JPS6288954A - 酸素センサ - Google Patents

酸素センサ

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JPS6288954A
JPS6288954A JP60228631A JP22863185A JPS6288954A JP S6288954 A JPS6288954 A JP S6288954A JP 60228631 A JP60228631 A JP 60228631A JP 22863185 A JP22863185 A JP 22863185A JP S6288954 A JPS6288954 A JP S6288954A
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JP
Japan
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heater
insulating layer
sheet
green sheet
sensor
Prior art date
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Pending
Application number
JP60228631A
Other languages
English (en)
Inventor
Shoichi Iwanaga
昭一 岩永
Takeshi Fujita
毅 藤田
Ryoji Iwamura
岩村 亮二
Shosaku Ishihara
昌作 石原
Takashi Kuroki
喬 黒木
Ataru Yokono
中 横野
Sadayasu Ueno
上野 定寧
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Publication of JPS6288954A publication Critical patent/JPS6288954A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403Cells and electrode assemblies
    • G01N27/406Cells and probes with solid electrolytes
    • G01N27/4067Means for heating or controlling the temperature of the solid electrolyte

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
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  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、酸素イオン伝導性の固体電解質を用いた酸素
センサ(酸素ポンプ方式)の改良に関する。
〔従来技術〕
例えば、内燃機関の空燃比は、通常理論空体比よりも空
気過剰側、いわゆる希薄混合気域になるように制御され
る。
この制御は、燃焼ガス中に含まれている希薄酸素量を検
出して行なわれる。この希薄酸素検出には、一般にリー
ンセンサが用いられる。
酸素ポンプ方式であるこのリーンセンサは、ガス拡散孔
における拡散律迷に基づいて起る限界電流特性を利用し
たものである。この酸素濃度に対する限界電流は、測定
時における検出ガス温度によって大幅に変化する性質を
有する。
即ち、その温度が600℃以下の低温では、限界電流は
酸素濃度に比例しなくなってしまい、更に低温になると
、限界電流を示さなくなる。
このような理由で、リーンセンサは、空燃比制御用セン
サとしてそのまま使用することができないものである。
このリーセンサを空燃比制御用センサとして利用するた
めに従来は、次のようにしていた。
その−例として、第6図及び第4図に示すように、電極
5,6.7を形成した固体電解質2!3.4t−[1一
体化したセンサに、ヒータ1を設け、センサの温度が6
00℃以上の一定温度になるようにしていた。
然しながら、このヒータ1は、傍熱型テアルため、検出
部を十分に加熱するためには熱効率が悪く、実際にその
検出部の温度が所定の温度まで昇温され一〇いるかどう
かの信頼性が低いものであった。これを補うために、検
出部の温度を測るための温度センサが必要であり、たと
え温度センサを設けてヒータの出力を調整しても、ガス
温度の変化に対し、常に一定のガス温度に保つことは困
難であるという欠点があった。
なお、図中9は、ガスの導入孔、1oはガスの拡散室で
ある。
〔発明の目的〕
本発明は、排ガスの)二度が変化しても、検出部の湿度
を高温に保持し、信頼性の高い酸素センサを提供せんと
するものである。
〔発明の概要〕
即ち、本発明は、従来の傍熱型のヒータに伏えて、放熱
損失の少ない直接加熱ヴjのヒータの採用を可能にした
ものであり、その第1の発明は、アルミナを主成分とす
る絶縁層の中にヒータを埋設し、この絶縁層を電極を形
成したジルコニアロ体電解質グリーンシートに!!J!
して一体化し、検出部全直接加熱するようにしたもので
ある。
第2の発明は、上記センサにおいて、ジルコニアロ体電
