JPH0719151Y2 - 半導体ウェハ用搬送装置の収納容器 - Google Patents
半導体ウェハ用搬送装置の収納容器Info
- Publication number
- JPH0719151Y2 JPH0719151Y2 JP1987156211U JP15621187U JPH0719151Y2 JP H0719151 Y2 JPH0719151 Y2 JP H0719151Y2 JP 1987156211 U JP1987156211 U JP 1987156211U JP 15621187 U JP15621187 U JP 15621187U JP H0719151 Y2 JPH0719151 Y2 JP H0719151Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- storage container
- plate
- side plate
- attached
- semiconductor wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この考案は、例えば、半導体工場等において半導体ウエ
ハ等を搬送する場合に用いられる半導体ウエハ用搬送装
置の収納容器に関する。
ハ等を搬送する場合に用いられる半導体ウエハ用搬送装
置の収納容器に関する。
［従来技術］ 半導体製造工程は、単結晶製造工程、ウエハ処理工程、
組み立て工程および検査工程という４つの工程からな
る。このうちで、ウエハ処理工程は、最もクリーン度を
要求されるために、汚染の最大の原因であった人間によ
る作業を自動化におきかえつつあるが、現在、半導体工
場のクリーン度の維持方法は、天井より吹き出された清
浄空気を下方に流すことにより行っており、このクリー
ン度維持のためには空調設備に多額のコストがかかる。
そこで、その場所に応じたクリーン度を維持できる環境
とし、すなわち、ウエハ処理装置が設置された部屋を高
いクリーン度に保ち、通路等はクリーン度のランクを下
げて維持し、コストの低減を図っている。
組み立て工程および検査工程という４つの工程からな
る。このうちで、ウエハ処理工程は、最もクリーン度を
要求されるために、汚染の最大の原因であった人間によ
る作業を自動化におきかえつつあるが、現在、半導体工
場のクリーン度の維持方法は、天井より吹き出された清
浄空気を下方に流すことにより行っており、このクリー
ン度維持のためには空調設備に多額のコストがかかる。
そこで、その場所に応じたクリーン度を維持できる環境
とし、すなわち、ウエハ処理装置が設置された部屋を高
いクリーン度に保ち、通路等はクリーン度のランクを下
げて維持し、コストの低減を図っている。
従来、ウエハを処理装置から処理装置へ通路等を通過し
て搬送する場合には、第２に示すようにウエハ31を数十
枚づつウエハカセット30に入れ、該ウェハカセット30を
蓋を有するカセットケース32に収納して人手によって搬
送していた。
て搬送する場合には、第２に示すようにウエハ31を数十
枚づつウエハカセット30に入れ、該ウェハカセット30を
蓋を有するカセットケース32に収納して人手によって搬
送していた。
しかしながら、ウエハ処理工程が200以上もの工程があ
るとともに、直接人手によって搬送を行うので、この搬
送中にカセットケース32に蓋等を被せてもカセットケー
ス32内に塵埃が入り込み易く、ウエハ31が汚染される可
能性が高かった。
るとともに、直接人手によって搬送を行うので、この搬
送中にカセットケース32に蓋等を被せてもカセットケー
ス32内に塵埃が入り込み易く、ウエハ31が汚染される可
能性が高かった。
また、同じカセットケース32で搬送を送り返すと、カセ
ットケース32内が汚染されて、カセットケース３を取り
替えなければならず、従来の場合、ウェハカセット30の
倍近くのカセットケース32が必要となり、コストがかか
るという問題点があった。さらに、これらカセットケー
ス32のうち使用していない多数のカセットケース３を置
く場所も必要になるという問題があった。
ットケース32内が汚染されて、カセットケース３を取り
替えなければならず、従来の場合、ウェハカセット30の
倍近くのカセットケース32が必要となり、コストがかか
るという問題点があった。さらに、これらカセットケー
ス32のうち使用していない多数のカセットケース３を置
く場所も必要になるという問題があった。
この考案は上記事情に鑑みてなされたもので、その目的
は、ウエハの汚染の低減を図るとともにコスト低減を図
った半導体ウエハ用搬送装置の収納容器を提供すること
にある。
は、ウエハの汚染の低減を図るとともにコスト低減を図
