JPS6291421A - 酸化ジルコニウム微粒子の製造方法 - Google Patents
酸化ジルコニウム微粒子の製造方法Info
- Publication number
- JPS6291421A JPS6291421A JP23259285A JP23259285A JPS6291421A JP S6291421 A JPS6291421 A JP S6291421A JP 23259285 A JP23259285 A JP 23259285A JP 23259285 A JP23259285 A JP 23259285A JP S6291421 A JPS6291421 A JP S6291421A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- particles
- zirconium oxide
- zirconium
- alcohol
- fine
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、酸化ジルコニウム微粒子の製造方法に関し、
特に、単分散性の高い球状でサブミクロンオーダーの酸
化ジルコニウム微粒子の製造方法に関する。
特に、単分散性の高い球状でサブミクロンオーダーの酸
化ジルコニウム微粒子の製造方法に関する。
近年、金属酸化vA倣核粒子製造方法として、金属アル
コキシドの加水分解反応を制御することによりザブミク
ロンオーダーの微粒子を製造する方法が、(alアルコ
キシじが常温で容易に加水分解して酸化物(通常、水和
物の状態)を生成すること、(b)加水分解の条件を比
較的制御し易いこと、fcl純度の高い原料アルコキシ
ドを得やすいこと、(d+不純物や陰イオン等が生成物
に混入するおそれがないこと、などの利点を有するため
注目され、酸化ケイ素(Si(h)および酸化チタン(
TiO□)に関してかかる方法による製造の試みが行わ
れている。
コキシドの加水分解反応を制御することによりザブミク
ロンオーダーの微粒子を製造する方法が、(alアルコ
キシじが常温で容易に加水分解して酸化物(通常、水和
物の状態)を生成すること、(b)加水分解の条件を比
較的制御し易いこと、fcl純度の高い原料アルコキシ
ドを得やすいこと、(d+不純物や陰イオン等が生成物
に混入するおそれがないこと、などの利点を有するため
注目され、酸化ケイ素(Si(h)および酸化チタン(
TiO□)に関してかかる方法による製造の試みが行わ
れている。
し、かじながら酸化ジルコニウム粒子に関しては、上記
のジルコニウムアルコキシドの加水分解を利用する製法
を含め、継分散性の高い、球形でサブミクロンオーダー
の微粒子の製法は、従来まったく知られていない。
のジルコニウムアルコキシドの加水分解を利用する製法
を含め、継分散性の高い、球形でサブミクロンオーダー
の微粒子の製法は、従来まったく知られていない。
本発明の目的シ、1、tit分it t’tの高い、球
形でリブミクロンオーダーの酸化ジル−lニウム倣粒子
の製法が従来も育1′fさ才1ていない問題に名ツノ、
かかる製法を提供する・二とにある。
形でリブミクロンオーダーの酸化ジル−lニウム倣粒子
の製法が従来も育1′fさ才1ていない問題に名ツノ、
かかる製法を提供する・二とにある。
本発明は、前記の問題点を解決する手段として、アルコ
ール中におけるジルコニウムアルコキシドの加水分解反
応により酸化ジルコニラ1、微粒子を製造する方法であ
って、 反応開始時におifる反応溶液中のジルコニウムアルコ
キシド′の濃度を0.2 mol / n以下に、水の
量をジルコニウムアルコキシドの加水分解に要する当量
以下に制御し、 酸化ジルコニウム、のコロイ[粒子が71−成した段階
で、反応溶液全量の0.5倍量以[−のアル:1−ルを
添加し、 次いで反応溶/ルを撹+1’ L、、酸化ジル:に・リ
ム黴粒子を成長さ一口る、 工稈を有する酸化ジル丁ノニ・iツノ、i職粒子の製j
告方法を提供するものである。
ール中におけるジルコニウムアルコキシドの加水分解反
応により酸化ジルコニラ1、微粒子を製造する方法であ
って、 反応開始時におifる反応溶液中のジルコニウムアルコ
キシド′の濃度を0.2 mol / n以下に、水の
量をジルコニウムアルコキシドの加水分解に要する当量
以下に制御し、 酸化ジルコニウム、のコロイ[粒子が71−成した段階
で、反応溶液全量の0.5倍量以[−のアル:1−ルを
添加し、 次いで反応溶/ルを撹+1’ L、、酸化ジル:に・リ
ム黴粒子を成長さ一口る、 工稈を有する酸化ジル丁ノニ・iツノ、i職粒子の製j
告方法を提供するものである。
本発明の方法によれば、一定量の酸化ジル、Tlニウム
