JPS6297134A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法Info
- Publication number
- JPS6297134A JPS6297134A JP60238003A JP23800385A JPS6297134A JP S6297134 A JPS6297134 A JP S6297134A JP 60238003 A JP60238003 A JP 60238003A JP 23800385 A JP23800385 A JP 23800385A JP S6297134 A JPS6297134 A JP S6297134A
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- JP
- Japan
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- film
- vertically magnetized
- magnetic recording
- cooling
- recording medium
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- Pending
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は高密度磁気記録に適する垂直磁気記録用の磁気
記録媒体の製造方法に関する。
記録媒体の製造方法に関する。
従来の技術
近年、磁気記録の高密度化の進歩は著しく、塗布屋磁気
記録媒体を用いての高密度化に限界が見えはじめたため
、真空蒸着法、スパッタ法、電気めっき法、化学めっき
法等の方法で強磁性金属薄膜を磁気記録層として形成し
たものが有望視され、各方面で検討が進んでいる。〔例
えば外国論文誌アイイーイーイートランザクシヲンズ
オン マグネティックス（ＩＥＥＥ Ｔｚａｎｓａｃ
ｔｉｏｎｓ ｏｎＭａｇｎｅｔｉｃｓ ）Ｖｏｌ、
ＭＡＧ−２１、Ｎｏ、３ 、 ｐｐ、１２１ｙ〜１
２２０ （１９８５）参照〕 特に高密度化に於て記録波長を短かくするには、基板面
に垂直方向に磁化可能な垂直磁化膜を利用するのが有効
で、高周波スパッタ法を用いてｃ。
記録媒体を用いての高密度化に限界が見えはじめたため
、真空蒸着法、スパッタ法、電気めっき法、化学めっき
法等の方法で強磁性金属薄膜を磁気記録層として形成し
たものが有望視され、各方面で検討が進んでいる。〔例
えば外国論文誌アイイーイーイートランザクシヲンズ
オン マグネティックス（ＩＥＥＥ Ｔｚａｎｓａｃ
ｔｉｏｎｓ ｏｎＭａｇｎｅｔｉｃｓ ）Ｖｏｌ、
ＭＡＧ−２１、Ｎｏ、３ 、 ｐｐ、１２１ｙ〜１
２２０ （１９８５）参照〕 特に高密度化に於て記録波長を短かくするには、基板面
に垂直方向に磁化可能な垂直磁化膜を利用するのが有効
で、高周波スパッタ法を用いてｃ。
−Ｏｒ 、Ｃｏ−０ｒ−Ｎｂ等の垂直磁化膜をポリイミ
ドフィルム上に直接又は、Ｇｅ、Ｔｆ下地等の上に形成
して得られる磁気テープ、磁気ディスクによる検討が進
んでいる。
ドフィルム上に直接又は、Ｇｅ、Ｔｆ下地等の上に形成
して得られる磁気テープ、磁気ディスクによる検討が進
んでいる。
しかし周知のようにスパッタリング法は膜の形成速度が
極めぞ小さい為、電子ビーム蒸着法等のように、スパッ
タリング法の１００倍以上の膜形成速度が得られる方法
によって性能の良い垂直磁化膜を得る検討も盛んに行わ
れている。
極めぞ小さい為、電子ビーム蒸着法等のように、スパッ
タリング法の１００倍以上の膜形成速度が得られる方法
によって性能の良い垂直磁化膜を得る検討も盛んに行わ
れている。
現在、最も良好な垂直磁化膜は、ポリイミド等の高分子
フィルムとしては耐熱性の高いフィルムを用い、このフ
ィルムを加熱しなからＣｏ−Ｃｒ等を電子ビーム蒸着し
て得られているが、磁気特性が同一であるにも拘らず、
高密度記録再生特性は必ずしも同じになっていないため
Ｇｅ 下地やＴｉ下地を配する等の工夫がなされている
。
フィルムとしては耐熱性の高いフィルムを用い、このフ
ィルムを加熱しなからＣｏ−Ｃｒ等を電子ビーム蒸着し
て得られているが、磁気特性が同一であるにも拘らず、
高密度記録再生特性は必ずしも同じになっていないため
Ｇｅ 下地やＴｉ下地を配する等の工夫がなされている
。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記した構成では、Ｇｅ下地やＴｉ下地を
必要とし、Ｃｏ−Ｃｒ、 ｃｏ−Ｃｒ−Ｎｂ等と積層し
た時に電気化学的にみて腐蝕に対して不利であり、生産
