グ状の白色光源19を備えており、前記処理部23から
照明オン信号を供給されたときに点灯して、前記処理部
23から照明オフ信号を供給されるまで前記X−Yテー
ブル部20の上面側を照明する。
X−Yテーブル部20は、前記処理部23からの1il
l m信号に基づいて動作するパルスモータ31a13
1bと、これら各パルスモータ31a、31bによって
X軸方向およびY軸方向に駆動されるX−Yテーブル3
2と、このX−Yテーブル32上に設けられ、このX−
Yテーブル32上に各基板24〜26が載せられたとき
、前記処理部23が出力する制御信号に応じて前記各基
板24〜26をX−Yテーブル32上に固定するチャッ
ク機構33とを備えており、このチャック機構33によ
って固定された前記各基板24〜26は照明部21によ
って照明されながら搬像部22によって画像される。
搬像部22は、前記照明部21の上方に設けられるカラ
ーTVカメラ34を備えており、前記各基板24〜26
の光学椴は、このカラーTVカメラ34によって電気画
像(R,G、Bカラー信号)に変換されて処理部23に
供給される。
処理部23は、A/D変換部36と、メモリ37と、テ
イーヂングテーブル38と、画像処理部3つと、X−Y
ステージコントローラ41と、搬像コントローラ42と
、CR7表示器43と、プリンタ44と、キーボード4
5と、制御部(CPU)46とを備えており、ティーチ
ング時においては、前記撮像部22から供給される各基
板24.25のR,G、Bカラー信号を処理して、部品
27aの種類を判別し、この判別結果に基づいて被検査
実装基板26を検査するときの検査データファイルを作
成する。そして、検査時においては、前記検査データフ
ァイルに基づいて前記搬像部22から供給される被検査
実装基板26のR,G、Bカラー信号を処理し、この被
検査実装基板26上に形成されているランド28cと、
部品27cとの相対的な位置が許容される範囲内にある
かどうかを判定して、この判定結果を表示する。
A/D変換部36は、前記画像部22から画像信号(R
,G、Bカラー信号)を供給されたときに、これをA/
D変換(アナログ・デジタル変換)してカラーの画像デ
ータを作成し、これを制御部46へ供給する。
またメモリ37は、RAM (ランダム・アクセス・メ
モリ)等を備えて構成されており、前記制御部46の作
業エリアとして使われる。
また画像処理部39は、前記制御部46を介、して画像
データを供給されたとき、この画像データを2値化して
部品の位置、形状データを抽出したり、前記両様データ
から必要な画像を切り出したり、この切り出した画像を
色相明度変換したり、この色相明度変換結果を予め決め
られた閾値で2値化して、ランドパターンの位置、形状
等を抽出したりするように構成されており、ここで得ら
れた各データは前記制御部46に供給される。
またティーチングテーブル38は、フロッピーディスク
装置等を備えており、前記制御部46から検査データフ
ァイル等を供給されたときに、これを記憶し、前記制御
部46から転送要求が出力したとき、この要求に応じて
検査データファイル等を読み出して、これを前記制御部
46に供給する。
また、画像コントローラ42は、前記制御部46と、前
記照明部21や搬像部22とを接続するインターフェー
ス等を備えており、前記制御部46の出力に基づいて前
記照明部21やfIIIS1部22を制御する。
またX−Yステージコントローラ41は、前記制御部4
6と、前記X−Yテーブル部20とを接続するインター
フェース等を備えており、前記制御部46の出力に基づ
いて前記X−Yテーブル部20を制御する。
またCR7表示器43は、ブラウン管(CRT)等を備
えており、前記制御部46から画像データ、判定結果、
キー人力データ等を供給されたとき、これを画面上に表
示させる。
またプリンタ44は、前記制御部46から判定結果等を
供給されたとき、これを予め決められた書式(フォーマ
ット)でプリントアウトする。
またキーボード45は、操作情報や前記被検査実装基板
26の名称、基板サイズ等に関するデータ、この被検査
実装基板26上にある部品27cの関するデータなどを
入力するのに必要な各種キーを備えており、このキーボ
ード45から入力された情報やデータ等は制御部46に