微粒子の核が生成した後は、それらを核とするR成長の
みが促進され、後続の新たな核の生成が抑制される結果
、即分散11の高いジル:に・シム酸化物t[N子が得
られる。
微粒子の核が生成した後は、それらを核とするR成長の
みが促進され、後続の新たな核の生成が抑制される結果
、即分散11の高いジル:に・シム酸化物t[N子が得
られる。
なお、ここで得られる酸化ジルコニウムは一般に水和物
であるが、本明細書では、単に[酸化ジルコニウムウ1
と称する。
であるが、本明細書では、単に[酸化ジルコニウムウ1
と称する。
本発明において用いられるジルニ1ユウJ、アルコキシ
ドとしては、例えば、ジルコニウソ9メトギシド、ジル
コニウムエトキシl、ジルコニウムプロポキシド、ジル
コニラl、ブ1−1−シト等が挙げられる。
ドとしては、例えば、ジルコニウソ9メトギシド、ジル
コニウムエトキシl、ジルコニウムプロポキシド、ジル
コニラl、ブ1−1−シト等が挙げられる。
本発明の方法では、ジルコニウムアルコキシドの加水分
解反応をアルコール中で行なう。ここで月1いられるア
ルニ1−ルは′、ジルニ1ニウムアルコキシドおよび水
の良溶媒であり、具体例としては、メタノール、エタノ
ール、プ[1パノール等を挙げることができる。この方
法を実施するには、原料であるジルコニウムアルコ−1
−シトの一定濃度のアルコール溶液を調製しておき、ご
れに水を添加することにより加水分解反応を起さセるの
が一般的である。このとき、添加する水もアルコール溶
液として添加することが好ましい。
解反応をアルコール中で行なう。ここで月1いられるア
ルニ1−ルは′、ジルニ1ニウムアルコキシドおよび水
の良溶媒であり、具体例としては、メタノール、エタノ
ール、プ[1パノール等を挙げることができる。この方
法を実施するには、原料であるジルコニウムアルコ−1
−シトの一定濃度のアルコール溶液を調製しておき、ご
れに水を添加することにより加水分解反応を起さセるの
が一般的である。このとき、添加する水もアルコール溶
液として添加することが好ましい。
こうして、アルニ1−ルをン容媒とするジルコニウムア
ルコキシドと水の反応溶液が得られ、加水分解反応が開
始されるが、本発明においては、この反応開始時におけ
る反応溶液中のジルコニウムアルコキシド′?農度を、
0.2 mol / n以下、好ましくは0.08〜0
.2 mol / j!、特に好ましくは約0.1mo
l/j!に制御するとともに、反応溶液中の水の量を、
加水分解反応に必要な当量(化学量論量)の0.7〜1
.3倍け、好ましく番よ0.9〜1.1倍量、特に好ま
しくはほぼ当りに制御する必要がある。
ルコキシドと水の反応溶液が得られ、加水分解反応が開
始されるが、本発明においては、この反応開始時におけ
る反応溶液中のジルコニウムアルコキシド′?農度を、
0.2 mol / n以下、好ましくは0.08〜0
.2 mol / j!、特に好ましくは約0.1mo
l/j!に制御するとともに、反応溶液中の水の量を、
加水分解反応に必要な当量(化学量論量)の0.7〜1
.3倍け、好ましく番よ0.9〜1.1倍量、特に好ま
しくはほぼ当りに制御する必要がある。
反応開始時における反応溶液中のジルコニウムアわゆる
多分散となる。また、水のVが多過ぎると得られる粒子
の粒径の均一性が低−ドし、多分散とジ1しにうハ なる。なお、水の量が少な過ぎると酸化六半幽のコロイ
[′粒子の析出に時間がかかり好ましくない。
多分散となる。また、水のVが多過ぎると得られる粒子
の粒径の均一性が低−ドし、多分散とジ1しにうハ なる。なお、水の量が少な過ぎると酸化六半幽のコロイ
[′粒子の析出に時間がかかり好ましくない。
例えば、ジルコニウムテトラアルコキシド4原利として
用いる場合、加水分解反応は、下記反応式: %式% (但し、Rはアルキル基) に従うと考えられ、この場合ジルコニウムアルコキシド
1molに対する水の反応当量は4molであるから、
本発明によると水は2゜8〜5.2mol の量で添加
される。
用いる場合、加水分解反応は、下記反応式: %式% (但し、Rはアルキル基) に従うと考えられ、この場合ジルコニウムアルコキシド
1molに対する水の反応当量は4molであるから、
本発明によると水は2゜8〜5.2mol の量で添加
される。
反応開始時の反応溶液中のジルコニウムアルコキシドの
濃度および水の量の制御は、ジルコニウムアルコキシド
のアルコール溶液の濃度およヒ量、並びに添加される水
のアルコール溶液の濃度および舅を調節することで容易
に行なうことができる。
濃度および水の量の制御は、ジルコニウムアルコキシド
のアルコール溶液の濃度およヒ量、並びに添加される水
