JPS6276018A - コンポジツト型磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents
コンポジツト型磁気ヘツドの製造方法Info
- Publication number
- JPS6276018A JPS6276018A JP21757485A JP21757485A JPS6276018A JP S6276018 A JPS6276018 A JP S6276018A JP 21757485 A JP21757485 A JP 21757485A JP 21757485 A JP21757485 A JP 21757485A JP S6276018 A JPS6276018 A JP S6276018A
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- Japan
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- magnetic
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は複数個を連結した状態でホ） ＩＪゾグラフィ
およびイオンエツチングにより）ラック幅を加工し、そ
れぞれを切断した高精度の狭トラツク幅のコンポジット
型磁気ヘッドを製造する方法に関する。
およびイオンエツチングにより）ラック幅を加工し、そ
れぞれを切断した高精度の狭トラツク幅のコンポジット
型磁気ヘッドを製造する方法に関する。
従来の技術
フロッピィディスクなどの記録再生装置には記録再生用
トラック幅の狭いコンポジット型の磁気ヘッドが使用さ
れている。従来この種の磁気ヘッドは第８図に示すよう
にセラミックなどの非磁性体よりなるスライダ１の一隅
の溝１１の中に磁気トラック方向と直角方向に磁気ギャ
ップ２が形成された電磁変換部３をガラスまたは樹脂な
どで接着固着させている。また電磁変換部３は第９図の
ように磁気トラック６の幅と等しい厚さの工学状の磁気
コア４とコ字状の磁気コア５とを突き合わせ、一方の突
き合わせ面で磁気ギャップ２を形成させガラスまたは樹
脂などで固着させる。あるいは第１０図のように磁気ギ
ャップ２を形成する前に、磁気トラック６の幅よシ厚さ
の犬なる磁気コア４および５における磁気ギャップ２の
両側面に半円錐状にトラック溝７，７′を加工し両磁気
コア４．５を突き合わせてトラック溝７，７′にガラス
８を流し込んで接着し、磁気トラック６が得られる。ま
た第１１図のように磁気トラック６の幅よシ大なる厚さ
の工学状の磁気コア４とコ字状磁気コア５とを突き合わ
せ接着し電磁変換部３を形成した後磁気ギャップ２の両
側面にテーノ母−９を加工し磁気トラック６が得られる
。
トラック幅の狭いコンポジット型の磁気ヘッドが使用さ
れている。従来この種の磁気ヘッドは第８図に示すよう
にセラミックなどの非磁性体よりなるスライダ１の一隅
の溝１１の中に磁気トラック方向と直角方向に磁気ギャ
ップ２が形成された電磁変換部３をガラスまたは樹脂な
どで接着固着させている。また電磁変換部３は第９図の
ように磁気トラック６の幅と等しい厚さの工学状の磁気
コア４とコ字状の磁気コア５とを突き合わせ、一方の突
き合わせ面で磁気ギャップ２を形成させガラスまたは樹
脂などで固着させる。あるいは第１０図のように磁気ギ
ャップ２を形成する前に、磁気トラック６の幅よシ厚さ
の犬なる磁気コア４および５における磁気ギャップ２の
両側面に半円錐状にトラック溝７，７′を加工し両磁気
コア４．５を突き合わせてトラック溝７，７′にガラス
８を流し込んで接着し、磁気トラック６が得られる。ま
た第１１図のように磁気トラック６の幅よシ大なる厚さ
の工学状の磁気コア４とコ字状磁気コア５とを突き合わ
せ接着し電磁変換部３を形成した後磁気ギャップ２の両
側面にテーノ母−９を加工し磁気トラック６が得られる
。
発明が解決しようとする問題点
フロッピィディスクなどの記録容量が高密度化するにつ
れて磁気トラック６の幅はますます狭くなる傾向にある
。したがって従来の電磁変換部３が第９図のように磁気
コア４，５の厚さを磁気トラック６０幅と同じくするも
