JPS6269577A - パルス放電型レ−ザの出力制御装置 - Google Patents

パルス放電型レ−ザの出力制御装置

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JPS6269577A
JPS6269577A JP60207797A JP20779785A JPS6269577A JP S6269577 A JPS6269577 A JP S6269577A JP 60207797 A JP60207797 A JP 60207797A JP 20779785 A JP20779785 A JP 20779785A JP S6269577 A JPS6269577 A JP S6269577A
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pulse
circuit
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Kyoichi Deki
恭一 出来
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Ushio Denki KK
Ushio Inc
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Ushio Denki KK
Ushio Inc
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
    • H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
    • H01S3/13—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude
    • H01S3/131—Stabilisation of laser output parameters, e.g. frequency or amplitude by controlling the active medium, e.g. by controlling the processes or apparatus for excitation

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 五　尭明の評創な説明 〔産業上の利用分野〕 との発明は、繰シ返しパルス放電で発振するレーザの出
力面制御方法に係り、特に、レーザ利用のある一定繰り
返し工程内でレーザの総射出エネルギーを一定値に制御
する装置に関するものである。
〔従来の技術〕
昭和４０年代後半から精力的に開発が進められてきた放
電励起型エキシマレーザは、その繰り返し化、長寿命化
等が急速に実現されてきており、半導体プロセスへの応
用についても、その有用性が実証されてきている。
ところＣ１通常の放電励起型レーザの場合、安定したレ
ーザ出力を得るためには、負荷電流を電源側に負帰還し
て、放電電流を制御する（特開昭５９−３４６８５号公
報）等、檎々の努力がなされてきている。しかしながら
、パルス放′イ型レーザの場合に、１パルス毎に１．Ｐ
Ｊ現性のよい安定したレーザ出力を得ることは、現在の
ところ困難である。
〔発明が解決しようとする問題点〕
このように、エキシマレーザ等のパルス放電型レーザを
用いて、半導体プロセスにおける光りソグラフイを実行
しようとする場合、光りソグラフィプロセスにおけるス
テッパーを考えた場合、各ステップアンドリピートサイ
クルで同一パルス数のレーザを照射しても、１パルス毎
のレーザ出力の再現性が悪いために、総露光量が各ステ
ップアンドリピートサイクルで一定でなくなる。従って
、均一度がよく、バラツキの少ない工程を得ることは困
離である。
この発明は、こうした問題点に鑑みて、総露光量が各ス
テップアンドリピートサイクル毎に一定となるようなレ
ーザ出力が得られるパルス放電型レーザの出力制御装置
を提供することを目的とするものである。
〔問題点を解決するだめの手段〕
この目的を達成するために、この発明では、繰り返しパ
ルス放電で発振するレーザの総照射エネルギーをレーザ
パルス数で制御するものにおいて、１パルス当９のレー
ザ出力の総和が、あらかじめ設定された基準レベルに到
達した時点で、レーザ発振を停止するように構成する。
〔作　用〕
このようにすると、パルス毎のレーザ出力の再現性が悪
いものであっても、レーザの総照射エネルギーをあらか
じめ設定したレベルに制御することが可能となる。
〔実施例〕
以下、図面に基づいて、この発明の詳細な説明する。
Ｍ１図は、この発明によるパルス放電型レーザの出力制
御系の一実施例を示すブロック回路図である。第２図は
、第１図の回路の動作を示すタイムチャートである。
レーザ２の出力は、レーザ本体内でハーフミラ信号に交
換され、この出力信号はサンプル・ホールド回路６で一
定期間、保持される。サンプル・ホールド回路６の出力
信号２１は、時間間隔が一　３一 定のパルスで、その波高値は、レーザ出力のピーク値Ｐ
ｉに対応して、パルス毎に異なった値となる（第２図（
ｂ）、（ｃ）参照）。
エネルギーの総和に比例したものである。この積分器７
の出力を、基準電圧発生器９にあらかじめ設定した基準
レベルと、コンパレータ８で比較する。Ｅ８が基準レベ
ルと一致したとき、コンパレータの出力は０となシ、ナ
ントゲート１０が開かれ、トリガ回路１１、電源１２を
介して、レーザ発振は停止される。（第２図（ｅ）、　
（ｆ）、　（ω参照）。
次に１外部リセット端子１４に信号が与えられると、積
分器７の出力は０となシ、以下、同様にして、総照射エ
ネルギー制御が一定のサイクルで繰シ返し実行される（
第２図（ｂｌ、（ｅ）参照）。
なお、遅延回路１３は、サンプル・ホールド回路６をリ
セットするためのものである（第２図（山。
（Ｃ）＃照）。
〔発明の効果〕
以上の説明から明らかなように、この発明によれば１パ
ルス毎のレーザ出力の総和が、設定レベルに到達した時
点で、レーザ発振を停止することによシ、レーザの総照
射エネルギーを所望のレベルに制御することができる。
従って、半導体プロセスにおける光りソグラフイに利用
する場合でも、各霧光サイクル毎に、総露光量が一定の
レーザ照射を行うことも容易に可能となる。
【図面の簡単な説明】
第１図は、この発明によるパルス放電型レーザの出力制
御系の一実施例を示すブロック回路図、第２図社第１図
の回路の動作を示すタイムチャートである。 図において、１はパルス発生器、２はレーザ発器、８は
コンパレータ、９は基準電圧発生器、１０社ナントゲー
ト、１１はトリガ回路、１２は電源、１３は遅延回路、
１４は外部リセット端子である。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １パルス毎の繰り返しパルスによつてレーザを出力する
    レーザ発振器と、前記レーザを拡散板を介して電気信号
    に変換するための光電変換素子と、前記変換された電気
    信号をサンプリングするサンプルホールド回路と、前記
    サンプリング波形の出力の総和をとるための積分器と、
    この積分器の出力と基準電圧発生器からの出力とを比較
    するコンパレータと、前記繰り返しパルスを発生する発
    生器からの出力と前記コンパレータの出力とによつて開
    閉する論理回路と、前記パルス発生器からのパルスによ
    つて前記サンプルホールド回路をリセットするための遅
    延回路と、前記論理回路からの出力によつて励起される
    トリガ回路を有する電源とを具備したことを特徴とする
    パルス放電型レーザの出力制御装置。
JP60207797A 1985-09-21 1985-09-21 パルス放電型レ−ザの出力制御装置 Granted JPS6269577A (ja)

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