のアルコール溶液の濃度および舅を調節することで容易
に行なうことができる。
次に、上記の加水分解反応の進行によって酸化ジルコニ
ウムコロイドが生成するので、この段階でアルコールを
添加し溶液を希釈する。
ウムコロイドが生成するので、この段階でアルコールを
添加し溶液を希釈する。
酸化ジルコニウムコロイドの生成は、反応溶液の白濁を
伴なうので、この僅かな白濁を視認した後にアルコール
の添加を行なえばよい。通常、水の添加後室温で約1分
程度経過すると白濁が認められる。この白濁は、加水分
解により生成したZr(OH)4のン農度が臨界過飽和
点を超え、Zr (Oll) aが核生成の前駆体とな
って縮合反応により酸化ジルコニウムの核を形成し゛(
コロイド粒子になり、視認できる程度に至ったものと考
えられる。したがって、アルコールを添加するのまでの
時間を適当に選定することによって核の生成数を制御し
、それらの核だLJを成長させることによって任意の粒
径の酸化ジルコニウム粒子を製造することが可能である
。
伴なうので、この僅かな白濁を視認した後にアルコール
の添加を行なえばよい。通常、水の添加後室温で約1分
程度経過すると白濁が認められる。この白濁は、加水分
解により生成したZr(OH)4のン農度が臨界過飽和
点を超え、Zr (Oll) aが核生成の前駆体とな
って縮合反応により酸化ジルコニウムの核を形成し゛(
コロイド粒子になり、視認できる程度に至ったものと考
えられる。したがって、アルコールを添加するのまでの
時間を適当に選定することによって核の生成数を制御し
、それらの核だLJを成長させることによって任意の粒
径の酸化ジルコニウム粒子を製造することが可能である
。
アルコールの添加量は、溶液全体の0.5倍量以上、好
ましくは0,8〜1.5倍量であることが必要である。
ましくは0,8〜1.5倍量であることが必要である。
このアルコールの添加によって後続の酸化ジルコニウム
の核生成が抑制、停止されて得られる粒子は単分散性の
高いものとなる。アルコールの添加量が0.5倍量未満
であると、得られる粒子は単分散性の低いものとなる。
の核生成が抑制、停止されて得られる粒子は単分散性の
高いものとなる。アルコールの添加量が0.5倍量未満
であると、得られる粒子は単分散性の低いものとなる。
これは、新たに生成するZr (OH) 4によりその
濃度が再び臨界飽和点1メ−1−となってコロイド粒子
の析出が再開され、より微小な粒子が混在することにな
るためと考えられる。なお、このアルコール添加量が多
過ぎても、あまり粒子の単分散化に寄与せず、むしろZ
r(OIILの濃度が低くなることによって酸化ジルコ
ニウムの収率が低下したり、粒成長に要する時間が長く
なる、など製造上の不利が生じる。□なお、添加するア
ルコールは、溶液を稀釈するだめのものであり、−1二
記加水分解に関して例示のものを用いることができるが
、加水分解時に用いたアルコールと異なるものでも差し
支えない。
濃度が再び臨界飽和点1メ−1−となってコロイド粒子
の析出が再開され、より微小な粒子が混在することにな
るためと考えられる。なお、このアルコール添加量が多
過ぎても、あまり粒子の単分散化に寄与せず、むしろZ
r(OIILの濃度が低くなることによって酸化ジルコ
ニウムの収率が低下したり、粒成長に要する時間が長く
なる、など製造上の不利が生じる。□なお、添加するア
ルコールは、溶液を稀釈するだめのものであり、−1二
記加水分解に関して例示のものを用いることができるが
、加水分解時に用いたアルコールと異なるものでも差し
支えない。
前記アルコールの添加によってコロイド粒子の生成を停
止させたのち、溶液を攪拌しながら、粒成長を行なわせ
る。この撹拌は、加水分解によって生成した核を溶液全
体に均一に分散せしめて粒子の績集を防ぐための操作で
あり、また核を新鮮なZr(Oll)4熔液と接触させ
て真球状の粒成長を促すために行なわれる。攪拌方法は
特に制限されず、im常のプロペラ型攪拌機によっても
良いし、超音波によって行なっても良い。
止させたのち、溶液を攪拌しながら、粒成長を行なわせ
る。この撹拌は、加水分解によって生成した核を溶液全
体に均一に分散せしめて粒子の績集を防ぐための操作で
あり、また核を新鮮なZr(Oll)4熔液と接触させ
て真球状の粒成長を促すために行なわれる。攪拌方法は
特に制限されず、im常のプロペラ型攪拌機によっても
良いし、超音波によって行なっても良い。
酸化ジルコニウムの粒成長速度は、アルコールを添加し
た後10分程度までは速いが、粒子の成長と共に緩慢と
なる。従ってその時間を適当に選択することによっても
粒径の異なる酸化ジルコニウム粒子を得ることができる
