JPS63100741A - 半導体装置の試験方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置の電気的特性試験の方法に関し、特
にウェーハ状態の半導体装置を複数個同時に試験する方
法に関する。

〔従来の技術〕

従来、ウェーハ状態の半導体装置を複数個同時に試験す
る場合は、１つの半導体装置各々に入力信号を個別に入
力し、複数個を同時に試験していた。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述した従来の試験方法では、１つの半導体装置各々に
入力信号を個別に入力していたので、入力信号を入力す
るための探針数が同時に試験する半導体装置の個数に比
例して増加するため、試験装置が複雑かつ大型になると
いう欠点があった。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明の試験方法は、ウェーハ上に入力信号を複数の半
導体装置に分配する回路と半導体装置を各々選択して電
気的に分離する回路を有している。

〔実施例〕

次に本発明について図面を参照して説明する。

第１図は、本発明の一実施例で２６２，１４４ワード×
１ビツトのダイナミックＲＡＭを４四囲時に試験する場
合の概略図である。

まず、電極、７，１６，１８，２０に半導体装置３，４
゜５．６が電気的に回路１から分離れる信号を入力し、
電極８〜１５．１７．１９．２１．２２〜３８の電甑間
のシ曹−トを試験する。異常があれば試験を中止する。

異常がなければ電極７，１６，１８．２０に各半導体装
置が回路１と接続する信号を入力し、再度電極８〜１５
．１７．１９．２１．２２〜３８の電極間のシ璽−トを
試験する。異常があれば、電極７．１６．１８．２０に
分離信号を入力し、電極７．１６．１８．２０ＶＣ順次
接続信号を入力し、電極８〜１５．１７．１９．２１，
２２〜３８の電極間のシｌ−トを試験し、異常のある半
導体装置に分離信号を入力し、以下の試験を続ける。異
常がなければ、電源電極に電圧を印加し、所定の入力電
極にあらかじめ決められた信号を入力し、出力電極２２
，２５，２８．３２の出力信号を観測することＫより、
異常のある半導体装置を検出する。すなわち、２６２．
１４４ワード×１ビツトのダイナミックＲＡＭ４個を２
６２．１４４ワード×４ビツトのダイナミックＲＡＭと
して試験を行なう。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は、ウェーハ上に入力信号を
複数の半導体装置に分配する回路を有するので、入力信
号を入力するための探針は１組めればよく探針数を低減
できるとともにその配置の自由度が大きくなる効果があ
る。

また、複数個の半導体装置の中から各々１個を選択して
電気的に分離する回路と上述の回路により、複数個を同
時に試験する機能のない試験装置でも、複数個を同時に
試験することができる。

また、上述の回路は通常スクライプ領域に配置して組立
時に除去してしまうが、スクライプ領域を別に設けて、
同時に試飲した複数の半導体装置を１つの半導体装置と
して使用することもできる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の概略図で、半導体装置が２６２゜１４
４ワード×１ビツトのダイナミックＲＡＭの場合である
。 １・・・・・・入力信号を４つの半導体装ｆＫ分配する
回路。２・・・・・・半導体装置を各々選択して電気的
に分離する回路。３．４．５．６・・・・・・被試験半
導体装置この場合２６２．１４４ワード×１ビツトのダ
イナミックＲＡＭ０７〜３８・・・・・・半導体装置の
試験に用いる電極（７，１６，１８，２０・・・・・・
半導体装置３．４．５．６を電気的に分離する信号の入
力電極、８．９．１０゜１２．１３，１４，１５，３１
．３５・・・・・・アドレス信号の入力電極、１１．１
７．１９．２１・・・・・・電源電極、２２．２５　。 ２８．３２・・・・・・データ出力電極、２３．２６．
２９．３４・・・・・・接地電極、２４，２７，３０，
３６・・・・・・データ入力電極、３３．３８・・・・
・・クロック信号の入力電極、３７・・・・・・書き込
み信号入力電極）、３９・・・・・・半導体装置を組み
立てる時に使用する電極群。 −へ　　　　　　　　　　　　　　　　へ　　　、□

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 入力信号を複数の半導体チップに分配する回路と、半導
   体チップを各々選択して電気的に分離する回路とをウェ
   ーハ上に有し、複数個の半導体チップを同時に試験する
   ことを特徴とする半導体装置の試験方法。