JP2013533484A - デバイス貫通バイアのための試験技法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本技法は、電子デバイスのデバイス貫通バイアの端部を含む電子デバイスの接続構造に接触するためのプローブを有するプローブカードアセンブリを用いることを含む。プローブにおいて1対のプローブを電気的に接続することができ、これによって、このプローブ対が接触している1対のデバイス貫通バイアの一方のデバイス貫通バイアから他方のデバイス貫通バイアまでの直接戻りループに接触しこれを形成することができる。電子デバイスは、デバイス貫通バイアの一方で試験信号を駆動するための試験回路と、デバイス貫通バイアの他方で試験信号を検出するための受信器と、を含むことができる。
【選択図】図1
Description
Claims (14)
- 基板と、
前記基板上に配置され、電子デバイスのデバイス貫通バイアの端部を含む接続構造に接触するように構成されたプローブと、
前記プローブの第1の対における第1のプローブ及び第2のプローブを電気的に接続する第1の電気的接続と、を備え、
前記第1のプローブが前記デバイス貫通バイアの第1のものに接触するとともに前記第2のプローブが前記デバイス貫通バイアの第2のものに接触している間、前記第1のプローブ、前記第2のプローブ及び前記第1の電気的接続が、前記第1のデバイス貫通バイアから前記第2のデバイス貫通バイアまでの第1の直接戻りループを形成する、
プローブカードアセンブリ。 - 前記プローブの第2の対における第3のプローブ及び第4のプローブを電気的に接続する第2の電気的接続を更に備え、
前記第3のプローブが前記デバイス貫通バイアの第3のものに接触するとともに前記第4のプローブが前記デバイス貫通バイアの第4のものに接触している間、前記第3のプローブ、前記第4のプローブ、及び前記第2の電気的接続が、前記第3のデバイス貫通バイアから前記第4のデバイス貫通バイアまでの第2の直接戻りループを形成する、
請求項1に記載のプローブカードアセンブリ。 - 前記第1の電気的接続及び前記第2の電気的接続を電気的に接続する第3の電気的接続を更に備える、
請求項2に記載のプローブカードアセンブリ。 - 前記第3の電気的接続が、前記第1の電気的接続及び前記第2の電気的接続を選択的に接続及び切断するスイッチを有する、
請求項3に記載のプローブカードアセンブリ。 - 前記電子デバイスの試験を制御するように構成されたテスタに対する電気的インタフェースを更に備える、
請求項2に記載のプローブカードアセンブリ。 - 前記第1の電気的接続が前記電気的インタフェースに直接接続されていない、
請求項5に記載のプローブカードアセンブリ。 - 前記電気的インタフェースが前記プローブのいくつかに直接接続されている、
請求項6に記載のプローブカードアセンブリ。 - 前記第1の電気的接続を接地に対して選択的に接続及び切断するスイッチを更に備える、
請求項1に記載のプローブカードアセンブリ。 - 前記基板が剛性であり、
前記プローブが細長く、可撓性で、弾性である、
請求項1に記載のプローブカードアセンブリ。 - デバイス貫通バイアと、
前記デバイス貫通バイアの第1のものに結合されたドライバ回路と、
前記デバイス貫通バイアの第2のものに結合された第1の受信回路と、
前記ドライバ回路及び前記第1の受信回路に結合された試験回路であって、前記ドライバ回路に試験信号を前記第1のデバイス貫通バイア上で駆動させると共に前記試験信号が前記第2のデバイス貫通バイアから前記第1の受信器において受信されたか否かを判定するように構成された、試験回路と、を備える、
電子デバイス。 - 前記デバイス貫通バイアの第3のものに結合された第2の受信回路を更に備え、
前記試験回路が更に前記第2の受信回路に結合され、前記試験回路が、前記試験信号が前記第3のデバイス貫通バイアから前記第2の受信器において受信されたか否かを判定するように更に構成されている、
請求項10に記載の電子デバイス。 - 前記第2のデバイス貫通バイア及び第4のデバイス貫通バイアを選択的に接続及び切断するスイッチを更に備える、
請求項11に記載の電子デバイス。 - 前記電子デバイスが半導体デバイスであり、
前記半導体デバイスが、
半導体基板であって、前記デバイス貫通バイアが前記半導体基板の一方側から前記半導体デバイスの反対側までのバイアである、半導体基板と、
前記半導体基板に形成された集積回路と、を備える、
請求項10に記載の電子デバイス。 - 前記試験回路に電気的に接続された前記半導体基板の前記一方側の接点構造を更に備える、
請求項13に記載の電子デバイス。
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