。例えば60分程度の攪拌で0.4〜Q、 577 m
の勺シミクロンオーダーの粒子が得られる。
た後10分程度までは速いが、粒子の成長と共に緩慢と
なる。従ってその時間を適当に選択することによっても
粒径の異なる酸化ジルコニウム粒子を得ることができる
。例えば60分程度の攪拌で0.4〜Q、 577 m
の勺シミクロンオーダーの粒子が得られる。
このようにして得られる酸化ジルコニウム微粒子の粒度
分布は、例えば透過型電子顕微鏡(TEM)写真から求
めたtS1度分布のモード径の110%以内に全粒子の
75%以−1−が含まれるものとするごとができ、華分
散1’[が極めて高いものである。
分布は、例えば透過型電子顕微鏡(TEM)写真から求
めたtS1度分布のモード径の110%以内に全粒子の
75%以−1−が含まれるものとするごとができ、華分
散1’[が極めて高いものである。
次いで所望の粒径に成長した酸化ジルコニラJ、微粒子
を遠心分離によって回収し、これを適当な方法で乾燥す
るごとにより単分散酸化ジルコニウム徽粒子を得ること
ができる。
を遠心分離によって回収し、これを適当な方法で乾燥す
るごとにより単分散酸化ジルコニウム徽粒子を得ること
ができる。
本発明において、酸化ジルコニウム微粒子の生成におけ
るアルコール添加の作用は、下記のように推測される。
るアルコール添加の作用は、下記のように推測される。
アルコールン容液中にジルコニウムアルコキシドと当量
程度の水が共存すると、加水分解反応によって、コロイ
ド状の粒子が生成するが、この粒子はZr(OH)n
濃度が臨界過飽和点を超えた時から順次生成する。この
ようなコロイド粒子を核として粒子成長が進行するので
、粒度が広く分布した酸化ジルコニウム粒子、いわゆる
多分散な粒子が得られる。ところが、ある程度コロイド
粒子が生成した段階で溶媒が添加され、溶液全体が希釈
されるとZr (QH) 4濃度が臨界過飽利点以下に
なるため、新たなコロイド粒子の析出が抑制され、既に
生成したコロイド粒子のみが溶液中に残ることになり、
この残ったコロイド粒子を核として粒成長を行なわせれ
ば、粒度分布の極めて狭い酸化ジルコニウム微粒子を得
ることが可能となる。溶液中の粒子数が多くなると凝集
の機会も増えるので、上記の手段で粒子数を制限するこ
とは凝集防止−L有利で、その点でも単分散化にとって
も極めて好都合である。
程度の水が共存すると、加水分解反応によって、コロイ
ド状の粒子が生成するが、この粒子はZr(OH)n
濃度が臨界過飽和点を超えた時から順次生成する。この
ようなコロイド粒子を核として粒子成長が進行するので
、粒度が広く分布した酸化ジルコニウム粒子、いわゆる
多分散な粒子が得られる。ところが、ある程度コロイド
粒子が生成した段階で溶媒が添加され、溶液全体が希釈
されるとZr (QH) 4濃度が臨界過飽利点以下に
なるため、新たなコロイド粒子の析出が抑制され、既に
生成したコロイド粒子のみが溶液中に残ることになり、
この残ったコロイド粒子を核として粒成長を行なわせれ
ば、粒度分布の極めて狭い酸化ジルコニウム微粒子を得
ることが可能となる。溶液中の粒子数が多くなると凝集
の機会も増えるので、上記の手段で粒子数を制限するこ
とは凝集防止−L有利で、その点でも単分散化にとって
も極めて好都合である。
濃度0.125 mol/ eでジルコニラムチfうn
−ブトキシドZr(n−OBu)4を含むn−プロパツ
ール溶液40mffに、蒸溜水を2 mol/ 7!濃
度で含む、n−プロパツール熔?&NOmj!を添加し
た(水の添加量は反応当量に相当する)。攬件下、室温
で反応を進めたとこ7)、水のn−プロパツール?’d
?& 添加後約1分経過しまた時点で溶液中に白濁が
J2められた。2分経過後+1−ブ1−1パノールを5
0ml添加し、超音波撹拌(29kllz )に、1、
リフ1成した酸化ジルコニラ1、微粒子を分散させなが
ら60分間撹拌した。生成した酸化ジルコニウム倣粒子
を遠心分離機で固液分^Iし、60℃で乾燥させた。
−ブトキシドZr(n−OBu)4を含むn−プロパツ
ール溶液40mffに、蒸溜水を2 mol/ 7!濃
度で含む、n−プロパツール熔?&NOmj!を添加し
た(水の添加量は反応当量に相当する)。攬件下、室温
で反応を進めたとこ7)、水のn−プロパツール?’d
?& 添加後約1分経過しまた時点で溶液中に白濁が
J2められた。2分経過後+1−ブ1−1パノールを5
0ml添加し、超音波撹拌(29kllz )に、1、
リフ1成した酸化ジルコニラ1、微粒子を分散させなが
ら60分間撹拌した。生成した酸化ジルコニウム倣粒子
を遠心分離機で固液分^Iし、60℃で乾燥させた。