った半導体ウエハ用搬送装置の収納容器を提供すること
にある。
［問題を解決するための手段］ この考案は、搬送台車の上側に、互いに上下方向に適宜
距離離間されて配されるそれぞれ略同形の４角形状に形
成された上板と下板とそれら上板と下板の外周部にまた
がって配される側板との間に複数の緩衝部材が前記上板
および下板の隅部に介装されて緩衝部が取り付けられ、
該緩衝部の上側に、当該収納容器の側部の下端と緩衝部
の各側板の上端との間に介在された連結部材を介して着
脱自在に取り付けられる半導体ウエハ用搬送装置の収納
容器であって、前記収納容器は、多面体に形成され、か
つ、一側板を開閉自在に支持する開閉機構と、前記一側
板に隣接した他面板に回動自在に取り付けられ前記一側
板に係合／離脱可能な固定手段と、前記一側板の内面周
囲に取り付けられた密封用のパッキンとを具備してなる
ことを特徴とする。
距離離間されて配されるそれぞれ略同形の４角形状に形
成された上板と下板とそれら上板と下板の外周部にまた
がって配される側板との間に複数の緩衝部材が前記上板
および下板の隅部に介装されて緩衝部が取り付けられ、
該緩衝部の上側に、当該収納容器の側部の下端と緩衝部
の各側板の上端との間に介在された連結部材を介して着
脱自在に取り付けられる半導体ウエハ用搬送装置の収納
容器であって、前記収納容器は、多面体に形成され、か
つ、一側板を開閉自在に支持する開閉機構と、前記一側
板に隣接した他面板に回動自在に取り付けられ前記一側
板に係合／離脱可能な固定手段と、前記一側板の内面周
囲に取り付けられた密封用のパッキンとを具備してなる
ことを特徴とする。
［作用］ この考案によれば、搬送物の収納、取り出しを行う場
合、まず、所定の場所で固定手段が解除されて一側板が
開閉可能となり、次に開閉機構によって前記一側板を開
き、搬送物の取り出し、または収納が行なわれる。そし
て、固定手段が前記一側板に係合して前記一側板が閉じ
られている場合は、パッキンによって一側板が他面板の
側部に密着して、収納容器内部が密封されており、内部
に塵埃が入り込むことがない。また、収納容器が搬送台
車から取り外し可能に設けられているので、所定の回数
の搬送が行なわれ、前記一側板の開閉が行なわれて内部
のクリーン度が低下した場合、収納容器を取り外し、内
部の洗浄を行い、内部を清浄にすることができる。
合、まず、所定の場所で固定手段が解除されて一側板が
開閉可能となり、次に開閉機構によって前記一側板を開
き、搬送物の取り出し、または収納が行なわれる。そし
て、固定手段が前記一側板に係合して前記一側板が閉じ
られている場合は、パッキンによって一側板が他面板の
側部に密着して、収納容器内部が密封されており、内部
に塵埃が入り込むことがない。また、収納容器が搬送台
車から取り外し可能に設けられているので、所定の回数
の搬送が行なわれ、前記一側板の開閉が行なわれて内部
のクリーン度が低下した場合、収納容器を取り外し、内
部の洗浄を行い、内部を清浄にすることができる。
［実施例］ 第１図（イ）、（ロ）および（ハ）は、この考案の一実
施例の構成を示す正面図、側面図および部分拡大図であ
る。これらの図において、１は搬送台車であり、リニア
モータ（図示略）によって駆動される。なお、図では、
説明の都合上、上部のみ示し下部は省略してある。この
搬送台車１の上板1aには、搬送台車１の揺れを緩衝する
緩衝部２が取り付けられている。この緩衝部２は、それ
ぞれ同形の４角形状に形成された下板2aと、上板2bと、
これら上下板2a,2bであってそれら上下板2a,2bの隅部に
上端および下端が取り付けられた４個の弾性部材３と、
下板2bに取り付けられた補助部材2cと、この補助部材2c
および上板2bの間に斜めに配設された８個のコイルばね
４と、上板2bと下板2aとにまたがって取り付けられた周
囲の側板2dとから構成されている。なお、８個のコイル
ばね４は、各隅の両側に各々取り付けられている。この
緩衝部２の上板2a上に収納容器５が配置される。この収
納容器５は６面体に形成されており、一方の側板６が前
面板７、後面板８に設けられた開閉機構９、９によって
開閉可能となっている。この開閉機構９において、10は
側板６に上部がボルト止めされた連結板であり、この連
結板10の側部は下方に突出して形成されており、この側
部下端が回転軸11に介装部材12を介して取り付けられて
いる。この回転軸11は、前面板７（または後面板８）に
固定された補助板13に軸受13aを介して回転自在に取り
付けられており、また、前面板７側の回転軸11には回転
レバー14が取り付けられている。この回転レバー14の両
端部には、ゴム製の係合部材14a,14bが取り付けられて