のにあっては磁気コア４，５自身の厚さが薄くなり、加
工が難しく体積が小さくて充分な電気特性を有する電磁
変換部が得られない欠点がある。また第１０図のように
磁気コア４，５の磁気ギャップ２０両側面を加工し突き
合わせ接着する手段、および、磁気コア４゜５を突き合
わせ両側面にテーパや−９を加工する手段にあっては、
いずれも機械加工を行なうので充分な精度が得られない
欠点がある。したがって加工時に生ずる加工変質層の影
響、ならびに磁性体であるフェライトの脆性かも生ずる
チッピング脱粒などかあシ、磁気ギャップ２の突き合わ
せ精度によシ充分な狭い磁気トラック６が得られない欠
点がある。
れて磁気トラック６の幅はますます狭くなる傾向にある
。したがって従来の電磁変換部３が第９図のように磁気
コア４，５の厚さを磁気トラック６０幅と同じくするも
のにあっては磁気コア４，５自身の厚さが薄くなり、加
工が難しく体積が小さくて充分な電気特性を有する電磁
変換部が得られない欠点がある。また第１０図のように
磁気コア４，５の磁気ギャップ２０両側面を加工し突き
合わせ接着する手段、および、磁気コア４゜５を突き合
わせ両側面にテーパや−９を加工する手段にあっては、
いずれも機械加工を行なうので充分な精度が得られない
欠点がある。したがって加工時に生ずる加工変質層の影
響、ならびに磁性体であるフェライトの脆性かも生ずる
チッピング脱粒などかあシ、磁気ギャップ２の突き合わ
せ精度によシ充分な狭い磁気トラック６が得られない欠
点がある。
問題点を解決するための手段
本発明は従来のかかる欠点を除き、フェライトなどの磁
性材よりなる磁気コア４，５を突き合わせ所望の磁気ト
ラック６の幅を磁気ギャップ２とする電磁変換部３を非
磁性体よりなるスライダ１中に埋め込んだ構成したコン
ポジット型磁気ヘッドの製造に当って、電磁変換部３を
スライダ１にガラスまたは樹脂にて埋め込み固着し、金
属被膜にて覆い、ホトレジストにて金属被膜によシ金属
マスクを形成し、さらに、この金属マスクをイオンエツ
チング加工して所定の磁気トラックを得るコンポジット
型磁気ヘッドの製造方法である。
性材よりなる磁気コア４，５を突き合わせ所望の磁気ト
ラック６の幅を磁気ギャップ２とする電磁変換部３を非
磁性体よりなるスライダ１中に埋め込んだ構成したコン
ポジット型磁気ヘッドの製造に当って、電磁変換部３を
スライダ１にガラスまたは樹脂にて埋め込み固着し、金
属被膜にて覆い、ホトレジストにて金属被膜によシ金属
マスクを形成し、さらに、この金属マスクをイオンエツ
チング加工して所定の磁気トラックを得るコンポジット
型磁気ヘッドの製造方法である。
作用
磁気ギャップ２における磁気トラック幅６は機械加工に
よらず、所定の磁気トラック幅６よシ犬なる幅に磁気ギ
ャップ２０部分をイオンエツチング加工し所定の狭い磁
気トラック６の幅を有する電磁変換部３が得られる。
よらず、所定の磁気トラック幅６よシ犬なる幅に磁気ギ
ャップ２０部分をイオンエツチング加工し所定の狭い磁
気トラック６の幅を有する電磁変換部３が得られる。
実施例
本発明のコンポジット型磁気ヘッドの実施例を図面を参
照して説明する。
照して説明する。
第１図に示すようにフェライトからなる１字状磁気コア
４とコ字状磁気コア５を突き合わせて磁気ギャップ２を
設け、ガラスなどで接着固定し摺動面側に磁束が集中す
るように両側面にテーパー９を加工して磁気トラック６
を形成する。このときの磁気トラック６の幅は所定の磁
気トラック６の幅の１０倍程度で充分である。
４とコ字状磁気コア５を突き合わせて磁気ギャップ２を
設け、ガラスなどで接着固定し摺動面側に磁束が集中す
るように両側面にテーパー９を加工して磁気トラック６
を形成する。このときの磁気トラック６の幅は所定の磁
気トラック６の幅の１０倍程度で充分である。
つぎに第２図のようにセラミックなどよりなる非磁性材
にて複数個の磁気ヘッドが得られるような長方形で電磁
変換部３が埋込まれる溝１１を加工しスライド材を形成
する。さらに第３図のように電磁変換部３を溝１１内に
ガラスまたは樹脂で埋込み固着し、磁性媒体との摺動面
に鏡面研磨を施して磁気ギャップ２の深さを決めるとと
もに正圧を発生させるテーパー１６を形成する。