供給される。
制御部46は、マイクロプロセッサ等を備えており、次
に述べるように動作する。
まず、新たな被検査実装基板26を検査するときには、
制御部46は第2図(△)に示すティーチングフローチ
ャートのステップST1でCR7表示器43上に基板名
称(例えば、基板の識別番号)と、基板サイズとを要求
するメツセージを表示させる。
そして、キーボード45からこれら基板名称と、基板サ
イズとが入力されれば、制御部46はステップST2で
X−Yテーブル32上にティーチング用の基板(部品2
78部分が白く、それ以外の部分が黒く塗装された実装
基板)24が載せられるまで持つ。この後この基板24
が411!−られれば、$11111部46はX−Yテ
ーブル部20を制御してカラーTVカメラ34の下方に
基板24の第1囮像エリアを配置させる。
次いで制御部46は、カラーTVカメラ34によって得
られた画像信号をA/D変換部36でA/D変換させる
とともに、このA / D’変換結果(基板24の画像
データ)をメモリ37にリアルタイムで記憶させる。
次いで制御部46は、前記メモリ37に記憶されている
画像データのR画素(または、G、B画素)を順次読み
出して、これを画像処理部39で2fifI化させ、前
記基板24の白く塗られている部分(部品27a部分)
を抽出させた後、この抽出動作によって得られた各部品
27aの位置データと、形状データとをティーチングテ
ーブル38に記憶させる。
この後、制御部46は、ステップST3で前記ティーチ
ングテーブル38に記憶されている各部品27aの位置
データと、形状データとに基づいて第3図に示すような
部品27aの位置、形状画面29を作成し、これをCR
T表示器43上に表示させるとともに、特殊な部品につ
いては、キーボード45から手動で入力するように要求
するメツセージを表示させる。
ここで、操作員が特殊な部品について、その位置データ
、形状データを入力すれば、これに応じてティーチング
テーブル38に記憶されている特殊な部品の位置データ
、形状データが修正される。
次いで、制御部46は、ステップST4でティーチング
テーブル38に記憶させている各部品27aの位置デー
タと、形状データとを順次読み出して、各部品27a毎
に第4図に示すようなランド存在可能範囲30を設定す
る。
この場合、ランド存在可能範囲30は、部品27aに接
続し得るランドを見つけるために設定されるものであり
、部品27aがトランジスタのような3極部品でも、ま
た抵抗やコンデンサのような2極部品でも、そのランド
を見つけ得るように広く設定される。
そして、第11118エリア内にある部品27aの全て
に対して、ランド存在可能範囲3oが17られれば、制
m部46はこれら各ランド存在可能範囲30をティーチ
ングテーブル38に記憶させた後、ステップST5を介
して前記ステップST2に戻り、残りの搬像エリアにつ
いてランド存在可能範囲30が得られたとき、ステップ
ST5からステップST6へ分岐する。
そして、このステップST6において、1IIJ11部
46は、X−Yテーブル部20からティーチング用の基
板24が外されて、未実装基板25が載せられるまで持
つ。
次いで、このX−Yテーブル部20上に未実装基板25
がセットされれば、制御部46はX−Yチー11部20
を制御してカラーTVカメラ34の下方に未実装基板2
5の第1比像エリアを位置させる。
この後、制御部46はカラーTVカメラ34によって冑
られた画像信号をA/D変換させるとともに、このA/
D変換結果(未実装基板25の画像データ)をメモリ3
7にリアルタイムで記憶させる。
次いで、制御部46は、ティーチングテーブル38から
第1搬像エリア内にある°部品27aについてのランド
存在可能範囲30を順次、読み出して、これを画像処理
部39に供給するとともに、メモリ37に記憶きれてい
る未実装基板25の画像データを画像処理部39に供給
して、この画像データからランド存在可能範囲30の画
像(ランド存在可能範囲30内の画像)を切り出させる
次いで、制御部46は、この両僅処yJ!部39に色相
明度変換指令を供給して、前記ランド存在可能範囲30
内の画像を構成する各画素を色相明度変換させる。
この場合の色相明度変換式としては、例えば、次に示す
式が用いられる。