おり、この係合部材14a,14bが、搬送台車１の停車ステ
ーションに設けられた開放モータの回転部に係合するよ
うになっている。これにより、開放モータを駆動して回
転レバー14が回転されるようになっている。また、収納
容器５の側板６には透明樹脂製の窓15が設けられてお
り、この窓15によって収納容器５の内部が見えるように
構成されている。また、側板６の内面周囲にはゴム製の
パッキン16が配設されており、このパッキン16に対応し
て収納容器５の内部には、枠材17が取り付けられてい
る。この枠材17にパッキン16が嵌着するようになってい
る。また、収納容器５の上面板18の一端には軸19を支持
する支持部材20、20が取り付けられており、この軸19に
は固定レバー21、21がバネ19aにＢ方向に付勢されて取
り付けられている。この固定レバー21は先端がＬ字状に
折り曲げらたように形成されており、後端には突出部が
形成されている。この固定レバー21の先端部が側板６の
上端外面に係合／離脱するようになっている。また、収
納容器５の底面には、ウエハカセット30が載置される載
置台22が取り付けられている。この載置台22は傾斜状に
形成されており、この載置台22上でウエハカセット30が
傾いた状態で支持される。また、収納容器５の側面下部
6aには、水平方向に２箇所の孔6bが形成され、この孔6b
に第１図（ハ）に示すように連結部材23の凸部23aが嵌
合している。この連結部材23は、上部が下部より長い略
断面コ字状に形成され、上部に前記凸部23aが形成され
ている。また、連結部材23の下部には止めねじ24が貫通
される孔23bが形成されている。この止めねじ24は雄ね
じとなっており、緩衝部２の側板2dの左右両端部であっ
てその上端に形成された雌ねじＺに噛合する。また、連
結部材23と側板2dとの間にはバネ部材25が介挿されてお
り、止めねじ24を緩めると、連結部材23の凸部23aがバ
ネ部材25に付勢されて側板下部6aの凹部6bから抜け、収
納容器５が取り外し可能となっている。
施例の構成を示す正面図、側面図および部分拡大図であ
る。これらの図において、１は搬送台車であり、リニア
モータ（図示略）によって駆動される。なお、図では、
説明の都合上、上部のみ示し下部は省略してある。この
搬送台車１の上板1aには、搬送台車１の揺れを緩衝する
緩衝部２が取り付けられている。この緩衝部２は、それ
ぞれ同形の４角形状に形成された下板2aと、上板2bと、
これら上下板2a,2bであってそれら上下板2a,2bの隅部に
上端および下端が取り付けられた４個の弾性部材３と、
下板2bに取り付けられた補助部材2cと、この補助部材2c
および上板2bの間に斜めに配設された８個のコイルばね
４と、上板2bと下板2aとにまたがって取り付けられた周
囲の側板2dとから構成されている。なお、８個のコイル
ばね４は、各隅の両側に各々取り付けられている。この
緩衝部２の上板2a上に収納容器５が配置される。この収
納容器５は６面体に形成されており、一方の側板６が前
面板７、後面板８に設けられた開閉機構９、９によって
開閉可能となっている。この開閉機構９において、10は
側板６に上部がボルト止めされた連結板であり、この連
結板10の側部は下方に突出して形成されており、この側
部下端が回転軸11に介装部材12を介して取り付けられて
いる。この回転軸11は、前面板７（または後面板８）に
固定された補助板13に軸受13aを介して回転自在に取り
付けられており、また、前面板７側の回転軸11には回転
レバー14が取り付けられている。この回転レバー14の両
端部には、ゴム製の係合部材14a,14bが取り付けられて
おり、この係合部材14a,14bが、搬送台車１の停車ステ
ーションに設けられた開放モータの回転部に係合するよ
うになっている。これにより、開放モータを駆動して回
転レバー14が回転されるようになっている。また、収納
容器５の側板６には透明樹脂製の窓15が設けられてお
り、この窓15によって収納容器５の内部が見えるように
構成されている。また、側板６の内面周囲にはゴム製の
パッキン16が配設されており、このパッキン16に対応し
て収納容器５の内部には、枠材17が取り付けられてい
る。この枠材17にパッキン16が嵌着するようになってい
る。また、収納容器５の上面板18の一端には軸19を支持
する支持部材20、20が取り付けられており、この軸19に
は固定レバー21、21がバネ19aにＢ方向に付勢されて取
り付けられている。この固定レバー21は先端がＬ字状に
折り曲げらたように形成されており、後端には突出部が
形成されている。この固定レバー21の先端部が側板６の
上端外面に係合／離脱するようになっている。また、収