性の面でも劣るのと、耐熱性の高い高分子フィルムを基
板として用いる必要がある等の問題点を有していた。
必要とし、Ｃｏ−Ｃｒ、 ｃｏ−Ｃｒ−Ｎｂ等と積層し
た時に電気化学的にみて腐蝕に対して不利であり、生産
性の面でも劣るのと、耐熱性の高い高分子フィルムを基
板として用いる必要がある等の問題点を有していた。
本発明は上記した事情に鑑みなされたもので、ポリエス
テルフィルム等の汎用性の高’Ａフィルム上に直接垂直
磁化膜を形成し、良好な記録再生特性を与えることの出
来る磁気記録媒体を製造するのに適した方法を提供する
ものである。
テルフィルム等の汎用性の高’Ａフィルム上に直接垂直
磁化膜を形成し、良好な記録再生特性を与えることの出
来る磁気記録媒体を製造するのに適した方法を提供する
ものである。
問題点を解決するための手段
上記問題点を解決するために本発明の磁気記録媒体の製
造方法は、高分子フィルムを３０℃以下に冷却して、部
分的にイオン化された蒸気流により垂直磁化膜を形成す
るようにしたものである。
造方法は、高分子フィルムを３０℃以下に冷却して、部
分的にイオン化された蒸気流により垂直磁化膜を形成す
るようにしたものである。
作 用
本発明の磁気記録媒体の製造方法は上記した構成をとる
ことで、垂直磁化膜による記録時の記録感度を左右する
と考えられる薄膜形成初期に、高分子フィルムからのガ
ス放出によるしよう乱が無視できるので、結晶成長は、
初期から欠陥の少ない状況で起ると考えられるのと、フ
ィルムの温度は低いが、イオンを含む蒸気流で薄膜形成
を行うため、汎用性の高いポリエステルフィルム上に抗
磁力の大きい垂直磁化膜の形成を行うことができるので
ある。
ことで、垂直磁化膜による記録時の記録感度を左右する
と考えられる薄膜形成初期に、高分子フィルムからのガ
ス放出によるしよう乱が無視できるので、結晶成長は、
初期から欠陥の少ない状況で起ると考えられるのと、フ
ィルムの温度は低いが、イオンを含む蒸気流で薄膜形成
を行うため、汎用性の高いポリエステルフィルム上に抗
磁力の大きい垂直磁化膜の形成を行うことができるので
ある。
実施例
以下、図面を参照しながら本発明の実施例について説明
する。
する。
第１図は本発明を実施するのに用いた蒸着装置の内部構
成図である。
成図である。
第１図に於て、１はクーリングキャン、２は高分子フィ
ルム、３は送り出し軸、４は巻取り軸、５は蒸発源、６
は高周波コイル、７はマスク、８はスリット、９は真空
容器、１０は真空ポンプ、１１は絶縁導入端子である。
ルム、３は送り出し軸、４は巻取り軸、５は蒸発源、６
は高周波コイル、７はマスク、８はスリット、９は真空
容器、１０は真空ポンプ、１１は絶縁導入端子である。
第１図の装置に於て、主要部の寸法は以下の通りである
。
。
クーリングキャンの直径５０ ｃｍ ＋フィルム幅は５
０ ｃｍ 、蒸発源とクーリングキャンの蒸着部の距離
は４２ ｃｍ 、高周波コイルと下端と蒸発源は２６０
、コイルのターン数は４ターン、マスクと蒸発源は３６
ｃｍ 、スリット幅は６ｃｒｎとした。高周波電源は
１３．５６ （ＭＨｚ ） 、 ２ ＫＷのものを用い
た。初期のマツチング調整と放電開始には図示してない
ガス導入端子よりアルゴンガスを導入して、グロー放電
を起した後は、蒸発を続けている間はグロー放電が維持
できるように、蒸発源の加熱には１６ＫｅＶ、ｅｏＫＷ
の電子ビーム加熱を用いた。
０ ｃｍ 、蒸発源とクーリングキャンの蒸着部の距離
は４２ ｃｍ 、高周波コイルと下端と蒸発源は２６０
、コイルのターン数は４ターン、マスクと蒸発源は３６
ｃｍ 、スリット幅は６ｃｒｎとした。高周波電源は
１３．５６ （ＭＨｚ ） 、 ２ ＫＷのものを用い
た。初期のマツチング調整と放電開始には図示してない
ガス導入端子よりアルゴンガスを導入して、グロー放電
を起した後は、蒸発を続けている間はグロー放電が維持
できるように、蒸発源の加熱には１６ＫｅＶ、ｅｏＫＷ
の電子ビーム加熱を用いた。
クーリングキャンは媒体を環流させて定温に保持し、０
℃から８０°Ｃまで可変とした。
℃から８０°Ｃまで可変とした。
上記した装置を用いて、厚み１２μｍのポリエチレンテ
レフタレートフィルム上にｃ ｏ −Ｃｒ 垂直磁化膜
を形成し幅８ｗ１Ｌの磁気テープを作成し、ギヤツプ長
ｏ、１８μｍ のセンダストスパッタヘッドを用いて、
記録波長０．４μｍの記録波長の記録再生を行い比較検
討した。
レフタレートフィルム上にｃ ｏ −Ｃｒ 垂直磁化膜
を形成し幅８ｗ１Ｌの磁気テープを作成し、ギヤツプ長
ｏ、１８μｍ のセンダストスパッタヘッドを用いて、
記録波長０．４μｍの記録波長の記録再生を行い比較検
討した。
Ｃｏ−Ｃｒ 膜はＣｒが２０．５Ｗ％となるように制