B RT (ij)= R(ij)+ G (ij)+
 B (ij)・・・(1)Rc (ij)=α・R(
ij)/ 8  RT (ij)・・・(2)a c 
(+j)=α・G (ij)/ B  RT (ij)
・・・(3)B c (ij)=α・B lj)/ B
  RT (ijl・・・(4)ただしこの場合、R(
ij):i行目のj列目にある画素(画素(ij))の
R 信号強度 G(ij):i行目のj列目にある 画素(画素(ij))のG 信号強度 B(ij):i行目のj列目にある 画素(画素(ij))のB 信号強度 B RT (ij) :画素(ij)の明るさα:係数 Rc (ij) :画素(ij)の赤色相G C(ij
) :画素(ij)の緑色相B c (ij) :画素
(ij)の青色相そして、前記ランド存在可能範囲30
内の全画素について、上述した色相明度変換が終了すれ
ば、制御部46はランド存在可能範囲30内の各画素(
ij)に対する赤色相Rc (ij)が予め入力された
ランド抽出基準値C(例えば、C=0.4・α)以上か
どうかをチェックして、ランド存在可能範囲30内にあ
るランド28bを抽出する。
この後、制御部46はこのランド28bに関する位置デ
ータ、形状データをティーチングテーブル38に記憶さ
せるとともに、部品27aに対して接続し得るランド2
8bの数と、位置とをチェックする。
この場合、第5図(A)に示す如く部品27aに対して
、これに接続しくqるランド28bが3っあり、かつこ
れらのランド28bが部品27aの対向する縁に1:2
の割合で配置されていれば制御部46はこの部品27a
をトランジスタと認識する。この後、制御部46はこの
部品27aに対する各ランド28bの位置から部品27
aの正しい位置を求めて第5図(B)に示す如く部品2
7aの位置を修正し、この修正結果に基づいてティーチ
ングテーブル38に記憶されている部品27aの位置デ
ータを修正する。
また、第6図(A)に示す如く部品27aに対して、こ
れに接続し得るランド28bが2つあり、かつこれらの
ランド28bが部品27aの対向する縁に1:1の割合
で配置されていれば、制御部46はこの部品27aを抵
抗やコンデンサ等の2極部品と認識する。そして、この
部品27aに対する各ランド28bの位置から部品27
aの正しい位置を求めて第6図(B)に示す如く部品2
7aの位置を修正し、この修正結果に基づいてティーチ
ングテーブル38に記憶されている°部品27aの位置
データを修正する。
この後、制御部46はステップST8で各部品27aに
対するランド間の距離を算出し、この算出結果(距離デ
ータ)をティーチングテーブル38に記憶させる。
この場合、これら各距離データは、マウンタに各部品2
7aの許容誤差を教示したり、ランドパターンの設計を
評価したりするためのデータとして使用される。
次いで、制御部46は、ステップST9で第7図(A)
、(B)に示す如く前記ランド28bの形状を広げて、
ランド検査領域50bを粋出し、これをティーチングテ
ーブル38に記憶させる。
この後、制御部46は、ステップ5T10で前記ランド
28bの位置、形状に基づいて、第8図(A>、(B)
に示す如く、各部品27aの中央部分を切り出すための
部品ボデー検査領1i!51bを算出して、これをティ
ーチングテーブル38に記憶させるとともに、CR7表
示器43上に各部品27aのボデーに関する特徴データ
(例えば、色データ)を要求するメツセージを表示させ
る。
そして、操作員がキーボード45を操作して、全部品2
7aの特徴データを入力すれば、制御部46は、これを
ティーチングテーブル38に記憶させる。
そして、第11像エリア内にある部品27aの全てにつ
いてランド抽出処理から特徴データの入力処理まで終了
すれば、制御部46はステップ5711を介して前記ス
テップST6に戻り、残りの搬像エリアに対して、上述
した処理を繰り返し実行する。
この復、全ての1la(iエリアの部品27aについて
上述した処理が終了したとき、制御部46はステップ5
T11からステップ5T12へ分岐する。
そして、このステップST12において、制御部46は
、前記ティーチングテーブル38に記憶されている各デ
ータを整理して検査データファイルを作成し、これをテ