得られた酸化ジルコニウム倣¥1″i子につい−c 以
下の測定を行なった。
下の測定を行なった。
得られた酸化ジルコニウム黴tζL子は、第1図に示す
走査型電子顕微鏡写真から、極めてよ<オ′ζlr径の
揃った球状の微粒子であるにとがわかり、′!1”!径
約0.6μmの114分$1にわ)了であった。
走査型電子顕微鏡写真から、極めてよ<オ′ζlr径の
揃った球状の微粒子であるにとがわかり、′!1”!径
約0.6μmの114分$1にわ)了であった。
さらにまた、得られたiM fI′j了1′5)末は非
晶質に特有のブロードなX線回折図形を示した。これを
示差熱天秤(DTA −TG)で分析した結果、200
℃までに水和水の脱離を示す吸熱があり、430℃付近
で結晶化に伴なう鋭い発熱ピークが観測された。
晶質に特有のブロードなX線回折図形を示した。これを
示差熱天秤(DTA −TG)で分析した結果、200
℃までに水和水の脱離を示す吸熱があり、430℃付近
で結晶化に伴なう鋭い発熱ピークが観測された。
本発明によれば、単分散性が優れ、形状が球状に揃って
いる、勺ブミクロンオーダーの酸化ジルコニウム微粉子
を得ることができる。この酸化シルコニうl、は、非晶
質の水和物であるが、加熱により水和水を除くことがで
き、430℃程度まで加熱すれば結晶化する。本発明に
よる酸化ジルコニウム粉末は、均一・粒径の球状微粒子
であるため最密充填構造を形成!<、緻密な焼結セラミ
ックスの原ネ′1粉末としても好適である。また、エレ
クトロニクス材料、顔料、塗料、化粧品、宝石等、種々
の用途への適用も期待される。
いる、勺ブミクロンオーダーの酸化ジルコニウム微粉子
を得ることができる。この酸化シルコニうl、は、非晶
質の水和物であるが、加熱により水和水を除くことがで
き、430℃程度まで加熱すれば結晶化する。本発明に
よる酸化ジルコニウム粉末は、均一・粒径の球状微粒子
であるため最密充填構造を形成!<、緻密な焼結セラミ
ックスの原ネ′1粉末としても好適である。また、エレ
クトロニクス材料、顔料、塗料、化粧品、宝石等、種々
の用途への適用も期待される。
第1図は本発明の実施例により得られた酸化ジル−1ニ
ウム微粒子の走査型電子顕微鏡写真である。
ウム微粒子の走査型電子顕微鏡写真である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 アルコール中におけるジルコニウムアルコキシドの加水
分解反応により酸化ジルコニウム微粒子を製造する方法
であって、 反応開始時における反応溶液中のジルコニウムアルコキ
シドの濃度を0.2mol/l以下に、水の量をジルコ
ニウムアルコキシドの加水分解に要する当量以下に制御
し、 酸化ジルコニウムのコロイド粒子が生成した段階で、反
応溶液全量の0.5倍量以下のアルコールを添加し、 次いで反応溶液を撹拌し、酸化ジルコニウム微粒子を成
長させることからなる酸化ジルコニウム微粒子の製造方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23259285A JPS6291421A (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | 酸化ジルコニウム微粒子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23259285A JPS6291421A (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | 酸化ジルコニウム微粒子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6291421A true JPS6291421A (ja) | 1987-04-25 |
JPH0472776B2 JPH0472776B2 (ja) | 1992-11-19 |
Family
ID=16941770
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23259285A Granted JPS6291421A (ja) | 1985-10-18 | 1985-10-18 | 酸化ジルコニウム微粒子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6291421A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05259304A (ja) * | 1992-03-12 | 1993-10-08 | Yamaichi Electron Co Ltd | Icキャリア |