御し、膜厚０．２μｍを一定とし、保磁力も一定となる
ように高周波電力を１．３ＫＷから１．９ＫＷで調整し
、垂直方向の保磁力６７０（Ｏｓ）とした。
御し、膜厚０．２μｍを一定とし、保磁力も一定となる
ように高周波電力を１．３ＫＷから１．９ＫＷで調整し
、垂直方向の保磁力６７０（Ｏｓ）とした。
第２図に得られたテープの出力安定性と平均出力を示し
た。キャン温度をパラメータとして得られたテープの比
較で、３０℃から４０’Ｃの間は不安定で、４０’Ｃ以
上になると平均出力も低下し、本発明の有用性がこの図
から理解できる。
た。キャン温度をパラメータとして得られたテープの比
較で、３０℃から４０’Ｃの間は不安定で、４０’Ｃ以
上になると平均出力も低下し、本発明の有用性がこの図
から理解できる。
なお、実施例については、ポリエチレンテレフタレート
フィルムとＣｏ−Ｃｒ膜をあげたが、他にポリアミド、
ポリイミド等、Ｃｏ−Ｖ 、 Ｃｏ −Ｗ 。
フィルムとＣｏ−Ｃｒ膜をあげたが、他にポリアミド、
ポリイミド等、Ｃｏ−Ｖ 、 Ｃｏ −Ｗ 。
Ｃｏ −Ｍｏ 、 Ｃｏ −０、Ｃｏ−Ｎ ｉ −０、
Ｃｏ−Ｃｒ−Ｎｂ等についても第２図に示したものとほ
ぼ同一で、３０℃以下にしておけば良いことを確かめで
ある。
Ｃｏ−Ｃｒ−Ｎｂ等についても第２図に示したものとほ
ぼ同一で、３０℃以下にしておけば良いことを確かめで
ある。
なお、第２図の○（ｄＢ）は、スパッタＣｏ−Ｃｒ−Ｎ
ｂ膜で得られ、たチャンピオンデータと同等で、Ｇｅ、
Ｔｉ下地上の真空蒸着法によるＣｏ−Ｃｒ膜で得られた
値より３．ｓｄＢ良好である。
ｂ膜で得られ、たチャンピオンデータと同等で、Ｇｅ、
Ｔｉ下地上の真空蒸着法によるＣｏ−Ｃｒ膜で得られた
値より３．ｓｄＢ良好である。
発明の効果
以上のように本発明によれば、ポリエチレンテレフタレ
ートフィルム上に直接垂直磁化膜を高速で形成し、特性
の良好な磁気記録媒体を得ることができるといったすぐ
れた効果を有する。
ートフィルム上に直接垂直磁化膜を高速で形成し、特性
の良好な磁気記録媒体を得ることができるといったすぐ
れた効果を有する。
第１図は本発明の実施のために用いた蒸着装置の要部構
成図、第２図は本発明の特性線図である。 １・・・・・・クーリングキャン、２・・・・・・高分
子フィルム、６・・・・・・蒸発源、６・・・・・・高
周波コイル。
成図、第２図は本発明の特性線図である。 １・・・・・・クーリングキャン、２・・・・・・高分
子フィルム、６・・・・・・蒸発源、６・・・・・・高
周波コイル。
Claims (1)
- 高分子フィルムを３０℃以下に冷却して、部分的にイオ
ン化された蒸気流により垂直磁化膜を形成することを特
徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60238003A JPS6297134A (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60238003A JPS6297134A (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6297134A true JPS6297134A (ja) | 1987-05-06 |
Family
ID=17023687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60238003A Pending JPS6297134A (ja) | 1985-10-24 | 1985-10-24 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6297134A (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59172163A (ja) * | 1983-03-18 | 1984-09-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
-
1985
- 1985-10-24 JP JP60238003A patent/JPS6297134A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS59172163A (ja) * | 1983-03-18 | 1984-09-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 垂直磁気記録媒体の製造方法 |
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