にて複数個の磁気ヘッドが得られるような長方形で電磁
変換部３が埋込まれる溝１１を加工しスライド材を形成
する。さらに第３図のように電磁変換部３を溝１１内に
ガラスまたは樹脂で埋込み固着し、磁性媒体との摺動面
に鏡面研磨を施して磁気ギャップ２の深さを決めるとと
もに正圧を発生させるテーパー１６を形成する。
ここで第４図（、）のように電磁変換部３が埋込まれた
スライダ１材の摺動面上に第４図（ｂ）のように鍍金ま
たは蒸着によシフエライトに比べてエツチング速度の遅
い金属にて金属薄膜１２を形成する。
スライダ１材の摺動面上に第４図（ｂ）のように鍍金ま
たは蒸着によシフエライトに比べてエツチング速度の遅
い金属にて金属薄膜１２を形成する。
ついで第４図（ｃ）のように金属薄膜１２上にホトレジ
スト１３をスピンコードまたは引きあげ方で塗布し、第
４図（ｄ）のようにホトレジスト１３に所望のマスクを
使用して露光させホトレジストマスクを形成する。さら
に第４図（ｅ）のようにホトレジストマスクによって金
属薄膜１２をケミカルエ、ツチングして金属マスク１４
を形成し、この金属マスク１４によシ第４図（ｆ）のよ
うに電磁変換部３の磁気ギャップの部分をイオンエツチ
ングして磁気トラック６を形成する。最後に第４図（ｇ
）のように金属マスク１４の残部を取シ除き所望の磁気
トラック６を有する磁気ギャップ２の形状の加工が終了
する。さらにスライダ１を切断し両側にレール１５を機
械加工によシ施して第５図のような狭い高精度磁気トラ
ックを有するコンポジット型磁気ヘッドが得られる。
スト１３をスピンコードまたは引きあげ方で塗布し、第
４図（ｄ）のようにホトレジスト１３に所望のマスクを
使用して露光させホトレジストマスクを形成する。さら
に第４図（ｅ）のようにホトレジストマスクによって金
属薄膜１２をケミカルエ、ツチングして金属マスク１４
を形成し、この金属マスク１４によシ第４図（ｆ）のよ
うに電磁変換部３の磁気ギャップの部分をイオンエツチ
ングして磁気トラック６を形成する。最後に第４図（ｇ
）のように金属マスク１４の残部を取シ除き所望の磁気
トラック６を有する磁気ギャップ２の形状の加工が終了
する。さらにスライダ１を切断し両側にレール１５を機
械加工によシ施して第５図のような狭い高精度磁気トラ
ックを有するコンポジット型磁気ヘッドが得られる。
なお電磁変換部３の磁気ギャップ２０幅を決定する金属
マスク１４のパタンによって第６図のような半円形の形
状の溝１７．または第７図のような矩形の形状の溝１６
を加工することによって所望の寸法が得られる。
マスク１４のパタンによって第６図のような半円形の形
状の溝１７．または第７図のような矩形の形状の溝１６
を加工することによって所望の寸法が得られる。
発明の効果
以上に述べたように本発明によれば、従来の機械加工に
比ベホトリゾグラフィ技術ならびにイオンビームエツチ
ング技術を使用しているので、チッピング加工変質層の
磁気トラック６の幅が狭く高精度の磁気ヘッドが得られ
、多数個を同時加工するので均一な品質と動作時の強度
の犬なるコンポジット型磁気ヘッドが得られる。
比ベホトリゾグラフィ技術ならびにイオンビームエツチ
ング技術を使用しているので、チッピング加工変質層の
磁気トラック６の幅が狭く高精度の磁気ヘッドが得られ
、多数個を同時加工するので均一な品質と動作時の強度
の犬なるコンポジット型磁気ヘッドが得られる。
第１図はコンポジット型の磁気ヘッドの電磁変換部の外
観斜視図を示す。第２図は本発明の一行程にコ？けるス
ライド材の外観斜視図、第３図は電磁変換部が埋め込ま
れた第２図のスライド材の外観斜視図、第４図は第３図
のスライド材をイオンエツチングする加工行程を示す図
、第５図は本発明によって得られたコンポジット型磁気
ヘッドの外観斜視図、第６図並に第７図は本発明によっ
て形成された磁気ギャップ部分の外観斜視図、第８図は
従来のコンポジット型磁気ヘッドの例の外観斜視図、第
９図第１０図並に第１１図は従来の電磁変換部の例の外
観斜視図である。 なお １ニスライダ、２°磁気ギヤツプ、３：電磁変換部、４
．５：磁気コア、６：磁気トラック。 １０：摺動面、１４．金属マスク、１１，１６゜１７：
溝。 第２図 第４図 第８図