JP2005170719A (ja) * | 2003-12-10 | 2005-06-30 | Nippon Denko Kk | 明度および白色度が高い酸化ジルコニウム粉末、その焼結体及びその製造方法 |
JP2008024555A (ja) * | 2006-07-21 | 2008-02-07 | Tosoh Corp | ジルコニア微粉末及びその製造方法並びにその用途 |
JP2010153476A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Tdk Corp | 縦型コイル部品 |
-
1985
- 1985-10-18 JP JP23259285A patent/JPS6291421A/ja active Granted
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05259304A (ja) * | 1992-03-12 | 1993-10-08 | Yamaichi Electron Co Ltd | Icキャリア |
JP2005170719A (ja) * | 2003-12-10 | 2005-06-30 | Nippon Denko Kk | 明度および白色度が高い酸化ジルコニウム粉末、その焼結体及びその製造方法 |
JP2008024555A (ja) * | 2006-07-21 | 2008-02-07 | Tosoh Corp | ジルコニア微粉末及びその製造方法並びにその用途 |
JP2010153476A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Tdk Corp | 縦型コイル部品 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0472776B2 (ja) | 1992-11-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4965057A (en) | Process for producing morphologically improved ceric oxide particulates | |
JPS63166705A (ja) | 無機酸化物の製造方法 | |
JPS61201623A (ja) | ジルコニア超微結晶の球状凝集粒子の製造方法 | |
JP4925706B2 (ja) | シリカ系複合酸化物粒子の製造方法 | |
Sugimoto et al. | Formation mechanism of uniform spindle-type titania particles in the gel-sol process | |
JPH01133939A (ja) | 酸化チタン微粒子の製造方法 | |
JPS6291421A (ja) | 酸化ジルコニウム微粒子の製造方法 | |
JP2008239461A (ja) | 金属酸化物微粒子分散物及びその製造方法 | |
JPS62278125A (ja) | 結晶質酸化チタン微粒子の製法 | |
JPS62158116A (ja) | 酸化アルミニウム微粒子の製造方法 | |
JPH0524864B2 (ja) | ||
JPH0475851B2 (ja) | ||
JPS58213633A (ja) | 酸化アルミニウムの製造方法 | |
JPH01133940A (ja) | 酸化チタン微粒子の製造方法 | |
JP2709206B2 (ja) | 球形多孔質アナターゼ型二酸化チタン微粒子及びその製造方法 | |
JPS6291422A (ja) | 酸化タンタル微粒子の製造方法 | |
JPH0524865B2 (ja) | ||
KR100383089B1 (ko) | 알루미나단분산미립자합성법 | |
KR100435427B1 (ko) | 구상의 수산화바륨티타네이트 미립자의 제조방법 | |
KR100450223B1 (ko) | 단분산 수산화바륨티타네이트 미립자의 제조방법 | |
JPH01126230A (ja) | 酸化ジルコニウム微粒子の製造方法 | |
KR100417694B1 (ko) | 단분산 구상 바륨티타네이트 미립자의 제조방법 | |
JPH0351643B2 (ja) | ||
KR100383088B1 (ko) | 바륨티나네이트 구상 미립자 합성법 | |
KR100417695B1 (ko) | 단분산 알루미나 미립자의 제조방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |