JPS63107027A - ワツクス塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ウェーハの表面にワックスを塗布するための
ワックス塗布装置に関する。

〔従来の技術〕

一般に、ウェーハの表面を鏡面仕上げする場合には、ウ
ェーハをキャリアプレートの端面にワックスによって貼
着して行なうようにしている。この際、ワックスをウェ
ーハの表面側に塗布しようとする場合には、従来、搬送
ベルト等で移送されてきたウェーハの上面に、その上方
からスプレーによってワックスを塗布することがなされ
ていた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上記従来の、ワックスをウェーハの上面
にスプレーによって塗布しようとする場合には、ウェー
ハの上面（ワックス塗布面）に均一にワックスを塗布す
ることが難しい上に、ワックスがウェーハの外周縁から
下方に垂れてウェーハの下面側に回り込むという問題が
ある。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的
とするところは、ウェーハの所定の而（ワックス塗布面
）にだけ、むらなく均一にワックスを塗布することがで
き、しかもワックス塗布工程が円滑にかつ迅速に行なえ
るワックス塗布装置を提供することにある。

（問題点を解決するための手段〕 上記目的を達成するために、本発明は、ウェーハの一方
の面を吸着し該ウェーハの他方の面を下方に向けて保持
する吸着部と、この吸着部をその軸線回り−に回転自在
に支持する支持アームと、上記吸着部を回転させる回転
手段と、上記ウェーハの他方の面にワックスを付着する
付着手段とを備えたものである。

また、必要に応じて、吸着部の近傍にウェーハを加熱す
る加熱手段を設け、さらに、塗布手段として上下方向に
移動自在なワックス収納スプーンを用いる。

〔作用〕

本発明のワックス塗布装置にあっては、吸着部に吸着し
たウェーハの下面に、付着手段によってワックスを付着
すると共に、回転手段によって吸着部をウェーハととも
に回転して、ウェーハの下面にワックスを均一に分散さ
せる。

〔実施例〕

以下、第１図ないし第３図に基づいて本発明の一実施例
を説明する。

第１図ないし第３図は本発明のワックス塗布装置の一例
を示すもので、第１図は正面図、第２図は平面図、第３
図は側面図である。これらの図に示すように、ワックス
塗布装置は、基台１上に対向して配置した一対の支持部
材２，２に軸線回りに回転自在に支持された支持軸３と
、この支持軸３に固定された支持アーム４と、上記支持
軸３の一端に回転軸が連結され、かつ一方の支持部材２
に取付けられたロータリーアクチュエーター５と、上記
支持アーム４の先端部に（第１図の実線で示した状態に
おいて先端上面に）設置された回転機６と、この回転機
６の、上記支持アーム４を貫通した回転軸の先端に装着
され、かつバキュームによりウェーハＷを吸着する吸着
部７と、ワックス塗布時（第１図において吸着部７が実
線で示す位置にある場合）に、吸着部７の下方に配置さ
れ、かつ略盃状の凹所を右するワックス溶解Ｍｊ８と、
このワックス溶解槽８の近傍に立設されたシリンダー９
と、このシリンダー９のピストンロッドにＬ字状のブラ
ケット１０を介して連結されたスプーン１１と、上記支
持アーム４に支持され、かつ上記吸着部７の外周部に配
置された環状の加熱リング１２とを主体として構成され
ている。

上記支持アーム４の、上記他方の支持部材２側には、エ
アーホース、電源ライン等を収納する溝部１３ａを備え
た収納プレート１３が取付けられている。また、上記ワ
ックス溶解槽８の外周には、帯状のバンドヒーター１４
が巻き付けられていると共に、ワックス溶解槽８の外方
から温度センサー１５が挿し込まれている。そして、こ
のバンドヒーター１４と温度センサー１５とにより、ワ
ックス溶解槽８の内部（凹所）に収容されているワック
スが所定温度に保持されている。さらに、上記シリンダ
ー９を作動することにより、上記スプーン１１の偏平な
右底円筒状のワックス収納部１１ａが昇降して、上記ワ
ックス溶解槽８のワックス液面から出没し得るようにな
っている。なお、符号１６は、ワックス溶解槽８を囲繞
する断熱材（グラスファイバー）である。

次に、上記のように構成されたワックス塗布装置を用い
て、ウェーハＷにワックスを塗布する場合について説明
する。

まず、あらかじめ予熱されたウェーハＷがワックス塗布
面を上側に向けた状態で搬送ベルト等で搬送されてくる
と、このウェーハＷの下面を、第１図の二点鎖線に示す
ように、支持アーム４の上方に位置した吸着部７によっ
て吸着する。この場合、吸着部７に吸着されたウェーハ
Ｗは、吸着部７の外周部に配置された環状の加熱リング
１２によって加温されているから、吸着されている間、
ウェーハＷの温度が低下することがない。次いで、ロー
タリーアクチュエーター５を作動させて、上記支持アー
ム４を、支持軸３を中心にして、第１図において時計回
りに１８００回動させて、吸着部７を下方に向け、ウェ
ーハＷのワックス塗布面を下方に向叶る。そして、シリ
ンダー９を作動させて、スプーン１１を上昇させ、スプ
ーン１１のワックス収納部１１ａ内にワックス溶解槽８
の溶融ワックスを満した状態でウェーハＷの下面（ワッ
クス塗布面）に接触させる。これにより、スプーン１１
のワックス収納部１１ａから表面張力によって上方に盛
り上がっているワックスが、所定ωウェーハＷの下面に
付着する。続いて、上記スプーン１１を下降させて、ウ
ェーハＷから遠ざけた状態で、回転機６によって、吸着
部７を高速回転させる。これにより、吸着部７に吸着さ
れた「り工−ハＷが高速回転し、これに伴って、ウェー
ハＷの下面に付着しているワックスが外方に拡がり、ウ
ェーハＷの下面全域に均一に塗布される。また、この場
合、ウェーハＷはその中央部を吸着部７によって支持さ
れているから、ウェーハＷの外縁部が下方に垂下してい
る。従って、ワックスがつ工−ハＷの中央部から外方に
拡散する際に、よりよくウェーハＷの下面に付着する。

このようにして、ウェーハＷの下面にワックスが円滑に
かつ均一に塗布される。この場合、つ工−ハＷの下面に
下方からワックスを塗布するものであるから、ウェーハ
Ｗの下面にだけワックスが塗布され、つＪ−ハＷの上面
等にワックスが付着することがなく、ウェーハＷへのワ
ックス塗布工程の後工程であるウェーハＷのキャリアプ
レートへの接着工程等に悪影響を及ぼさない。また、ス
プーン１１のワックス収納部１１ａから盛り上がった部
分のワックスをウェーハＷの下面に付着するようにして
いるから、各ウェーハＷに付着するワックス員が一定で
変動せず、しかも、ワックス収納部１１ａの大きさく面
積）を変えるだけでつ工−ハＷに付着するワックス足を
調整でき、適正な量のワックスをウェーハＷに塗布でき
る。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によれば、ウェーハの一方
の面を吸着し該ウェーハの他方の面を下方に向けて保持
する吸着部と、この吸着部をその軸線回りに回転自在に
支持する支持アームと、上記吸着部を回転させる回転手
段と、上記ウェーハの他方の面にワックスを付着する付
着手段とを備えたものであるから、吸着部に吸着したウ
ェーハの下面に、付着手段によってワックスを付着する
と共に、回転手段によって吸着部をウェーハとともに回
転して、ウェーハの下面のワックスを均一に分散させる
ことにより、ウェーハの所定の面（ワックス塗布面）に
だけ、むらなく均一にワックスを塗布することができ、
しかもワックス塗布工程が円滑にかつ迅速に行なえる。

また、必要に応じて吸着部に吸着したウェーハを加熱手
段によって加熱することにより、ウェーハを所定の温度
に保つことができ、ワックスがスムーズに塗布される。

さらに、ワックス収納スプーンを昇降させることにより
、所定けのワックスをウェーハに付着でき、各ウェーハ
毎のワックス付着ｈ１が変動ぜず、過不足なく塗布でき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図ないし第３図は本発明の一実施例を示すもので、
第１図は正面図、第２図は平面図、第３図はスプーン４
降機構の側面図である。 ４・・・支持アーム、６・・・回転機（回転手段）、７
・・・吸着部、１１・・・スプーン（付着手段）、１２
・・・加熱リング（加熱手段）、Ｗ・・・ウェーハ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）ウェーハの一方の面を吸着し該ウェーハの他方の面
   を下方に向けて保持する吸着部と、この吸着部をその軸
   線回りに回転自在に支持する支持アームと、上記吸着部
   を回転させる回転手段と、上記ウェーハの他方の面にワ
   ックスを付着する付着手段とを具備したことを特徴とす
   るワックス塗布装置。 ２）吸着部の近傍にウェーハを加熱する加熱手段を設け
   たことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のワック
   ス塗布装置。 ３）付着手段は、上下方向に移動自在なワックス収納ス
   プーンからなることを特徴とする特許請求の範囲第１項
   または第２項記載のワックス塗布装置。