ィーチングテーブル38に記憶させ、ティーチング動作
を終了する。
またこのティーチング動作が終了して検査モードにされ
れば、制御部46は、第2図(B)に示す検査フローチ
ャートのステップ5T13でCR1表示器43上に被検
査実装基板26の基板名称を要求するメツセージを表示
させる。
そして、キーボード45からこの基板名称が入力されれ
ば、制御部46はステップ5T14でX−Yテーブル3
2上に被検査実装基板26が載せられるまで持つ。この
後この被検査実装基板26が載せられれば、制御部46
はX−Yテーブル部20を制御してカラーTVカメラ3
4の下方に被検査実装基板26の第1搬像エリアを配置
させる。
次いで制御部46は、カラーTVカメラ34によって1
7られた画像信号をA/D変換部36でA/D変換させ
るとともに、このA/D変換結渠(被検査実装基板26
の画像データ)をメモリ37にリアルタイムで記憶させ
る。
次いで、制御部46は、ティーチングデープル38から
部品ボデー検査領tiffi51bを読み出して、これ
を画像処理部39に供給するとともに、メモリ37に記
憶されている被検査実装基板26の画像データを画像処
理部3つに供給して、この画像データか−ら部品ボデー
検査領域51bの画像を切り出させる。
次いで、制御部46は、この画像処理部39に特徴抽出
指令を供給して、前記部品ボデー検査領域51bによっ
て切り出した画像の特徴データを抽出させる(例えば、
画像の各画素を色相明度変換させる)。
この後、制御部46は、ステップST15で前記部品ボ
デー検査領域51b内にある画像の特徴データがティー
チングテーブル38に記憶されている各部品27aの特
徴データと一致しているかどうかを判定し、もしこれら
が一致していれば、このステップ5T15からステップ
ST16へ分岐し、ここでティーチングテーブル38か
らランド検査領域50bを読み出して、これを画像処理
部39に供給するとともに、メモリ37に記憶されてい
る被検査実装基板26の画像データを画像処理部39に
供給して、この画像データからランド検査領域50bの
画像を切り出させる。
次いで、制御部46は、この画像処理部39に色相明度
変換指令を供給して、前記ランド検査領域50bの画像
を構成する各画素を色相明度変換させる。
そして、前記ランド検査領域50b内の全画素について
、上述した色相明度変換が終了すれば、制御部46はス
テップ5T17でランド検査領域50b内の各画素(i
j)に対する赤色相RC(ij)が予め入力されたラン
ド抽出基準値C(例えば、C−O,4・α)以上かどう
かをチェックして、ランド検査領域50b内にあるラン
ド28cを抽出する。
この後、制御部46はステップ5T18でランド検査領
域50b内の各画素(ij)に対するBRT(ij)が
予め入力された電極抽出基準値り以上かどうかをチェッ
クして、ランド検査領域50b内にある電極47cを抽
出する。
次いで、制御部46はステップ5T19でランド検査領
域50b内にある電極47cの位四と、形状とを参照し
ながらランド28Cの形状と、ティーチングテーブル3
8に記憶されている未実装基板25のランド28bの形
状とを比較してランド28cの部品27cで隠されてい
る部分を算出(推定)する。
この後、制御部46はステップ5T20でこの算出結果
から第9図(A>、(B)に示す如くこれらランド28
cと、部品27Cとの位置関係を示すかぶり面積データ
(ランド28cの部品27Cで隠されている部分の面積
データ)、幅データ、奥行きデータを求めるとともに、
これらの各データの値が充分かどうかをチェックする。
そして、これらの8値が充分であれば、制御部46はこ
のステップ5T20からステップ5T21に分岐し、こ
こでこの部品27Cが良好にマウントされていると判定
して、CR1表示器43上にこれを表示したり、プリン
タ44からプリントアウトしたりする。
また前記各ステップ5T15.5T20において、部品
ボデー検査領域51b内にある画像の特徴データがティ
ーチングテーブル38に記憶されている各部品27aの
特徴データと一致していないと判定されたり、ランド2
8Cと、部品27cとの位置関係を示すかぶり面積デー
タ、幅データ、奥行きデータが充分でないと判定されれ
ば、υJ11t部46はこれらの各ステップ5T15.
5T20からステップ5T22へ分岐し、ここでこの部
品27Gがマウント不良であると判定して、CRT表示
器43上にこれを表示したり、プリンタ44からプリン
トアウトしたりする。
この後、制御部46はステップ5T23を介して舶記ス
テップST14に戻り、残りの搬像エリアに対して、上
述した処理を繰り返し実行する。
そして、全ての撮像エリアの部品27cについて判定処
理が終了したとき、この検査処理を終了する。
このようにこの実施例においては、部品27aの種類を
自動的に判別させるようにしているので、ティーチング
時におけるデータの手動入力を大幅に簡略化することが
できるとともに、入力ミスによる誤判定を防止すること
ができる。
また、被検査実装基板26のランド28cが基板毎に異
なっていても、ランド28c上の許容できる範囲内に部
品27cがマウントされていれば、マウント良好と判定
することができるので、基板の加工誤差に起因する誤判
定を防止することができるとともに、各部品27cに対
して最適な位置ずれ許容量を自動的に設定することがで
きる。
これによって第10図(A)、(B)および第11図(
A)、(B)に示すような場合には、マウント良好と判
定し、また第10図(C)および第11図(C)、(D
)に示すような場合には、マウント不良と判定すること
ができる。
また上述した実施例においては、ティーチングのとき、
部品27aの特徴データを手動で入力するようにしてい
るが、基準実装基板等を用いて、これを自動的に入力す
るようにしても良い。
(発明の効果) 以上説明したように本発明によれば、各部品の種類を自
動的に判別することができ、これによって各部品に対し
て最適な位置ずれ許容Mを自動的に設定することができ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による実装基板検査装置の一実施例を示
すブロック図、第2図(A)は同実施例のティーチング
動作例を示すフローチャート、第2図(B)は同実施例
の検査動作例を示すフローチャート、第3図は同実施例
の部品の位置、形状画面の一例を示す模式図、第4図は
同実施例で用いられるランド存在可能範囲の一例を示す
模式図、第5図(Δ)は同実施例においてトランジスタ
と判定される部品例を示す模式図、第5図(B)は同実
施例の部品位置修正動作を説明するための模式図、第6
図(A)は同実施例において抵抗やコンデンサと判定さ
れる部品例を示す模式図、第6図(B)は同実施例の部
品位置修正動作を説明するための模式図、第7図(A)
、(B)は各々同実施例の各部品に対するランド検査領
域の一例を示す模式図、第8図(A>、(B)は各々同
実施例の各部品に対する部品ボデー検査領域の一例を示
す模式図、第9図(A)、(B)は各々同実施例におけ
る部品と、ランドとの位置関係に対する判定動作を説明
するための模式図、第10図(Δ)〜(C)は各々同実
施例の判定例を説明するための模式図、第11図(A)
〜(D)は各々同実施例の判定例を説明するための模式
図、第12図は従来の実装基板検査装置の一例を示すブ
ロック図、第13図はこの実装基板検査装置におけるマ
ウントずれを説明するための模式図、第14図はこの実
装基板検査装置におけるランドと部品との位??関係を
示寸模式図である。 22・・・撮像部、25・・・未実装基板、26・・・
被検査実装基板、27a、27cm・・部品、28b。 28c・・・ランド、39・・・画像切出し部(画像処
理部)、46・・・ランド抽出部9刊定部(制御部)。 代理人   弁理士  岩0哲二(伯1名)第2図(A
) 第2区(B) 第3図    こr・、4図 第5図(A)   第5図(B) 第6図(A)   第6図CB) 第7 !ff1(A)   第7 !Z(8)第8図(
A)   第8図CB) 7a 第9区(A)   第9図(B) 第10図(A)     IN IQ @(B)第10
因(C)28C 28c 47c 第11区(A) 第11区(C) 47c  27c  47c 第H図(B) 第11図(D)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  基板を撮像する撮像部と、予め入力された部品の位置
    ・形状データに基づいて前記撮像部によつて得られた画
    像からランド存在可能範囲内の画像を切り出す画像切出
    し部と、この画像切出し部によつて切り出された画像か
    らランドを抽出してランドデータを作成するランド抽出
    部と、このランド抽出部によつて得られたランドデータ
    と予め入力された部品の位置・形状データとに基づいて
    部品の種類を判定する判定部とを備えたことを特徴とす
    る実装基板検査装置。
JP61256995A 1986-10-03 1986-10-30 実装基板検査装置 Expired - Lifetime JPH07120420B2 (ja)

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EP87114529A EP0263473B1 (en) 1986-10-03 1987-10-05 Apparatus for inspecting packaged electronic device
DE3750285T DE3750285T2 (de) 1986-10-03 1987-10-05 Gerät zur Untersuchung einer elektronischen Vorrichtung in fester Baugruppe.
AT87114529T ATE109278T1 (de) 1986-10-03 1987-10-05 Gerät zur untersuchung einer elektronischen vorrichtung in fester baugruppe.
US07/513,227 US5027295A (en) 1986-10-03 1990-05-09 Apparatus for inspecting packaged electronic device
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