納容器５の底面には、ウエハカセット30が載置される載
置台22が取り付けられている。この載置台22は傾斜状に
形成されており、この載置台22上でウエハカセット30が
傾いた状態で支持される。また、収納容器５の側面下部
6aには、水平方向に２箇所の孔6bが形成され、この孔6b
に第１図（ハ）に示すように連結部材23の凸部23aが嵌
合している。この連結部材23は、上部が下部より長い略
断面コ字状に形成され、上部に前記凸部23aが形成され
ている。また、連結部材23の下部には止めねじ24が貫通
される孔23bが形成されている。この止めねじ24は雄ね
じとなっており、緩衝部２の側板2dの左右両端部であっ
てその上端に形成された雌ねじＺに噛合する。また、連
結部材23と側板2dとの間にはバネ部材25が介挿されてお
り、止めねじ24を緩めると、連結部材23の凸部23aがバ
ネ部材25に付勢されて側板下部6aの凹部6bから抜け、収
納容器５が取り外し可能となっている。
しかして、上記の実施例によれば、開閉機構９、９によ
って側板が開閉可能となっており、また、側板６を固定
し得る固定レバー21、21が設けられ、側板６がパッキン
16を介して収納容器５を密封するように設けられている
ので、側板６が閉じられている場合は収納容器５が密閉
され、塵埃等が収納容器５内に入るおそれがない。ま
た、搬送が所定の回数行なわれ、側板６が開閉されて塵
埃が収納容器５内に入り、収納容器５内のクリーン度が
低下した場合においても、連結部材23によって収納容器
５が緩衝部２に取り外し可能に取り付けられているの
で、収納容器５を搬送台車１から容易に取り外すことが
でき、すなわち、止めねじ24を緩めて連結部材23の凸部
23aが収納容器５の側面下部6aの孔6bから外れ、これに
より収納容器を取り外して収納容器５内の洗浄を行い、
収納容器５を清浄とすることができる。
って側板が開閉可能となっており、また、側板６を固定
し得る固定レバー21、21が設けられ、側板６がパッキン
16を介して収納容器５を密封するように設けられている
ので、側板６が閉じられている場合は収納容器５が密閉
され、塵埃等が収納容器５内に入るおそれがない。ま
た、搬送が所定の回数行なわれ、側板６が開閉されて塵
埃が収納容器５内に入り、収納容器５内のクリーン度が
低下した場合においても、連結部材23によって収納容器
５が緩衝部２に取り外し可能に取り付けられているの
で、収納容器５を搬送台車１から容易に取り外すことが
でき、すなわち、止めねじ24を緩めて連結部材23の凸部
23aが収納容器５の側面下部6aの孔6bから外れ、これに
より収納容器を取り外して収納容器５内の洗浄を行い、
収納容器５を清浄とすることができる。
［考案の効果］ 以上説明したように、この考案によれば、一側板を開閉
自在に支持する開閉機構と、前記一側板に隣接した他面
板に回動自在に取り付けられ、前記一側板に係合／離脱
可能な固定手段と、前記一側板の内面周囲に取り付けら
れた密封用のパッキンとを具備してなる収納容器であっ
て、該収納容器が搬送台車に取り外し自在に取り付けら
れたので、搬送時には内部を密封することができ、ま
た、所定の回数の搬送が行なわれて内部のクリーン度が
損なわれても、容易に取り外すことができ、これにより
内部を清浄にして再使用することができ、ウエハの汚染
の低減を図ることができるとともにコストの低減を図る
ことができる。側板を開閉する構成であるから、側板を
開いても上方からの気流を乱さず、塵埃が生じにくい。
収納容器内に塵埃が侵入しにくい。また、搬送台車と収
納容器との間に緩衝部が介在されるので、震動に伴う内
部発塵を防止できる。製品（半導体ウエハ）の破損を未
然に防止できる。さらに、緩衝部等を伴うことなく収納
容器のみが取り外されるようになっているので、収納容
器の内部を洗浄する洗浄作業が行いやすい等の格別な効
果を奏する。
自在に支持する開閉機構と、前記一側板に隣接した他面
板に回動自在に取り付けられ、前記一側板に係合／離脱
可能な固定手段と、前記一側板の内面周囲に取り付けら
れた密封用のパッキンとを具備してなる収納容器であっ
て、該収納容器が搬送台車に取り外し自在に取り付けら
れたので、搬送時には内部を密封することができ、ま
た、所定の回数の搬送が行なわれて内部のクリーン度が
損なわれても、容易に取り外すことができ、これにより
内部を清浄にして再使用することができ、ウエハの汚染
の低減を図ることができるとともにコストの低減を図る
ことができる。側板を開閉する構成であるから、側板を
開いても上方からの気流を乱さず、塵埃が生じにくい。
収納容器内に塵埃が侵入しにくい。また、搬送台車と収
納容器との間に緩衝部が介在されるので、震動に伴う内