解質グリーンシートの成分をジルコニアt−95,5〜
93.0モル%及びイツトリアを4.5〜7.0モル%
にして、アルミナを主を分とスル絶縁層の熱膨張係数と
、ジルコニアロ体電解質グリンシートの熱膨張係数をほ
ぼ等しくして、両者の積層面での割れをなくシ、ヒータ
を一体的に積層したものである。
〔発明の実施例〕
発明者らは、傍熱型ヒータは、排ガスの温度が変化した
とき、検出部の温度を一定温度に制御するのが困難であ
ること、及びリーンセンサは、検出部の温度変化に大き
く影響され、正確な酸素濃度の検出ができないという特
性を有することから、従来の傍熱型ヒータに代えて、熱
効率のよい直接加熱方式を課題として研究した。
この研究において、解決すべき問題は、積層したときに
生ずるヒータを埋設する絶縁層と、ジルコニア固体電解
質との間の熱膨張差による;別41を解決することであ
る。
以下詳細に説明する。先ず、第2図を参照しなからセン
サの製造について説明する。
所定の割合の¥203で部分安定化したZrO2粉末に
、有機結合材、可塑拐、有機溶剤等を加えてスラリー状
にした後、ドクターブレード法のスリ、ブキャステング
により、板状のグリーンシート(厚さ0.25+nm)
を作成した。次にこのグリーンシートを所定の寸法、所
定の形状に切断した後に、グリーンシート乙には、第1
電極5゜第2電極6を白金ペーストを用いて、スクリー
ン印刷法にて成形し、更に、電極6上には、拡散釜12
(第1図参照)を燃結後成形するための有機物層を施し
た。又、グリーンシート4にはS第3電極7を白金ペー
ストで同様に成形し、この電極上にも拡散室10(第1
図参照)を形成するための有機物層を施した。次いでこ
れらグリーンシートとベース用グリーンシー ト2とを
80℃、15Kg/−の条件でホントブレスして積層し
、センサ部を作った。
更に、絶縁層8は、A120gを90重一部、無機フラ
ックスを10重量部を混合し、上記と同じ手法で厚さ0
.15m5のグリーンシートとして作成した。このグリ
ーンシートを上記と同じ寸法。
及び形状に切断した後、スクリーン印刷により白金ペー
ストを用いてヒータ1を形成し、更にこのヒータ1上に
白金保護のため絶縁層13を載セ、90℃ 3oKp/
iの条件でホントブレスし、アルミナで挟んだヒータ部
を作った。
最後にセンサ部とヒータ部を90℃、 50b/lA。
の条件でホットプレスして積層し、その後、15叩℃で
2時間大気中で焼成し、酸素センサとしたD第1図は、
上記工程を経て作られた酸素センサであり、ヒータ1は
、アルミナを主成分とする絶縁層8,13内に埋設され
、この絶縁層8115は、ジルコニアロ体電解質グリン
シート2゜4.3に積層されている。図中、5は第1電
極。
6は第2電極、7は第3電極、 9 、11はガス導入
孔、 10 、12は拡散室である。
このように形成した酸素センサにおいて、ジルコニアロ
体電解質中の成分であるジルコニアとイノ) IJアの
混合割合を変え、絶縁層8との間のル」れについて実験
した。その結果を第1表に示す。
以下余白 第    1    表 この表から明らかなように、イツトリア含有量が4.5
〜7.0モル%及びジルコニアが95,5〜93モル%
の実施例隊3〜7は、熱膨張係数がZ2〜8.8x10
’/lであり、アルミナ(絶縁層)の熱膨張係数8.O
x 10”−’/’Cとの差が10%以内であり、接合
部において割れを生じなかった。
序でモ、実施例隘5(ジルコニア94.5モル%。
斗ットリア5,5モル%)は、アルミナの熱膨張係i 
an X 10 ’/’Cと一致していることが判る。
文、イノ) IJア含有量が4.5モル%以下(実施例
にB 、 9 、10 )では、熱膨張係数が7. O
X10’−’/℃以下となり、又その含有量が10モル
%以上(実施例トム1,2)では、熱膨張係数が90x
 io ’/’cとなって、アルミナの熱膨張係数80
×10−7℃との差が大きくなり、焼結後において接合
部に割れを生じた。
〔発明の効果〕
以上詳述した通り、本発明に係る酸素センサによれば、
ジルコニアロ体電解質の成分として、ジルコニアを95
.5〜93.0モル%にし、イツトリアを4.5〜7.
0モル%にしたので、ジルコニアロ体電解質の熱膨張係
数とアルミナの熱膨張係数との差を10%以内に納める
ことができ、この両者を焼結しても、その接合部に割れ
を生じさせることなく、焼結することができた。
その結果、アルミナを主成分とする絶縁層の中にヒータ
を埋設して、これをジルコニアロ体電解質に積層した構
造の酸素センサとすることができたので、たとえ排ガス
温度が変化しても9、当該ヒータにより検出部を効率よ
く直接加熱することができ、その検出部の温度制御性が
向上して信頼性の高い酸素センサを得ることができ、産
業上優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の一実施飼であり、酸素センサの横断
面図である。第2図は、本発明に係。 る酸素センサの製造工程図である。第5図は従。 来の酸素センサの縦断面図、第4図は、第3母御の横断
面図である。 1・・・ヒータ、2,3,4・・・ジルコニアロ体電解
質S5,6.7・・・電極、8,13・・・絶縁層、9
。 11・・・ガス導入孔、10 、 12・・・拡散室。 第 2 図 第 3 第 ・ 一一一〇〇− 」

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.電極を形成したジルコニアロ体電解質グリーンシー
    トを積層して成る酸素センサにおいて、アルミナを主成
    分とする絶縁層内にヒータを埋設し、該絶縁層を電極を
    形成したジルコニア固体電解質グリーンシートに積層し
    一体化したことを特徴とする酸素センサ。
  2. 2.電極を形成したジルコニア固体電解質グリーンシー
    トを積層して成る酸素センサにおいて、アルミナを主成
    分とする絶縁層内にヒータを埋設し、該絶縁層を電極を
    形成したジルコニア固体電解質グリーンシートに積層一
    体化し、上記ジルコニア固体電解質グリーンシートの成
    分をジルコニアを95.5〜93.0モル%及びイット
    リアを4.5〜7.0モル%にしたことを特徴とする酸
    素センサ。
JP60228631A 1985-10-16 1985-10-16 酸素センサ Pending JPS6288954A (ja)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6676817B2 (en) 1999-02-03 2004-01-13 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Solid electrolyte containing insulating ceramic grains for gas sensor
JP2004085494A (ja) * 2002-08-28 2004-03-18 Kyocera Corp 酸素センサ素子
JP2005062184A (ja) * 2003-08-14 2005-03-10 Robert Bosch Gmbh 平らな層状に構成されたセンサー素子
CN102455314A (zh) * 2010-10-25 2012-05-16 王锡福 电流式氧气感测器

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5684545A (en) * 1979-12-13 1981-07-09 Nissan Motor Co Ltd Manufacture of base plate for gas sensor element of built-in heater type
JPS57110955A (en) * 1980-12-27 1982-07-10 Nissan Motor Co Ltd Manufacturing of substrate for heater built-in type gas sensor elememt
JPS6036948A (ja) * 1983-08-09 1985-02-26 Ngk Insulators Ltd 電気化学的装置
JPS6052762A (ja) * 1983-09-01 1985-03-26 Hitachi Ltd 固体電解質型酸素センサのセンサ素子とその製造方法
JPS6098349A (ja) * 1983-11-04 1985-06-01 Hitachi Ltd エンジン制御用空燃比センサ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5684545A (en) * 1979-12-13 1981-07-09 Nissan Motor Co Ltd Manufacture of base plate for gas sensor element of built-in heater type
JPS57110955A (en) * 1980-12-27 1982-07-10 Nissan Motor Co Ltd Manufacturing of substrate for heater built-in type gas sensor elememt
JPS6036948A (ja) * 1983-08-09 1985-02-26 Ngk Insulators Ltd 電気化学的装置
JPS6052762A (ja) * 1983-09-01 1985-03-26 Hitachi Ltd 固体電解質型酸素センサのセンサ素子とその製造方法
JPS6098349A (ja) * 1983-11-04 1985-06-01 Hitachi Ltd エンジン制御用空燃比センサ

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6676817B2 (en) 1999-02-03 2004-01-13 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Solid electrolyte containing insulating ceramic grains for gas sensor
US7041207B2 (en) 1999-02-03 2006-05-09 Ngk Spark Plug Co., Ltd. Solid electrolyte containing insulating grains for gas sensor
JP2004085494A (ja) * 2002-08-28 2004-03-18 Kyocera Corp 酸素センサ素子
JP2005062184A (ja) * 2003-08-14 2005-03-10 Robert Bosch Gmbh 平らな層状に構成されたセンサー素子
CN102455314A (zh) * 2010-10-25 2012-05-16 王锡福 电流式氧气感测器
CN102455314B (zh) * 2010-10-25 2014-07-23 王锡福 电流式氧气感测器

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