JPS6288657A - 自動搬送車 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体を製造する際の各工程間及び各製造
設備間における半導体製品の運搬を行なう自動搬送車に
関するものである。

〔従来の技術〕

従来、この種の自動搬送車は、運搬する製品に塵埃が付
着するのを防止するため、密閉性の良い箱に入れ箱ごと
自動搬送車に積載させていた。

〔発明が解決しようとする問題〕

しかし、製品を箱の中に入れて運搬しているため半導体
を製造する設備に、製品を自動装盾する際、箱の蓋を開
け、製品を箱から取り出すだめの機械が余分に必要にな
るという問題があった。

〔問題を解決するだめの手段〕

本発明によれば、送風ファンによって送られ、濾過フィ
ルターを通した空気で、自動搬送車の製品を積載する部
分を充満させるため、運搬する製品を箱に入れずそのま
ま積載しても塵埃が付着するのを防止できる。

つぎに図面を参照して本発明をより詳細に説明する。

第３図および第４図を参照して、まず従来の自動搬送車
を説明する。被搬送物の製品２を密閉箱５に入れ自動搬
送車１に積載し運搬している。かかる自動搬送車を使用
し、製品を運搬する場合では、製品に塵埃が付着するの
を防止するため、密閉性の良い箱に入れ積載するため、
半導体を製造する装置Ｋ、製品を装着するとき箱５の蓋
を開けて中の製品を取り出す必要があった。

〔実施例〕

第１図および第２図を参照して、送風ファンと空気用濾
過フィルターを取り付けた自動搬送車の実施例を説明す
る。

被搬送物の製品２を送風ファン４と空気用濾過フィルタ
ー３を備えた自動搬送車１に積載している。

この場合、ファンにより送られた空気がフィルターによ
り濾過され塵埃を含まない空気となり、矢印の方向に流
れ、製品を積載している部分に充満しているため、塵埃
が製品に付着するのを防止でき、また製品がむき出しで
積載されているためそのまま取シ出しのできる自動搬送
車となっている。

〔発明の効果〕

本発明によれば、従来、箱に入れ製品を運搬していたも
のを、むき出しのまま運搬できるため半導体製造装置に
装着する際、箱の蓋を開けるだめの機棹が不要となシ、
また製品に塵埃が付着するのを防止できるという効果が
ある。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の一実施例による正面図であり、第２図
は第１図の側面図である。第３図は従来の自動搬送車の
正面図であり、第４図は第３図の側面図である。 １・・・・・・自動搬送車、２・・・・・・製品、３・
・・・・・空気用濾過フィルター、４・・・・・・送風
ファン、５・・・・・・密閉箱。 一一〜＼ 代理人　弁理士　　内　原　　　音 生２　区 べ 第４　面

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体製品を運搬する自動搬送車において、送風ファン
   と空気用ろ過フィルターを備えたことを特徴とする自動
   搬送車。