観斜視図を示す。第２図は本発明の一行程にコ？けるス
ライド材の外観斜視図、第３図は電磁変換部が埋め込ま
れた第２図のスライド材の外観斜視図、第４図は第３図
のスライド材をイオンエツチングする加工行程を示す図
、第５図は本発明によって得られたコンポジット型磁気
ヘッドの外観斜視図、第６図並に第７図は本発明によっ
て形成された磁気ギャップ部分の外観斜視図、第８図は
従来のコンポジット型磁気ヘッドの例の外観斜視図、第
９図第１０図並に第１１図は従来の電磁変換部の例の外
観斜視図である。 なお １ニスライダ、２°磁気ギヤツプ、３：電磁変換部、４
．５：磁気コア、６：磁気トラック。 １０：摺動面、１４．金属マスク、１１，１６゜１７：
溝。 第２図 第４図 第８図
Claims (1)
- 磁気コア４と５とを突き合わせて狭幅の磁気ギャップ２
を設けた電磁変換部３を非磁性体よりなるスライダ１に
埋め込んでこれを固定した後、磁気媒体に対する前記磁
気ギャップ２の摺動面を研磨し、ついで該摺動面を金属
マスクによりイオンエッチング加工して磁気トラック６
を構成することを特徴とするコンポジット型の磁気ヘッ
ドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21757485A JPS6276018A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | コンポジツト型磁気ヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21757485A JPS6276018A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | コンポジツト型磁気ヘツドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6276018A true JPS6276018A (ja) | 1987-04-08 |
Family
ID=16706406
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21757485A Pending JPS6276018A (ja) | 1985-09-30 | 1985-09-30 | コンポジツト型磁気ヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6276018A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5334899A (en) * | 1976-08-17 | 1978-03-31 | Rhone Poulenc Ind | Thermoplastic polysiloxane elastomer |
| JPS5634123A (en) * | 1979-08-29 | 1981-04-06 | Hitachi Ltd | Manufacture for magnetic head |
| JPS58111122A (ja) * | 1981-12-23 | 1983-07-02 | Hitachi Ltd | 磁気ヘツドの製造方法 |
-
1985
- 1985-09-30 JP JP21757485A patent/JPS6276018A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5334899A (en) * | 1976-08-17 | 1978-03-31 | Rhone Poulenc Ind | Thermoplastic polysiloxane elastomer |
| JPS5634123A (en) * | 1979-08-29 | 1981-04-06 | Hitachi Ltd | Manufacture for magnetic head |
| JPS58111122A (ja) * | 1981-12-23 | 1983-07-02 | Hitachi Ltd | 磁気ヘツドの製造方法 |
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