JP4286210B2 - ガラス基板の搬送方法および搬送システム - Google Patents
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Description
図1は、本発明の搬送システムの全体図である。
図8は、ガラス基板カセットを、自動搬送の際の運動でガラス基板が微動することなく安定して保持する機構の一例を示す図である。
図9は、ガラス基板カセット1を、自動搬送の際の運動で、ガラス基板が微動することなく安定して保持する機構の別の一例を示す図である。図9の実施例では、ガラス基板カセット1内にガラス基板が垂直に挿入されている。
図10は、ガラス基板カセットに、自動搬送運動で発生する振動を減衰させる機構の一例を示す図である。ガラス基板カセット1が、専用ボックス6内において、自在継手39を介し、ばね機構や空気圧、油圧機構を用いた減衰機38によって吊り下げられる機構を有するもので、自走式吊り下げモノレール19が移動する際に生じる振動のガラス基板カセット1への伝達を防止することにより、ガラス基板の破損、傷、汚れを防ぐことができる。
図11は、ガラス基板カセットに、自動搬送運動で発生する振動を減衰させる機構の別の一例を示す図である。ガラス基板カセット1は、専用ボックス6内において、ばね機構や空気圧、油圧機構を用いた減衰機38によって支えられる機構を有するもので、自走式吊り下げモノレール19が移動する際に生じる振動のガラス基板カセットへの伝達を防止することにより、ガラス基板の破損、傷、汚れを防ぐことができる。
図12は、自動搬送の際の運動でガラス基板が微動することのないように、ガラス基板カセットを安定して保持する機構と、自動搬送の際の運動で発生する振動を減衰させる機構の双方を有している一例を示す図である。
Claims (8)
- 第1工場から第2工場までガラス基板を搬送するガラス基板の搬送方法であって、
前記第1工場に配置された第1移載ステーションの搬入口を開けて、複数枚のガラス基板を配置することができるガラス基板カセットを前記第1移載ステーションに移動する工程と、
前記第1移載ステーションの搬入口を閉じる工程と、
前記ガラス基板カセットを収容する専用ボックスを前記第1移載ステーションの搬出口に気密的に密着させる工程と、
前記第1移載ステーションの搬出口および前記専用ボックスのドアを開けて、前記ガラス基板カセットを前記専用ボックスに収容する工程と、
前記第1移載ステーションの搬出口および前記専用ボックスのドアを閉じる工程と
を含む、ガラス基板の搬送方法。 - 複数枚のガラス基板を配置することができるガラス基板カセットが収容された専用ボックスを用いて、第1工場から第2工場までガラス基板を搬送するガラス基板の搬送方法であって、
第2工場に配置された第2移載ステーションの搬入口に、前記専用ボックスを気密的に密着させる工程と、
前記第2移載ステーションの搬入口および前記専用ボックスのドアを開けて、前記ガラス基板カセットを前記第2移載ステーションに移動する工程と、
前記専用ボックスのドアおよび前記第2移載ステーションの搬入口を閉じる工程と、
前記第2移載ステーションの搬出口を開けて、前記第2工場の内部に前記ガラス基板カセットを移動する工程と
を含む、ガラス基板の搬送方法。 - 第1工場から第2工場までガラス基板を搬送するガラス基板の搬送システムであって、
前記第1工場の内部に通じ、複数枚のガラス基板を配置することができるガラス基板カセットを移載可能とされた搬入口および前記第1工場の外部に通じ、複数枚の前記ガラス基板を配置することができる前記ガラス基板カセットを移載可能とされた搬出口とを含む第1移載ステーションと、
複数枚のガラス基板を配置することができるガラス基板カセットを搬入するためのドアを含む専用ボックスと
を備え、
前記第1移載ステーションの搬出口と前記専用ボックスのドアとが対向する状態で、前記第1移載ステーションと前記専用ボックスとを気密的に密着させることができるように形成され、
前記ガラス基板カセットが、前記第1工場の内部から前記第1移載ステーションに移動可能に形成され、さらに、前記ガラス基板カセットが、前記第1移載ステーションから前記専用ボックスに移動可能に形成された、ガラス基板の搬送システム。 - 第1工場から第2工場までガラス基板を搬送するガラス基板の搬送システムであって、
前記第2工場の外部に通じ、複数枚のガラス基板を配置することができるガラス基板カセットを移載可能とされた搬入口および前記第2工場の内部に通じ、複数枚の前記ガラス基板を配置することができる前記ガラス基板カセットを移載可能とされた搬出口とを含む第2移載ステーションと、
複数枚のガラス基板を配置することができるガラス基板カセットを搬出するためのドアを含む専用ボックスと
を備え、
前記第2移載ステーションの搬入口と前記専用ボックスのドアとが対向する状態で、前記第2移載ステーションと前記専用ボックスとを気密的に密着させることができるように形成され、
前記ガラス基板カセットが、前記専用ボックスから前記第2移載ステーションに移動可能に形成され、さらに、前記ガラス基板カセットが、前記第2移載ステーションから前記第2工場の内部に移動可能に形成された、ガラス基板の搬送システム。 - 前記専用ボックスは、内部のクリーン度を保つ機能を有する、請求項3または4に記載のガラス基板の搬送システム。
- 前記専用ボックスは、結露防止のためのヒータ機能を有する、請求項3または4に記載のガラス基板の搬送システム。
- 前記専用ボックスを前記第1工場から前記第2工場まで移動させる移動手段を含み、
前記専用ボックスは、前記移動手段に接続固定されるように形成された、請求項3または4に記載のガラス基板の搬送システム。 - 前記ガラス基板カセットに付随する管理コードを自動で読取る管理機能を有する、請求項3または4に記載のガラス基板の搬送システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004329359A JP4286210B2 (ja) | 2004-11-12 | 2004-11-12 | ガラス基板の搬送方法および搬送システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004329359A JP4286210B2 (ja) | 2004-11-12 | 2004-11-12 | ガラス基板の搬送方法および搬送システム |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000161464A Division JP2001343621A (ja) | 2000-05-31 | 2000-05-31 | 液晶表示装置の搬送方法および搬送システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005053705A JP2005053705A (ja) | 2005-03-03 |
JP4286210B2 true JP4286210B2 (ja) | 2009-06-24 |
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ID=34373894
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004329359A Expired - Fee Related JP4286210B2 (ja) | 2004-11-12 | 2004-11-12 | ガラス基板の搬送方法および搬送システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4286210B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101673699B (zh) * | 2009-09-03 | 2011-05-11 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 基片盒载台 |
JP7162977B2 (ja) * | 2018-07-25 | 2022-10-31 | 株式会社ディスコ | カセットホルダ |
KR102098791B1 (ko) * | 2018-08-21 | 2020-04-08 | 세메스 주식회사 | 스토커 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005053705A (ja) | 2005-03-03 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080812 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090324 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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