部発塵を防止できる。製品（半導体ウエハ）の破損を未
然に防止できる。さらに、緩衝部等を伴うことなく収納
容器のみが取り外されるようになっているので、収納容
器の内部を洗浄する洗浄作業が行いやすい等の格別な効
果を奏する。
第１図（イ）、（ロ）および（ハ）は、本考案の一実施
例の構成を示す正面図、側面図、拡大図、第２図はカセ
ットケースを示す斜視図である。 ３……弾性部材（緩衝部材）、４……コイルばね（緩衝
部材）、５……収納容器、６……側板、９……開閉機
構、16……パッキン、21……固定レバー、23……連結部
材。
例の構成を示す正面図、側面図、拡大図、第２図はカセ
ットケースを示す斜視図である。 ３……弾性部材（緩衝部材）、４……コイルばね（緩衝
部材）、５……収納容器、６……側板、９……開閉機
構、16……パッキン、21……固定レバー、23……連結部
材。
Claims (1)
- 【請求項１】搬送台車の上側に、互いに上下方向に適宜
距離離間されて配されるそれぞれ略同形の４角形状に形
成された上板と下板とそれら上板と下板の外周部にまた
がって配される側板との間に複数の緩衝部材が前記上板
および下板の隅部に介装されて緩衝部が取り付けられ、
該緩衝部の上側に、当該収納容器の側部の下端と緩衝部
の各側板の上端との間に介在された連結部材を介して着
脱自在に取り付けられる半導体ウエハ用搬送装置の収納
容器であって、 前記収納容器は、多面体に形成され、かつ、一側板を開
閉自在に支持する開閉機構と、前記一側板に隣接した他
面板に回動自在に取り付けられ前記一側板に係合／離脱
可能な固定手段と、前記一側板の内面周囲に取り付けら
れた密封用のパッキンとを具備してなることを特徴とす
る半導体ウエハ用搬送装置の収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987156211U JPH0719151Y2 (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 | 半導体ウェハ用搬送装置の収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987156211U JPH0719151Y2 (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 | 半導体ウェハ用搬送装置の収納容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0160540U JPH0160540U (ja) | 1989-04-17 |
| JPH0719151Y2 true JPH0719151Y2 (ja) | 1995-05-01 |
Family
ID=31434544
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987156211U Expired - Lifetime JPH0719151Y2 (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 | 半導体ウェハ用搬送装置の収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0719151Y2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57126144A (en) * | 1981-01-29 | 1982-08-05 | Toshiba Corp | Conveying method for wafer |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60160539U (ja) * | 1984-04-02 | 1985-10-25 | ソニー株式会社 | 半導体ウエハ等収納容器 |
-
1987
- 1987-10-13 JP JP1987156211U patent/JPH0719151Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57126144A (en) * | 1981-01-29 | 1982-08-05 | Toshiba Corp | Conveying method for wafer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0160540U (ja) | 1989-04-17 |
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